JPS6160527A - Loader/unloader device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To effectively work by elevating a partition for dividing adjoining base plates by one step at a time, and load/unload the base plate into/from a housing groove opened from the partition. CONSTITUTION:A plurality of coupled U-shaped housing grooves 6 are found externally horizontally on the inner surface to side plates 2, 3 of a magazine 1, and two sheets base plates 7 are housed in series between coupled grooves 6 while being partitioned by the partition 8 without overlapping for preventing any damage from being produced due to contact thereamong. The partition 8 is elevated and lowered by one step at a time in loading/unloading in the magazine for loading/unloading the base plate 7 into/from the groove opened from the partition 8. Thereupon, since the base plate 7 is separated by the partition 8 and housed, loading/unloading work can effectively be performed without any trouble.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

〔技術分野〕 本発明はローダ・アンローダ装置、特にセラミック板等
の板状物を一対の収容溝に複数収容した棚型マガジンか
ら板状物を一枚ずつ送り出したり、あるいは一枚ずつ棚
壁マガジンに板状物を収容するローダ・アンローダ装置
に関する。 〔背景技術〕 へイブリっドＩＣにおけるアルミナセラミック等からな
る基板は、たとえば、工業調査会発行、電子材料、１９
８３年、５月号、７１〜７４頁における布付等による″
′視覚付きロボットによるハイブリッドＩＣの組立・検
査パと題する文献にも記載されているように、マガジン
に収容されて組立ラインに供給される。このマガジンは
一端が開口した箱構造となるとともに、対面する側板の
内壁には対応して収容溝が複数配設されている。基板は
その一対の周縁部分が前記一対の周縁溝に挿入されるこ
とによってマガジン内に収容される。 この結果、複数の基板はマガジン内に積層状に収容され
ることになる。 ところで、本出願人はのようなマガジンにおいて、マガ
ジンの収容能力の増大を図るために、一段の収容溝に被
処理物である二枚の基板を収容する構造のマガジンを既
に提案している。 このように、一つの収容溝に複数の基板を収容する構造
のマガジンにおける基板のローダ・アンローダは、基板
の個別供給２個別受入等が正確かつ確実に行われること
が臨まれる。 しかし、１段の収容溝に複数の基板を収容する構造のマ
ガジンでは基板間に仕切がないため基板相互の重り及び
接触による破損等が発生することがわかった。 〔発明の目的〕 本発明の目的は収容する被処理物の正確かつ確実なロー
ダ・アンローダが行えるローダ・アンローダ装置を提供
することにある。 本発明の他の目的は被処理物がローダ・アンローダ時に
破損したりしないようなローダ・アンローダ装置を提供
することにある。 本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
不明ａｌ書の記述および添付図面からあきらかになるで
あろう。 〔発明の概要〕 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。 すなわち、本発明のローダ・アンローダ装置は一段の収
容溝に二枚の基板を収容しているが、隣す合う基板は仕
切体で区分されていることがら。 両者が重なり合ったりすることもなく、接触による破損
は生じなくなる。また、前記仕切体１よマガジンにおけ
るローダ・アンローダ時には一段づつ上昇あるいは下降
す、るようになっていて、仕切体から開放された収容溝
への基板の[Technical Field] The present invention relates to a loader/unloader device, in particular, a loader/unloader device that feeds plate-like objects one by one from a shelf-type magazine in which a plurality of plate-like objects such as ceramic plates are stored in a pair of storage grooves, or a shelf wall magazine that feeds plate-like objects one by one. The present invention relates to a loader/unloader device for storing plate-like objects. [Background technology] A substrate made of alumina ceramic or the like in a hybrid IC is described, for example, in Electronic Materials, 19, published by Kogyo Kenkyukai.
1983, May issue, pages 71-74, cloth etc.''
