JPS6165126A - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

Info

Publication number
JPS6165126A
JPS6165126A JP18696184A JP18696184A JPS6165126A JP S6165126 A JPS6165126 A JP S6165126A JP 18696184 A JP18696184 A JP 18696184A JP 18696184 A JP18696184 A JP 18696184A JP S6165126 A JPS6165126 A JP S6165126A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
pressure
base board
pressure sensor
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18696184A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Maeda
均 前田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
COPAL DENSHI KK
Nidec Copal Electronics Corp
Original Assignee
COPAL DENSHI KK
Copal Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by COPAL DENSHI KK, Copal Electronics Co Ltd filed Critical COPAL DENSHI KK
Priority to JP18696184A priority Critical patent/JPS6165126A/ja
Publication of JPS6165126A publication Critical patent/JPS6165126A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野。
本発明に圧力全歪量ンこ変換し、その歪量を更に電気量
に変換して電気信号として取り出す圧力変換器の圧力セ
ンサに関するものである。更に詳しくいえ（げセラミッ
ク部材でダイアフラムを構成し、このダイアフラム上に
感圧抵抗を配設する王カセ／すに関する。
（ロ）？ｉ　米Ｔ支　術。
；ラミック薄板でタイプスラムを形成し、このダイアフ
ラム上に厚膜抵抗等を用いて感圧抵抗を形成した構造の
圧カセ／すの従来例を第１図に示す。セラミック薄板１
とセラミック台２とをｇ融点ガラス部材３で接着する。
更にセラミック薄板１上には厚膜抵抗による複数の感圧
抵抗素子４が形成され、これらは厚膜手法等ンこ：り炸
成さ几た電俸部５を介して電気的に接続される。（第２
図参照） 中ノし・に孔部りを穿設したセラミック台２がセラミッ
ク薄板１とガラス３を介して接着される。この様にして
セラミック薄板１上ににダイアフラムｄを構成する。第
３図は上述の三カ七／す構５ｙ、部材がハウジングＣ内
に組込ま几た断面図テラす。
圧力導入口６を穿設したハウジングＣの内部に構成部材
が収納され、セラミック薄板１に対面しているハウジン
グＣの内’Ｊｌ＋にＯリング７が設けら１、セラミック
台２は下方に設けた止めねじ８によりハウジングＣ内に
動かないように収容さ八る。符号９！′ｉ接代用リード
線である。
上述のような従来例の圧力センサにおいて：・プ、ｉう
ミック薄ｔ−ｉ　５　；４Ｈ厚す喜：でよずつセラミッ
ク台：て固定−ｔろニニ１でよリタイアフラムケ形成せ
しめてｉるで、ってちるから、接着時におシする傅留応
力や王ｆＪ七／＋ｊをハウジング等）に制定する際の応
力が、り゛イアフラムシで伝搬し、これがため王カ七ン
サ特性金著しく悪１ヒさせている等の欠陥が存在する。
ノ→発明の解決しようとする問題点並にその手段。
不発明は不用の応力がダイアフラムに伝搬するユニ全防
止し圧カセ／すの特注を向上させることを目的とするも
ので、その目的をＪ蔵するために七ラミック基台に一体
加工を施して圧力センナ構成部を形成し、特にダイアフ
ラムにセラミック部［ヤと一体形成すると共に、てラミ
ンク基台ンこスリットｇヶ設けてハウジング取付時の応
カラ歪をダイアフラムに伝搬させないように工夫してい
る。
；＝　’ｘ　シくζ９ンリ １寸図面第４図、第５図、第６図は不発明に係る一実施
例を示す。はぼ円筒状つセラミック基台）０の中央に・
・ウジノブＣの圧力導入口６と連通ずる孔部６′を穿設
し、この孔部の１Ｍ部にダイアフラム１１全形５吸する
。ダイアフラム９反７ｊゴ丁、こ、１感王折抗１５を設
ける。セラミック基台１０の底部ンζは感圧抵抗１５を
囲繞す２）ように円形溝１３を穿設する。セラミック基
台１０と・・ウジノブＣとはＯす／グ１２により密閉さ
ｒｚる。又セラミック基台１０の下方より止めｎじ８を
ノ・つ】ノブ（、：に螺合することによりセラミック基
台は・・ランノブに固定される。尚符号１４はリード線
でｂる。
（ハ）効果 本発明においては、（１）タイアフラム？セラミック基
台と一体に構成してなるから従来例の二うにセラミック
台にセラミック板を多着したものに比して、接着時の残
留応力や圧力で／す？・・ウジノブに固定する際の応力
がダイアプラムに伝搬するのを防上し、（２）ダイアフ
ラムと感圧抵抗をつ・こんで穿設した円形溝に水平若し
くは横方向の応力を吸収して、圧力−ンサの％性を著し
く改善するのに役立つ。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の圧力で／す構成部の断面図。 第２図１は第１図の感圧抵抗の平面図。第３図（ｌ″を
第１ｆＡの王カセ／す部を・・ウジノブに組込んだ断面
ズっ第４￥１は本発明に係る王カセノサを組込んだ圧力
変換器の断面図。第５図は本発明江係る圧カセ／すの断
面図。第６図は不発明に係る王カセンサの１賞面図。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １．　セラミツク材でダイアフラムを形成し、このダイ
    アフラム上に感圧抵抗を配設する圧力センサにおいて、
    ダイアフラムとセラミツク基台とを一体に形成し、ダイ
    アフラム感圧抵抗の外周のセラミツク基板に円形溝を穿
    設したことを特徴とする圧力センサ。
JP18696184A 1984-09-06 1984-09-06 圧力センサ Pending JPS6165126A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18696184A JPS6165126A (ja) 1984-09-06 1984-09-06 圧力センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18696184A JPS6165126A (ja) 1984-09-06 1984-09-06 圧力センサ

