JPS614587A - Demineralized water supply system and its method - Google Patents
Demineralized water supply system and its methodInfo
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- JPS614587A JPS614587A JP12320284A JP12320284A JPS614587A JP S614587 A JPS614587 A JP S614587A JP 12320284 A JP12320284 A JP 12320284A JP 12320284 A JP12320284 A JP 12320284A JP S614587 A JPS614587 A JP S614587A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導体製造工程等で使用する純水を供給する純
水供給システムおよびその方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a pure water supply system and method for supplying pure water used in semiconductor manufacturing processes and the like.
半導体製造工程では抵抗率が高く、不純物の混入のない
いわゆる純水の使用が多く、純水を供給する純水供給シ
ステムが広く採用されている。In the semiconductor manufacturing process, so-called pure water with high resistivity and no impurities is often used, and pure water supply systems that supply pure water are widely used.
第2図は従来の純水供給システムの一例の構成図である
。なお、以下の図面の説明におい−C同一要素は同一符
号で示す。貯水タンク1には1次仇給水配管2から必ず
しも純度の高くない水が供給される。貯水タンク1から
はポンプ3を介して超純水装置4に水が供給され、この
超純水装置4により半導体製造工程に適する程度に純度
の上げられた純水は、循環用配管5aおよび枝管5bを
介して各ユースポイント6に供給される。循環用配管5
aは再び貯水タンク1に純水をフィードバックづるよう
に循環系をなしており、ユースポイント6で使用されな
い純水は貯水タンク1に循環する。FIG. 2 is a configuration diagram of an example of a conventional pure water supply system. In addition, in the following description of the drawings, -C identical elements are indicated by the same reference numerals. Water, which is not necessarily of high purity, is supplied to the water storage tank 1 from a primary water supply pipe 2. Water is supplied from the water storage tank 1 to an ultrapure water device 4 via a pump 3, and the ultrapure water device 4 supplies purified water to a level suitable for semiconductor manufacturing processes through a circulation pipe 5a and a branch. It is supplied to each use point 6 via a pipe 5b. Circulation piping 5
A forms a circulation system so that pure water is fed back to the water storage tank 1 again, and pure water that is not used at the use point 6 is circulated to the water storage tank 1.
このような従来の純水供給システムでは、ユースポイン
ト6において常時純水が使用されていない場合に(J、
枝管5bに純水の滞溜が生じ、純水中にわずかに存在覆
る微生物が増殖する場合がある。特にユースポイントは
熱処理、薬品処理のために窄温以上の温度となり易く、
微生物が増殖しヤ)すい。In such a conventional pure water supply system, when pure water is not constantly used at use point 6 (J,
Pure water may accumulate in the branch pipe 5b, and microorganisms slightly present in the pure water may proliferate. In particular, the point of use is likely to be at a temperature higher than the constriction temperature due to heat treatment and chemical treatment.
Microorganisms may proliferate.
したがってユースポイント6において長時間純水の使用
を停止したのちにユースポイント6での純水を使用する
場合には、枝管5bにおいて増殖−した微生物(バクテ
リア)を含んだ純水が供給され、洗浄物に微生物が付着
することがある。Therefore, when using the pure water at use point 6 after stopping the use of pure water for a long time at use point 6, pure water containing microorganisms (bacteria) that have grown in the branch pipe 5b is supplied. Microorganisms may adhere to washed items.
通常このような微生物はリン(P)を保有しており、こ
れが後に熱処理を施され/j場合種々の弊害を発生させ
る。Usually, such microorganisms possess phosphorus (P), which causes various adverse effects if it is subsequently subjected to heat treatment.
たとえば半導体製造工程において、P型基板上にリンを
含む微生物が付着した状態で熱処理工程を経ると、この
リンによりN形不純物が拡散されて電気的に不良となっ
てしまう。このため、半導体素子の歩留りを著しく低下
させてしまうという欠点がある。For example, in a semiconductor manufacturing process, if a P-type substrate is subjected to a heat treatment process with microorganisms containing phosphorus attached to it, the phosphorus will diffuse N-type impurities, resulting in electrical defects. Therefore, there is a drawback that the yield of semiconductor devices is significantly reduced.
したがって超純水装置4を介して供給される純水はでき
るだけ速やかに使用するか、あるいは一定量を常時垂れ
流すかしてこのような微生物の増殖を伴わないようにす
ることが望ましい。しかし、前者の如くすることは工程
管理の点からガしく、後者の如くすることは純水の使用
量の増大ひいては製品のコスト上昇を招く。Therefore, it is desirable to use the pure water supplied through the ultrapure water device 4 as quickly as possible, or to constantly drip a certain amount of it to prevent the growth of such microorganisms. However, the former method is difficult from the point of view of process control, and the latter method results in an increase in the amount of pure water used and thus in the cost of the product.