As described in the document entitled 'Hybrid IC Assembly and Inspection Using Robots with Visual Vision', they are housed in magazines and supplied to the assembly line. This magazine has a box structure with one end open, and a plurality of corresponding storage grooves are provided on the inner walls of the facing side plates. The substrate is housed in the magazine by inserting its pair of peripheral edge portions into the pair of peripheral grooves. As a result, a plurality of substrates are housed in a stacked manner within the magazine. Incidentally, in order to increase the storage capacity of the magazine, the applicant has already proposed a magazine having a structure in which two substrates, which are objects to be processed, are stored in one storage groove. As described above, the substrate loader/unloader in a magazine configured to accommodate a plurality of substrates in one storage groove is required to accurately and reliably perform the individual supply and individual reception of substrates. However, it has been found that in a magazine having a structure in which a plurality of substrates are accommodated in a single storage groove, there is no partition between the substrates, and therefore damage may occur due to the weight and contact of the substrates. [Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a loader/unloader device capable of accurately and reliably loading and unloading a workpiece to be accommodated. Another object of the present invention is to provide a loader/unloader device in which a workpiece is not damaged during loading/unloading. The above and other objects and novel features of the present invention include:
This will become clear from the description in the unknown AL and the attached drawings. [Summary of the Invention] A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows. That is, although the loader/unloader device of the present invention accommodates two substrates in a single storage groove, adjacent substrates are separated by a partition. The two do not overlap, and damage due to contact will not occur. Furthermore, when the partition 1 is used as a loader/unloader in the magazine, it is raised or lowered one step at a time, and the board is placed in the storage groove opened from the partition.

【Ｊ−ダ・アンローダが行われる。この際、他の基板は仕切体によって分難状態で収容されているため、ローダ・アンローダに支障を来すようなことはなくローダ・アンローダ作業が効果的に行える。 〔実施例〕[J-da unloader is performed. At this time, since the other boards are accommodated in a separated manner by the partition, the loader/unloader work can be carried out effectively without interfering with the loader/unloader. 〔Example〕

第１図は本発明の一実施例によるローダ・アンローダ装
置、特にローディング状態を示す斜視図、第２図は直じ
くアンローディング状態を示す斜視図、第３図は同じく
マガジンを示す斜視図である。 この実施例のローダ・アンローダ装置は、動作が相互に
逆となることによってローディング作業あるいはアンロ
ーディング作業を行うことができる。 また、このローダ・アンローダ装置に取付けられるマガ
ジンは、茅３図に示されるような構造のものが使用され
る。 ここで、記３図を参照にして、先にマガジン１について
説明する。 第１図に示されるように、このマガジン１は一対の平行
平板からなる側板２，３の上下端同志を連結する平板か
らなる連結板４，５とからなり、両端が開口した背の高
い箱形４薄造となっている。 また、側板２，３の内面には対となる収容溝６が複数水
平方向に延在形成されている。これら一対の収容溝６は
ハイブリッドＩＣ９造用のたとえば、セラミックからな
る基板７の両縁部分が入るような断面がＵ字状の溝とな
