JPS61277041A - 金属被膜の螢光x線分析方法及び装置 - Google Patents
金属被膜の螢光x線分析方法及び装置Info
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- JPS61277041A JPS61277041A JP11926785A JP11926785A JPS61277041A JP S61277041 A JPS61277041 A JP S61277041A JP 11926785 A JP11926785 A JP 11926785A JP 11926785 A JP11926785 A JP 11926785A JP S61277041 A JPS61277041 A JP S61277041A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
C産業上の利用分野)
本発明は鋼材表面に形成されたZn*Allを含有する
金属被膜の組成と厚さく付着量)とを定量分析する方法
及び装置に関する。
金属被膜の組成と厚さく付着量)とを定量分析する方法
及び装置に関する。
鋼材は耐腐食性、美観等の向上を目的として表面に金属
被膜を形成させて使用される場合がある。
被膜を形成させて使用される場合がある。
この金属被膜の組成及び付着量の定量分析は夫々の金属
被膜を構成する元素の種類等に応じて適当な分析方法が
開発、採用されている。
被膜を構成する元素の種類等に応じて適当な分析方法が
開発、採用されている。
ところで、商品名がガルファン或いはガルバリニームと
称され、Zn−Aj!合金を鋼板上に被覆した熔融Zn
−A Itめっき鋼板については、その組成と付着量と
を同時に定量分析する方法は未だ開発されていない。こ
れを詳述すると、従来では溶融Zn−A I!合金めっ
き鋼板の組成、付着量の定量分析は、その合金組成が一
定と思われるものについて励起X線を照射して蛍光X線
のうちZnKtl線の強度を測定し、その測定値に基づ
いて付着量を定量し、組成についてはめっき鋼板よりサ
ンプルをとって化学分析する方法が採用されており、組
成と付着量とは同時に分析されていなかった。
称され、Zn−Aj!合金を鋼板上に被覆した熔融Zn
−A Itめっき鋼板については、その組成と付着量と
を同時に定量分析する方法は未だ開発されていない。こ
れを詳述すると、従来では溶融Zn−A I!合金めっ
き鋼板の組成、付着量の定量分析は、その合金組成が一
定と思われるものについて励起X線を照射して蛍光X線
のうちZnKtl線の強度を測定し、その測定値に基づ
いて付着量を定量し、組成についてはめっき鋼板よりサ
ンプルをとって化学分析する方法が採用されており、組
成と付着量とは同時に分析されていなかった。
このため従来にあっては付着量を定量した溶融Zn−A
lめっき鋼板上の位置に対応する組成の分析がなされて
おらず、品質管理上、好ましくなかった。
lめっき鋼板上の位置に対応する組成の分析がなされて
おらず、品質管理上、好ましくなかった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、Za
−A A!めっき鋼板に励起放射線を入射してZn−A
4合金被膜下の鋼材からのFeKa線及び/又はFeK
a線(D蛍光X線強度を測定することにより、その測定
値とZn−AJ合金被膜厚さによる上記蛍光X線強度変
化量との関係に基づき組成を分析でき、またZn−へβ
合金被膜からのZnK、線又はFeK6線の蛍光X線強
度を測定することにより、その測定値と厚さく付着量)
との関連性に基づき厚さく付着量)を分析できる金属被
膜の蛍光X線分析方法及び装置を提供することを目的と
する。
−A A!めっき鋼板に励起放射線を入射してZn−A
4合金被膜下の鋼材からのFeKa線及び/又はFeK
a線(D蛍光X線強度を測定することにより、その測定
値とZn−AJ合金被膜厚さによる上記蛍光X線強度変
化量との関係に基づき組成を分析でき、またZn−へβ
合金被膜からのZnK、線又はFeK6線の蛍光X線強
