JPS61283801A - Apparatus for detecting absolute position - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To enable the detection of an absolute position over a wide range, by providing a helix gradually increasing in its pitch interval to a cylindrical rod. CONSTITUTION:A magnetic body 17 comprising a helix (lead thread) and a non-magnetic part 18 protecting the groove parts of said magnetic body 17 are alternately arranged to a rod 11 and a lead angle continuously increases along the rod 11 so as to successively change both of them. The digital signals obtained from the secondary induced voltages of detection heads 13, 14 arranged at a predetermined interval respectively come to outputs proportional to the moving distance of the rod 11. Herein, the signal obtained from the head 14 is outputted so as to be shifted by one pitch from that of the head 13 and two signals together show the absolute value of the moving distance in an one-pitch range alone. Therefore, by inputting two signals to an operational processing part, the absolute value of the moving distance over the entire mov ing range of the rod 11 is calculated. Because only the lead wire and the groove part are provided to the rod 11, miniaturization, the enhancement of resolving power and cost reduction can be achieved.

Description

【発明の詳細な説明】 （ＪＡ明の技術分野） この発明はシリンダロッドの位置決めシステム等に用い
られるロッドの絶対位置検出装置に関し、このシリンダ
ロッドに近接して設けられた磁気検出ヘッドにより絶対
位置を検出する絶対位置検出装置に関する。Detailed Description of the Invention (Technical Field of JA Ming) This invention relates to an absolute position detection device for a rod used in a cylinder rod positioning system, etc. The present invention relates to an absolute position detection device that detects.

（発明の技術的背景とその問題点） 工作機械などに用いられる位置決めシステムとして重要
な要素である位置検出部には、いろいろな手段が考えら
れている。この中で従来より広く用いられている手段と
して磁性体からなるシリンダロッドに等間隔のピッチで
溝を加工し、この溝をメッキまたは非磁性のチューブで
保護したものを磁気パルス発生器として使用し、このロ
ッドに近接して設けた磁気ヘッドなどによりこのロッド
の移動に伴い発生する磁気のパルス信号（オン・オフ信
号）でこのロッドの位置を検出するものがある。この装
置の欠点としては、インクリメンタルな位置しか検出で
きず、絶対位置が検出できない、又、１つの磁気ヘッド
では上記溝の１ピツチで、ｌパルスしか検出できず、溝
の間隔でこの検出装置の分解能が決ってしまう、ところ
が、溝の幅には加工上制限があり、又、あまり溝を深く
することができないため磁気ヘッドとロッド表面とのギ
ヤ。(Technical background of the invention and its problems) Various means have been considered for a position detection section, which is an important element in a positioning system used in machine tools and the like. Among these, a conventionally widely used method is to machine grooves at equal pitches on a cylinder rod made of magnetic material, and protect these grooves with plating or non-magnetic tubes, which are then used as magnetic pulse generators. Some devices detect the position of the rod using magnetic pulse signals (on/off signals) generated as the rod moves using a magnetic head or the like provided close to the rod. The disadvantages of this device are that it can only detect incremental positions and cannot detect absolute positions; one magnetic head can only detect one pulse per pitch of the groove; However, the width of the groove is limited due to processing, and the groove cannot be made very deep, so the gear between the magnetic head and the rod surface.

プ管理等が容易でなく、オペレータが上記パルスの発生
状態をオシロスコープで確認しながらそのデユーティが
等間隔となるように位置関係を調整しなければならず、
又、耐環境性に弱いなどの欠点がある。It is not easy to manage the pulses, and the operator must check the pulse generation status using an oscilloscope and adjust the positional relationship so that the duty is evenly spaced.
Furthermore, it has drawbacks such as poor environmental resistance.

そこで、最近これに変わる手段としてシリンダロッドの
円周上に磁性体部と非磁性体部とを設け、このロッドに
近接された磁気検出ヘッドによりこのロッドの移動量を
磁気抵抗の変化として読むといった原理を用いたものが
ある。Recently, as an alternative to this, a magnetic part and a non-magnetic part are provided on the circumference of the cylinder rod, and a magnetic detection head placed close to the rod reads the amount of movement of the rod as a change in magnetic resistance. There is one that uses the principle.

