JPS6161029U - - Google Patents

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JPS6161029U
JPS6161029U JP14508184U JP14508184U JPS6161029U JP S6161029 U JPS6161029 U JP S6161029U JP 14508184 U JP14508184 U JP 14508184U JP 14508184 U JP14508184 U JP 14508184U JP S6161029 U JPS6161029 U JP S6161029U
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JP
Japan
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waveguide
discharge device
plasma discharge
microwave plasma
wide surface
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Application number
JP14508184U
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  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例に係るマイクロ波
プラズマ放電装置を示す平面図、第２図は従来の
マイクロ波プラズマ放電装置を示す平面図である
。 １…導波管、２…石英管（放電管）、３…スリ
ースタブチユーナー、４…パワーモニタ検出部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 マイクロ波発振機にアイソレータを介してパワ
    ーモニタ検出部、スリースタブチユーナーを順次
    接続してなるマイクロ波プラズマ放電装置におい
    て、 上記スリースタブチユーナーに導波管を接続し
    、この導波管の幅広面中央部を貫通して幅広面に
    対し垂直方向に放電管を２本以上挿入し、その間
    隔を導波管終端部より１／４λｇの奇数倍に設定
    したことを特徴とするマイクロ波プラズマ放電装
    置。
JP14508184U 1984-09-26 1984-09-26 Pending JPS6161029U (ja)

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JP14508184U JPS6161029U (ja) 1984-09-26 1984-09-26

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JP14508184U JPS6161029U (ja) 1984-09-26 1984-09-26

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JPS6161029U true JPS6161029U (ja) 1986-04-24

Family

ID=30703338

Family Applications (1)

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JP14508184U Pending JPS6161029U (ja) 1984-09-26 1984-09-26

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JP (1) JPS6161029U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0195459A (ja) * 1987-10-08 1989-04-13 Hitachi Ltd マイクロ波誘導プラズマ質量分析計
JPH07153420A (ja) * 1994-10-07 1995-06-16 Hitachi Ltd プラズマ質量分析計
JP2001510939A (ja) * 1997-07-16 2001-08-07 レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 表面波プラズマでガスを励起する装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0195459A (ja) * 1987-10-08 1989-04-13 Hitachi Ltd マイクロ波誘導プラズマ質量分析計
JPH07153420A (ja) * 1994-10-07 1995-06-16 Hitachi Ltd プラズマ質量分析計
JP2001510939A (ja) * 1997-07-16 2001-08-07 レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 表面波プラズマでガスを励起する装置

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