度を測定することにより、その測定値と厚さく付着量)
との関連性に基づき厚さく付着量)を分析できる金属被
膜の蛍光X線分析方法及び装置を提供することを目的と
する。
本発明に係る金属被膜の蛍光X線分析方法の第1項は鋼
材表面に形成されたZn、^lを含有する金属被膜の組
成及び付着量を蛍光X線分析する方法において、金属被
膜側より鋼材へ向けて励起放射線を照射して鋼材からの
FeKa線及び/又はFeKa線の強度を測定し、その
測定値に基づき金属被膜の付着量を算出し、また金属被
膜からのZnKa線又はZnKa線の強度を測定し、そ
の測定値と算出した金属被膜の付着量とに基づき金属被
膜の組成を算出することを特徴とし、第3項は、鋼材か
らのFeK、線及び/又はFeK6線の強度に基づき合
金被膜の付M量を算出し、金属被膜からのZnLtr線
又は八1Kaa*の強度を真空下で測定し、その測定値
に基づき金属被膜の組成を算出することを特徴とする。
材表面に形成されたZn、^lを含有する金属被膜の組
成及び付着量を蛍光X線分析する方法において、金属被
膜側より鋼材へ向けて励起放射線を照射して鋼材からの
FeKa線及び/又はFeKa線の強度を測定し、その
測定値に基づき金属被膜の付着量を算出し、また金属被
膜からのZnKa線又はZnKa線の強度を測定し、そ
の測定値と算出した金属被膜の付着量とに基づき金属被
膜の組成を算出することを特徴とし、第3項は、鋼材か
らのFeK、線及び/又はFeK6線の強度に基づき合
金被膜の付M量を算出し、金属被膜からのZnLtr線
又は八1Kaa*の強度を真空下で測定し、その測定値
に基づき金属被膜の組成を算出することを特徴とする。
まず発明の原理について説明する。第1図はその原理説
明図であり、鋼板ib上に2元素のZn−Aβ合金被j
iilaが形成されたZn−Al1めっき鋼板lに励起
XIjIを入射角φで照射し、その蛍光X線を取出角ψ
で取出す状態を示す、Fe−A/合金被[ll!la、
m板tbからの蛍光X線はZnKtl、ZnK6 、
ZnLa 。
明図であり、鋼板ib上に2元素のZn−Aβ合金被j
iilaが形成されたZn−Al1めっき鋼板lに励起
XIjIを入射角φで照射し、その蛍光X線を取出角ψ
で取出す状態を示す、Fe−A/合金被[ll!la、
m板tbからの蛍光X線はZnKtl、ZnK6 、
ZnLa 。
FeK 、y、FeK a r A It K tr
等であり、そのうちの例えばZnKa 、 Al K
a 、 FeKaについての蛍光X線強度は下記(11
,(21,<31式にて表わされること^(知られてい
る。
等であり、そのうちの例えばZnKa 、 Al K
a 、 FeKaについての蛍光X線強度は下記(11
,(21,<31式にて表わされること^(知られてい
る。
ZnKg
sin ψ
I AAKa
kAj−Io −WAj
sin ψ
pzI14 μzlI−Aj□+□
sin φ sin ψ
・・・(2)
I Faに。
k、、 ・ ro −w、。
sin ψ
sin φ sin ψ
・・・(3)
但し、Io :励起X線の強度
λ :励起X線の波長
kz、kA、、 kFe :定数
μ2n丸、 μZn鴨。
/’zn’;+ +’R−’励起X線及びZnK、、
。
。
AA Ka、 FeK、l線
のZn−A j!合金被膜に
対する質量吸収係数
μへ、μ乏Ka、励起X線及びFaKa線のPaに対す
る質量吸収係数 ρ2、m : Zn−A j!合金被膜(7)密度t
’:Zn−Al1合金被膜の厚さW2o、WA、:
被膜中のZn、^1重量分比(W27+WA□=1) なお、ZnKa 、ZnLa線については上記(1)、
(21式と同様な式にて、またFeK、線については
上記(3)式と同様な式にて表わせる。
る質量吸収係数 ρ2、m : Zn−A j!合金被膜(7)密度t
’:Zn−Al1合金被膜の厚さW2o、WA、:
被膜中のZn、^1重量分比(W27+WA□=1) なお、ZnKa 、ZnLa線については上記(1)、
(21式と同様な式にて、またFeK、線については
上記(3)式と同様な式にて表わせる。
