JPS61290641A - Magnifying power display device for sample image - Google Patents
Magnifying power display device for sample imageInfo
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- JPS61290641A JPS61290641A JP13090285A JP13090285A JPS61290641A JP S61290641 A JPS61290641 A JP S61290641A JP 13090285 A JP13090285 A JP 13090285A JP 13090285 A JP13090285 A JP 13090285A JP S61290641 A JPS61290641 A JP S61290641A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、走査型電子顕微鏡その他の電子線装置（以下
、ＳＥＭ）の表示画面上における試料像の倍率表示を行
うための試料像のｔｒ’？率表示装置に関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a tr '? This invention relates to a rate display device.
ＳＥＭは、試料を電子ビームにより照射、走査し、照射
時に発生する試料信号に基づいて試料像の表示装置（例
えばＣＲＴ）上に試料の拡大像を表示するものである。In the SEM, a sample is irradiated and scanned with an electron beam, and an enlarged image of the sample is displayed on a sample image display device (for example, a CRT) based on a sample signal generated during the irradiation.
従って、ＳＥＭにおいては、拡大表示された試料像が実
際の試料上でどの程度の長さに相当するのかを知る必要
がある。このため、従来よりＳＥＭに関し、表示装置上
に試料像とともに試料のスケールを表示する種々の装置
が提案されている。Therefore, in the SEM, it is necessary to know how long an enlarged sample image corresponds to on the actual sample. For this reason, various devices have been proposed for SEM that display the scale of the sample along with the sample image on a display device.
従来、ＳＥＭにおいて、倍率に応じた試料上の長さを試
料像とともに表示する技術的手段としては１例えば、第
６図および第７図に示すようなものがある。Conventionally, in a SEM, there is one technical means for displaying the length on a sample according to the magnification together with the sample image, as shown in FIGS. 6 and 7, for example.
第６図に示す方法は、試料上の一定の長さく例えばＩＪ
Ｌｍ）が対応するスケール１を試料像２とともに表示し
たものであり、試料像２の拡大率に応じてスケールｌが
表示装置の表示画面ｌＯ上で伸縮するようになっている
（特公昭４７一２１３４５号）。The method shown in FIG.
Lm) is a display of the corresponding scale 1 together with the sample image 2, and the scale 1 expands and contracts on the display screen lO of the display device according to the magnification of the sample image 2 (Japanese Patent Publication No. 471). No. 21345).
ところが、このような手段によると、試料像２の拡大率
が大きくなるに従ってスーケールｌの長さが大きくなり
、スケールｌが表示画面ｌＯからはみ出してしまったり
、低倍率の場合には、スケール１の長さが小さくなって
、結局、試料の大きさを正確に判断できないという問題
がある。However, according to such means, as the magnification of the sample image 2 increases, the length of the scale l increases, and the scale l protrudes from the display screen lO, or when the magnification is low, the length of the scale l increases. There is a problem that the length becomes small and the size of the sample cannot be determined accurately after all.
第７図は、斯かる問題を解決するための手段を示すもの
である。これは１表示画面ｌＯ上に、試料像の拡大率と
無関係な一定の長さをもつスケール４を表示するととも
に、このスケール４の試料上の換算長さをキャラクタ−
表示するものである（特公昭５Ｂ−５１６６４号）、こ
のような手段によれば、スケール４が表示画面ｌＯから
はみ出したり、スケール４が小さすぎて視認性に欠ける
という不具合は解消される。FIG. 7 shows a means for solving this problem. This displays a scale 4 on one display screen lO with a constant length that is unrelated to the magnification of the sample image, and also displays the converted length of this scale 4 on the sample as a character.
According to such means (Japanese Patent Publication No. 5B-51664), problems such as the scale 4 protruding from the display screen 10 or the scale 4 being too small and lacking in visibility can be solved.
