JPS6161029U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6161029U JPS6161029U JP14508184U JP14508184U JPS6161029U JP S6161029 U JPS6161029 U JP S6161029U JP 14508184 U JP14508184 U JP 14508184U JP 14508184 U JP14508184 U JP 14508184U JP S6161029 U JPS6161029 U JP S6161029U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- discharge device
- plasma discharge
- microwave plasma
- wide surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例に係るマイクロ波
プラズマ放電装置を示す平面図、第2図は従来の
マイクロ波プラズマ放電装置を示す平面図である
。 1…導波管、2…石英管(放電管)、3…スリ
ースタブチユーナー、4…パワーモニタ検出部。
プラズマ放電装置を示す平面図、第2図は従来の
マイクロ波プラズマ放電装置を示す平面図である
。 1…導波管、2…石英管(放電管)、3…スリ
ースタブチユーナー、4…パワーモニタ検出部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 マイクロ波発振機にアイソレータを介してパワ
ーモニタ検出部、スリースタブチユーナーを順次
接続してなるマイクロ波プラズマ放電装置におい
て、 上記スリースタブチユーナーに導波管を接続し
、この導波管の幅広面中央部を貫通して幅広面に
対し垂直方向に放電管を2本以上挿入し、その間
隔を導波管終端部より1/4λgの奇数倍に設定
したことを特徴とするマイクロ波プラズマ放電装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14508184U JPS6161029U (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14508184U JPS6161029U (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6161029U true JPS6161029U (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=30703338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14508184U Pending JPS6161029U (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6161029U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0195459A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-13 | Hitachi Ltd | マイクロ波誘導プラズマ質量分析計 |
JPH07153420A (ja) * | 1994-10-07 | 1995-06-16 | Hitachi Ltd | プラズマ質量分析計 |
JP2001510939A (ja) * | 1997-07-16 | 2001-08-07 | レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 表面波プラズマでガスを励起する装置 |
-
1984
- 1984-09-26 JP JP14508184U patent/JPS6161029U/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0195459A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-13 | Hitachi Ltd | マイクロ波誘導プラズマ質量分析計 |
JPH07153420A (ja) * | 1994-10-07 | 1995-06-16 | Hitachi Ltd | プラズマ質量分析計 |
JP2001510939A (ja) * | 1997-07-16 | 2001-08-07 | レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 表面波プラズマでガスを励起する装置 |
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