JPS6133641Y2 - - Google Patents
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- JPS6133641Y2 JPS6133641Y2 JP1981092112U JP9211281U JPS6133641Y2 JP S6133641 Y2 JPS6133641 Y2 JP S6133641Y2 JP 1981092112 U JP1981092112 U JP 1981092112U JP 9211281 U JP9211281 U JP 9211281U JP S6133641 Y2 JPS6133641 Y2 JP S6133641Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、半導体集積回路などの製造に用いら
れるフオトマスク（以下単にマスクという）のパ
ターンサイズを読取つて識別するマスクサイズ読
取装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a mask size reading device for reading and identifying the pattern size of a photomask (hereinafter simply referred to as a mask) used in the manufacture of semiconductor integrated circuits and the like.
従来、マスクのパターンサイズはマスク搭載用
カセツトにのせられた状態では判別する事が困難
であり、そのために作業途中でマスクのパターン
サイズを確認する必要が生じた時には、いつたん
マスクをカセツトから取外して行う必要があり、
非常に煩雑であつた。 Conventionally, it has been difficult to determine the pattern size of a mask when it is placed in a mask mounting cassette, so when it becomes necessary to check the pattern size of a mask during work, it is necessary to remove the mask from the cassette. It is necessary to
It was extremely complicated.
本考案の目的は、マスクをカセツトに塔載した
ままマスクのパターンサイズの読取りが出来るマ
スクサイズ読取装置を提供するにある。 An object of the present invention is to provide a mask size reading device that can read the pattern size of a mask while the mask is placed in a cassette.
本考案は、マスク搭載用カセツトにマスクサイ
ズを２進コード化した被検出コード部を設けると
ともに、このカセツトを保持して所定方向に移動
させるカセツト送り出し機構に前記被検出コード
部と同一ピツチの基準コード部を設け、前記被検
出コード部を第１のセンサで読取るようにすると
ともに、基準コード部を第２のセンサで読取るよ
うにし、かつ、この第２のセンサが基準コード部
の存在を検出する事により作り出す同期信号に同
期して第１のセンサの検出信号を読取つて被検出
コード部の２進コードの識別を行なう識別手段を
設け、これにより、識別手段からの出力信号で現
在、カセツト送り出し機構に保持されているマス
クのパターンサイズを識別するようにして前記目
的を達成しようとするものである。 In the present invention, a mask mounting cassette is provided with a code section to be detected in which the mask size is encoded in binary, and a cassette feeding mechanism that holds and moves this cassette in a predetermined direction is provided with a standard having the same pitch as the code section to be detected. A code section is provided, the detected code section is read by a first sensor, and a reference code section is read by a second sensor, and the second sensor detects the presence of the reference code section. An identification means is provided for reading the detection signal of the first sensor in synchronization with the synchronization signal generated by the above-mentioned operation to identify the binary code of the detected code section. This object is achieved by identifying the pattern size of the mask held by the delivery mechanism.
以下、本考案の一実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail based on the drawings.
第１図には本実施例の概略機構が示され、この
図において、マスク１は、マスク搭載用カセツト
２の中央部に装着されており、このカセツト２の
一側には被検出コード部としての２進コード化し
た穴３が等ピツチで形成されている。即ち、穴３
の有無をデイジタル信号の“１”“０”に対応さ
せることにより、例えば３個の穴３の組合せによ
り８種類のマスクコードを識別することが出来、
マスクサイズに応じてコード化された穴３の組合
せが対応ずけられるようになつている。この際、
２進コード化された穴３は最初からコード化して
あけても良いが、最初にすべての穴をあけておき
マスクサイズに対応して不必要な穴をふさぐこと
によつても実現できる。本実施例においては穴径
を４mmφ，穴間ピツチを20mmとしたが、特にこれ
に限定されるものではない。 FIG. 1 shows a schematic mechanism of this embodiment. In this figure, a mask 1 is mounted in the center of a mask mounting cassette 2, and one side of this cassette 2 has a code section to be detected. Holes 3 encoded in binary code are formed at equal pitches. That is, hole 3
By associating the presence or absence of the digital signal with "1" and "0" of the digital signal, for example, eight types of mask codes can be identified by a combination of three holes 3.