第６ｖ！ｉはこのような磁気抵抗の変化によりシリンダ
ロッドの移動量を検出する原理構造を示すもので、移動
可能なシリンダロッドｌの中に、同心状の磁性体部３が
非磁性体部４と交互に等しいピッチＰで組込まれ、この
ロッド１を包み込むように配設された円筒形の固定され
た検出ヘッド部２には、１次励磁コイル７Ａ及び７Ｂと
２次誘起コイル８Ａ及び８Ｂとが磁気シールドコア２Ａ
及び２Ｂ中に同心状に配置されている。このとき、１次
コイル７Ａ及び７ＢをそれぞれＩ＋ｉｎωを及びｒａｏ
ｇｔａｔで交流励磁すると、ロッドｌの中の磁性体３及
び非磁性体４の組合せにより、ロッドｌの移動量Ｘに従
って磁気抵抗が１ピツチ毎に変化を繰り返す、この磁気
抵抗の変化は。6th v! i shows the principle structure for detecting the amount of movement of the cylinder rod by such a change in magnetic resistance, in which concentric magnetic parts 3 and non-magnetic parts 4 are arranged alternately in a movable cylinder rod l. Primary excitation coils 7A and 7B and secondary induction coils 8A and 8B are installed in a fixed cylindrical detection head 2 which is assembled with a pitch P equal to , and is disposed so as to wrap around this rod 1. Shield core 2A
and 2B are arranged concentrically. At this time, the primary coils 7A and 7B are set to I+inω and rao, respectively.
When AC excitation is performed with gtat, the combination of the magnetic material 3 and non-magnetic material 4 in the rod 1 causes the magnetic resistance to change repeatedly for each pitch according to the amount of movement X of the rod 1. This change in magnetic resistance is as follows.

２次コイル８＾及び８Ｂへの誘起電圧変化となって現わ
れ、２次コイル誘起電圧Ｅは次の（１）式で表わされる
。This appears as a change in the induced voltage to the secondary coils 8^ and 8B, and the secondary coil induced voltage E is expressed by the following equation (1).

但し　　ト　変換定数 Ｘ：　ロッド移動距離 Ｐ：　ピッチ １ａｉｎωｔＫ比ベロツドｌの移動量Ｘだけ移相されて
いることが分る。従って、この位相差を検出することに
より、これを電圧信号ＥＯとして取出せばロッドｌの移
動距離Ｘを知ることができる。However, G. Conversion constant Therefore, by detecting this phase difference and taking it out as a voltage signal EO, it is possible to know the moving distance X of the rod l.

しかしながら、上述のような検出装置で絶対位置を測定
できるのはｌピッチ（Ｐ）の範囲内だけであり、ロッド
１の全移動範囲にわたって絶対位置検出することはでき
ず、インクリメンタルな位置としてしか検出できない欠
点がある。However, the above-mentioned detection device can only measure the absolute position within the l pitch (P) range, and cannot detect the absolute position over the entire movement range of the rod 1, but only as an incremental position. There is a drawback that it cannot be done.

また、このようにインクリメンタルな位置として検出す
る場合でも、磁性体部３と非磁性体部４を同芯状で等間
隔に配置するように製作する必要があり、装置として高
価になってしまう。Further, even when detecting incremental positions in this manner, it is necessary to manufacture the magnetic body part 3 and the non-magnetic body part 4 so that they are concentrically arranged at equal intervals, which makes the device expensive.

そして絶対値を検出するためには、磁性体と非磁性体の
ピッチ間隔が異なる複数個のロッドとその磁気検出ヘッ
ドを、このロッドが一対として連動して動くようにして
それぞれ複数組必要であり、装置全体の寸法が大型とな
り、且つ装置としては高価になってしまうという問題点
がある。In order to detect the absolute value, multiple sets of rods with different pitch intervals between magnetic and non-magnetic materials and their magnetic detection heads are required, with the rods moving in tandem as a pair. However, there are problems in that the overall size of the device is large and the device is expensive.

（発明の目的） この発明は上述のような事情からなされたものであり、
この発明の目的はシリンダロッドにピッチ間隔が漸増す
るつる巻線条をつけるだけ　　。(Object of the invention) This invention was made under the above circumstances,
The purpose of this invention is simply to provide a cylinder rod with a helical winding strip whose pitch interval gradually increases.

で広範囲にわたって絶対位置を検出できる。小型で安価
な絶対位置検出装置を提供することにある。Absolute position can be detected over a wide range. An object of the present invention is to provide a small and inexpensive absolute position detection device.