っている。したがって、このマガジン１は、王立状態は
勿論のこと上下を逆にした倒立状ｉｌｌでもそれぞれ収
容溝６の縁で基板７を支持する。 一方、このマガジン１は収容溝６が延在する方向の長さ
が長く、一対の収容溝６間には、第１図および第２図に
示されるように、直列で二枚の基Ｆｉ７が収容（挿入）
されている、また、マガジン１内に並んで収容された二
枚の基板７は、重なり合ったりして収容溝６に詰まって
抜は難くなるようなことを防止するために、両連結板４
，５の中央部分には、挿脱自在の丸棒からなる仕切体８
が取付けられている。ま、た、マガジン１に収容された
基板７がマガジン１の取扱時に脱落しないように、スト
ッパ９がマガジン１に開口部を部分的に寒ぐように挿脱
自在に取付けられている。したがうて、二本のストッパ
９および仕切体８がマガジン１に取付られた状態でマガ
ジンＩは取り扱われる。−また、前記仕切体８およびス
トッパ９の上端はマガジン１の天井（マガジン１の上方
の連結板４）から突出し、マガジン１の上方から挿脱可
能となっている。なお、マガジン１における上部連結板
４には覗き部１０が設けられ、マガジンｌに収容された
基板７の収容量１品種等の確認ができるようになってい
る。また、下部連結板５は基板７の挿脱のために支障が
ないように開口状態となっている。 このようなマガジン１は各種の半導体製造装置のローダ
・アンローダ部分に配設され、マガジン】から基板７を
供給したりあるいはマガジン１内に基板７を収容（Ｗｉ
人）したりするのに使用される。 つぎに、ローダ・アンローダ装置について第１図および
第２図を参照しながら説明する。ローダ・アンローダ装
置はその名称の通り、ローディングにもアンローディン
グにも使用でき、その使用形態によって各部の動作順序
が異るだけである。 そこで、第１図ではローディングに使用した場合につい
て説明し、第２図ではアンローディングに使用した場合
について説明する。 このローダ・アンローダ装置は、第１図に示されるよう
に、マガジンを載せて昇降する昇降ユニット１１と、チ
ャックユニット１２とからなっている。前記昇降ユニッ
ト１１は箱体１３となり、その箱体１３の床１４と天井
１５との間には平行に延在する二本のガイド捧１６を有
している。また、前記一対のガイド捧１６には移動ブロ
ック１７が摺動可能に嵌合されている。また、前記移動
ブロック１７には、前記ガイドｗ１１６と平行に延在し
かつ、床１４の下面に取付けられたモータ１８によって
正逆回転するネジ°捧１９が螺合している。したがって
、移動ブロック１７はモータ１８の正転によって上昇し
、モータ１８の逆回転によって下降するようになってい
る。さらに、前記移動ブロック１７には、マガジン１を
載置するための支持テーブル２０が取付けられている。 一方、前記昇降ユニット１１の上方にはチャックユニッ
ト１２が配設されている。チャックユニット１２は、前
記昇降ユニット１１から延在する支持パイプ２１と、こ
の支持パイプ２１の上端から支持テーブル２０上方に延
在するアーム２２と、このアーム２２の先端部分に取付
けられたチャック２３と、からなっている、前記チャッ
ク２３は一対の爪２４からなっていて、常時図示しない
バネ等によって先端が閉じるようになっている。したが
って、このチャック２３に物品をクランプ（保持）させ
るには、手動で一時的に爪２４を開き、その開いた箇所
に物品を差し込むことによって行える。または、自動開
閉するクランプバンド等により、仕切体のクランプのＯ
Ｎ、○ＦＦをローダ昇降と同期して動作させてもよい。 また、前記チャック２３は支持テーブル２０の中央上部
に位置するようになっている。 ローディングにあっては、第１図に示されるように、基
板７を収容したマガジン１が支持テーブル２０上に載置
される。この際、前記支持テーブル２０は最も低い位置
（下死点）にあってマガジン１を受は入れる。 つぎに、モータ１８の正転駆動によって支持テーブル２
０は上昇し最高高さく上死点）で停止する。そして、こ
の状態で、作業者はマガジン１の中央に突出する仕切体
８の上端をチャック２３に保持させるとともに、不必要
となるストッパ９を上方に抜き取る。なお、この状態で
は、仕切体８の下端はマガジン１の底近傍にまで達して
いる結果、マガジン１の最下段の一対の基板７間に延在
している。 基板７のローディングにあっては、モータ１８の逆回転
によって支持テーブル２０が一ピッチ下降する。この結
果、最下段の基板７は仕切体８から外れるため、移送が
可能な状態となる。この実施例では、送り出し機構２５
は、基板７の長さよりも僅かに長い間隔に突子２６を二
本有している。 そして、送り出し機構２５は矩形矢印群で示すように矩
形運動し、突子２６で基板７を−ピッチ送り出し側に移
動させる。したがって、送り出し機構２５のコロの矩形
動作によって、一対の収容溝６に収容されていた二枚の
基板７は搬送機溝２７（一対のゴムローラによるコンベ
ヤ機構）上に供給され、ローディングが成される。この
ようにして、基板７はマガジン１の一ピツチ下降動作に
よって、順次下から搬出されてローディングが行われる
。 一方、アンローディングにあっては、第２図に示される
ように、空のマガジン１が支持テーブル２０上に載置さ
れる。この際、前記支持テーブル２０は最も低い位置（
下死点）にあってマガジン１を受は入れる。 つぎに、モータＩ８の正転駆動によって支持テーブル２
０が上昇し最高高さく上死点）で停止する。そして、こ
の状態で、作業音はマガジン１の中央に突出する仕切体
８の上端をチャック２３に保持させるとともに、不必要
となるストッパ９を上方に抜き取る。なお、この状態で
は、仕切体８の下端はマガジン１の底近傍にまで達して
いる結果、マガジン１の最下段の収容Ｗｊ６をも横切る
ような位置にある。 そこで、基板７のアンローディング（ｍ入）にあっては
、モータ１８の逆回転によって支持テーブル２０は最下
段位置にまで下降する。この結果、最上段の収容溝６は
仕切体８から外れかつ搬送機構２７によって送られて来
る基板７の高さと同じ高さとなるため、基板７の搬入が
可能な状態となる。この実施例では、基板７を載置して
搬送して来る搬送機溝２７から基板７を受は取る受入機
構２８は狭いコンベヤＪａ構となっている。この受入機
構２８は一対のゴムローラによる搬送機構２７の中間に
位置し、搬送機構２７上の基板７のマガジンｌ内に移送
するようになっている。 受入機構２８の一回の搬送距踵は基板７の長さよりも僅
かに長い距離となっていて、一回の搬送動作によってマ
ガジン１の一対の収容溝６に二枚の基Ｆｉ７が挿入され
る。この際、収容された二枚の基板７は一定の間隔を隔
てて並ぶ。 つぎに、支持テーブル２０は一ピッチ上昇する。 この結果、仕切体８はマガジン１内に−ピッチ介入るた
め、一対の収容溝６に収容された一組の基板７の間に仕
切体８が介在し１両基板７が接触したりあるいは重なっ
たりしないようになる。このように、アンローディング
にあっては、基板７はマガジン１の上方から下方に向か
