JPS61502087A - モノリシツクに集積されたプレ−ナ半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
モノリシツクに集積されたプレ−ナ半導体装置およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS61502087A JPS61502087A JP60501832A JP50183285A JPS61502087A JP S61502087 A JPS61502087 A JP S61502087A JP 60501832 A JP60501832 A JP 60501832A JP 50183285 A JP50183285 A JP 50183285A JP S61502087 A JPS61502087 A JP S61502087A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- voltage
- voltage divider
- resistors
- junction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 4
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010063602 Exposure to noise Diseases 0.000 description 1
- 235000002597 Solanum melongena Nutrition 0.000 description 1
- 244000061458 Solanum melongena Species 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000011982 device technology Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/402—Field plates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/08—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
- H01L27/082—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including bipolar components only
- H01L27/0823—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including bipolar components only including vertical bipolar transistors only
- H01L27/0825—Combination of vertical direct transistors of the same conductivity type having different characteristics,(e.g. Darlington transistors)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/20—Resistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/8605—Resistors with PN junctions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Bipolar Transistors (AREA)
- Bipolar Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
モノリシックに集積され九プレーナ半導体装置技術背景
本発明は、主請求範囲の上位概念に記載の半導体装置刀)ら出発する。***特許
願公開公報第3227536号明細書から、2つのトランジスタが1つの共通の
基板内にプレーナ技術にL9モノリシックに集積されてダーリントントランジス
タ回路として構成されている半導体装置が公知である。基板は、この場合、、2
つのトランジスタのコレクタゾーンを形成している。基板の主表面上は、二酸化
シリコンからなるパッシベーション層が存在し、この層は、接点ウィンrつを除
き上記主表面ヲ覆う。2つのトランジスタのベース−コレクタ接合は、ノξツシ
ベーション層上に存在し、カバー電極と称される金属!極にエリ保護されている
。この半導体回路は、さらに、集積rヒされた分圧器を備えており、そのタップ
は、カッマー電極に接続されている。
力、S −を極から出る静電界が、その下側に存在するpn接合における降伏(
ブレークダウン)電圧の影響を与える。分圧器を適当に選択することにより、降
伏電圧の設定調整を予め行なうことができるが、しかしながら、この公知の半導
体装置においては、該降伏電圧は大きい@度依存注を有している。
発明の利点
これに対して主請求の範囲の特徴部分に記載の構成?有する本発明による半導体
装置は、2つの分圧抵抗器の異なったP−ピングにより温度依存性のカバー電極
電位が得られると言う利点を有する。この場合、2つの分圧抵抗器の2−ピング
は、それに工って得られる異なった温度係数が降伏電圧の温度依存変fヒ全打消
す方向の温度依存電位変fヒを生ぜしめるような仕方で行なわれる。半導体装置
の構造に依存し且つ各半導体装置に課せられる要件に鑑みて異なったt−ピング
は降伏電圧の大きな温度安定性が達成されるように行なわれる。事後的に分圧回
路の補償を可能にするために、分圧回路を短絡することができるツェナーダイオ
−Pを組込んでおくことができる。
本発明による半導体装置の製造方法は、分圧回路の2つの抵抗器を先ず、弱く2
−ピングされ九半導体材料から形成し、2つの抵抗器のうちの一方を次いでラッ