（発明の概要） この発明は絶対位置検出装置に関するものでリード角が
所定量づつ漸増するようにつる巻線条を加工し、このつ
る巻線条間に非磁性体を配置した磁性体からなるロッド
と、このロッドの軸方向に配設された複数個の磁気検出
ヘッドと、これら磁気検出ヘッドからの出力電圧を位相
検出する位相検出部と、この位相検出部の出力電圧に基
づいて所定の演算を行なう演算処理部とを具え、上記ロ
ッドと上記検出ヘッドとの間の絶対位置関係を検出でき
るようにしたものである。(Summary of the Invention) This invention relates to an absolute position detection device, which is made of a magnetic material in which a helical winding wire is processed so that the lead angle gradually increases by a predetermined amount, and a non-magnetic material is arranged between the helical winding wires. A rod, a plurality of magnetic detection heads arranged in the axial direction of the rod, a phase detection part that detects the phase of the output voltage from these magnetic detection heads, and a predetermined detection based on the output voltage of the phase detection part. The apparatus includes an arithmetic processing section that performs arithmetic operations, and is capable of detecting the absolute positional relationship between the rod and the detection head.

（発明の実施例） 第１図はこの発明の一実施例を示すもので、ロッド１１
にはつる巻線条１７（以下リード条と略す）が、リード
角が一定増分づつ増えるように加工されており、この各
リード条１７の間の溝部１８は非磁性体のメッキ又は非
磁性体のチューブで保護されるように加工されている。(Embodiment of the invention) FIG. 1 shows an embodiment of the invention, in which a rod 11
The helical winding strips 17 (hereinafter abbreviated as lead strips) are processed so that the lead angle increases by a fixed increment, and the grooves 18 between each of the lead strips 17 are plated with a non-magnetic material or coated with a non-magnetic material. It is processed to be protected by a tube.

ここで。here.

リード角が漸増しているということはピッチＰが同じ割
合で漸増していることを意味している。そして、ロッド
１１の同一円周上には所定の間隔をもってここでは２つ
の検出ヘッド部１３と１４が配置されている。この検出
ヘッドｍ１４の＾−轟断面をコイル部分を強調して拡大
して第２図に示す。The fact that the lead angle is gradually increasing means that the pitch P is gradually increasing at the same rate. Two detection heads 13 and 14 are arranged on the same circumference of the rod 11 at a predetermined interval. FIG. 2 shows an enlarged cross section of the detection head m14 with the coil portion emphasized.

同図において、１次コイルｗ１と罰が接続された状態で
１ｓｉｎωｔにより励磁され、同じく１次コイルｗ２と
Ｉｌ＋４が接続された状態でＩｃｏｓωｔにより交流励
磁される。そして、２次コイル１１１１．ｌ１１２、ｗ
１３及び１１１４はそれぞれ電気的に接続された状態で
形成されており、上記交流励磁により出力電圧ＥＯが誘
起される。In the figure, with the primary coil w1 and Il+4 connected, it is excited by 1 sin ωt, and with the primary coils w2 and Il+4 connected, it is AC excited by Icos ωt. And the secondary coil 1111. l112,w
13 and 1114 are formed in an electrically connected state, and an output voltage EO is induced by the above AC excitation.

第３図は、上述したようなロッド１１と２つの一出ヘッ
ド部１３及び！４によって絶対位置が得られるまでの経
過を説明するためのブロック構成図である。先ず、交流
励磁電源２１から出力される正弦波出力１ａｉｎωｔと
余弦波出力ＩｃｅｓωＬが２つの検出ヘッド部１３と１
４のそれぞれの１次コイル７１Ａ、？ＩＢと７２Ａ、７
２Ｂに供給されると、検出ヘッド部！３の２次コイル８
１Ａ及び８１Ｂからは誘起電圧ＩＥＯＩが、また検出ヘ
ッド部１４の２次コイル８２Ａ及び８２Ｂからは誘起電
圧！０２がそれぞれ出力される。この誘起電圧Ｅｅｌ及
びＥＯ２はそれぞれ位相検出部２２及び２３に入力され
、正弦波出力１ｇｔｎωｔを基準電圧として位相検出さ
れる。FIG. 3 shows a rod 11 as described above, two projecting head parts 13, and! FIG. 4 is a block configuration diagram for explaining the process until the absolute position is obtained by the method 4. FIG. First, the sine wave output 1ainωt and the cosine wave output IcesωL output from the AC excitation power source 21 are transmitted to the two detection heads 13 and 1.
4 each of the primary coils 71A, ? IB and 72A, 7
When supplied to 2B, the detection head section! 3 secondary coil 8
An induced voltage IEOI is generated from 1A and 81B, and an induced voltage is generated from the secondary coils 82A and 82B of the detection head section 14! 02 are output respectively. The induced voltages Eel and EO2 are input to phase detection sections 22 and 23, respectively, and their phases are detected using the sine wave output 1gtnωt as a reference voltage.