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23245489A Division JPH02257029A (ja) 1989-09-07 1989-09-07 圧力センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6165126A true JPS6165126A (ja) 1986-04-03

Family

ID=16197754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18696184A Pending JPS6165126A (ja) 1984-09-06 1984-09-06 圧力センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6165126A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61158834U (ja) * 1985-03-26 1986-10-02
JPH01196526A (ja) * 1987-12-11 1989-08-08 Babcock & Wilcox Co:The 厚膜抵抗を使用する圧力トランスジューサ
JPH0289319U (ja) * 1988-12-28 1990-07-16
JPH0323332U (ja) * 1989-07-17 1991-03-11
JPH0363834U (ja) * 1989-10-24 1991-06-21
JPH08233674A (ja) * 1996-02-05 1996-09-13 Hitachi Constr Mach Co Ltd 差圧センサユニット
WO2002014820A1 (fr) * 2000-08-10 2002-02-21 Nok Corporation Capteur de pression
CN103728066A (zh) * 2012-10-10 2014-04-16 吾土产业株式会社 使用陶瓷膜的压力传感器
JP2014077793A (ja) * 2012-10-10 2014-05-01 Auto Industrial Co Ltd セラミックダイアフラム型圧力センサ

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4843380A (ja) * 1971-10-01 1973-06-22
JPS50130375A (ja) * 1974-04-01 1975-10-15
JPS50146379A (ja) * 1974-05-15 1975-11-25

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4843380A (ja) * 1971-10-01 1973-06-22
JPS50130375A (ja) * 1974-04-01 1975-10-15
JPS50146379A (ja) * 1974-05-15 1975-11-25

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61158834U (ja) * 1985-03-26 1986-10-02
JPH01196526A (ja) * 1987-12-11 1989-08-08 Babcock & Wilcox Co:The 厚膜抵抗を使用する圧力トランスジューサ
JPH0289319U (ja) * 1988-12-28 1990-07-16
JPH0323332U (ja) * 1989-07-17 1991-03-11
JPH0363834U (ja) * 1989-10-24 1991-06-21
JPH08233674A (ja) * 1996-02-05 1996-09-13 Hitachi Constr Mach Co Ltd 差圧センサユニット
WO2002014820A1 (fr) * 2000-08-10 2002-02-21 Nok Corporation Capteur de pression
CN103728066A (zh) * 2012-10-10 2014-04-16 吾土产业株式会社 使用陶瓷膜的压力传感器
JP2014077793A (ja) * 2012-10-10 2014-05-01 Auto Industrial Co Ltd セラミックダイアフラム型圧力センサ
US8943896B2 (en) 2012-10-10 2015-02-03 Auto Industrial Co., Ltd. Pressure transducer using ceramic diaphragm

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5757608A (en) Compensated pressure transducer
US4399707A (en) Stress sensitive semiconductor unit and housing means therefor
EP0126989B2 (en) Fluid pressure transmitter
US4735098A (en) Dual diaphragm differential pressure transducer
AU758052B2 (en) Pressure sensor
US5974893A (en) Combined pressure responsive transducer and temperature sensor apparatus
US7412894B2 (en) Pressure sensing device incorporating pressure sensing chip in resin case
EP0372773B2 (en) Pressure sensor with flexible printed circuit
US5465626A (en) Pressure sensor with stress isolation platform hermetically sealed to protect sensor die
JP5634026B2 (ja) 差動流体圧力測定装置
EP0245032A2 (en) Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer
US4774626A (en) Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer
US5412994A (en) Offset pressure sensor
JPS6165126A (ja) 圧力センサ
US4680971A (en) Dual diaphragm differential pressure transducer
JPH05149814A (ja) 二重ダイヤフラム式半導体圧力センサ
US4926155A (en) Integrated circuit silicon pressure transducer package
CA1252646A (en) Measuring transducer
JPS5952727A (ja) 半導体圧力センサ
EP0009313A1 (en) Improved pressure transducer and assembly
GB2148008A (en) Casing for pressure transducer
JPH02257029A (ja) 圧力センサ
JPH10111206A (ja) 静電容量式圧力センサ
JP2549665Y2 (ja) 圧力測定装置
JPH0599773A (ja) 圧力センサ