JPS6136715A - 多関節反射鏡式マニピユレ−タ - Google Patents

多関節反射鏡式マニピユレ−タ

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Publication number
JPS6136715A
JPS6136715A JP15763384A JP15763384A JPS6136715A JP S6136715 A JPS6136715 A JP S6136715A JP 15763384 A JP15763384 A JP 15763384A JP 15763384 A JP15763384 A JP 15763384A JP S6136715 A JPS6136715 A JP S6136715A
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JP
Japan
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mirror holder
mirror
optical axis
manipulator
screw
Prior art date
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Pending
Application number
JP15763384A
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English (en)
Inventor
Takeshi Kinoshita
剛 木下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1824Manual alignment
    • G02B7/1825Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping

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  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は多関節反射鏡式マニピュレータ、例えば、レー
ザー手術装置に用いられる多関節反射鏡式マニピュレー
タであって、特にその反射ミラー調整装置に関するもの
である。
〔従来装置〕
従来、この種の装置の関節部の一例としては第7図に示
すようなものがあった。
すなわち1図において、符号/は入射光軸1.2は出射
光軸、3はハウジング、ダはハウジング3に設けられた
反射ミラー設置のための開口部、5は軸受6を介してハ
ウジング3の一端が回転自在に支持されているアーム、
7は反射ミラーlが一面に取り付けられているミラーホ
ルダ、デはミラーホルダクをハウジ″ング3に押し付け
るように作用する押ばね、10はミラーホルダクをハウ
ジング3から離すように作用する引ねじ、//は入射光
軸lと出射光軸コとはげ等角に傾斜する開口部ダの開口
の細心、lコは反射ミラーtの回転軸である。
従来装置は上記のように構成されるが1次にその作用に
ついて説明する。
多関節反射鏡式マニピュレータでは第1図に示す関節部
が複数個接続されレーザービームな導いていくものであ
る。それ如もし反射ミラーlへの入射光軸lと反射ミラ
ーの回転軸lコとが一致していない場合には1反射ミラ
ーlの回転によって。
出射光軸コは芯プレはレーザービームの伝達距離が長く
なるKつれて拡大し、最終的にはアームの内壁に当たり
、以後、レーザービームが伝達されなくなってしまうも
のである。従って、このような関節部では入射光軸と反
射ミラーの回転軸とが常圧一致するように各関節部で調
整されていなければならず、また、ショック等により光
軸が狂わない構造でなくてはならない。
以上のような調整をするために、第1図に示す従来装置
においては押ねじりと引ねじ10とが6σ間隔で7個お
きに設けられている。今、この押ねじと引ねじな適宜、
前進、後退させることによって、ミラーホルダクの傾斜
角度及び前後方向の調節を行ない、最終的に反射ミラー
lの回転軸/、2と入射光軸lとを完全に一致させ、か
つ入射光軸lと反射光軸コが直交するよ5tCIIiI
整する。
従来の多関節反射鏡式マニピュレータの関節部は以上の
ように構成されかつ調節されるので、ミラーホルダ7は
押ねじデ、引ねじ/Qの微妙なバランスによって調節し
保持されているために、外部ショックによって簡単に変
位させられ、その結果、光軸が狂うことがしばしばあっ
た。また、従来の構造では、反射ミラーtの角度調整及
び前後位置の調節を同時に行なわなければならず、そし
て、この両者は相互に関連しており、一方のみを単独で
調整することはできず、従って、同時に調整することは
非1gK難しいという欠点があった。
〔発明の概要〕
本発明は、上記のような従来装置の欠点を除去して、容
易に反射ミラーの角度調整及び前後位置調整が可能な多
関節反射鏡式マニピュレータを得ることを目的としてな
されたものであって、そのために1前後位置は構成部品
の加工精度によってこれを確保し5反射ミラーの角度調
整のみを行い。
しかも、一度iIi!整したら容易に狂わないようKす
るために、入射光軸と出射光軸とが直交する点にミラー
ホルダの一面に取り付けられた反射ミラーがあるように
ミラーホルダをハウジングとの間にばねを介して設け、
ハウジングに固定されたばね受けに設置の複数個の調整
ねじにより、ミラーホルダの背面及びばね受けのミラー
ホルダ側の面のいずれか一方の中央に設置されて他方に
当接している矢起部ケ中心としてミラーホルダを揺動さ
せて反射ミラーの角度を調整可能とすると共にv!4整
ねじを回動不能に固定したミラー調整機構を有する関節
部を供えた多関節反射鏡式マニピュレータを提供するも
のである。
〔発明の実施例〕
以下1本発明をその一実施例を示す図に基づいて説明す
る。
第一図、第3図及び第一図において、入射光軸1、出射
光軸コ、アームよ、軸受61反射ξブラーはいずれも従
来装置におけるものと同等のものであり2また。符号コ
lは従来のハウジングJとハハ同様の構成を有するハウ
ジングであって、入射光軸lと出射光軸コとKはぼ等角