そして、この位相検出部２２及び２３の位相検出信号Ｈ
１及びＨ２は＾／Ｄコンバータ２４及び２５によりそれ
ぞれディジタル量に変換され、ディジタル信号１１Ｓ１
及びＤＳ２を出力する。このようにして得られたディジ
タル信号ＤＳＩ及びＤＳ２は、それぞれコンピュータ等
で成る演算処理部２６に入力されて所定の演算処理が行
なわれる。Then, the phase detection signals H of the phase detection sections 22 and 23 are
1 and H2 are converted into digital quantities by ^/D converters 24 and 25, respectively, and a digital signal 11S1 is obtained.
and DS2 are output. The digital signals DSI and DS2 thus obtained are each input to an arithmetic processing section 26 consisting of a computer or the like, where predetermined arithmetic processing is performed.

このような構成において、ｍ４図（Ａ）〜（Ｃ）に示す
動作解析図を用いて以下にこの発明による絶対位置検出
方法の動作を説明する。In such a configuration, the operation of the absolute position detection method according to the present invention will be explained below using the operation analysis diagrams shown in FIGS.

第４図（轟）において、ロッド１１にはリード条の磁性
体１７とこのリード条の間の溝部を保護する非磁性体部
１８が交互に配置され、このロッドの長芋軸方向のある
断面において、これら磁性体１７Ａ、１７８．１７Ｇ・
・・と算磁性体１８Ａ、１８８，１１１０・・・とを一
対とするピッチ間隔が皇、ｉ＋Δ１．１＋２Δ見、・・
・、ｌ＋ｎ・Δ皇の如く微少増分Δ患だけ順次変化する
ようにこのロッド周に沿ってリード角が連続的に増加し
ている。ここにおいて、ロッド１１はたとえば鉄系の磁
性体材料でできており、このロッド１１のリード条１７
は磁性体であり、各リード条の間の溝部を保護するメッ
キ又はチューブ１８は非磁性体であるので、前述第６図
において説明したように、所定の間隔で配設された検出
ヘッド部によりこの口、ド！ｌの移動量な検出すること
ができる。つまり第４図（Ｂ）に示すように検出ヘッド
部１３の２次誘起電圧から得られるディジタル信号口Ｓ
１はスタート位置では零で、ｌピッチ分だけロッド１里
がＸ方向に移動したとき最大値（ａＳＳ）をとるように
、移動距離Ｘにほぼ比例した出力が得られる。同様に、
同図（Ｃ）に示すように１ピッチ分ずれて配設された検
出ヘッド部１４の２次誘起電圧から得られるディジタル
信号ＤＳ２は、ディジタル信号［ＩＳｌとは１ピッチ分
ずれて出力される。なお、ここで求められるディジタル
信号０５１及びＯＳ２は各々単独では前述の如くあくま
でもｌピッチ分の範囲内の移動距離Ｘの絶対値を示すだ
けであるから、以下これらディジタル信号ＤＳ１及びＤ
Ｓ２の２つの信号による全移動範囲にわたる移動距離の
絶対値を求める手順について説明する。In FIG. 4 (Todoroki), the magnetic material 17 of the reed strip and the non-magnetic material portion 18 that protects the groove between the reed strips are arranged alternately on the rod 11, and in a certain cross section in the axial direction of this rod, , these magnetic materials 17A, 178.17G・
..., and the pitch interval between a pair of magnetic bodies 18A, 188, 1110... is 1, i+Δ1.1+2Δ,...
The lead angle increases continuously along the circumference of the rod so that it sequentially changes by minute increments Δ, such as . Here, the rod 11 is made of, for example, an iron-based magnetic material, and the lead strip 17 of the rod 11 is
is a magnetic material, and the plating or tube 18 that protects the groove between each lead strip is a non-magnetic material, so as explained above with reference to FIG. This mouth, do! It is possible to detect the amount of movement of l. In other words, as shown in FIG. 4(B), the digital signal port S obtained from the secondary induced voltage of the detection head section 13
1 is zero at the start position, and takes the maximum value (aSS) when the rod 1 ri moves by l pitch in the X direction, so that an output approximately proportional to the moving distance X is obtained. Similarly,
As shown in FIG. 3C, the digital signal DS2 obtained from the secondary induced voltage of the detection head section 14, which is arranged with a one-pitch difference, is output with a one-pitch difference with respect to the digital signal [ISl. It should be noted that the digital signals 051 and OS2 obtained here only indicate the absolute value of the moving distance X within the range of l pitch as described above.
The procedure for determining the absolute value of the moving distance over the entire moving range using the two signals in S2 will be explained.