Combinations of coded holes 3 are matched according to the mask size. On this occasion,
The binary coded holes 3 may be coded and drilled from the beginning, but it can also be realized by first drilling all the holes and then closing unnecessary holes according to the mask size. In this embodiment, the hole diameter was 4 mmφ and the hole pitch was 20 mm, but the invention is not particularly limited to this.
前記カセツト２はアーム４により保持され、こ
のアーム４は一端に二肢状部４Ａを備え、この二
肢状部４Ａは図示しないシリンダなどの駆動機構
により開閉動作され、この開閉動作に伴なつてマ
スク搭載用カセツト２を保持もしくは開放できる
ようにされている。また、アーム４の途中には流
体圧作動のシリンダ５が設けられ、このシリンダ
５のピストン５Ａがアーム４の途中に固定される
ことにより、シリンダ５に導入される圧縮空気な
どの圧力流体によつてアーム４が作動され、所定
速度で所定方向に移動されるようになつている。
この際、本実施例ではアーム４の送り出し速度は
約25mm／ｓで図面中に太い矢印で示した左方向に
移動されている。また、これらのアーム４とシリ
ンダ５とによりカセツト送り出し機構６が構成さ
れている。 The cassette 2 is held by an arm 4, which has a two-limbed portion 4A at one end, which is opened and closed by a drive mechanism such as a cylinder (not shown). The mask loading cassette 2 can be held or opened. Further, a cylinder 5 operated by fluid pressure is provided in the middle of the arm 4, and by fixing a piston 5A of this cylinder 5 in the middle of the arm 4, pressure fluid such as compressed air introduced into the cylinder 5 can be used. The arm 4 is then actuated and moved in a predetermined direction at a predetermined speed.
At this time, in this embodiment, the arm 4 is moved at a speed of approximately 25 mm/s to the left as indicated by a thick arrow in the drawing. Further, these arms 4 and cylinders 5 constitute a cassette feeding mechanism 6.
前記カセツト２の穴３が通過する位置には、被
検出コード部としての穴３の有無を検出する第１
のセンサとしての第１の光学的センサ７が設置さ
れている。即ち、光学的センサ７は、送光器７Ａ
と受光器７Ｂとから構成され、送光器７Ａから送
られた光線は穴３の有無によりパルス信号に変換
されて、受光器７Ｂで電気パルス信号として検出
されるようになつている。 At the position through which the hole 3 of the cassette 2 passes, there is a first hole 3 for detecting the presence or absence of the hole 3 as a code section to be detected.
A first optical sensor 7 as a sensor is installed. That is, the optical sensor 7 is the light transmitter 7A.
The light beam sent from the light transmitter 7A is converted into a pulse signal depending on the presence or absence of the hole 3, and is detected as an electric pulse signal by the light receiver 7B.
前記アーム４、シリンダ５を含むカセツト送り
出し機構６の後端には、基準コード部としての棒
状（エツジ状）の突出部８が穴３と同一ピツチで
設けられており、この突出部８を検出するための
第２のセンサとしての第２の光学的センサ９が突
出部８を挾むように設置されている。この第２の
光学的センサ９は、前記第１の光学的センサ７と
同様に送光器と受光器とが一組となつて設けられ
ており、アーム４が一定方向（矢印方向）に一定
速度で移動されると、突出部８と光学的センサ９
とにより読取り同期信号が得られる。また、穴３
と第１の光学的センサ７とによりマスクコード信
号が得られ、これらの読取り同期信号及びマスク
コード信号とは、２進コードの識別を行なう識別
手段１０に送られ、マスクコードの解読と表示等
とがなされるようになつている。 At the rear end of the cassette feeding mechanism 6 including the arm 4 and the cylinder 5, a bar-shaped (edge-shaped) protrusion 8 serving as a reference cord is provided at the same pitch as the hole 3, and this protrusion 8 is detected. A second optical sensor 9 serving as a second sensor is installed to sandwich the protrusion 8. Like the first optical sensor 7, this second optical sensor 9 is provided with a light transmitter and a light receiver as a set, and the arm 4 is fixed in a certain direction (arrow direction). When moved at speed, the protrusion 8 and the optical sensor 9
A read synchronization signal is obtained. Also, hole 3
A mask code signal is obtained by the first optical sensor 7 and the reading synchronization signal and the mask code signal are sent to the identification means 10 for identifying the binary code, and the mask code is decoded and displayed. It is beginning to be done.
