JPS6138179A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS6138179A JPS6138179A JP15871584A JP15871584A JPS6138179A JP S6138179 A JPS6138179 A JP S6138179A JP 15871584 A JP15871584 A JP 15871584A JP 15871584 A JP15871584 A JP 15871584A JP S6138179 A JPS6138179 A JP S6138179A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- adsorbent
- auxiliary
- expansion unit
- stage expansion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、クライオポンプに係り、特に大気圧下で沸点
が20に以下の低沸点物質を吸着除去して減圧排気する
のに好適なりライオポンプに関するものである。
が20に以下の低沸点物質を吸着除去して減圧排気する
のに好適なりライオポンプに関するものである。
大気圧下で沸点が20に以下の低沸点物質(以下、低沸
点物質と略)1例えば、水素、ヘリウム等を吸着除去し
て減圧排気するクライオポンプとしては、例えば、特公
昭58−25873号公報記載のように、冷凍機で発生
した寒冷により冷却される低温パネルの内面に活性炭な
エポキシで接着したものが知られている。
点物質と略)1例えば、水素、ヘリウム等を吸着除去し
て減圧排気するクライオポンプとしては、例えば、特公
昭58−25873号公報記載のように、冷凍機で発生
した寒冷により冷却される低温パネルの内面に活性炭な
エポキシで接着したものが知られている。
二のようなりライオポンプでは、活性炭による低沸点物
質の吸着除去を目的としており、活性炭の低沸点物質吸
着能力がクライオポンプの運転操作性に与える影響は考
慮されていない。
質の吸着除去を目的としており、活性炭の低沸点物質吸
着能力がクライオポンプの運転操作性に与える影響は考
慮されていない。
本発明の目的は、吸着剤の低沸点物質吸着能力を向上さ
せることで、クライオポンプの運転操作性を向上できる
クライオポンプを提供することにある。
せることで、クライオポンプの運転操作性を向上できる
クライオポンプを提供することにある。
本発明は、温度20に以下に冷却されるパネルに吸着剤
を貼付した補助パネルを複数段設けたことを特徴とする
もので、吸着剤の貼付は面積を増加することで、吸着剤
の低沸点物質吸着能力を向上させるようにしたものであ
る。
を貼付した補助パネルを複数段設けたことを特徴とする
もので、吸着剤の貼付は面積を増加することで、吸着剤
の低沸点物質吸着能力を向上させるようにしたものであ
る。
〔発明の実施例ゴ
本発明の一実施例を第1図、第2図により説明する。
第1因で、この場合、寒冷発生源は、例えば、蓄冷器式
冷凍1!10で、蓄冷器式冷凍$30は、この場合、第
1段膨張按1】と第2段膨張機】2とを有している。第
1段膨張機11と第2段膨張機J2とは、ケーシング】
3内に収容され、ケーシング13内は被排気体14と連
通させられている。第1段膨張機】1のコールドステー
ションには、断面形状がU字形の第1パネルJ5が開放
端を被排気体14に向けて設けられている。第1パネル
J5の開放端にはバッフル】6が設けられている。第2
段膨張812のコールドステーションには断面形状がU
字形の第2パネル17が開放端を@1パネルJ5の底壁
に向けて設りられている。第2パネル17の大きさは、
第]パネル】5内に収容可能な大きさである。第2パネ
ル】7は、第2段膨!機12で発生した寒冷をコールド
ステーションを介して受取り、これによって湿度20に
以下、15〜20Kに冷却される。
冷凍1!10で、蓄冷器式冷凍$30は、この場合、第
1段膨張按1】と第2段膨張機】2とを有している。第
1段膨張機11と第2段膨張機J2とは、ケーシング】
3内に収容され、ケーシング13内は被排気体14と連
通させられている。第1段膨張機】1のコールドステー
ションには、断面形状がU字形の第1パネルJ5が開放
端を被排気体14に向けて設けられている。第1パネル
J5の開放端にはバッフル】6が設けられている。第2
段膨張812のコールドステーションには断面形状がU
字形の第2パネル17が開放端を@1パネルJ5の底壁
に向けて設りられている。第2パネル17の大きさは、
第]パネル】5内に収容可能な大きさである。第2パネ
ル】7は、第2段膨!機12で発生した寒冷をコールド
ステーションを介して受取り、これによって湿度20に
以下、15〜20Kに冷却される。
第j図、第2図で、この場合、第2段膨張機12の外側
で、かつ、第2パネル17の内側の位置で形状が筒状の
補足パネルJ8が設けられている。補足パネル18の一
端(第1図、第2図では上端)は、第2パネル17の、
この場合、頂壁内面に設けられている。第2パネルJ7
への補足パネル18の設は方は、できるだけ熱抵抗が少
ない設は方が好ましいが、ロー付けでも、ネジ止めでも
良い。補足パネル】8の外側には、この場合、高さ方向
に4段補助パネル】9が環装されている。即ち、補助パ
ネル】9は内周端部にカラー20を有する構造のもので
あり、カラー20を補足パネル18に圧入することで環
装される。各段の補助パネル】9の両面には、活性炭等