移動距離ＰＳｌは、このとき検出されるディジタル信号
Ｏ５１の値がＳｌであったとすると、ｐｓｔ　＝交◆（
９，＋Δ見）◆（ｉ＋２Δ１）＝３　Ｘ（１◆ΔＭ） となるから、一般式としてピッチ数をｎとすれば移動距
離Ｐｎｌは次のようになる。If the value of the digital signal O51 detected at this time is Sl, the moving distance PSl is calculated as follows: pst = intersection ◆(
9,+ΔSee)◆(i+2Δ1)=3

・・・・・・・・・（３） 同様にして、ディジタル信号口Ｓ２の値が５２であった
とすると、このときの一般式として移動距離Ｐｉｌｌ　
は次のようになる。(3) Similarly, if the value of the digital signal port S2 is 52, the general formula at this time is the moving distance Pill.
becomes as follows.

Ｐａ鵞　　〜　３１（Ｊｌ　　◆　Δ　皇　　※□・　
　Δ　、Ｓｌ、）ここで、（３）式及び（０式における
Ｐｒ１１は１本来等しいものであるから。Pa Go ~ 31 (Jl ◆ Δ Emperor *□・
Δ, Sl,) Here, Pr11 in equations (3) and (0) are originally equal to 1.

・・・・−−−−−（５） となる、ところで、（５）式は第４図の移動距離がＰＳ
Ｉである時の一般式から求めたものであるが、実際には
ＰＳ２のような位置関係の状態もあり得る。このときの
ディジタル信号Ｏ５１及びＤＳ２の値がそれぞれＳ３及
びＳ４であるとすると、（３）式が（８）式に、（０式
が（７）式に、（５）式が（８）式にそれぞれ対応して
２次式が得られる。...------(5) By the way, equation (5) shows that the moving distance in Fig. 4 is PS
Although this is obtained from the general formula when PS is I, in reality there may be a positional relationship like PS2. Assuming that the values of digital signals O51 and DS2 at this time are S3 and S4, respectively, equation (3) becomes equation (8), equation (0 becomes equation (7), and equation (5) becomes equation (8). A quadratic equation is obtained corresponding to each of .

ｐＨ２−５（４１”−・Δｎ　＞　、　ｌ　”　ｎ　Ａ
ｌ　−５３・・・・・・・・・（８） Ｐｎ２　”　（！ｌ−１）（皇◆□・Δ見）見◆ｎ・Δ
見 ＋　□・５４ ｔｏｏ。pH2-5(41"-・Δn>, l"nA
l -53・・・・・・・・・(8) Pn2 ” (!l-1) (Ku◆□・ΔSee)See◆n・Δ
See + □・54 too.

・・・・・・・・・（７） 見 Ｓ３−　Ｓ４−　　、４１１＋　Δ、　−１０００−・
−−−−−（８）ここにおいて、（５）式または（８）
式においては５ｌ−Ｓ４．１及びΔ皇が既知量であるか
ら、ピッチ数ｎが求まり、このピッチ数ｎが求まること
により、ロッド１１の移動量Ｘが絶対値として検出でき
る。すなわち、（５）式まだは（８）式によリピッチ数
ｎを求め、このピッチ数ｎを（３）式又は（４）式或い
は（８）式又は（７）式に代入することにより、ロッド
１１の移動距離Ｘが絶対値で求められる。なお、これら
の演算は演算処理部２Ｂにおいて行なわれる。・・・・・・・・・(7) See S3- S4-, 411+ Δ, -1000-・
--------(8) Here, formula (5) or (8)
In the equation, since 5l-S4.1 and ∆ are known quantities, the number of pitches n can be determined, and by determining the number of pitches n, the amount of movement X of the rod 11 can be detected as an absolute value. That is, by calculating the repitch number n using equation (5) or equation (8), and substituting this pitch number n into equation (3) or (4) or equation (8) or equation (7), The moving distance X of the rod 11 is determined as an absolute value. Note that these calculations are performed in the calculation processing section 2B.