カ層で覆Aしかる後にイオンインプランテーションにより高いドーピング(不純
物濃度)を有する別の抵抗器を設けることにより実現される。一方の抵抗器のマ
スキングもしくは該抵抗器を覆う友めに設けられるラッカ層の代りに、酸「ヒ物
層?使用することもできる。
しかしながら、実験の示すところによれば、覆われるべき抵抗器は特に有利な仕
方でラッカ層で覆うことができることが判つ几。
図面の簡単な説明
以下、本発明全図面全参照して詳細に説明する。図面中、
第1図はphi合における降伏電圧を設定するための分圧回路部分を備え7’m
pn接合の部分断面図。
第2図は分圧回路の分圧比の関数としてpn接合における降伏電圧を示す図、そ
して
第3図は、集積され友分圧回路を有し本発明に従い導体装置の上面図である。
第1図に示し7tpn接合の領域の層は、分圧回路1に接続されてhる。該分圧
回路は、図示を明瞭にするために外部分圧回路として示しであるが、実際には、
この分圧回路は、第3図に示すように2つの抵抗ス) IJツブに裏って形成さ
れるものである。
図示の半導体装置は、本質的に、p導電型ゾーン3が拡散形成されているn−導
電型の基板2がら構成されている。p型ゾーン3の上方には、金属電11ji、
4が設けられておって、この電極は電源Uの負極および分圧回路1の第1の分圧
抵抗器R,1に接続されている。分圧回路1の第2の抵抗器R2および電源Uの
正極は、基板2の下側面に付着されているメタライズ層5に接続されている。分
圧回路1のタップ6に現れる分割電圧は、酸化物層8上に設けられてpn接合な
らびに逆方向(阻止)駆動時に現れる空間電荷領域を覆うカバー電極7に印加さ
れる。空間電荷は、n−領域(基板2)に対して高い不純物添加量が原因でp壁
領域3内には深ぐ広がらず、また、n−領域においては空間電荷は拡散されたn
+ゾーン10により制限される。絶縁体として働く酸[ヒ物層8上に被着された
カッマー電極7により、pn接合9は、阻止特注が外部影響因子(例えばり囲碁
を有する物質、アルカリイオン、金属粉末1等々)に:り望ましくない仕方で影
響を受けることがないように保護される。
図示の断面には、ダイオ−Pま之はトランジスタ回路の一部とすることができる
pn接合が示しである。金属電ちとして構成されているカッマー電極7は層領域
10に重なる。この領域10は同時にトランジスタ回路のエミッタ(単数または
複数)となるように拡散されている。図示のpn接合9において実現可能な降伏
電圧UBrは、シリコン(基板2)の基本−ウピングに加えて、本質的に、二酸
化シリコンからなる酸fヒ物層8の厚さお工びカッマー電極7の電位に依存する
。
第2図は1分圧回路1の分圧比R1/R1442の、関数として降伏電圧UBr
の依存性ヲ示す。図において、Ulはカバー電極7を、抵抗器R1i介在接続す
ることなく直接p領域もしくはシー73に接続し之場合に得られるpn接合9に
おける降伏電圧を表す。この例においては、降伏電圧は、カバー電極7を用いな
いで実現可能は降伏電圧よ゛りも明らかに小さい。抵抗器R2を短絡した場合に
は、降伏電圧U2が得られる。
破線は、高温度の場合に生ずる工うな降伏電圧の立上り縁を表すうここで、異な
つfc温度係殻を有する2つの抵抗器R,1お工びR2’ii用いれば、降伏電
圧の温度依存性は補償される。異なったレベルのPつぎングVCより、第1の抵
抗器R1の@度係数は例えば6・10 ’/にとし、そして第2の抵抗器R2の
@度係数は8・10−3/にとすることができる。したがって、第2図に示した
曲線の左側の分岐もしくは脚に対しては次の関係が当嵌る。
(JB、 = 01 (R]、/R2+1 )(Jl(25℃)=200 V
、 FLI/R2(25℃)=1で、[Jl(125℃)=212Vとすると、
UBr(25t?、)=400Vとなり、125℃の温度では、1’L2(12
5℃)= 1.Fl・R2(25℃)FLI (125℃)= 1.6・FLl
(25℃)で、[,18r(125℃)==4QQvである。
このように、適当な一つビングによって、降伏電圧の所望の温度安定化が実現さ
れる。
第3図に示した実施例は、分圧回路部分1をモノリフツクに集積する仕方を図解
する図である。分圧器1は、2つの拡散された長手方向に延びるp導電型のゾー
ンから構成されており、これらゾーンが抵抗器R1およびR21に形成する。分
圧回路lには、n十型にPラブされた阻止ストリップlOが隣接して設けられて
いる。この阻止ストリップ10は、分圧回路1とp型ゾーン】1との間に位置す
る。なおp型ゾーン11は2つのトランジスタTIお工びT2のベース領域を形
成するものである。阻止ストリップ10は、分圧回路部分1とpn接合9との間
に空間電荷を越える阻止電圧を印加した場合に発生し得る電気的接続を阻止する
作用?なす。
カバー電極7の境界は、破線12卦工び13で示されている。分圧回路1のタッ
プ6を形成する接触ウィンrつ14には、カッζ−電柩7が電気的に接続されて
いる。
2つの抵抗器R1およびR2は、先ず、弱くドウプされた半導体材料から形成し
、付加的に、高いPラビングを用いてイオンインプランテーションにより抵抗F
L1i設けることができる。抵抗R2は、イオンインプランテーションを行う前
に、ラッカ層で覆っておくことができる。
異なったレベルの?ラビングにエリ、2つの抵抗器R1,R2に対して例えば第
2図と関連して上に述べたような値を有することができる異なった温度係数が得
られる。
第3図に示し几半導体装置の残りの構造は、それ自体公知で6D、既述の***特
許願公開公報第3227536号明細書に詳しく説明されている。
国際調を報告
Al’JNEXTo’=−、=r:JTER>IAT工CNALSE、”+RC
MRE?ORフコ。N
Claims (3)