しかしながら、このような方法の場合、スケール４の設
定長さより短い試料像長さを知ろうとするときには、ま
ず、求めようとする試料像２上の長さがスケール４の長
さの何分の−に相当するかを求めることによって、試料
像２上の長さを求めなければならないが、常に全長が一
定であるスケール４の長さを基準として試料像２上の長
さがその何分の−に相当するかを計測するのは手間を要
するし、目分量では必ずしも正確な数値を求めることは
できないという問題がある。However, in the case of such a method, when trying to find out the sample image length that is shorter than the set length of the scale 4, first, the length on the sample image 2 to be determined is a fraction of the length of the scale 4. The length on the sample image 2 must be found by determining whether the length on the sample image 2 corresponds to the length of the scale 4, whose total length is always constant. It takes time and effort to measure whether it corresponds to , and there is a problem that it is not always possible to obtain an accurate value by eye.
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたもの
であって、試料像を正確かつ容易に測定することのでき
る試料像の倍率表示装置を提供することを目的とし、こ
の目的達成の手段は、試料像を表示する表示画面上に、
その長さを変えることのできる基準線を表示するととも
に、当該基準線の長さが相当する試料像上の換算長さを
キャラクタ−表示する試料像の倍率表示装置によってな
される。The present invention has been made in view of the problems of the prior art described above, and an object of the present invention is to provide a sample image magnification display device that can accurately and easily measure a sample image. The means displays a sample image on a display screen,
This is done by a sample image magnification display device that displays a reference line whose length can be changed and also displays in characters the converted length on the sample image to which the length of the reference line corresponds.
以下、添付図面に基づいて本発明の詳細な説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.
第２図に示すように１本発明は、試料像１５を表示する
表示画面ＩＯ上に、その長さを変えることのできる基準
線２０と、該基準線２０が相当する試料像１５上の換算
長さく５０＃Ｌ）をキャラクタ−表示するものであり、
更にこの実施例では。As shown in FIG. 2, the present invention provides a reference line 20 whose length can be changed on the display screen IO that displays the sample image 15, and a conversion value on the sample image 15 that the reference line 20 corresponds to. 50#L) is displayed as a character,
Furthermore, in this example.
基準線２０上に目盛線ＭＯ、Ｍｌ 、Ｍｌを表示すると
ともに、試料像１５の拡大率（Ｘ ２０００）と、目盛
線（ＭＯ）〜（Ｍｌ）間の目Ｖｉｔ幅が相当する試料上
の換算長さく２０ ＪＬ）をも表示するものである。In addition to displaying the scale lines MO, Ml, and Ml on the reference line 20, the magnification of the sample image 15 (X 2000) and the conversion on the sample corresponding to the Vit width between the scale lines (MO) and (Ml) are displayed. It also displays the length (20 JL).
ところで、本発明の倍率表示装置にあっては、基準線２
０および表示した目Ｗｔ線（Ｍｌ）〜（Ｍｌ）間の目盛
幅を適宜変更することができる。これを、ｉｉ図に基づ
いて説明する。第１図における各種表示例は倍率が５倍
〒あり、図中符号又は目盛ｍ（ＭＯ）〜（Ｍｌ）間の目
４Ｍ幅を示している。By the way, in the magnification display device of the present invention, the reference line 2
The scale width between 0 and the displayed scale Wt line (Ml) to (Ml) can be changed as appropriate. This will be explained based on Figure ii. The various display examples in FIG. 1 have a magnification of 5 times, and the symbols in the figure or the width of 4M marks between the scales m (MO) to (Ml) are shown.
まず、基準線２０と目盛ｍ文とを比−測的に変化させる
場合を説明する。第１図、（ａ）に示すように、基準線
２０の換算長さが２０ｍｍ、目盛＠交の換算長さが１０
５ｍと表示されている場合に、基準線２０の表示長さを
島とした場合には、第１図（ｂ）に示すように基準線２
０の長さとともに目盛幅見も局となり、基準に＆２０の
換算長さが１０ｗ層、目盛幅文の換算長さが５層■とい
うようにキャラクタ−表示もそれに伴って局に変化する
。First, a case will be described in which the reference line 20 and the scale m text are changed comparatively. As shown in Fig. 1 (a), the converted length of the reference line 20 is 20 mm, and the converted length of the scale @ 10 mm.
5m and if the displayed length of the reference line 20 is an island, the reference line 2
Along with the length of 0, the scale width becomes stationary, and the converted length of &20 becomes 10w layer as a reference, and the converted length of scale width sentence becomes 5th layer ■, and the character display changes accordingly.