なお、この発明の理解を容易にするため、第１図の例で
はロッド１１と検出ヘッド部１３及び１４のスタート位
置として、ロッド１１のリード条と合致させるように配
置したが、どのような位置からスタートしても以上の解
析結果は適用できるものである。また、ディジタル信号
ＤＳ！及びＤＳ２をここでは最大値を９Ｈとして解析し
たが、これはｌサイクル（１ピツチ）の分割数（ｔｏｏ
ｏ分ｗｉ）であり、任意に選択することができ、また磁
気検出ヘッドを３個以上使用するなど複数配置すること
により更に精度を向上させることも可能である。この場
合、この複数配置する磁気検出ヘッドを円周上に配置す
れば精度を向上させると同時に芯出し調整を不要とし。In order to facilitate understanding of the present invention, in the example shown in FIG. 1, the starting positions of the rod 11 and the detection heads 13 and 14 are arranged so as to match the lead line of the rod 11. The above analysis results can be applied even if you start from . Also, digital signal DS! and DS2 were analyzed here with the maximum value of 9H, but this is the number of divisions (too
The magnetic detection head can be selected arbitrarily, and it is also possible to further improve the accuracy by arranging a plurality of magnetic detection heads, such as using three or more magnetic detection heads. In this case, by arranging the plurality of magnetic detection heads on the circumference, accuracy can be improved and centering adjustment can be made unnecessary.

温度、ｉｕｔなどにより変形をなくシ、耐環境性を向上
させることも可能となる。また、ここではロッドｌ！に
リード条を加工した場合について説明したが、非磁性体
のロッドの表面に磁性材質のテープなどを巻くことによ
り同様な磁気抵抗の変化を得ることもできる。そして、
また溝部を保護するためにプラスチックまたはモードル
材等の非磁性材で埋め表面が平坦なロッドにすることも
可能である。It is also possible to eliminate deformation due to temperature, iut, etc. and improve environmental resistance. Also, here is the rod! Although the case in which lead strips are processed has been described above, a similar change in magnetic resistance can also be obtained by wrapping a magnetic tape or the like around the surface of a non-magnetic rod. and,
It is also possible to fill the groove with a non-magnetic material such as plastic or mold material to protect the groove, thereby forming a rod with a flat surface.

第５図は、この発明をシリンダ装置に応用した一例を示
すもので、シリンダブロック１２とシリンダロッド１１
から成るシリンダ装置はＡポートＰ＾とＢポートＰ＾に
流出入する流体により駆動されるようになっている。そ
して、シリンダロッド１．１のロッド表面上に配設され
たリード条及び溝部１５に対し、シリンダブロック１２
側に配設された２つの検出ヘッド部１３及び１４により
シリンダロッド１１の移動距離が絶対位置として検出で
きるのである。なお、ケーブル１Ｂは検出ヘッド部１３
及び１４に入出力するためのものである。FIG. 5 shows an example in which the present invention is applied to a cylinder device, in which a cylinder block 12 and a cylinder rod 11 are shown.
The cylinder device consisting of is driven by fluid flowing in and out of the A port P^ and the B port P^. Then, the cylinder block 12
The moving distance of the cylinder rod 11 can be detected as an absolute position by the two detection heads 13 and 14 arranged on the side. Note that the cable 1B is connected to the detection head section 13.
and 14 for input/output.

このようなシリンダロッドの応用例としてはエアシリン
ダ、油圧シリンダの他、ダイカストマシンの射出シリン
ダ、射出成形機の型締シリンダとか、シリンダ駆動の搬
送ラインまたは工作機械のテーブル移動などがあり、そ
の用途は広範囲にわたるものである。Application examples of such cylinder rods include air cylinders, hydraulic cylinders, injection cylinders of die-casting machines, clamping cylinders of injection molding machines, cylinder-driven conveyor lines, and table movement of machine tools. is wide-ranging.