の吸着剤2Jが貼付けられており、又、補足パネル〕8
の上端部にも吸着剤21が貼付けられている。各段の補
助パネル」9の直径D2は、第2パネル17の直径り、
よりも30フ程度小さくすれば良(、補助パネル19の
段間隔りは10〜15Mで良い。
で、かつ、第2パネル17の内側の位置で形状が筒状の
補足パネルJ8が設けられている。補足パネル18の一
端(第1図、第2図では上端)は、第2パネル17の、
この場合、頂壁内面に設けられている。第2パネルJ7
への補足パネル18の設は方は、できるだけ熱抵抗が少
ない設は方が好ましいが、ロー付けでも、ネジ止めでも
良い。補足パネル】8の外側には、この場合、高さ方向
に4段補助パネル】9が環装されている。即ち、補助パ
ネル】9は内周端部にカラー20を有する構造のもので
あり、カラー20を補足パネル18に圧入することで環
装される。各段の補助パネル】9の両面には、活性炭等
の吸着剤2Jが貼付けられており、又、補足パネル〕8
の上端部にも吸着剤21が貼付けられている。各段の補
助パネル」9の直径D2は、第2パネル17の直径り、
よりも30フ程度小さくすれば良(、補助パネル19の
段間隔りは10〜15Mで良い。
−例として、従来のクライオポンプにおける第2パネル
の直径を1808.第2パネルの高さを12ow、第2
段膨張機のコールドステーションの直径を40問として
吸着剤の貼!−Jけ面積を計算すると、0.092m’
となる。これに対し本実施例のクライオポンプでは、例
えば、補助パネル19の直径I)2= 150 M、補
足パネル18の内径d、=60閣、補助パネルj9の段
間隔h=15wAとすれば、吸着剤の貼付は面積は0.
237dと倍増できる。
の直径を1808.第2パネルの高さを12ow、第2
段膨張機のコールドステーションの直径を40問として
吸着剤の貼!−Jけ面積を計算すると、0.092m’
となる。これに対し本実施例のクライオポンプでは、例
えば、補助パネル19の直径I)2= 150 M、補
足パネル18の内径d、=60閣、補助パネルj9の段
間隔h=15wAとすれば、吸着剤の貼付は面積は0.
237dと倍増できる。
本実施例のようなりライオポンプでは、次のような効果
を得ることができる。
を得ることができる。
fil 吸着剤の貼付は面積を増加できるため、吸着
剤の低沸点物質吸着能力を向上でき脱着操作の頻度が少
なくなliクライオポンプの運転操作性を向上できる。
剤の低沸点物質吸着能力を向上でき脱着操作の頻度が少
なくなliクライオポンプの運転操作性を向上できる。
(21!2パネルの内面に吸着剤を貼付しないため、N
、、 O,、Ar等を凝縮捕集する第2パネルの表面積
を増加できる。
、、 O,、Ar等を凝縮捕集する第2パネルの表面積
を増加できる。
(3) 補足パネルに吸着剤を貼付した補助パネルを
多段に設けているため、第2パネルの外径を大きくする
必要がなくクライオポンプの大型化を防止できる。
多段に設けているため、第2パネルの外径を大きくする
必要がなくクライオポンプの大型化を防止できる。
本発明の他の実施例を第3図に示す。
第3図で、本発明の一実施例を示す[図と異なる点は、
第2パネルj7の筒状壁に)」\孔22を多数穿設した
点である。
第2パネルj7の筒状壁に)」\孔22を多数穿設した
点である。
g、:’l FBIで一イ任廓占物暫fふス葺−、TJ
p位を寸−−幻らの小孔22を通って補助パネル19上
の吸着剤2Jに吸着されるので補助パネル】9の直径D
2をDlにさらに近づけることができ、吸着剤力の貼付
は面積を増すことができる。
p位を寸−−幻らの小孔22を通って補助パネル19上
の吸着剤2Jに吸着されるので補助パネル】9の直径D
2をDlにさらに近づけることができ、吸着剤力の貼付
は面積を増すことができる。
すなわち、小孔22がないときには低沸点物質のガスで
あるH2. He等は第2パネル17の下端を廻って第
2パネル17の筒状壁と補助パネル19との間を通って
吸着剤2Jに吸着されるので、上部の補助パネルff9
まで有効に利用するには筒状壁と補助バネ 。
あるH2. He等は第2パネル17の下端を廻って第
2パネル17の筒状壁と補助パネル19との間を通って
吸着剤2Jに吸着されるので、上部の補助パネルff9
まで有効に利用するには筒状壁と補助バネ 。
ル19との隙間を158程度(D2トD1(7)差Tl
130mm程度)設けなければならないLjわども、小
孔22があれば、その必要がないわけである。
130mm程度)設けなければならないLjわども、小
孔22があれば、その必要がないわけである。
ただしその場合には第】パネル15からのふく射熱が/
I)孔22を通って直接、吸着吸21に負荷されるので
第1パネルJ5の内面を黒色にしたl〕、小孔22の形
状を工夫したりすることが必要になる。
I)孔22を通って直接、吸着吸21に負荷されるので
第1パネルJ5の内面を黒色にしたl〕、小孔22の形
状を工夫したりすることが必要になる。
いずれにしても本実施例によれば吸着剤の貼付は面積を
増すことができるのでさらに性能向上を図れるという効
果がある。
増すことができるのでさらに性能向上を図れるという効
果がある。
本発明は、以上説明したように、温度20に以下に冷却
されるパネルに吸着剤を貼付した補助パネルを複数段設
けたことで、吸着剤の貼付は面積を増加できメ吸着剤の
低沸点物質吸着使方を向上できるので、クライオポンプ
の運転操作性を向上できるという効果がある。
されるパネルに吸着剤を貼付した補助パネルを複数段設