次に、基準線２０を目盛幅文と無関係に変化させる場合
を説明する。今、第１図（ＩＬ）のように表示されてい
る場合に基準線２０の長さを短くした場合には、第１図
（Ｃ）に示すように基準線２０およびその換算長さのキ
ャラクタ−表示が変更される。但し、目盛幅見・および
その換算長さのキャラクタ−表示はそのままである０次
に。Next, a case will be described in which the reference line 20 is changed independently of the scale width text. Now, if the length of the reference line 20 is shortened when it is displayed as shown in FIG. 1 (IL), the character of the reference line 20 and its converted length will be displayed as shown in FIG. -The display is changed. However, the character display of the scale width and its converted length remains the same in the 0th order.
第１図（ｃ）の表示状態から更に基準線２０の長さを短
くさせた場合は、第１＠Ｃｄ）に示すように、目盛線Ｍ
ｌが基準線２０の延長線上に表示され、基準線２０の換
算長さ及び目盛輻交の換算長さが夫々例えば５−ｍ、１
０ｍｍという具合に表示される。他方、第１図（Ｌ）の
表示状態から、目盛幅文だけを変化させた場合には、！
８１図（ｅ）に示すように基準線２０の長さがそのまま
で、目盛幅立とその換算長さのキャラクタ−表示が変化
することになる。If the length of the reference line 20 is further shortened from the display state of FIG. 1(c), the scale line M
l is displayed on the extension line of the reference line 20, and the converted length of the reference line 20 and the converted length of the scale convergence are, for example, 5-m and 1, respectively.
It will be displayed as 0mm. On the other hand, if only the scale width text is changed from the display state in Figure 1 (L), !
As shown in FIG. 81(e), while the length of the reference line 20 remains the same, the character display of the scale width and its converted length changes.
次に、本発明の実施例に係る試料像の倍率表示装置を説
明する。Next, a sample image magnification display device according to an embodiment of the present invention will be described.
この装置は第３図に示すように、電子顕微鏡本体（図示
せず）に設けられた水平偏向コイル４０および垂直偏向
コイル４１に供給する電流を倍率切換装置４２．４３に
よって切り換えることにより、ＣＲＴ４５の表示画面ｌ
Ｏ上に試料像１５を拡大して表示するとともに、基準線
表示手殴５０．目盛線表示手段６０．キャラクタ−表示
手段７０の各手段によって試料上の長さに関する必要な
情報の表示を行なうものである。As shown in FIG. 3, this device operates by switching the current supplied to the horizontal deflection coil 40 and vertical deflection coil 41 provided in the main body of the electron microscope (not shown) using magnification switching devices 42 and 43. Display screen l
The sample image 15 is enlarged and displayed on O, and the reference line is displayed and punched 50. Scale line display means 60. Necessary information regarding the length on the sample is displayed by each means of the character display means 70.
この図において、５１は鋸歯状波信号Ｅｘを出力する水
平走査回路、５３は基準線２０の始点と終点を位置決め
するための基準電圧ＥＯ、Ｅ２を比較回路５２に印加す
る基準電圧源である。基準電圧源５３は、基準電圧ＥＯ
を基準として設定されているが、基準電圧Ｅ２は、電圧
調整器５９によって電圧値を変えることができる。そし
て、比較回路５２は、第４図（ａ）、（ｂ）に示すよう
に基準電圧ＥＯと電圧調整器５９によって設定された基
準電圧Ｅ２とが鋸歯状波信号Ｅｘと一致するｔｌ、ｔ２
．・・・ｔｌ２の時点で、信号を出力する。また、５５
は鋸歯状波信号ＥＶを供給する垂直走査回路、５７は基
準線２０の太さと表示画面ｌＯ上での表示の高さ位置を
決定するための基準電圧Ｖｌ、Ｖ２を比較回路５６に人
力する基準電圧源である。この比較回路５６は、第４図
（Ｃ）、（ｄ）に示すように、基準電圧Ｖｌ。In this figure, 51 is a horizontal scanning circuit that outputs a sawtooth signal Ex, and 53 is a reference voltage source that applies reference voltages EO and E2 to the comparison circuit 52 for positioning the starting and ending points of the reference line 20. The reference voltage source 53 is a reference voltage EO.
However, the voltage value of the reference voltage E2 can be changed by the voltage regulator 59. Then, the comparator circuit 52 detects the signal at tl and t2 when the reference voltage EO and the reference voltage E2 set by the voltage regulator 59 match the sawtooth signal Ex, as shown in FIGS. 4(a) and 4(b).
．． ...Outputs a signal at time tl2. Also, 55
57 is a vertical scanning circuit that supplies a sawtooth wave signal EV, and 57 is a standard for manually inputting reference voltages Vl and V2 to a comparison circuit 56 for determining the thickness of the reference line 20 and the height position of the display on the display screen IO. It is a voltage source. As shown in FIGS. 4(C) and 4(d), this comparison circuit 56 has a reference voltage Vl.
ｖ２と鋸歯状波信号Ｅｙが一致したときにｔａ〜ｔｂ間
でＨレベルとなるパルス信号を出力する。When v2 and sawtooth wave signal Ey match, a pulse signal that becomes H level between ta and tb is output.
ゲート回路５４は、比較回路５２．５６の信号が一致し
た時点で第４図（ｅ）のような信号を合成器４４に対し
て出力する。これによってＣＲＴ４５の表示画面ｌＯに
、適宜の長さの基準線２０が適宜の位置に表示される。The gate circuit 54 outputs a signal as shown in FIG. 4(e) to the synthesizer 44 when the signals from the comparison circuits 52 and 56 match. As a result, a reference line 20 of an appropriate length is displayed at an appropriate position on the display screen lO of the CRT 45.
電圧調整器５９の操作によって、基準電圧Ｅ２の電圧値
が変われば基準線２０の長さも変化するものである。When the voltage value of the reference voltage E2 changes by operating the voltage regulator 59, the length of the reference line 20 also changes.
６１は、基準目盛ＭＯ，Ｍｌに対応してそれぞれ電圧値
の異なる基準電圧ＥＯ，Ｅｌを比較回路６２に印加する
目盛基準電圧源である。この基準電圧源６１は、基準電
圧ＥＯを基準とするが、基準電圧Ｅｌは電圧調整器６９
によって適宜の電圧値に変化するようになっている。尚
、２つの電圧調整器５９．６９は、図示しない切換装置
によって、独立に又は連動して作動するよう切換えるこ
とができるものである。また電圧調整器５９゜６９はス
イッチＱにより倍率切換装置と連動するようにしても良
い。Reference numeral 61 denotes a scale reference voltage source that applies reference voltages EO and El having different voltage values to the comparator circuit 62 in correspondence with the reference scales MO and Ml, respectively. This reference voltage source 61 is based on the reference voltage EO, but the reference voltage El is determined by the voltage regulator 69.
The voltage value is changed to an appropriate value depending on the voltage. Note that the two voltage regulators 59 and 69 can be switched to operate independently or in conjunction with each other by a switching device (not shown). Further, the voltage regulators 59 and 69 may be linked with a magnification switching device by a switch Q.
そして、比較回路６２には、水平走査回路５１からの鋸
歯状波信号Ｅｘが入力されており、第５図（ａ）、（ｂ
）に示すように、基準電圧ＥＯ，Ｅｌと鋸歯状波信号Ｅ
Ｖが一致した時点でパルス発生回路６５から基準目盛Ｍ
Ｏ，Ｍｌの信号が出力される。また、基準線２０の右端
に表示されるべき基準目盛Ｍ２に対応する基準電圧Ｅ２
は、独立した基準電圧源６４から比較回路６２に入力さ
れる。従って、比較回路６２からは、第５図（Ｃ）、（
ｄ）に示すように基準電圧Ｅ２と鋸歯状波信号Ｅｘが一
致したときに基準目盛Ｍ２力信号が出力される。The sawtooth wave signal Ex from the horizontal scanning circuit 51 is input to the comparator circuit 62, and FIGS.
), the reference voltages EO, El and the sawtooth signal E
When V matches, the pulse generation circuit 65 outputs the reference scale M.
O and Ml signals are output. Also, a reference voltage E2 corresponding to the reference scale M2 to be displayed on the right end of the reference line 20
is input to the comparator circuit 62 from an independent reference voltage source 64. Therefore, from the comparison circuit 62, FIG.
As shown in d), when the reference voltage E2 and the sawtooth wave signal Ex match, the reference scale M2 force signal is output.
一方、６７は、基準目盛Ｍの目盛高さを決定する基準電
圧Ｍｌ 、Ｖ３を比較回路６６に印加する基準電圧源で
ある。比較回路６６には、垂直走査回路５５からの鋸歯
状波信号Ｅ７が入力されており、第５図（ｅ）、（ｆ）
に示すように、鋸歯状波信号Ｅ７と基準電圧Ｖｌ、Ｖ３
が一致したときにｔａ−ｔａ皿で信号を発生する。従っ
て、ゲート回路６３は、比較回路６２．６６からの信号
が一致したときに第５図（＋ｒ）のような信号を発生す
る。これによって、基準線２０とには電圧調整器６９の
、操作によって基準線２０上を左方から右方へ適宜移動
する基準目盛Ｍｌと、基準線の始点と終点としてＭＯ，
Ｍ２が表示される。７１は倍率表示回路、７２は基準線
長さ表示回路、７３は目盛幅表示回路である。これらの
回路７１゜７２は、マイクロコンピュータ等の演算回路
７５．７６によって、情報として表示すべき数字を算出
するとともに、該算出結果を情報信号とし・ て合成器
４４に出力する。尚、各表示回路７１゜７２．７３は、
キャラクタ−の表示−位置を決めるために、垂直走査回
路５５から鋸歯状波信号Ｅ７をとり、予め設定された基
準電圧と一致する位置にキャラクタ−を表示するもので
ある。On the other hand, 67 is a reference voltage source that applies reference voltages M1 and V3, which determine the scale height of the reference scale M, to the comparator circuit 66. The sawtooth wave signal E7 from the vertical scanning circuit 55 is input to the comparator circuit 66, and as shown in FIGS.
As shown in , the sawtooth signal E7 and the reference voltages Vl, V3
A signal is generated in the ta-ta dish when the two match. Therefore, the gate circuit 63 generates a signal as shown in FIG. 5 (+r) when the signals from the comparison circuits 62 and 66 match. As a result, the reference line 20 has a reference scale Ml of the voltage regulator 69 that moves appropriately from the left to the right on the reference line 20 by operation, and MO, which serves as the starting point and end point of the reference line.
M2 is displayed. 71 is a magnification display circuit, 72 is a reference line length display circuit, and 73 is a scale width display circuit. These circuits 71 and 72 calculate numbers to be displayed as information using arithmetic circuits 75 and 76 such as microcomputers, and output the calculation results to the synthesizer 44 as information signals. In addition, each display circuit 71°72.73 is
In order to determine the display position of the character, the sawtooth wave signal E7 is taken from the vertical scanning circuit 55, and the character is displayed at a position that matches a preset reference voltage.
以上のようにして、ゲート回路５４．６３および各表示
回“路７１，７２．７３から合成器４４に入力された各
信号は、輝度変調信号としてＣＲＴ４５のグリッド電極
に出力され、表示画面１０上に、基準線２０．目盛線Ｍ
、キャラクタ−を表示するものである。尚、ＳＥＭ本体
の水平偏向コイル４０および垂直偏向コイル４１とＣＲ
Ｔ４５の水平偏向コイル４７および垂直偏向コイル４８
が走査回路５１．５５の信号によって同期されているこ
とは勿論である。As described above, each signal inputted to the synthesizer 44 from the gate circuit 54.63 and each display circuit 71, 72.73 is outputted to the grid electrode of the CRT 45 as a luminance modulation signal, and is displayed on the display screen 10. , reference line 20. scale line M
, characters are displayed. In addition, the horizontal deflection coil 40 and the vertical deflection coil 41 of the SEM main body and the CR
T45 horizontal deflection coil 47 and vertical deflection coil 48
Of course, they are synchronized by the signals of the scanning circuits 51 and 55.
また、基準線表示手段５０、目盛線表示手段６０をマイ
クロコンピュータを用いて構成し、デジタル処理を行な
うこともできる。Further, the reference line display means 50 and the scale line display means 60 may be constructed using a microcomputer to perform digital processing.
以上説明したように１本発明は、ＣＲＴの表示画面上に
その全長を可変できる基準線と、その基準線の長さが相
当する試料上の換算長さをキャラクタ−表示するもので
ある。従って、本発明によれば、基準線の長さを適宜変
更するとともにキャラクタ−表示された換算長さを用い
て試料像の正確な測定を行なうことができる。また、基
準線上に目盛幅を可変できる目盛線を表示するとともに
、当該目盛幅が相当する試料上の換算長さをキャラクタ
−表示すれば、その目盛線の目盛幅を適宜変化させ、か
つその換算長さを用いれば、更に正確な試料像の測定が
可使となる。As explained above, one aspect of the present invention is to display, as characters, a reference line whose entire length can be varied and the converted length on the sample to which the length of the reference line corresponds on the display screen of a CRT. Therefore, according to the present invention, it is possible to appropriately change the length of the reference line and to accurately measure the sample image using the converted length displayed in characters. In addition, if a scale line whose scale width can be varied is displayed on the reference line and the converted length on the sample to which the scale width corresponds is displayed as a character, the scale width of the scale line can be changed as appropriate, and the converted length can be changed as needed. Using length allows more accurate measurement of the sample image.
第１図は表示画面上の倍率表示を示す第２図の部分拡大
図、第２図は未発１Ｊの実施例に係る試料像の倍率表示
方法を示す図、第３図は本発明の実施例に係る倍率表示
装置を示すブロック図、第４図および第５図は本発明の
実施例に係る倍率表示装置の作動を示すタイムチャート
、第６図および第７図は従来の倍率表示方法を示す図で
ある。
１０・・・表示画面
２０・・・基準線
５°０・・・基準線表示手段
６０・・・目盛線表示手段 、６７
０・・・キャラクタ−表示手段
（Ｃ
特許出願人 株式会社明石製作所 （ｄ・（ｅ
第１Ｂ
とり
ｌ
ｘ５ １０ｍｍ ５ｍｍＭ０
ＭＩ Ｍ２” ５ １２ｍｍ １０ｍ
ｒｎ
Ｎｏ ＭＩ Ｍ２−
−”−−−Ｘ５ ５ｍｍ１０ｍｍＮｏ Ｍ
２ Ｍ＋’
ｘ５ ２０ｍｍ ５
ｍｍＮｏ ＭＩ
Ｍ２第２ｇFIG. 1 is a partially enlarged view of FIG. 2 showing the magnification display on the display screen, FIG. 2 is a diagram showing the magnification display method of the sample image according to the example of unexploded 1J, and FIG. 3 is the implementation of the present invention. A block diagram showing a magnification display device according to an example, FIGS. 4 and 5 are time charts showing the operation of a magnification display device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 6 and 7 show a conventional magnification display method. FIG. 10...Display screen 20...Reference line 5°0...Reference line display means 60...Graduation line display means, 67
0...Character display means (C Patent applicant Akashi Seisakusho Co., Ltd. (d・(e 1B Tori l
x5 10mm 5mmM0
MI M2” 5 12mm 10m
rn No MI M2-
-”---X5 5mm10mmNo M
2 M+'
x5 20mm 5
mm No MI
M2 2nd g
Claims (1)
ことのできる基準線を表示するとともに、当該基準線の
長さが相当する試料上の換算長さをキャラクター表示す
ることを特徴とする試料像の倍率表示装置。 ２）上記基準線ないし基準線の仮想延長線上に、目盛幅
を変えることのできる目盛線を表示するとともに、その
目盛幅が相当する試料上の換算長さを表示することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の試料像の倍率表示
装置。[Claims] 1) A reference line whose length can be changed is displayed on the display screen that displays the sample image, and the converted length on the sample to which the length of the reference line corresponds is displayed as a character. A magnification display device for displaying a sample image. 2) A patent claim characterized in that a scale line whose scale width can be changed is displayed on the reference line or a virtual extension of the reference line, and a converted length on the sample to which the scale width corresponds is displayed. A magnification display device for a sample image according to item 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13090285A JPS61290641A (en) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Magnifying power display device for sample image |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13090285A JPS61290641A (en) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Magnifying power display device for sample image |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61290641A true JPS61290641A (en) | 1986-12-20 |
| JPH0548573B2 JPH0548573B2 (en) | 1993-07-21 |
Family
ID=15045392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13090285A Granted JPS61290641A (en) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Magnifying power display device for sample image |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61290641A (en) |
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