- 1.所定の導電型を有する基板と該基板に拡散されて反対の導電型を有するゾー ンとにより形成された少なくとも1つのpn接合と、パツシペーシヨン層上に設 けられて逆方向作動の際に現われる空間電荷領域を覆うカバー電極と、第1およ び第2の集積抵抗から構成されてpn接合に並列に接続され且つ前記カバー電極 と接続されたタップを有する分圧器とを備えたモノリシック集積プレーナ半導体 装置において、2つの抵抗器(R1,R2)が、前記カバー電極(7)に印加さ れる温度依存性の電圧により前記pn接合(9)に現われる降伏電圧(UBr) が大きく温度安定化されるように、異なつた高さの程度のドーピング、したがっ てその抵抗値に関し異なつた温度係数を有していることを特徴とするモノリシッ ク集積プレーナ半導体装置。
- 2.降伏電圧UBrを補償するために、付加的な補償要素、例えばツエナーダイ オードまたは短絡ブリツジが分圧回路(1)と共に集積化されている請求範囲第 1項記載半導体装置。
- 3.分圧器(1)の2つの抵抗器(R1,R2)を先ず、弱くドープされた半導 体材料から形成し、次いで前記抵抗器の一方(R2)をラッカ層で覆い、しかる 後にイオンインプランテーションにより他方の抵抗器(R1)に比較的に高い程 度のドーピングを与えることを特徴とする請求範囲第1項記載の半導体装置の製 造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19843416404 DE3416404A1 (de) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | Monolithisch integrierte planare halbleiteranordnung und verfahren zu dessen herstellung |
DE3416404.9 | 1984-05-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61502087A true JPS61502087A (ja) | 1986-09-18 |
JPH0525173B2 JPH0525173B2 (ja) | 1993-04-12 |
Family
ID=6234894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60501832A Granted JPS61502087A (ja) | 1984-05-04 | 1985-04-16 | モノリシツクに集積されたプレ−ナ半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0179099B1 (ja) |
JP (1) | JPS61502087A (ja) |
DE (2) | DE3416404A1 (ja) |
ES (1) | ES8701433A1 (ja) |
MX (1) | MX157924A (ja) |
WO (1) | WO1985005223A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3431676A1 (de) * | 1984-08-29 | 1986-03-13 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Integrierte leistungsendstufe |
DE19526902A1 (de) * | 1995-07-22 | 1997-01-23 | Bosch Gmbh Robert | Monolithisch integrierte planare Halbleiteranordnung |
DE19626500C1 (de) * | 1996-07-02 | 1997-08-14 | Telefunken Microelectron | Leistungstransistorschaltung |
DE19648041B4 (de) * | 1996-11-20 | 2010-07-15 | Robert Bosch Gmbh | Integriertes vertikales Halbleiterbauelement |
US6548840B1 (en) * | 2000-04-03 | 2003-04-15 | Hrl Laboratories, Llc | Monolithic temperature compensation scheme for field effect transistor integrated circuits |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1589707B2 (de) * | 1967-12-09 | 1971-02-04 | Deutsche ITT Industries GmbH 7800 Freiburg | Temperaturkompensierte Z Diodenanord nung |
FR2320635A1 (fr) * | 1975-08-05 | 1977-03-04 | Thomson Csf | Dispositif de protection pour transistor, notamment pour transistor de circuit integre monolithique, et transistor pourvu d'un tel dispositif |
US4034395A (en) * | 1976-09-29 | 1977-07-05 | Honeywell Inc. | Monolithic integrated circuit having a plurality of resistor regions electrically connected in series |
DE3227536A1 (de) * | 1982-01-20 | 1983-07-28 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Darlington-transistorschaltung |