（発明の効果） 以上のようにこの発明によれば、ロッドにリード条と溝
部をつけるだけで、全測長範囲内において絶対位置が検
出できるので、小型化、分解能の向上及びコストの低減
を図ることができ、極めて簡易で性能のよい絶対位置検
出装置を実現できる。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, the absolute position can be detected within the entire length measurement range by simply attaching lead stripes and grooves to the rod, resulting in miniaturization, improved resolution, and reduced cost. Therefore, an extremely simple and high-performance absolute position detection device can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図及び第２図はこの発明の一実施例を系図、第５図
はこの発明の応用例を示す図、第６図は従来例を示す図
である。 １．１１・・・ロッド、２，１３．１４・・・検出ヘッ
ド部、３・・・磁性体部、４・・・非磁性体部、　１７
・・・つる巻線条部、１８・・・構部、２！・・・交流
励磁電源、２２．２３・・・位相検出部、２４．２５−
＝Ａ／ｒＪ　：Ｉ７バータ、２６・・・５ｉｒ′Ｂ処理
部。 手続補正歯（方式） 特許庁長官　宇　賀　道　部　殿 １、事件の表示 昭和６０年特許願第１２４３１３号 ２、発明の名称 絶対位置検出装置 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 東京都中央区銀座４丁目２番１１号 （３４５）東芝機械株式会社 ４、代理人 昭和６０年８月７日 （発送日　昭和８０年８月２７日） °　おり（内容に変更なし）補正する。FIGS. 1 and 2 are diagrams showing one embodiment of the present invention, FIG. 5 is a diagram showing an application example of the invention, and FIG. 6 is a diagram showing a conventional example. 1.11... Rod, 2, 13.14... Detection head part, 3... Magnetic body part, 4... Non-magnetic body part, 17
... Vine winding wire section, 18... Structure section, 2! ... AC excitation power supply, 22.23 ... Phase detection section, 24.25-
=A/rJ: I7 converter, 26...5ir'B processing section. Procedural amendment (method) Michibe Uga, Commissioner of the Patent Office1, Indication of the case, 1985 Patent Application No. 1243132, Name of the invention Absolute position detection device 3, Person making the amendment Relationship with the case Patent applicant Tokyo Toshiba Machine Co., Ltd. 4, 4-2-11 Ginza, Chuo-ku, Tokyo (345), Agent August 7, 1985 (Date of dispatch: August 27, 1980) ° Correction (no change in content).

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）リード角が所定量づつ漸増するようにつる巻線条
を加工し、前記各つる巻線条間に非磁性体を設置した磁
性体からなるロッドと、このロッドの軸方向に配設され
た複数個の磁気検出ヘッドと、これら磁気検出ヘッドか
らの出力電圧を位相検出する位相検出部と、この位相検
出部の出力電圧に基づいて所定の演算を行なう演算処理
部とを具え、前記ロッドと前記検出ヘッドとの間の絶対
位置関係を検出できるようにしたことを特徴とする絶対
位置検出装置。(1) A rod made of a magnetic material in which the helical winding wire is processed so that the lead angle gradually increases by a predetermined amount, and a non-magnetic material is installed between each of the helical winding wires, and the rod is arranged in the axial direction of the rod. a plurality of magnetic detection heads, a phase detection section that detects the phase of the output voltage from these magnetic detection heads, and an arithmetic processing section that performs a predetermined calculation based on the output voltage of the phase detection section; An absolute position detection device characterized by being able to detect an absolute positional relationship between a rod and the detection head. （２）前記ロッドにリード角が所定量づつ漸増するよう
に磁性体からなるつる巻線状の帯体を巻着し、前記各つ
る巻線条間に非磁性体を配置した特許請求の範囲第１項
に記載の絶対位置検出装置。(2) A helical winding band made of a magnetic material is wound around the rod so that the lead angle gradually increases by a predetermined amount, and a non-magnetic material is arranged between each of the helical winding strips. The absolute position detection device according to item 1. （３）前記磁気検出ヘッドを前記ロッドの円周方向に複
数個配設した特許請求の範囲第１項又は第２項に記載の
絶対位置検出装置。(3) The absolute position detection device according to claim 1 or 2, wherein a plurality of the magnetic detection heads are arranged in a circumferential direction of the rod.