に傾斜する開口の細心2.2を有するように、従来装置
とほぼ同様の開口部コ3が形成されている。また、コク
は反射ミラーtの回転軸、コ5はハウジングコ/に取り
付けられたばね受けであって、ばね受コ3にはミラーホ
ルダコロを背後から押圧する複数個の調整ねじコクが設
けられていると共に、調整ねじλ7のねじ穴を横断して
スリン)Jrが形成されている。また、コブはミラーホ
ルダー6とハウジングλlとの間に設けられてミラーホ
ルダー6を後退させるように作用するばねであり、J(
IIはミラーホルダー乙のばね受−j側の中央に設けら
れた突起部であって、ミラーホルダコロは、この突起部
30によってばね受コ5に当たるようにばね、2fKよ
り押され【おり、また、その接点を中心として調整ねじ
コクにより揺動するように構成され【いる。また、31
はスリットコjの調整ねじコアのねじ大近辺の間隔を狭
めて調整ねじコクの回動を不能にし固定する固定ねじ、
3コはばね受げλ5の取付ねじである。
また、このように構成されるミラーホルダコロに設置の
ミラーtは、ミラーホルダコロ、ばね受コjの加工精度
により、入射光軸l及び出射光軸−の交点にあるように
構成されている。
次に本発明装置の作用について説明する。
今反射ミラーtの面の位置は、取付ねじjJKよりハウ
ジングコ/に取り付は固定されたばね受コjK、ミラー
ホルダー6の突起部3oがばねJ?により押圧して当接
している状態において、ミラーホルダコ基、ハウジング
λl及びばね受コ!の機械加工精度により、入射光軸/
と出射光軸−の交点くあるものとする。なおこの程度の
機械加工精度は通常の機械設備で十分可能であり、困難
な加工ではない。
この状態において、複数個例えば3本の調整ねじコクを
適宜、前進、後退させることKよって、ミラーホルダー
6をその突起部30を中心にし【揺動させ、このミラー
ホルダコロの揺動により反射ミラーtの角度を調整する
。角度の調整が完了したならば、固定ねじ31を締め付
ける。この固定ねじ31の締め付けKよりばね受け25
に形成されたスリットコtのすきまは縮まり、従って、
調整ねじコアは回動不能になって固定され、その結果、
外部ショックによっても容易に緩まなくなる。ミラーホ
ルダー6はばねコ2により常にばね受はコjVc押し付
けられて、その位置を保持する。
なお、ミラーホルダー6を揺動させて反射ミラーjの角
度を調整した場合にあっても、反射ミラーIの面に前後
移動量は1反射ミラーの周辺部は大きくても中心部は捻
とんど零であり、光軸変化への影響ははとんど無視でき
る。
以上のように本発明の反射ミラーの調整装置は角度調整
のみを行なえばよ<、シかも、その調整方法はきわめて
簡単であって熟練を要しない。また、一度調整した後は
簡単に固定でき、外部ショックを受けても容易に狂わな
い構造となっており。
かつ、再調整も容易に行ない得る。
なお、上記実施例においては、調整ねじコクの回動を不
能にし固定するために、スリットコを及び固定ねじ31
を設けたが、必ずしもこれに限ることはなく、その他公
知の固定手段例えばロックナツト等による固定によって
もよく、また、突起部30をミラーホルダ、26に設け
たが、これもばね受げコjK設けてもよい。
〔発明の効果〕
以上のようK、本発明によれば9反射ミラーの調整を角
度調整のみKしたので、光軸調整が會わめて容易となり
、かつ、外部ショックを受けても光軸が狂わず、また装
置も安価に製作することができ、使用に際しての保守上
のトラブルも生じない多関節反射鏡式マニピュレータが
得られるという効果を有している。
【図面の簡単な説明】
第7図は従来の多関節反射鏡式マニピュレータの関節部
の縦断面図、第一図は本発明の一実施例による多関節反
射鏡式マニピュレータの関節部の第3図の■−■−■線
による縦断面図、第3図は第一図の矢印mKよる矢視図
、第7図は第3図のIV−IV線による断面図である。 /拳・入射光軸、−・・出射光軸、J、2/@・ハウジ
ング、e、23・・開口部、!−−アーム、6@e軸受
、ワ、コロ・・ミラーホルダ、「φ・反射ミラー、//
、ココ争11開口の細心、ノコ。 コク・−回転軸、コ5・−ばね受け1.2り−II調整
ねじ%コざ・・スリット、コブ−・ばね、JOΦ・突起
部、31・ψ固定ねじ、3コe・取付ねじ。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を焔1図 2j″ 羊2図 第3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)反射ミラーを備えた複数の関節部と該関節部を介
    して互いに連結されると共にその内部にレーザービーム
    を通過させるアームとを有し、該関節部の少なくとも一
    端はこの一端に接続されるアームに回転自在に連結され
    、これによつて入射レーザービームを任意の位置に伝送
    するようにした多関節反射鏡式マニピュレータにおいて
    、入射光軸と出射光軸とが直交する点にミラーホルダの
    一面に取り付けられた反射ミラーが在るようにミラーホ
    ルダをハウジングとの間にばねを介して設け、ハウジン
    グに固定されたばね受けに設置の複数個の調整ねじによ
    り、ミラーホルダの背面及びばね受けのミラーホルダ側
    の面のいずれか一方の中央に設けられてミラーホルダ及
    びばね受けの他方に当接する突起部を中心としてミラー
    ホルダを揺動させて反射ミラーの角度を調整可能とする
    と共に調整ねじを回動不能に固定していることを特徴と
    する多関節反射鏡式マニピュレータ。
  2. (2)調整ねじを回動不能に固定している装置が、調整
    ねじのねじ穴を横断するようにばね受けに形成されたス
    リットと、ねじ穴部のスリットの間隔を締めつけによつ
    て狭ばめるように設けられた固定ねじとからなる特許請
    求の範囲第1項記載の多関節反射鏡式マニピュレータ。
JP15763384A 1984-07-30 1984-07-30 多関節反射鏡式マニピユレ−タ Pending JPS6136715A (ja)

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