JPS6153472A

JPS6153472A - 真空ポンプ

Info

Publication number: JPS6153472A
Application number: JP17259284A
Authority: JP
Inventors: Michio Nitta; 新田　道夫
Original assignee: Tokico Ltd
Current assignee: Tokico Ltd
Priority date: 1984-08-20
Filing date: 1984-08-20
Publication date: 1986-03-17
Also published as: JPH0435632B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、各種用途に使用できる真空ポンプに関するも
のである。

（従来の技術）真空ポンプのうち、もつとも一般的なものを第２図につ
いて説明する。１はシリンダであって、内部にピストン
２を往復動自在に沃挿しており、上部に吸込室３と吐出
室４とを備えたものである。ピストン２はコネクティン
グロッド（フンロッド）５によし図示しないクランクシ
ャフトと連係しており、このクランクシャフトが回転駆
動されることによって往復動でせられるものである。

吸込室３には真空タンク６が接続されており、真空状態
を貯留するようになっている。一方吐出室４は孔７によ
り大気中に連通している。吸込室３とシリンダ１の内部
（ピストン２の上部）とは孔８で連通ずるようになって
おり、−万、吐出室４とシリンダ１の内部とは孔９で連
通ずるようになっている。そして孔８のシリンダ１側に
は、ピストン２が下降したときに生ずる負圧で開弁する
吸込パルプ１０が設けられており、一方、孔９の吐出室
４側には、ピストン２が上昇したときの圧力で開弁する
吐出バルブ１１が取付けられている０吐出バルブ１１は
ポルト１２で締結てれるが、このボルト１２には、吐出
バルブ１１の上部に位置した弁受であるストツノ（１３
も締結されており、吐出バルブ１１０開度規制を行なう
ようになっている。

このような構成の従来の真空ポンプはピストン２が下降
したとき、ピストン２の上部に生ずる負圧によって吸込
バルブ１０が開弁し、吸込室３内の空気が引かれ、次に
ピストン２が上昇したときには吐出バルブ１１が開弁じ
てシリンダ１内の空気を排出する作用をする。これを繰
り返えすことにより、真空タンク６の内部は高真空度に
なる。

（発明が解決しようとする問題点）このように作動するとき、吐出バルブ１１の開度規制を
行なうストッパ１３の形状は、Ｆ空タンク６の内部が速
い速度で真空度を増すよう、吐出バルブ１１を充分な開
度で開くように設定しであるが、真空度が上った場合に
おいても吐出バルブ１１の開度が一定なために閉じ遅れ
が生じ１シーリンダ１の内部に吐出室４から２’Ａが逆
流して、真空タンク６の真空度を一定値以上高めること
ができない問題があった。

そこで、この問題を解決するため、吐出バルブ１１の開
度設定を、真空度が高い状態に遼応するようにすると、
真空タンク６内の真空度を高めるのに、時間が多くかか
ることになる問題を生ずることになる。本発明はこの点
に鑑みて成でれたものであり、上記二つの問題点を解決
した真空ポンプを拾供することを目的とする。

（問題点を解決するだめの手！９）本発明は上記問題点を解決するだめの手段として、真空
ポンプの構成を、吐出弁用の弁受（ストッパ）を有する
往復動型の真空ポンプにおいて、吸込室のＥＡ真空度検
出する検出手段と、該検出手段の検出に基く真空度が高
まるに従って前記弁受を開弁方向に位置決めする規制手
段とを侃；えたものとしたことである。そして検出手段
とし又は圧力七ンサ址たは真空ポンプ作動後の時間を目
測するタイマを使用することができ、一方、規１がＪ＋
段としては、ソレノイド等で動く、ピストン、プランジ
ャ機構を用いることができる１゜（作用）このような構成とすれば、真９タンク内の真空度が低い
ときから高いときまで、できる限りの短かい時間で真空
度を上昇でせることかでき、かつ、洩れ等の損失も生じ
ないことになる。