って順次収容される。 〔効果〕 １、本発明のローダ・アンローダ装置は、一対ノ収容溝
６に二枚の基板７を個々に収容できかつ保護できるため
、収容性能および収容能力が向上するという効果が得ら
れる。 ２、上記２から本発明のマガジンｌは収容能力が高いこ
とから、マガジン１の交換回数の低減が図れ作業性向上
が達成できるという効果が得られる。 ３、本発明のローダ・アンローダ装置に用いるマガジン
１は一対の収容溝６に二枚の基板７を収容しているが、
両基板は仕切体８で分離されていることから、接触２重
なり等によって基板が損傷を受けるようなことはなく、
歩留りの向上が達成できるという効果が得られる。 ４、上記３から、基板７はマガジン１内にあって仕切体
８で分離されていること、また、各基板７はストッパ９
によってマガジンｌの開口部分から脱落しないようにな
っていることから、マガジン１の取扱時に基板７が脱落
したり、基板相互が衝突したりしないことから、基板の
損傷が防止できるという効果が得られる。 ５、上記１〜４により１本発明によれば、ハイブリッド
製品の製造効率および歩留りの向上からハイブリッド製
品のコスト低減が達成できるという相乗効果が得られる
。 以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが１本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範Ｏ，ｒ！種々変更
可能であることはいうまでもない。すなわち、一対の収
容溝にさらに多数の基板を収容するようにすれば、マガ
ジンの交換回数をさらに低減することができる等の効果
が得られる。 〔利用分野〕 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるハイブリッドの製造
技術に適用した場合について説明したが、それに限定さ
れるものではない。 本発明は少なくとも前記実施例と同様に基板に順次加工
処理を加えるような製造技術に適用できる。Fig. 1 is a perspective view of a loader/unloader device according to an embodiment of the present invention, particularly showing a loading state, Fig. 2 is a perspective view showing a direct unloading state, and Fig. 3 is a perspective view of a magazine. be. The loader/unloader device of this embodiment can perform loading or unloading operations by reversing the operations. The magazine attached to this loader/unloader device has a structure as shown in Figure 3. First, the magazine 1 will be explained with reference to FIG. 3. As shown in FIG. 1, this magazine 1 consists of connecting plates 4 and 5, which are flat plates that connect the upper and lower ends of side plates 2 and 3, which are a pair of parallel flat plates, and are a tall box with both ends open. It has a shape 4 thin construction. Furthermore, a plurality of paired housing grooves 6 are formed extending horizontally on the inner surfaces of the side plates 2 and 3. These pair of housing grooves 6 have a U-shaped cross section so that both edges of a substrate 7 made of ceramic, for example, for manufacturing a hybrid IC 9 can be inserted therein. Therefore, this magazine 1 supports the substrate 7 at the edge of the housing groove 6 not only in the upright position but also in the upside down position. On the other hand, this magazine 1 has a long length in the direction in which the housing grooves 6 extend, and two bases Fi7 are arranged in series between the pair of housing grooves 6, as shown in FIGS. 1 and 2. Containment (insertion)
In addition, in order to prevent the two substrates 7 stored side by side in the magazine 1 from overlapping and clogging the storage groove 6, making it difficult to remove them, the connecting plates 4 are
, 5 has a partition 8 made of a round rod that can be inserted and removed freely.