けたことで、吸着剤の貼付は面積を増加できメ吸着剤の
低沸点物質吸着使方を向上できるので、クライオポンプ
の運転操作性を向上できるという効果がある。
第1図は、本発明によるクライオポンプの一実施例を示
す縦断面図、第2図は第1図の部分拡大縦断面図、第3
図は本発明によるクライオポンプの他の実施例を示す縦
断面図である。
す縦断面図、第2図は第1図の部分拡大縦断面図、第3
図は本発明によるクライオポンプの他の実施例を示す縦
断面図である。
Claims (1)
- 1、温度20K以下に冷却されるパネルに吸着剤を貼付
した補助パネルを複数段設けたことを特徴とするクライ
オポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15871584A JPS6138179A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15871584A JPS6138179A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | クライオポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6138179A true JPS6138179A (ja) | 1986-02-24 |
Family
ID=15677766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15871584A Pending JPS6138179A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | クライオポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6138179A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02298765A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-12-11 | Mitsubishi Electric Corp | 多段式蓄冷型冷凍機及びそれを組み込んだ冷却装置 |
JPH02308985A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-21 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプにおけるクライオパネル |
JPH0512674U (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-19 | 岩谷産業株式会社 | 冷凍機付きソープシヨンポンプ |
FR2793851A1 (fr) * | 1999-01-13 | 2000-11-24 | Helix Tech Corp | Cryopompe haute capacite |
JP2009275672A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
JP2017015098A (ja) * | 2011-02-09 | 2017-01-19 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプ |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15871584A patent/JPS6138179A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02298765A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-12-11 | Mitsubishi Electric Corp | 多段式蓄冷型冷凍機及びそれを組み込んだ冷却装置 |
JPH02308985A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-21 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプにおけるクライオパネル |
JPH0512674U (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-19 | 岩谷産業株式会社 | 冷凍機付きソープシヨンポンプ |
FR2793851A1 (fr) * | 1999-01-13 | 2000-11-24 | Helix Tech Corp | Cryopompe haute capacite |
US6155059A (en) * | 1999-01-13 | 2000-12-05 | Helix Technology Corporation | High capacity cryopump |
JP2009275672A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
JP2017015098A (ja) * | 2011-02-09 | 2017-01-19 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプ |
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