（実施例）以下、本発明の一実施例を、第１図について欽１明する
。なお、第２図と同一部材には同一の符号を例して、そ
の説明は省略する。吸込室３の一部には接ｔＡ：口１４
が設けられており、この接続口１４には、先端を、真空
度を検出する検出手段１５に接続、したパイプ１６の基
端が嵌入により接続てれている。これにより、吸込室４
３内の真空度は、検出手段１５によつ１検出されること
になる。この実７１ｔ”（”Ｊに紐ける検出手段１５は
圧力センサから成っており、しだがって吸込室３内の真
空度は常時検出されることになる。

吐出室４には、ピストン、フランシャＦＡ”　？ｌ’？
の一つであるソレノイド１７が取付けられており、検出
手段１５が、吸込室３内のｐ仝度が一定値より胃いとき
に発するル；気信号を受けて内部のプランジャ（図示せ
ず）を下降芒せ、ロッド１８を介してストッパ１３を吐
出バルブ１１　（ｆａｌｌに押圧するようにしである。

このように構成したこの装置は、ピストン２が往復動し
て吸込室３内の真空度（したがって真空タンク６内の真
空度）が高する基本的な作動においては第２図のものと
変るところがないが、運転開始直後の、吸込室３内の真
空度が低く、大気圧に近いときにはソレノイド１７け作
動せず、ロッド１８はストッパ１３の弾発力で押し上げ
られるように位置、設定して使用する。

このため、このときには吐出バルブ１１は大きく開いて
吐田時の抵抗を小１く保つことになる。

したかつて排気連関は早くなり、短時間で高真窒になる
。

運転継続（でより吸込室３内の昇窒度が高まると、検出
機樺１５は出力信号を発し、前述のようにロッド１８が
ストッパ１３を押圧することになる。これにより吐出バ
ルブ１１の開度は小芒くなるので、吐出バルブ１１の閉
じ遅れは生じないことになる。したがってシリンダ１内
への空気の逆流は無くなり、真空度を高めることができ
る。

以上説明した実施例においては検出手段１５として圧力
センサを用いたが、本発明はこれに限られるものではな
く、ピストン２が往蝮動を開始したときからの一定時間
を計測する夕１マを設け、このタイマを検出手段１５と
することも可能である。また、ストッパ１３の却、制手
段としては、ソレノイド以外のもの、たとえば負圧を利
用したアクチュエータ等を用いることも考えることがで
きる。

図示して説明した実施例のようにすれば、シリンダと弁
座、および吐出バルブの位８関係を重力加速度方向と関
係なく設足できることになる。またソレノイドへの曲尾
は辿孕度が一定値以上になったときに行なわれるので、
辿開時…」が短かく、ソレノイドの耐久性欠品めること
ができる。

（発明の効Ｅ：　）本発明は上述のように構成したことしてより、運転開始
時には吐出バルブは大キく開弁して空気吐出が円滑に行
なえ、またＸ窒度がρくなると開度が小さくなることか
ら追従遅れがケじず、したがって常に安定して牌い真９
度を伜られることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は従来の
Ｘ空ポンプの縦断１１図である。１・・・・・・　シリンダ　　　２・・・・・・　ピス
トン３・・・・・・吸込室　　　　４・・−・・・吐出
室１０・・・・・一吸込バルブ　１１・・・・・・吐出
バルブ１３・・・・・・　ストッパ　　１５・・・・・
・検出手段１７・・・・・・ソレノイド　１８・・・・
一ロッドオ　１　図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）吐出弁用の弁受を有する往復動型の真空ポンプに
おいて、吸込室の真空度を検出する検出手段と、該検出
手段の検出に基く真空度が高まるに従つて前記弁受を閉
弁方向に位置決めする規制手段とを備えたことを特徴と
する真空ポンプ。
（２）吸込室の真空度を検出する検出手段が、圧力セン
サである特許請求の範囲第１項記載の真空ポンプ。
（３）吸込室の真空度を検出する検出手段が、真空ポン
プ作動後の一定時間を計測するタイマ機構である特許請
求の範囲第１項記載の真空ポンプ。
（４）弁受を閉弁方向に位置決めする規制手段が、ピス
トン、プランジャ機構である特許請求の範囲第１項ない
し第３項のいずれかに記載の真空ポンプ。