JPS6170710U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6170710U JPS6170710U JP1984156917U JP15691784U JPS6170710U JP S6170710 U JPS6170710 U JP S6170710U JP 1984156917 U JP1984156917 U JP 1984156917U JP 15691784 U JP15691784 U JP 15691784U JP S6170710 U JPS6170710 U JP S6170710U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- target work
- light receiving
- receiving means
- laser processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例によるレーザ加工
用距離計を示す断面構成図、第2図は従来のレー
ザ加工用距離計を示す断面構成図、第3図は従来
のレーザ加工用距離計の問題点を説明する説明図
である。 図において、3は対象ワーク、4は光源、5は
投光レンズ、6は受光レンズ、7は受光素子、8
は処理回路、10,11はミラーである。なお、
4,5により投光手段を、6,7により受光手段
を構成する。なお、図中、同一符号は同一又は相
当部分を示す。
用距離計を示す断面構成図、第2図は従来のレー
ザ加工用距離計を示す断面構成図、第3図は従来
のレーザ加工用距離計の問題点を説明する説明図
である。 図において、3は対象ワーク、4は光源、5は
投光レンズ、6は受光レンズ、7は受光素子、8
は処理回路、10,11はミラーである。なお、
4,5により投光手段を、6,7により受光手段
を構成する。なお、図中、同一符号は同一又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- 対象ワークに投光手段より光スポツトを照射し
、受光手段により上記対象ワーク上の光スポツト
像を撮像して上記対象ワークまでの距離を測定す
るものにおいて、上記投光手段と上記受光手段と
で作る投・受光光路を単一または複数のミラーに
より折り曲げて構成したことを特徴とするレーザ
加工用距離計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984156917U JPS6170710U (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984156917U JPS6170710U (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6170710U true JPS6170710U (ja) | 1986-05-14 |
Family
ID=30714923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984156917U Pending JPS6170710U (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6170710U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009511279A (ja) * | 2005-10-18 | 2009-03-19 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | レーザ処理中の対象物リアルタイムトポグラフィートラッキング |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5954908A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Fujitsu Ltd | 表面位置検出方法 |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP1984156917U patent/JPS6170710U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5954908A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Fujitsu Ltd | 表面位置検出方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009511279A (ja) * | 2005-10-18 | 2009-03-19 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | レーザ処理中の対象物リアルタイムトポグラフィートラッキング |
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