JPS613050A - 酸素センサ−の検出基板 - Google Patents

酸素センサ−の検出基板

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JPS613050A
JPS613050A JP59124256A JP12425684A JPS613050A JP S613050 A JPS613050 A JP S613050A JP 59124256 A JP59124256 A JP 59124256A JP 12425684 A JP12425684 A JP 12425684A JP S613050 A JPS613050 A JP S613050A
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JP
Japan
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solid electrolyte
plate
hole
electrode
contact
Prior art date
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Pending
Application number
JP59124256A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Minowa
美濃羽 健
Nobuhiro Hayakawa
暢博 早川
Yutaka Adachi
豊 安達
Haruhisa Shiomi
塩見 治久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Tokushu Togyo KK
Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
Nippon Tokushu Togyo KK
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Publication date
Application filed by NGK Spark Plug Co Ltd, Nippon Tokushu Togyo KK filed Critical NGK Spark Plug Co Ltd
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Publication of JPS613050A publication Critical patent/JPS613050A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4071Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はaIJ素イオン伝導性を有する酸化ジルコニウ
ム等の固体電解質を用いた酸素センサーの検出基板に関
する。
前記固体電解質を用いて、その−面に例えば空気のよう
な酸素分圧が既知の基準ガスを接触させ、他面に酸素分
圧が未知の測定ガスを接触させ、夫々の面に接する基準
極と測定極を介して電子を導入することにより起電力を
発生させ、かかる起電力の測定により周知のネルンスト
の式から測定ガスの酸素分圧を求めるようにした酸素セ
ンサーは公知である。
かかる酸素センサーは特公昭56−75sa号等に示さ
れるようにに固体電解質を一端部が閉じた管状とし、そ
の管内に基準ガスを供給し、管外周面を測定ガス中に露
出させるものが通常である。ところで、固体電解質を管
状に成形するのは困難かつ高価なものとなる。
そこで前記固体電解質の成形を特徴とする特許に 特開
昭55−125448号に開示されているように、固体
電解質を板状に成形し、該板の検知部トド面に基?P極
と測定極とを配置し、かつ両極の導電路をその板端の信
号取出し[]まで連続して設けるとともに、前記基?P
I極側に着を被着して基準ガスの流通路を形成し、該基
準ガスを検知部のス(半極に供給するようにした検出基
板が柳案されている。しかるにかかる構成は導電路での
ノイズを除去するために前記固体電解質と導電路を絶縁
する必要が生じ、該導電路と電解質問に絶縁板を介4さ
せる必要かあり、また凶の被着を要してH’H%品点数
が多くなりa造が複雑となる。また14体・l質で一枚
板を構成するため、該材才1の使用r絆か多くなり検出
素fか高価となる等の欠+%、がある。
本発明はiiI記欠侃を除去することを目的とし、ツ・
板状の絶縁性板材を重ね合わせて形成した相持様に孔部
を設け、該孔部に固体電解質を1〒大して111持板の
一面に測定ガスと接する伝導面を、他面tこ」、(準ガ
スと接する伝・q面を大々露出させ、その基準側の最端
部の板材に前記透孔と連通ずる基準ガスの流通路を形成
するとともに、前記担持板の一面に固体電解質の伝導面
と接する測定極と、該測定極を担持板の信号取出し部ま
で導く導電路とを配置し、前記担持板の他面に前記固体
電解質の伝導面と接する基?P極と、該基準極を担持板
の信号取出し部まで導く導電路とを配置し、かつ前記流
通路を遮蔽する絶縁性板材からなる遮蔽板を接合した構
成になり、絶縁性板材の積層と、孔部への固体電解質へ
の埋入により簡易に製造できるようにしたものである。
本発明の一実施例を添イ・1図面について説明する。
第1図において1は、絶縁性担持板であり、0枚の同形
状の絶縁性を有するにgAIo等の金属酸化物や、酸化
アルミニウム等のセラミック材料からなる長矩形状絶縁
性板材2a〜2cを積層してなり、最11部の板材2a
に形成した正方形透孔3aと、中間の板材2bに形成し
た前記透孔3aよりも広い矩形状透孔3bと最F部の板
材2cに形成した前記板材2aとおなし形状の透孔3c
を上下で・致させている。また前記板材20には前記透
孔3cからその端縁に連通する長孔によってなる流通路
4が形成されている。…■記透孔3a〜3Cによっ−〔
形成される孔部5内には、酸化シルコニウド等からなる