第２図は、このようにして得られた読取り同期
信号１１と、マスクコード信号１２との関係を示
した波形図である。この読取り同期信号１１は比
較的狭い幅のパルスとされ、そのピツチは本実施
例では前述のように20mmとされ、一方、マスクコ
ード信号１２は比較的広い幅、本実施例では前述
のように４mmの幅のパルスとされ、そのピツチは
前記読取り同期信号１１と同一の20mmとされ、こ
れらの両信号１１，１２の中心位置がほぼ一致す
るように前記穴３の位置及び突出部８の位置が設
定されている。 FIG. 2 is a waveform diagram showing the relationship between the read synchronization signal 11 and the mask code signal 12 obtained in this manner. The read synchronization signal 11 is a pulse with a relatively narrow width, and its pitch is 20 mm as described above in this embodiment.On the other hand, the mask code signal 12 is a pulse with a relatively wide width, as described above in this embodiment. The pulse has a width of 4 mm, and its pitch is 20 mm, which is the same as the read synchronization signal 11. The position of the hole 3 and the position of the protrusion 8 are adjusted so that the center positions of both signals 11 and 12 almost coincide. is set.
これにより、読取り同期信号１１のタイミング
でマスクコード信号１２を読取れば、マスク１の
パターンサイズ（マスクサイズ）が読取れること
となる。また、第２図に示した両者の関係はマス
クコードが〈101〉の場合を示している。この
際、突出部８を設けて読取り同期信号１１を作り
出し、これに同期してマスクコード信号１２を読
取るようにしたのは、マスクコード信号１２だけ
であると、読出し開始位置及び読出し終了位置の
設定をする必要が生じ、読取り機構が複雑となる
からである。また、読取り同期信号１１がマスク
コード信号１２の中心に位置するように穴３と突
出部８との相対位置が定められているのは、読取
り同期信号１１がマスクコード信号１２の端部に
位置すると、カセツト送り出し機構６の速度むら
や、突出部８のピツチずれなどの影響で、穴３の
２重読みなどの誤動作を起こすおそれがあるため
である。 As a result, if the mask code signal 12 is read at the timing of the read synchronization signal 11, the pattern size (mask size) of the mask 1 can be read. Further, the relationship between the two shown in FIG. 2 shows the case where the mask code is <101>. At this time, the protrusion 8 is provided to generate the read synchronization signal 11, and the mask code signal 12 is read in synchronization with this. This is because settings need to be made and the reading mechanism becomes complicated. Furthermore, the relative position of the hole 3 and the protrusion 8 is determined so that the read synchronization signal 11 is located at the center of the mask code signal 12. This is because malfunctions such as double reading of the holes 3 may occur due to uneven speed of the cassette feeding mechanism 6, pitch deviation of the protrusion 8, etc.