そして上記(3)式より理解される如<FeK、の蛍光
X線強度はZn−11合金被膜1aの組成に関係せず、
入射した励起X線がZn−Al合金被膜1aにて吸収さ
れるX線量と、鋼板1bからの蛍光X線つまりFeKa
線がZn−A 12合金被yllaに吸収されるX線量
とにより影響を受けたものとして表わされる。
X線強度はZn−11合金被膜1aの組成に関係せず、
入射した励起X線がZn−Al合金被膜1aにて吸収さ
れるX線量と、鋼板1bからの蛍光X線つまりFeKa
線がZn−A 12合金被yllaに吸収されるX線量
とにより影響を受けたものとして表わされる。
第2図は横軸に付着量(ρ2nえ・t)をとり、また縦
軸にFeKn線強度をとって、上記(3)式を示したグ
ラフである。この図より理解される如くFeKヶ線強度
はZn−へ1合金被膜1aの付着量が厚くなるとこれに
て吸収されるX線量が多量となって小さくなり、付着量
との間には一義的な関係があり、FeKa線強度を測定
することにより付着量を算出できる。
軸にFeKn線強度をとって、上記(3)式を示したグ
ラフである。この図より理解される如くFeKヶ線強度
はZn−へ1合金被膜1aの付着量が厚くなるとこれに
て吸収されるX線量が多量となって小さくなり、付着量
との間には一義的な関係があり、FeKa線強度を測定
することにより付着量を算出できる。
一方、上記(11〜(2)式より理解される如(Zn−
^1合金被膜laからの蛍光X線CZnKa 、 A
l Ka )強度は、付着量と組成(W Z。又はW
Am )との関数にて表わされる。第3図は横軸に八1
%をとり、また縦軸にZnK、線強度をとって、付着量
が50 g/m2 。
^1合金被膜laからの蛍光X線CZnKa 、 A
l Ka )強度は、付着量と組成(W Z。又はW
Am )との関数にて表わされる。第3図は横軸に八1
%をとり、また縦軸にZnK、線強度をとって、付着量
が50 g/m2 。
80 g/m2,100g/m2,200g/m2のと
きの上記(2)式を示したグラフである。この図より理
解される如く付着量が定まっておればZnK、線強度と
AJ%つまり被膜中のAlt濃度との間にも一義的な関
係がある。
きの上記(2)式を示したグラフである。この図より理
解される如く付着量が定まっておればZnK、線強度と
AJ%つまり被膜中のAlt濃度との間にも一義的な関
係がある。
ところでZnKn線強度は(1)式にて示されるが、(
1)式における右辺のexpの項をティラー展開し、2
次の項までで近似すると下記(4)式にて示すこともで
きる。
1)式における右辺のexpの項をティラー展開し、2
次の項までで近似すると下記(4)式にて示すこともで
きる。
ZaKz
kZa)1m ・■0 ’ W2a−sin ψ
・・・(4)
ここで組成をZn%、付着量をX(−ρ2a (I+
” )とすると(4)式は、 1211に11− a・(Zn%)−x+b(Zn%)
・x2+c・ (Zn%) 2・x2+ct
−=<51但し、a、 b、 c、 d:各項の
定数として表わされる。
” )とすると(4)式は、 1211に11− a・(Zn%)−x+b(Zn%)
・x2+c・ (Zn%) 2・x2+ct
−=<51但し、a、 b、 c、 d:各項の
定数として表わされる。
更に、(5)式はZn%+^1%=100%であるので
、I ZllK# = A−X + B ・(AJ%)
−x+C−x2+D・ (An!%)・x2+E−(A
J%) 2・x2+p’ −・ta+として表わさ
れる。
、I ZllK# = A−X + B ・(AJ%)
−x+C−x2+D・ (An!%)・x2+E−(A
J%) 2・x2+p’ −・ta+として表わさ
れる。
従ってZn〜^1合金被膜1aからの蛍光X線、例えば
ZnK、の強度を測定し、その測定値、付着量測定値X
及び上記(6)式に基づいて442%、つまり組成の測
定が可能となる。
ZnK、の強度を測定し、その測定値、付着量測定値X
及び上記(6)式に基づいて442%、つまり組成の測
定が可能となる。
叙上の理由により鋼板からの蛍光X線(FeKa。
