JPS6151733U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6151733U JPS6151733U JP13748684U JP13748684U JPS6151733U JP S6151733 U JPS6151733 U JP S6151733U JP 13748684 U JP13748684 U JP 13748684U JP 13748684 U JP13748684 U JP 13748684U JP S6151733 U JPS6151733 U JP S6151733U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outlet
- rotary table
- drive motor
- inner container
- outer container
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
Description
第1図は本考案に係る製造装置の断面図、第2
図はその平面図、第3図は製造装置の洗浄時の断
面図、第4図は洗浄時の平面図、第5図は従来の
製造装置の断面図である。 1……ウエーハ、10……回転テーブル、11
……載置台、12……支柱、13……第1の駆動
モータ、14……外容器、15……第1の排出口
、16……第2の排出口、17……回転筒、18
……内容器、19……第3の排出口、20……第
2の駆動モータ。
図はその平面図、第3図は製造装置の洗浄時の断
面図、第4図は洗浄時の平面図、第5図は従来の
製造装置の断面図である。 1……ウエーハ、10……回転テーブル、11
……載置台、12……支柱、13……第1の駆動
モータ、14……外容器、15……第1の排出口
、16……第2の排出口、17……回転筒、18
……内容器、19……第3の排出口、20……第
2の駆動モータ。
Claims (1)
- ウエーハを保持する回転テーブルと、回転テー
ブルを回転させる回転制御可能な第1の駆動モー
タと、底部の2個所に廃液を排出する第1及び第
2の排出口を有し、回転テーブルの周囲を囲繞す
る外容器と、回転テーブルと外容器との間に回動
自在に設けられ、回転テーブルを囲繞すると共に
底部の前記外容器の第1の排出口或いは第2の排
出口と一致する個所に廃液を排出する第3の排出
口を形成した内容器と、内容器を回動させる第2
の駆動モータとで構成したことを特徴とする判導
体装着の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13748684U JPS6350847Y2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13748684U JPS6350847Y2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6151733U true JPS6151733U (ja) | 1986-04-07 |
JPS6350847Y2 JPS6350847Y2 (ja) | 1988-12-27 |
Family
ID=30695901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13748684U Expired JPS6350847Y2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6350847Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01228129A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法 |
JP2002329705A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-15 | Shibaura Mechatronics Corp | スピン処理装置 |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP13748684U patent/JPS6350847Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01228129A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法 |
JP2002329705A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-15 | Shibaura Mechatronics Corp | スピン処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6350847Y2 (ja) | 1988-12-27 |