上述のような本実施例によれば、マスク搭載用
カセツト２に被検出コード部として２進コード化
された穴３を設け、この穴３を第１の光学的セン
サ７で読取るようにするとともに、この読取りの
基準位置を、カセツト送り出し機構６に設けられ
た突出部８と第２の光学的センサ９とにより与え
るようにしたから、マスク１をカセツト２から取
外すことなくマスクサイズを識別することができ
る。また、その識別は、穴３、突出部８及び第
１，第２の光学的センサ７，９で行なうものであ
るから、磁気等の影響を受けず確実であり、か
つ、穴３等の加工も簡易であり、安価に提供でき
る。さらに、本実施例では、アーム４の送り出し
は約25mm／ｓとしたが、読取り同期信号１１とマ
スクコード信号１２との関係を前述の如く好まし
い関係に設定したため、カセツト送り出し機構６
の速度むらは±80％まで余裕を保つことが出来
た。 According to this embodiment as described above, the mask loading cassette 2 is provided with a hole 3 coded in binary as a code section to be detected, and this hole 3 is read by the first optical sensor 7. Since the reference position for this reading is provided by the protrusion 8 provided on the cassette feeding mechanism 6 and the second optical sensor 9, the mask size can be identified without removing the mask 1 from the cassette 2. Can be done. In addition, since the identification is performed using the hole 3, the protrusion 8, and the first and second optical sensors 7 and 9, it is reliable without being affected by magnetism, and it is possible to It is also simple and can be provided at low cost. Further, in this embodiment, the arm 4 is fed out at approximately 25 mm/s, but since the relationship between the reading synchronization signal 11 and the mask code signal 12 is set to a preferable relationship as described above, the cassette feeding mechanism 6
We were able to maintain a margin of speed variation of ±80%.
なお、前記実施例においては、被検出コード部
を穴３で構成したが、カセツト２の一側縁から設
けた切欠、あるいは透光性部材の埋設等他の手段
により光透過部を形成したものでもよく、この透
光性部材の埋設の場合は、この透光性部材にペイ
ント等の遮光部材を塗布することなどにより適
宜、マスクコードを変更することもできる。さら
に、被検出コード部は光透過部によるものに限ら
ず、小型の磁石を埋設してリードスイツチ等の磁
気的センサで検出してもよく、あるいは、第１の
光学的センサ７として光透過式ではなく光反射式
のものを用い、カセツト２に設けられた反射式の
被検出コード部、例えば、バーコード等を読取る
ようにしてもよく、さらには、穴３の有無を空気
センサ等によつて検出してもよい。要するに、被
検出コード部を何らかのセンサで検出できるもの
であればよいが、穴３と光学的センサ７とを用い
れば前述の効果がある。同様に、基準コード部と
しての突出部８及び第２の光学的センサ９も、他
の構成及びセンサでもよい。また、カセツト送り
出し機構６の駆動機構も流体圧作動のシリンダ５
に限らず、電動機により駆動されるピニオンとラ
ツクとを用いたものなど他の構成でもよい。 In the above embodiment, the detected code section is formed of the hole 3, but the light transmitting section may be formed by a notch provided from one side edge of the cassette 2, or by other means such as embedding a light transmitting member. In the case of embedding a light-transmitting member, the mask code can be changed as appropriate by applying a light-shielding member such as paint to the light-transmitting member. Furthermore, the code part to be detected is not limited to a light-transmitting part, but may also be detected by a magnetic sensor such as a reed switch by embedding a small magnet, or by using a light-transmitting type as the first optical sensor 7. Instead, a light reflective type may be used to read a reflective detected code section provided on the cassette 2, such as a bar code.Furthermore, the presence or absence of the hole 3 may be detected using an air sensor or the like. It may also be detected by In short, any sensor may be used as long as it can detect the detected code portion, but if the hole 3 and optical sensor 7 are used, the above-mentioned effect can be achieved. Similarly, the protrusion 8 as the reference code section and the second optical sensor 9 may also have other configurations and sensors. Further, the drive mechanism of the cassette feeding mechanism 6 is also operated by a cylinder 5 operated by fluid pressure.
However, other configurations such as one using a pinion and a rack driven by an electric motor may be used.