本発明は上記の従来技術の欠点を克服するためなされた
もので、純水供給システムの枝管内に純水 8
が長時間滞溜することがないようにし、微生物の増殖を
抑制づることのできる純水配給システムを提供り−るこ
とを目的とする。The present invention has been made to overcome the above-mentioned drawbacks of the prior art.
The purpose of the present invention is to provide a pure water distribution system that prevents water from stagnation for a long time and suppresses the growth of microorganisms.
上記目的を達成するため本発明は、精製された純水をユ
ースポイン1〜に供給する純水供給システムにおいて、
ユースポイントでの純水取出しがない時などにはユース
ポイントに至る枝管中の純水を貯水タンクに還流させる
ようにした純水供給システムおよびぞの方法を提供する
ものである。In order to achieve the above object, the present invention provides a pure water supply system that supplies purified pure water to use points 1 to 1.
The purpose of the present invention is to provide a pure water supply system and method in which pure water in a branch pipe leading to a use point is returned to a water storage tank when pure water cannot be taken out at a use point.
(発明の実施例)
第1図は本発明の一施例に係る純水配管システムの構成
図である。各ユースポイント6には三方弁8が設置Jら
れ、おのおのの三方弁8の1つの分岐には別に設()ら
れた還流用配管7に接続されている。この還流用配管7
の他端は貯水タンク1に接続されでおり、純水はこの三
方弁8から還流用配管7を介して貯水タンク1に回収さ
れる。1−スポイント6′C−純水を使用量る場合には
三方弁8を二し−スポイント6側に回転することにより
、超純水装置4から循環用配管5aおよび枝管5bを通
して1−−スポイント6に供給される。(Embodiment of the Invention) FIG. 1 is a block diagram of a pure water piping system according to an embodiment of the present invention. A three-way valve 8 is installed at each use point 6, and one branch of each three-way valve 8 is connected to a separately provided reflux pipe 7. This reflux pipe 7
The other end is connected to the water storage tank 1, and pure water is recovered from the three-way valve 8 to the water storage tank 1 via the reflux pipe 7. When using the 1st point 6'C-pure water, rotate the three-way valve 8 to the 2nd point 6 side to supply 1st point 6'C-pure water from the ultrapure water device 4 through the circulation piping 5a and the branch pipe 5b. --supplied to point 6.
純水を使用していない場合には循環用配管5と還流用配
管7とが接続されるように三方弁8を回転することによ
り、超純水装置4からの純水は三方弁8でバイパスされ
て還流用配管7へ流れる。When pure water is not used, by rotating the three-way valve 8 so that the circulation pipe 5 and the reflux pipe 7 are connected, the pure water from the ultrapure water device 4 is bypassed by the three-way valve 8. and flows to the reflux pipe 7.
したがって超純水装置4から排出される純水はユースポ
イント6での使用の有無にかかわらず常に循環サイクル
を形成し、ユースポイント6に至るづだ管5bで長時間
滞溜することはない。このため微生物が繁殖することは
抑制される。Therefore, the pure water discharged from the ultrapure water device 4 always forms a circulation cycle regardless of whether it is used at the point of use 6, and does not accumulate in the pipe 5b leading to the point of use 6 for a long time. Therefore, the proliferation of microorganisms is suppressed.
第3図はユースポイント6における純水の使用を所定時
間だけ停止した後、再び純水の取出しをおこなった際の
純水中に含まれるバクテリアの個数を1数した特性図で
あり、第3図(A>は従来の供給システムに対応し、第
3図(B)はこの発明にJ、る供給システムに対応する
。図から明らかなように、この発明による供給システム
を用いるとユースポイント6を長時間ストップさせても
純水の滞溜が無いため、枝管5bにおいて微生物の繁殖
がほとんどおこらない。Figure 3 is a characteristic diagram in which the number of bacteria contained in pure water is counted as 1 when pure water is taken out again after the use of pure water at use point 6 is stopped for a predetermined time. Figure (A) corresponds to the conventional supply system, and Figure 3 (B) corresponds to the supply system according to the present invention.As is clear from the figure, when the supply system according to the present invention is used, the use point Since there is no accumulation of pure water even if the water is stopped for a long time, microorganisms hardly breed in the branch pipe 5b.