DE3324476A1 (de) * | 1982-07-17 | 1984-02-02 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Darlington-transistorschaltung |
-
1984
- 1984-05-04 DE DE19843416404 patent/DE3416404A1/de not_active Withdrawn
-
1985
- 1985-04-16 DE DE8585901970T patent/DE3563895D1/de not_active Expired
- 1985-04-16 JP JP60501832A patent/JPS61502087A/ja active Granted
- 1985-04-16 WO PCT/DE1985/000119 patent/WO1985005223A1/de active IP Right Grant
- 1985-04-16 EP EP85901970A patent/EP0179099B1/de not_active Expired
- 1985-04-26 MX MX205121A patent/MX157924A/es unknown
- 1985-04-30 ES ES542766A patent/ES8701433A1/es not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3563895D1 (en) | 1988-08-25 |
DE3416404A1 (de) | 1985-11-07 |
WO1985005223A1 (en) | 1985-11-21 |
ES542766A0 (es) | 1986-11-16 |
JPH0525173B2 (ja) | 1993-04-12 |
EP0179099A1 (de) | 1986-04-30 |
MX157924A (es) | 1988-12-21 |
EP0179099B1 (de) | 1988-07-20 |
ES8701433A1 (es) | 1986-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5162966A (en) | Semiconductor device having a surge protecting element | |
US4595941A (en) | Protection circuit for integrated circuit devices | |
US4688323A (en) | Method for fabricating vertical MOSFETs | |
US3555374A (en) | Field effect semiconductor device having a protective diode | |
US3999212A (en) | Field effect semiconductor device having a protective diode | |
US4631562A (en) | Zener diode structure | |
JPS6358380B2 (ja) | ||
US4293868A (en) | Semiconductor device, method of manufacturing the same and application thereof | |
JP3146579B2 (ja) | プログラマブル過電圧保護回路 | |
JPH0324791B2 (ja) | ||
US4261004A (en) | Semiconductor device | |
US4730208A (en) | Semiconductor device | |
KR19980064705A (ko) | 반도체 장치 | |
US4829344A (en) | Electronic semiconductor device for protecting integrated circuits against electrostatic discharges | |
EP0090738B1 (en) | Semiconductor device | |
US3786318A (en) | Semiconductor device having channel preventing structure | |
US4916494A (en) | Monolithic integrated planar semiconductor system and process for making the same | |
US4651178A (en) | Dual inverse zener diode with buried junctions | |
JPS61502087A (ja) | モノリシツクに集積されたプレ−ナ半導体装置およびその製造方法 | |
EP0110320A1 (en) | A MOS transistor | |
US4260910A (en) | Integrated circuits with built-in power supply protection | |
JPH0546109B2 (ja) | ||
JPH05505060A (ja) | 低トリガ電圧scr保護装置及び構造 | |
US5466959A (en) | Semiconductor device for influencing the breakdown voltage of transistors | |
US5880501A (en) | Semiconductor integrated circuit and manufacturing method of the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |