JPS61284606A - 目標照射光付測長器 - Google Patents
目標照射光付測長器Info
- Publication number
- JPS61284606A JPS61284606A JP12617585A JP12617585A JPS61284606A JP S61284606 A JPS61284606 A JP S61284606A JP 12617585 A JP12617585 A JP 12617585A JP 12617585 A JP12617585 A JP 12617585A JP S61284606 A JPS61284606 A JP S61284606A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- measured
- point
- length measuring
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、被測定物の測定点を照射する光を出射し正
確に位置決めできるようにした目標照射光付測長器に関
するものである。
確に位置決めできるようにした目標照射光付測長器に関
するものである。
従来、被測定物の長さを高精度で測定する測長器として
は、先端に測定用プローブを備えた測定主軸を、その軸
方向に摺動可能な如く本体に支持し、該主軸の後端には
差動変圧器等の変換器を配置して構成し、測定時には測
定プローブを伸長して被測定物に当接させ、測定プロー
ブの変位量を電気量等に変換して長さを測定するように
したものが知られている。
は、先端に測定用プローブを備えた測定主軸を、その軸
方向に摺動可能な如く本体に支持し、該主軸の後端には
差動変圧器等の変換器を配置して構成し、測定時には測
定プローブを伸長して被測定物に当接させ、測定プロー
ブの変位量を電気量等に変換して長さを測定するように
したものが知られている。
かかる従来の測長器を用いて、被測定物の測定を行う場
合、測定主軸先端の測定プローブが被測定物の所定の測
定面に接触できるように、目測で見当をつけて位置決め
を行っていた。
合、測定主軸先端の測定プローブが被測定物の所定の測
定面に接触できるように、目測で見当をつけて位置決め
を行っていた。
したがって、所定の測定面に測定プローブを正確に当接
するように位置決めをするのは困難であり、また、所望
の測定点に正確に測定プローブを当接させるために、測
定プローブを何度も被測定物に当接し直す場合が生ずる
ので、被測定物に損傷を与えてしまうという問題点があ
った。
するように位置決めをするのは困難であり、また、所望
の測定点に正確に測定プローブを当接させるために、測
定プローブを何度も被測定物に当接し直す場合が生ずる
ので、被測定物に損傷を与えてしまうという問題点があ
った。
本発明は、従来の測長器の上記欠点ないしは問題点を解
決すべくなされたもので、測定プローブを被測定物に接
触させずに、被測定物の所望の測定点に正確に対向でき
るように位置決めすることができる目標照射光付測長器
を提供することを目的とするものである。
決すべくなされたもので、測定プローブを被測定物に接
触させずに、被測定物の所望の測定点に正確に対向でき
るように位置決めすることができる目標照射光付測長器
を提供することを目的とするものである。
〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明は、
先端に測定プローブを取り付けた測定主軸を、測長器本
体にその軸方向に対して摺動可能に配設し、測定プロー
ブの移動距離により長さを測定するようにした測長器に
おいて、光源と該光源から導かれる光を測定プローブの
前方で且つその軸芯の延長線上に集光させる光学系とを
設、けるものである。
先端に測定プローブを取り付けた測定主軸を、測長器本
体にその軸方向に対して摺動可能に配設し、測定プロー
ブの移動距離により長さを測定するようにした測長器に
おいて、光源と該光源から導かれる光を測定プローブの
前方で且つその軸芯の延長線上に集光させる光学系とを
設、けるものである。
そして、被測定物の所望の測定点に対して、測長器から
の出射光を集光するように照射して位置決めを行うこと
により、測定プローブを被測定物の所定の測定点へ容易
に対向させることができ、それにより、測定プローブを
移動させて正確に測定点に当接させ、高精度の測定を容
易に行うことを可能にするものである。
の出射光を集光するように照射して位置決めを行うこと
により、測定プローブを被測定物の所定の測定点へ容易
に対向させることができ、それにより、測定プローブを
移動させて正確に測定点に当接させ、高精度の測定を容
易に行うことを可能にするものである。
〔実施例〕
以下本発明の実施例について説明する。第１図は本発明
に係る目標照射光付測長器の一実施例の一部を断面で示
した平面図である。図において、１は測長器本体で、該
本体１内に、先端に測定プローブ２を設けた測定主軸３
を、その測定プローブ２を先端より突出させて軸方向に
摺動可能に配設している。また本体１の後端面には、Ｌ
ＥＤ又はレーザダイオードの如き光ａ４が、後方に向け
て発光するように配置されている。５は有底円筒状枠体
で、その先端開口部の内側には、中央部に貫通穴６ａを
有する集光レンズ６が取り付けられている。そして該枠
体５内には前記測長器本体ｌが挿入され、前記集光レン
ズ６の貫通穴６ａに前記測長器本体１の先端外周面を嵌
合し、枠体５と測長器本体１とが所定間隔を保って支持
されるように構成されている。
に係る目標照射光付測長器の一実施例の一部を断面で示
した平面図である。図において、１は測長器本体で、該
本体１内に、先端に測定プローブ２を設けた測定主軸３
を、その測定プローブ２を先端より突出させて軸方向に
摺動可能に配設している。また本体１の後端面には、Ｌ
ＥＤ又はレーザダイオードの如き光ａ４が、後方に向け
て発光するように配置されている。５は有底円筒状枠体
で、その先端開口部の内側には、中央部に貫通穴６ａを
有する集光レンズ６が取り付けられている。そして該枠
体５内には前記測長器本体ｌが挿入され、前記集光レン
ズ６の貫通穴６ａに前記測長器本体１の先端外周面を嵌
合し、枠体５と測長器本体１とが所定間隔を保って支持
されるように構成されている。
また前記枠体５の底部には、該枠体５に挿入された測長
器本体１に設けられている前記光源４からの発光を、前
記集光レンズ６へ向かう平行光線とするための反射ミラ
ー７が設けられている。
器本体１に設けられている前記光源４からの発光を、前
記集光レンズ６へ向かう平行光線とするための反射ミラ
ー７が設けられている。
前記環状集光レンズ６はプラスチックレンズ等で形成さ
れ、前記反射ミラー７からの平行光線を、前記測定プロ
ーブ２の前方において、その軸芯の延長線上に集光する
ように構成されている。
れ、前記反射ミラー７からの平行光線を、前記測定プロ
ーブ２の前方において、その軸芯の延長線上に集光する
ように構成されている。
このように構成されている目標照射光付測長器を用いて
測定を行う場合は、まず被測定物の所定の測定点、すな
わち測長器の測定プローブ２を接触させるべき点を予め
定めておき、その測定点と測長器から出射される目標照
射光の集光点８が一敗するように、測長器又は被測定物
を移動して位置決めを行う。
測定を行う場合は、まず被測定物の所定の測定点、すな
わち測長器の測定プローブ２を接触させるべき点を予め
定めておき、その測定点と測長器から出射される目標照
射光の集光点８が一敗するように、測長器又は被測定物
を移動して位置決めを行う。
次に、測長器の測定プローブ２を伸長させると、該プロ
ーブ２は集光点８に向けて移動する。そしてプローブ２
が被測定物と接触すると、その当接点は予め定めておい
た測定点と一致することになる。
ーブ２は集光点８に向けて移動する。そしてプローブ２
が被測定物と接触すると、その当接点は予め定めておい
た測定点と一致することになる。
このように所望の測定点に対して正確に位置決めを行っ
て測定することが可能となり、高精度の長さ測定を容易
に行うことができる。
て測定することが可能となり、高精度の長さ測定を容易
に行うことができる。
なお、被測定物の所望の測定点に集光点８が一致す・る
ようにした場合は、測定点に照射されるストポットはａ
で示すように点になり、最も容易に且つ正確に測定プロ
ーブ２を測定点に向けて設定することができるが、被測
定物の位置によって、所望の測定点に集光点を位置させ
ることができない場合は、該測定点上には、ｂ又はＣで
示すように、ある面積をもったスポットしか形成できな
いことになるが、その場合でも、はぼ正確に測定プロー
ブ２を目標測定点に向けて設定することが可能である。
ようにした場合は、測定点に照射されるストポットはａ
で示すように点になり、最も容易に且つ正確に測定プロ
ーブ２を測定点に向けて設定することができるが、被測
定物の位置によって、所望の測定点に集光点を位置させ
ることができない場合は、該測定点上には、ｂ又はＣで
示すように、ある面積をもったスポットしか形成できな
いことになるが、その場合でも、はぼ正確に測定プロー
ブ２を目標測定点に向けて設定することが可能である。
そして、このように構成した測長器により測定を行う際
の位置決め過程は、測定プローブと被測定物とを非接触
状態で行わせることができるので、測定プローブにより
被測定物に損傷を与えることはない。
の位置決め過程は、測定プローブと被測定物とを非接触
状態で行わせることができるので、測定プローブにより
被測定物に損傷を与えることはない。
第２図は、本発明の第２実施例の一部を断面で示した平
面図で、第１図に示したものと同−又は同等部材には同
一符号を付しである。この実施例は、第１実施例におけ
る枠体５を前部枠体５ａと後部枠体５ｂに分割して、両
者におねじとめねじを刻設して両者を螺合により結合し
、且つ後部枠体５ｂには中央に貫通穴を有する゛レンズ
系９を配置し、該レンズ系９の貫通穴に測長器本体ｌを
嵌入して支持するようにする。また前部枠体５ａの先端
内側に設ける集光レンズ６は、測長器本体１に対して摺
動可能に緩く嵌合するように配設する。
面図で、第１図に示したものと同−又は同等部材には同
一符号を付しである。この実施例は、第１実施例におけ
る枠体５を前部枠体５ａと後部枠体５ｂに分割して、両
者におねじとめねじを刻設して両者を螺合により結合し
、且つ後部枠体５ｂには中央に貫通穴を有する゛レンズ
系９を配置し、該レンズ系９の貫通穴に測長器本体ｌを
嵌入して支持するようにする。また前部枠体５ａの先端
内側に設ける集光レンズ６は、測長器本体１に対して摺
動可能に緩く嵌合するように配設する。
そして前部外枠５ａを後部外枠５ｂに対して回転させる
ことにより、集光レンズ６とレンズ系９の距離を変化さ
せ、集光点８の位置を可変できるように構成するもので
ある。
ことにより、集光レンズ６とレンズ系９の距離を変化さ
せ、集光点８の位置を可変できるように構成するもので
ある。
このようにズームレンズ機構を付加したこの実施例によ
れば、集光点８の位置を容易に調整できるので、被測定
物の所望の測定点上に集光点８を容易に位置させること
ができ、したがって、更に正確に測定プローブ２を目標
測定点に向けて位置決めすることが可能となる。
れば、集光点８の位置を容易に調整できるので、被測定
物の所望の測定点上に集光点８を容易に位置させること
ができ、したがって、更に正確に測定プローブ２を目標
測定点に向けて位置決めすることが可能となる。
第３図は、本発明の第３実施例の一部を断面で示す平面
図で、第１図に示したものと同−又は同等部材には同一
符号を付しである。この実施例は、枠体５を該枠体５の
底部より測長器本体ｌの後部が突出する如く短く形成し
、光源４を枠体５の側面部に配置して、該光［４からの
発光を光ファイバｌＯにより集光レンズ６に導くように
構成したものである。
図で、第１図に示したものと同−又は同等部材には同一
符号を付しである。この実施例は、枠体５を該枠体５の
底部より測長器本体ｌの後部が突出する如く短く形成し
、光源４を枠体５の側面部に配置して、該光［４からの
発光を光ファイバｌＯにより集光レンズ６に導くように
構成したものである。
このように構成することにより、より小型にした測長器
で、第１実施例で示したものと同様な作用効果を奏せし
めることができる。
で、第１実施例で示したものと同様な作用効果を奏せし
めることができる。
第４図は、本発明の第４実施例の一部を断面で示す平面
図で、第１図に示したものと同−又は同等部材には同一
符号を付しである。この実施例は、第１図に示した第１
実施例における枠体５の先端開口部に配置した集光レン
ズ６の代わりに、透明カバー１１を枠体５の先端開口部
に取り付け、該カバー１１で測長器本体ｌを支持させる
ようにし、測定プローブ２の外周部に中央貫通穴を有す
る集光レンズ６を取り付けて構成したものである。
図で、第１図に示したものと同−又は同等部材には同一
符号を付しである。この実施例は、第１図に示した第１
実施例における枠体５の先端開口部に配置した集光レン
ズ６の代わりに、透明カバー１１を枠体５の先端開口部
に取り付け、該カバー１１で測長器本体ｌを支持させる
ようにし、測定プローブ２の外周部に中央貫通穴を有す
る集光レンズ６を取り付けて構成したものである。
この実施例によれば、反射ミラー７で反射された光ｔＡ
４からの平行光線は、透明カバー１１を通過して測定プ
ローブ２に取り付けた集光レンズ６に入射し、該集光レ
ンズ６により測定プローブ２の前方において、その軸芯
の延長線上に集光点８を形成させるものであり、したが
って測定プローブ２の摺動量が大なる場合においても、
集光点８を測定プローブ２の前方の同一位置に形成させ
ることができる。
４からの平行光線は、透明カバー１１を通過して測定プ
ローブ２に取り付けた集光レンズ６に入射し、該集光レ
ンズ６により測定プローブ２の前方において、その軸芯
の延長線上に集光点８を形成させるものであり、したが
って測定プローブ２の摺動量が大なる場合においても、
集光点８を測定プローブ２の前方の同一位置に形成させ
ることができる。
第５図は、本発明の第５実施例の要部を示す断面図であ
る。この実施例は、上記各実施例における光源及び光学
系の機能を、全て測定プローブ部に配設したものである
。すなわち、測定プローブ部２１は、一端面に測定主軸
３への取り付は用ねじ２２を設け、他端面に円形凹部２
３を備え、且つ外周部にねじ２４を刻設した光源ベース
２５と、一端面に該光源ヘース２５を螺入する凹部２６
を存し、他端面には被測定物に当接するプローブ先端部
２７を形成したプローブベース２８とを備え、光源ベー
ス２５の凹部２３内には光源２９が配置されており、一
方プローブベース２８のプローブ先端部２７には、中央
に貫通穴を有する集光レンズ３０が嵌合固定されている
。
る。この実施例は、上記各実施例における光源及び光学
系の機能を、全て測定プローブ部に配設したものである
。すなわち、測定プローブ部２１は、一端面に測定主軸
３への取り付は用ねじ２２を設け、他端面に円形凹部２
３を備え、且つ外周部にねじ２４を刻設した光源ベース
２５と、一端面に該光源ヘース２５を螺入する凹部２６
を存し、他端面には被測定物に当接するプローブ先端部
２７を形成したプローブベース２８とを備え、光源ベー
ス２５の凹部２３内には光源２９が配置されており、一
方プローブベース２８のプローブ先端部２７には、中央
に貫通穴を有する集光レンズ３０が嵌合固定されている
。
そして、更に前記プローブベース２８には、光源ヘース
２５に配置されている光源２９からの光を集光レンズ３
０に導くための光ファイバ３１が埋め込み等により配設
されている。
２５に配置されている光源２９からの光を集光レンズ３
０に導くための光ファイバ３１が埋め込み等により配設
されている。
このように構成されているプローブ部２１は、測長器本
体の測定主軸に取り付けられ、測長器を構成するもので
ある。そして、このように構成した測長器においては、
プローブ部２１の摺動量が大になっても、集光点８はプ
ローブ部２１の前方においてその軸芯延長線上の同一位
置に形成させることができる。また、従来の測長器本体
に全く改変を加えることなく、プローブ部のみを本実施
例によるプローブ部と交換するだけで、目標照射光付測
長器として用いることができる。
体の測定主軸に取り付けられ、測長器を構成するもので
ある。そして、このように構成した測長器においては、
プローブ部２１の摺動量が大になっても、集光点８はプ
ローブ部２１の前方においてその軸芯延長線上の同一位
置に形成させることができる。また、従来の測長器本体
に全く改変を加えることなく、プローブ部のみを本実施
例によるプローブ部と交換するだけで、目標照射光付測
長器として用いることができる。
以上実施例に基づいて説明したように本発明によれば、
測長器本体に摺動可能に配設した測定プローブを備えた
測長器において、光源と該光源から導かれる光を測定プ
ローブの前方で且つその軸芯の延長線上に集光させる光
学系とを設け、被測定物の所望の測定点に対して、測長
器からの照射光を集光できるように構成したので、測定
プローブを所定の測定点に正確に対向させて位置決めを
行うことができ、したがって、測定プローブを測定点に
容易に正確に当接させて、高精度の測定を行うことがで
きる。
測長器本体に摺動可能に配設した測定プローブを備えた
測長器において、光源と該光源から導かれる光を測定プ
ローブの前方で且つその軸芯の延長線上に集光させる光
学系とを設け、被測定物の所望の測定点に対して、測長
器からの照射光を集光できるように構成したので、測定
プローブを所定の測定点に正確に対向させて位置決めを
行うことができ、したがって、測定プローブを測定点に
容易に正確に当接させて、高精度の測定を行うことがで
きる。
また、測定プローブは被測定物に対して非接触状態で正
確な位置決めを行うことができるので、非測定物に損傷
を与えることがない等の利点が得られる。
確な位置決めを行うことができるので、非測定物に損傷
を与えることがない等の利点が得られる。
第１図は、本発明に係る目標照射光付測長器の第１実施
例の一部を断面で示す平面図、第２図は、本発明の第２
実施例の一部を断面で示す平面図、第３図は、本発明の
第３実施例の一部を断面で示す平面図、第４図は、本発
明の第４実施例の一部を断面で示す平面図、第５図は、
本発明の第５実施例の要部を示す断面図である。 図において、ｌは測長器本体、２は測定プローブ、３は
測定主軸、４は光源、５は枠体、６は集光レンズ、７は
反射ミラー、８は集光点、９はレンズ系、１０は光ファ
イバ、１１は透明カバー、２１はプローブ部を示す。 東１ 図 東２図 第４図
例の一部を断面で示す平面図、第２図は、本発明の第２
実施例の一部を断面で示す平面図、第３図は、本発明の
第３実施例の一部を断面で示す平面図、第４図は、本発
明の第４実施例の一部を断面で示す平面図、第５図は、
本発明の第５実施例の要部を示す断面図である。 図において、ｌは測長器本体、２は測定プローブ、３は
測定主軸、４は光源、５は枠体、６は集光レンズ、７は
反射ミラー、８は集光点、９はレンズ系、１０は光ファ
イバ、１１は透明カバー、２１はプローブ部を示す。 東１ 図 東２図 第４図
Claims (1)
- 先端に測定プローブを備えた測定主軸を、測長器本体に
摺動可能に支持させ、測定プローブの移動距離により長
さを測定するようにした測長器において、光源と、該光
源から導かれる光を前記測定プローブの前方で且つその
軸芯の延長線上に集光させる光学系とを備えたことを特
徴とする目標照射光付測長器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12617585A JPS61284606A (ja) | 1985-06-12 | 1985-06-12 | 目標照射光付測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12617585A JPS61284606A (ja) | 1985-06-12 | 1985-06-12 | 目標照射光付測長器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61284606A true JPS61284606A (ja) | 1986-12-15 |
Family
ID=14928535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12617585A Pending JPS61284606A (ja) | 1985-06-12 | 1985-06-12 | 目標照射光付測長器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61284606A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013545976A (ja) * | 2010-10-25 | 2013-12-26 | 株式会社ニコン | 装置、光学アセンブリ、物体を検査又は測定する方法、及び構造体を製造する方法 |
-
1985
- 1985-06-12 JP JP12617585A patent/JPS61284606A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013545976A (ja) * | 2010-10-25 | 2013-12-26 | 株式会社ニコン | 装置、光学アセンブリ、物体を検査又は測定する方法、及び構造体を製造する方法 |
| US9625368B2 (en) | 2010-10-25 | 2017-04-18 | Nikon Corporation | Apparatus, optical assembly, method for inspection or measurement of an object and method for manufacturing a structure |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7486394B2 (en) | Optical measuring head | |
| JP2518822B2 (ja) | 無接触反射率測定装置 | |
| US3817635A (en) | Device for measuring the actual dimension of an object at the forward end portion of an endoscope | |
| US4816670A (en) | Optical measuring head | |
| MX166456B (es) | Medicion de la curvatura de un material transparente o translucido | |
| JPH06507704A (ja) | ブリネル硬度測定プローブと共に使用するセンタリングデバイス | |
| EP0234562B1 (en) | Displacement sensor | |
| GB2009922A (en) | Gloss measurement | |
| US20020048307A1 (en) | Device and process for infrared temperature measurement | |
| KR880008043A (ko) | 비접촉 자동 초점위치 맞춤방법 및 장치. | |
| US4124302A (en) | Device for photometering a substance placed in a cylinder-shaped cell | |
| JPS61284606A (ja) | 目標照射光付測長器 | |
| KR19980081410A (ko) | 물체의 형태를 비접촉식으로 측정하는 방법 및 장치 | |
| JPH0820359B2 (ja) | 全反射測定方法及び装置 | |
| GB2212040A (en) | Light aiming device for medical or dental X-ray equipment | |
| JPS6125011A (ja) | 光学式距離測定装置 | |
| JP2002257706A (ja) | 光散乱測定プローブ | |
| CN220085147U (zh) | 一种同轴无极调焦机构及具备该机构的线激光器 | |
| KR20070015267A (ko) | 변위 측정 장치 | |
| US2984147A (en) | Means for optical gaging | |
| JPS62251618A (ja) | 計器 | |
| JPS57199909A (en) | Distance measuring device | |
| JPS6199806A (ja) | 溝の深さ測定装置 | |
| US5497228A (en) | Laser bevel meter | |
| US4162852A (en) | Method and device for measuring diopters of astigmatic lenses |