固体電解質6が1〒入され、そのI−ドの伝導面を担持
板lのL下面に露出している。
面記担I′を扱1のド面には、前記板材2a〜2cと同
一外形かつ同材>tであって、前記[J4体電解賀6の
ド部し、4面を菫う矩形状の基準極7と、該電極から端
部の信号取出し口9まで連続する導電路8とからなる多
孔質金属膜lOが上面に形成されたi!蔽根板11接合
され、これにより+iij記流通路流通路4JからC蔽
している。
前記板材2aの上面には前記固体電解質6のL部伝・9
面な覆う多肌質の測定極12と、該電極から担持板1(
t%端の信号取出しl:J I 4まで連続する導電路
13とが形成されている。
また1111記板材2aの1−面には前記測定J4i1
2を避けて前記導電路13を覆うように前記版材2a〜
2Cと同材ネ1の長尺状保護板15が接合している。前
記板材2a4.に露出した測定極12土には多孔質の保
護膜16が所望により設けられる。
前記構成からなる検出基板Aは、酸素センサーのケーシ
ング内に装着され、固体電解質6の1一部伝導面に測定
ガスが供給される。またそのF部伝導面には、fL通路
4を通人して空気等の#素分圧の既知な基準ガスが供給
され、起電力を発生して、その信号は1)i記信号取出
し口9,14から取出される。
前記構成からなる検出基板Aの形成を第2.3E4につ
いて説明すると あらかじめ前記した所定形状に板材2
a〜2Cを成形し、前記板材2aには、透孔3aの周り
の矩形周縁部13aと該透孔3aから信す取出しく】1
4にまで連続する細条部13bとからなるJjlI電路
13を形成する。該導電路13は必ずしも白金等の高級
材料である必要がなくt)4笠の低廉な導電性材料を適
用できる8面て構成された焼結前の担持板lの下面に、
白金等の材料からなる矩形状の基準極7と、該電極から
端部の信号取出し口9まで連続する細条の導電路8とか
らなる多孔質金属膜10を塗着した焼結前の遮蔽板1l
t−当接し、前記流通路4を下方から遮蔽する0次に拘
持板I J−に保護板15を乗載してから、前記透孔3
a〜3Cによってなる孔部5内にペースト状の固体電解
質6を埋入する。この状態において前記固体電解質6の
に部伝導面は、板材2aの透孔3aから露出しており2
該固体電解寞6トに白金等の材1−1よりなる多孔質金
属からなる測定極12を塗着する。また固体電解質6の
下部伝導面は金属膜10の基準極7に覆われる。而てな
る積層体を焼結することにより検出基板Aが形成される
このとき前記固体電解質6は、その焼結後において、前
記透孔3a〜3Cのうち透孔3bの形状か人であるから
、かかる透孔3b外周に侵入して固結した部分により孔
部5からの脱出が防11−される。
前記検出基板Aのド面には、第1〜3図のように加熱用
ヒーター20を設けることができる。固体゛電解質6の
最適作動温度は高温であり、このため測定ガスが低温の
場合に、該ヒーター20によって温度補償をする。前記
〔−ター20は、板材2aTと同一かつ同形状の絶縁性
板材21」、にモリブデン′9からなる発熱抵抗膜22
を形成してなるものであり、孔部5−ト部に位置する細
線を虻?■させてなる発熱部23と、該発熱部23に導
電するための給電路24とからなる。
さらに前記実施例は!]方形状の孔部5を担持板lに形
成したか、担持板1端縁にV形、口字形等の孔部5を設
け、該孔部5に固体電解質6を埋入する3種々の形状の
孔部を採用することができる。
本発明は前記の説明によってり]らかにしたように を
板状の絶縁性板材28〜2cを重ね合わせて形成した担
持&lに孔部5を形成し、該孔部5に固体電解質6を埋
入して基準ガスの流通路4を有する検出基板Aを構成す
るようにしたものであるから、 イ)絶縁性板材2a〜2cの積層という簡易な手段によ
り形成でき、製造が容易である。
口)構造か簡単で、かつ強度が大となる。
ハ)検出部のみに固体電解質6が用いられるため、該固
体電解質6の使用量が可及的に少なくてすみ廉価に構成
できる。
二)板材2a〜2Cの形状を適宜に設計できて所望の形
状とすることができ、センサー\の旧設が容易となる。
ホ)導電路を絶縁板を別に適用する必要なく絶縁でき、
ノイズの除去を簡易に施すことができる。
等の優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
添付図面は本発明の実施例を示し第1図は検出ノ、(板
Aの縦断側面図、第2図は分離斜視図、第3図は検出基
板Aの斜視図である。 l、拘持板 2a−2c;板材 3a〜3c;透孔 4
.流通路 5.孔部 6;固体電解質7:ノル準極 8
.導電路 lO:金属膜 11、C蔽& 12:測定極
 13.導電路 15、保A’J扱 16:保護膜 2
0:ヒーターA、検出基板

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)平板状の絶縁性板材を重ね合わせて形成した担持板
    に孔部を設け、該孔部に固体電解質を埋入して担持板の
    一面に測定ガスと接する伝導面を、他面に基準ガスと接
    する伝導面を夫々露出させ、その基準側の最端部の板材
    に前記透孔と連通する基準ガスの流通路を形成するとと
    もに、前記担持板の一面に固体電解質の伝導面と接する
    測定極と、該測定極を担持板の信号取出し部まで導く導
    電路とを配置し、前記担持板の他面に前記固体電解質の
    伝導面と接する基準極と、該基準極を担持板の信号取出
    し部まで導く導電路とを配置し、かつ前記流通路を遮蔽
    する絶縁性板材からなる遮蔽板を接合したことを特徴と
    する酸素センサーの検出基板 2)前記遮蔽板の下面に、絶縁性板材の上面に発熱体を
    設けてなる加熱用ヒーターを接合したことをとする特許
    請求の範囲第1)項記載の酸素センサーの検出基板
JP59124256A 1984-06-16 1984-06-16 酸素センサ−の検出基板 Pending JPS613050A (ja)

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