is installed. Further, in order to prevent the board 7 housed in the magazine 1 from falling off when the magazine 1 is handled, a stopper 9 is detachably attached to the magazine 1 so as to partially cool the opening. Therefore, the magazine I is handled with the two stoppers 9 and the partition 8 attached to the magazine 1. - Furthermore, the upper ends of the partition 8 and the stopper 9 protrude from the ceiling of the magazine 1 (the connecting plate 4 above the magazine 1), so that they can be inserted and removed from above the magazine 1. Incidentally, the upper connecting plate 4 of the magazine 1 is provided with a viewing section 10, so that it is possible to check the capacity of one type of substrates 7 accommodated in the magazine 1, etc. Further, the lower connecting plate 5 is in an open state so that the board 7 can be inserted and removed without any trouble. Such a magazine 1 is disposed in the loader/unloader part of various semiconductor manufacturing equipment, and is used to supply the substrate 7 from the magazine or to store the substrate 7 in the magazine 1 (Wi
person) used to do something. Next, the loader/unloader device will be explained with reference to FIGS. 1 and 2. As the name suggests, the loader/unloader device can be used for both loading and unloading, and the only difference is the order of operation of each part depending on the mode of use. Therefore, in FIG. 1, the case where it is used for loading will be explained, and in FIG. 2, the case where it is used for unloading will be explained. As shown in FIG. 1, this loader/unloader device includes an elevating unit 11 that carries a magazine and moves up and down, and a chuck unit 12. The elevating unit 11 is a box 13, and between the floor 14 and ceiling 15 of the box 13 are two guide rods 16 extending in parallel. Further, a moving block 17 is slidably fitted into the pair of guide rods 16. Further, a screw 19 that extends parallel to the guide w116 and rotates forward and backward by a motor 18 attached to the lower surface of the floor 14 is screwed into the moving block 17. Therefore, the moving block 17 is raised by the forward rotation of the motor 18, and lowered by the reverse rotation of the motor 18. Further, a support table 20 on which the magazine 1 is placed is attached to the moving block 17. On the other hand, a chuck unit 12 is disposed above the lifting unit 11. The chuck unit 12 includes a support pipe 21 extending from the lifting unit 11, an arm 22 extending above the support table 20 from the upper end of the support pipe 21, and a chuck 23 attached to the tip of the arm 22. The chuck 23 consists of a pair of claws 24, whose tips are always closed by a spring or the like (not shown). Therefore, an article can be clamped (held) by the chuck 23 by manually opening the claws 24 temporarily and inserting the article into the opened position. Alternatively, you can use a clamp band that automatically opens and closes the clamp of the partition
N and FF may be operated in synchronization with the lifting and lowering of the loader. Further, the chuck 23 is located at the upper center of the support table 20. During loading, the magazine 1 containing the substrates 7 is placed on the support table 20, as shown in FIG. At this time, the support table 20 is at the lowest position (bottom dead center) and receives the magazine 1. Next, the support table 2 is rotated by normal rotation of the motor 18.