以上説明したように、本考案によれば、マスク
をカセツトに装填したままマスクのパターンサイ
ズを識別できるという効果がある。 As explained above, according to the present invention, the pattern size of the mask can be identified while the mask is loaded in the cassette.
第１図は本考案に係るマスクサイズ読取装置の
一実施例を示す概略構成図、第２図は本実施例の
読取り同期信号とマスクコード信号との関係を示
す波形図である。
１……マスク、２……マスク搭載用カセツト、
３……被検出コード部としての穴、６……カセツ
ト送り出し機構、７……第１のセンサとしての第
１の光学的センサ、８……基準コード部としての
突出部、９……第２のセンサとしての第２の光学
的センサ、１０……識別手段、１１……読取り同
期信号、１２……マスクコード信号。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a mask size reading device according to the present invention, and FIG. 2 is a waveform diagram showing the relationship between a read synchronization signal and a mask code signal in this embodiment. 1...Mask, 2...Mask mounting cassette,
3... Hole as a detected code section, 6... Cassette feeding mechanism, 7... First optical sensor as a first sensor, 8... Projection as a reference code section, 9... Second 10...Identification means, 11...Reading synchronization signal, 12...Mask code signal.
Claims (1)
被検出コード部を有するマスク搭載用カセツト
と、このマスク搭載用カセツトの被検出コード
部を検出する第１のセンサと、前記マスク搭載
用カセツトを保持し所定方向に移動させるとと
もに前記被検出コード部の各コードと同一ピツ
チで設けられた基準コード部を有するカセツト
送り出し機構と、このカセツト送り出し機構の
基準コード部を検出する第２のセンサと、この
第２のセンサが基準コード部の存在を検出する
事により作り出す同期信号に同期して前記第１
のセンサの検出信号を読取り被検出コード部の
２進コードの識別を行なう識別手段とを具備し
たことを特微とするマスクサイズ読取装置。 (2) 前記実用新案登録請求の範囲第１項におい
て、前記マスク搭載用カセツトの被検出コード
部は、穴、切欠等の光透過部の形成の有無によ
り構成されるとともに、カセツト送り出し機構
の基準コード部は複数の突出部で構成され、か
つ、前記第１，第２のセンサは光学的センサに
より構成されたことを特微とするマスクサイズ
読取装置。[Claims for Utility Model Registration] (1) A mask loading cassette having a detected code portion arranged by converting the mask size into a binary code, and a first cassette for detecting the detected code portion of this mask loading cassette. a sensor, a cassette feeding mechanism that holds and moves the mask mounting cassette in a predetermined direction, and has a reference code part provided at the same pitch as each code of the detected code part; and a reference code part of the cassette feeding mechanism. a second sensor that detects the reference code section;
1. A mask size reading device characterized by comprising: identification means for reading the detection signal of the sensor and identifying the binary code of the detected code portion. (2) In claim 1 of the utility model registration claim, the detected code portion of the mask mounting cassette is configured by the presence or absence of a light-transmitting portion such as a hole or cutout, and the detection code portion is configured by the presence or absence of a light-transmitting portion such as a hole or cutout, and the code portion is configured by the presence or absence of a light-transmitting portion such as a hole or notch, and the code portion is configured by the presence or absence of a light-transmitting portion such as a hole or cutout, A mask size reading device characterized in that the code part is composed of a plurality of protrusions, and the first and second sensors are composed of optical sensors.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981092112U JPS6133641Y2 (en) | 1981-06-22 | 1981-06-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981092112U JPS6133641Y2 (en) | 1981-06-22 | 1981-06-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57203547U JPS57203547U (en) | 1982-12-24 |
| JPS6133641Y2 true JPS6133641Y2 (en) | 1986-10-01 |
Family
ID=29887163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981092112U Expired JPS6133641Y2 (en) | 1981-06-22 | 1981-06-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133641Y2 (en) |
-
1981
- 1981-06-22 JP JP1981092112U patent/JPS6133641Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57203547U (en) | 1982-12-24 |
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