なお上記の実施例では枝管のユースポイン1−側に3方
弁を設け−にれによって、枝管の純水を還流させるよう
にしたが、これに限定されるものではなく、一般にユー
スポイントで純水の取出しがないときに純水を還流させ
ることのできるものであればどのようなものであっても
よい。In the above embodiment, a 3-way valve was provided on the use point 1 side of the branch pipe, and the pure water in the branch pipe was refluxed by the valve. Any type of material may be used as long as it can reflux pure water when there is no extraction of pure water.
(発明の効果〕
以上のように本発明によれば、各ユースポイントに例え
ば分岐弁を設置しユースポイントからの純水の取出しの
有無にかかわらず超純水装置から供給される純水を循環
させるように構成したため、ユースポイントに至る枝管
で純水の滞溜が発生せず、微生物が繁殖することが無く
なるため、半導体製造工程に使用するのに適した純水を
供給することのできる純水供給システムおよびその方法
が実現できる。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, for example, a branch valve is installed at each use point, and the pure water supplied from the ultrapure water device is circulated regardless of whether or not pure water is taken out from the use point. This structure prevents pure water from accumulating in the branch pipes leading to the point of use, and prevents the growth of microorganisms, making it possible to supply pure water suitable for use in semiconductor manufacturing processes. A pure water supply system and method thereof can be realized.
l 第、□□え、、)−実0.係。。水供給
ッユテムの構成図、第2図は従来の純水供給システムの
構成図、第3図はユースポイントの停止時間とバクテリ
アの発生個数との関係を比較して示す特性図である。
4・・・超純水装置、5a・・・循環用配管、5b・・
・枝管、6・・・ユースポイント、7・・・)?流用配
管、8・・・三方弁(分岐弁)。
出願人代理人 猪 股 清
←
・、−
鬼
(A)
一ユースポイントストップ
3図
(B)l No., □□E,,)-Real 0. Person in charge. . FIG. 2 is a block diagram of a conventional pure water supply system, and FIG. 3 is a characteristic diagram comparing the relationship between the use point stop time and the number of bacteria generated. 4... Ultrapure water device, 5a... Circulation piping, 5b...
- Branch pipe, 6... Point of use, 7...)? Diversion piping, 8... Three-way valve (branch valve). Applicant's agent Kiyoshi Inomata ← ・、− Oni (A) One use point stop 3 diagram (B)
Claims (1)
循環させる循環用配管と、一端が前記循環用配管に接続
され他端がユースポイントに接続された枝管と、この枝
管のユースポイント側に設けられた分岐弁と、一端が前
記分岐弁の少なくとも1つの分岐に接続され前記枝管か
ら前記貯水装置へ純水を還流させるようにした還流用配
管とを備える純水供給システム。。 2、前記分岐弁は三方弁である特許請求の範囲第1項記
載の純水供給システム。 3、精製された純水を貯水装置から循環用配管を介して
循環させ、一端を前記循環用配管に接続した枝管を介し
て純水をユースポイントに供給する純水供給方法におい
て、 少なくとも前記ユースポイントで純水の取り出しがない
ときは、前記枝管のユースポイント側から純水を前記貯
水装置へ還流させるようにしたことを特徴とする純水供
給方法。[Scope of Claims] 1. A circulation pipe that circulates purified pure water from a water storage device along a predetermined route, and a branch pipe whose one end is connected to the circulation pipe and the other end is connected to a point of use. a branch valve provided on the use point side of the branch pipe; and a reflux pipe whose one end is connected to at least one branch of the branch valve to return pure water from the branch pipe to the water storage device. A pure water supply system equipped with . 2. The pure water supply system according to claim 1, wherein the branch valve is a three-way valve. 3. In a pure water supply method in which purified pure water is circulated from a water storage device through a circulation pipe and the pure water is supplied to a point of use via a branch pipe whose one end is connected to the circulation pipe, at least the above-mentioned method is provided. A pure water supply method characterized in that when pure water is not taken out at a use point, the pure water is returned to the water storage device from the use point side of the branch pipe.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12320284A JPS614587A (en) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | Demineralized water supply system and its method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP12320284A JPS614587A (en) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | Demineralized water supply system and its method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS614587A true JPS614587A (en) | 1986-01-10 |
Family
ID=14854721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP12320284A Pending JPS614587A (en) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | Demineralized water supply system and its method |
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Country | Link |
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JP (1) | JPS614587A (en) |
Cited By (4)
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-
1984
- 1984-06-15 JP JP12320284A patent/JPS614587A/en active Pending
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