0 rises and stops at the highest height (top dead center). In this state, the operator causes the chuck 23 to hold the upper end of the partition 8 protruding from the center of the magazine 1, and pulls out the unnecessary stopper 9 upward. In this state, the lower end of the partition 8 has reached near the bottom of the magazine 1, so that it extends between the pair of substrates 7 at the bottom of the magazine 1. When loading the substrate 7, the support table 20 is lowered by one pitch by the reverse rotation of the motor 18. As a result, the lowermost substrate 7 is removed from the partition 8, so that it can be transferred. In this embodiment, the delivery mechanism 25
has two protrusions 26 at an interval slightly longer than the length of the substrate 7. Then, the feeding mechanism 25 moves in a rectangular manner as shown by a group of rectangular arrows, and the protrusion 26 moves the substrate 7 to the -pitch feeding side. Therefore, due to the rectangular movement of the rollers of the delivery mechanism 25, the two substrates 7 that had been accommodated in the pair of storage grooves 6 are supplied onto the conveyor groove 27 (conveyor mechanism using a pair of rubber rollers), and loading is accomplished. . In this way, the substrates 7 are sequentially unloaded from below and loaded by the downward movement of the magazine 1 one pitch at a time. On the other hand, during unloading, the empty magazine 1 is placed on the support table 20, as shown in FIG. At this time, the support table 20 is at the lowest position (
(bottom dead center) and insert magazine 1 into the receiver. Next, the support table 2 is rotated by normal rotation of the motor I8.
0 rises and stops at the highest height (top dead center). In this state, the working sound causes the chuck 23 to hold the upper end of the partition 8 protruding into the center of the magazine 1, and pulls out the unnecessary stopper 9 upward. In this state, the lower end of the partition 8 has reached near the bottom of the magazine 1, and is therefore in a position that also crosses the lowermost storage Wj6 of the magazine 1. Therefore, when unloading the substrate 7 (entering m), the support table 20 is lowered to the lowest position by the reverse rotation of the motor 18. As a result, the uppermost storage groove 6 is removed from the partition 8 and has the same height as the substrate 7 sent by the transport mechanism 27, so that the substrate 7 can be carried in. In this embodiment, the receiving mechanism 28 that receives and receives the substrate 7 from the conveyor groove 27 in which the substrate 7 is placed and conveyed is a narrow conveyor Ja mechanism. This receiving mechanism 28 is located between a transport mechanism 27 made up of a pair of rubber rollers, and is adapted to transport the substrate 7 on the transport mechanism 27 into the magazine l. The one-time transport distance of the receiving mechanism 28 is slightly longer than the length of the substrate 7, and two sheets of base Fi7 are inserted into the pair of storage grooves 6 of the magazine 1 by one transport operation. . At this time, the two accommodated substrates 7 are lined up at a constant interval. Next, the support table 20 moves up one pitch. As a result, the partition 8 intervenes in the magazine 1 at a pitch, so that the partition 8 is interposed between a pair of substrates 7 housed in the pair of housing grooves 6, and the two substrates 7 are in contact with each other or overlap each other. You will be able to avoid it. In this way, during unloading, the substrates 7 are sequentially accommodated in the magazine 1 from the top to the bottom. [Effects] 1. Since the loader/unloader device of the present invention can individually accommodate and protect two substrates 7 in a pair of accommodation grooves 6, the effect of improving accommodation performance and capacity can be obtained. 2. From the above 2, since the magazine 1 of the present invention has a high storage capacity, it is possible to reduce the number of exchanges of the magazine 1 and improve workability. 3. The magazine 1 used in the loader/unloader device of the present invention accommodates two substrates 7 in a pair of accommodation grooves 6.
Since both substrates are separated by the partition 8, the substrates will not be damaged due to double contact, etc.
The effect is that the yield can be improved. 4. From 3 above, it is clear that the boards 7 are in the magazine 1 and separated by the partition 8, and that each board 7 is separated by the stopper 9.
Since the substrates 7 are prevented from falling out of the opening of the magazine l, the substrates 7 do not fall off when the magazine 1 is handled, and the substrates do not collide with each other, resulting in the effect that damage to the substrates can be prevented. . 5. According to 1 to 4 above, according to the present invention, a synergistic effect can be obtained in that the cost of hybrid products can be reduced by improving the manufacturing efficiency and yield of hybrid products. Although the invention made by the present inventor has been specifically described above based on examples, the present invention is not limited to the above-mentioned examples, and can be used within the scope of the invention without departing from the gist thereof. It goes without saying that various changes are possible. That is, by accommodating an even larger number of substrates in the pair of accommodating grooves, effects such as the ability to further reduce the number of magazine exchanges can be obtained. [Field of Application] In the above explanation, the invention made by the present inventor was mainly applied to the field of application of the hybrid, which is the background thereof, but the present invention is not limited thereto. The present invention can be applied to manufacturing techniques in which processing is sequentially applied to substrates, at least similarly to the embodiments described above.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例によるローダ・アンローダ装
置、特にローディング状態を示す斜視図。 第２図は同しくアンローディング状態を示す斜視図、 第３図は同じくマガジンを示す斜視図である。 １・・・マガジン、２，３・・・側板、４，５・・・連
結板、６・・・収容溝、７・・・基板、８・・・仕切体
、９・・ス１〜ツバ、１０・・・覗き部、１１・・・昇
降ユニット、１２・・・チャックユニット、１３・・・
箱体、１４・・・床、１５・・・天井、１６・・・ガイ
ド棒、１７・・・移動ブロック、１８・・・モータ、１
９・・・ネジ捧、２ｏ・・・支持テーブル、２１・・・
支持パイプ、２２・・・アーム、２３・・・チャック、
２４・・・爪、２５・・・送り出し機構、２６・・・突
子、２７・・・搬送機溝、２８・・・受入機構。 第　　　１　　図 第　　２　　図 第　　３　　図FIG. 1 is a perspective view showing a loader/unloader device according to an embodiment of the present invention, particularly in a loading state. FIG. 2 is a perspective view showing the unloading state, and FIG. 3 is a perspective view showing the magazine. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Magazine, 2, 3... Side plate, 4, 5... Connection plate, 6... Accommodation groove, 7... Board, 8... Partition body, 9... S1 to collar , 10... Peeping part, 11... Lifting unit, 12... Chuck unit, 13...
Box body, 14... Floor, 15... Ceiling, 16... Guide rod, 17... Moving block, 18... Motor, 1
9...Screw support, 2o...Support table, 21...
Support pipe, 22... Arm, 23... Chuck,
24... Claw, 25... Sending mechanism, 26... Protrusion, 27... Conveyor groove, 28... Receiving mechanism. Figure 1 Figure 2 Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] １、複数の被処理物を収容する一対の収容溝を多段に複
数有するとともに、収容された被処理物間を仕切る挿脱
自在の仕切体を有する棚型のマガジンと、このマガジン
を載置して昇降する昇降ユニットと、前記昇降ユニット
に載置されかつ上死点位置にあるマガジンの天井から突
出した仕切体の上端をクランプするチャックと、を有す
ることを特徴とするローダ・アンローダ装置。1. A shelf-shaped magazine having a plurality of pairs of storage grooves in multiple stages for accommodating a plurality of workpieces, and a removable partition that partitions the stored workpieces, and this magazine is placed. 1. A loader/unloader device comprising: an elevating unit that moves up and down; and a chuck that clamps the upper end of a partition that is placed on the elevating unit and protrudes from the ceiling of a magazine at a top dead center position.