FeKa)強度を測定して付着量を定量分析し、Zn−
61合金被膜からの蛍光X線(ZnK、、ZnK6 。
61合金被膜からの蛍光X線(ZnK、、ZnK6 。
ZnL、、 AIIK、、 )強度を測定してその測
定値と付着量分析値とに基づき組成を定量分析すること
により同時に付着量と組成とを分析できる。
定値と付着量分析値とに基づき組成を定量分析すること
により同時に付着量と組成とを分析できる。
以下に本発明を図面に基づき具体的に説明゛する。
第4図は本発明の実施例を示す模式図であり、図中1は
Zn−AJめっき鋼板を示す。Zn−八lめっき鋼板1
は鋼板1bの表面に2元素のZn−A j!合金被膜1
aが形成されており、ホルダ(図示せず)に支持されて
いる。Zn−Alめっき鋼板lの上方を少し外れた位置
には励起X線をZn−Alめっき鋼板1に向けて照射す
るX線源2が図示しないX線源用支持装置にて支持され
て設けられており、支持装置はX線源2をZn−Alめ
っき鋼板1を中心とする円弧上を移動させて入射角φを
変更できるようになっている。
Zn−AJめっき鋼板を示す。Zn−八lめっき鋼板1
は鋼板1bの表面に2元素のZn−A j!合金被膜1
aが形成されており、ホルダ(図示せず)に支持されて
いる。Zn−Alめっき鋼板lの上方を少し外れた位置
には励起X線をZn−Alめっき鋼板1に向けて照射す
るX線源2が図示しないX線源用支持装置にて支持され
て設けられており、支持装置はX線源2をZn−Alめ
っき鋼板1を中心とする円弧上を移動させて入射角φを
変更できるようになっている。
X線線源2は励起X線を発生するターゲ7)板(陰極)
が異なるX線管球を2個、例えばW対陰極のX線管球と
Cu対陰極のX線管球とを備えており、そのうちの一方
のX線管球を選択してそれより発生する励起X線をX線
源2の照射面側に設けたスリット板3を介して照射でき
る。
が異なるX線管球を2個、例えばW対陰極のX線管球と
Cu対陰極のX線管球とを備えており、そのうちの一方
のX線管球を選択してそれより発生する励起X線をX線
源2の照射面側に設けたスリット板3を介して照射でき
る。
Zn−AJめっき鋼板1に励起X線が照射されるとZn
−AJめっき鋼板lより蛍光X線が発生し、その進路上
には例えばエネルギー分散型のX線検出器4が図示しな
いX線検出用支持装置にて支持されて設けられており、
その支持装置はX線検出器4をZn−Al1めっき鋼板
lを中心とする第2の円弧上を移動させて取出角ψを変
更できるようになっている。
−AJめっき鋼板lより蛍光X線が発生し、その進路上
には例えばエネルギー分散型のX線検出器4が図示しな
いX線検出用支持装置にて支持されて設けられており、
その支持装置はX線検出器4をZn−Al1めっき鋼板
lを中心とする第2の円弧上を移動させて取出角ψを変
更できるようになっている。
検出器4にて検出された蛍光X線はここで電気信号に変
換され、電気信号は増幅器5へ送られた後に波高分析器
6及び計数器7によって所定の金属元素の蛍光X線強度
に変換される。
換され、電気信号は増幅器5へ送られた後に波高分析器
6及び計数器7によって所定の金属元素の蛍光X線強度
に変換される。
計数器7の蛍光X線強度に対応する出力は演算制御装置
8に導かれる。この演算制御装置8には前記(31,+
61式が設定されており、演算制御装置8は(31,(
61式並びに入力信号、即ち蛍光X線強度及び入力され
たその測定条件たるI。、λ+ kZa+μ以え、μ
zn−41μに3.φ、ψ等に基づいてZn−へ1合金
被1ii1aの厚さ及び組成を算出し、その算出値を表
示器9に表示させる。
8に導かれる。この演算制御装置8には前記(31,+
61式が設定されており、演算制御装置8は(31,(
61式並びに入力信号、即ち蛍光X線強度及び入力され
たその測定条件たるI。、λ+ kZa+μ以え、μ
zn−41μに3.φ、ψ等に基づいてZn−へ1合金
被1ii1aの厚さ及び組成を算出し、その算出値を表
示器9に表示させる。
また演算制御装置8はX線、角度制御装置10及び角度
制御装置11を駆動させて、X線源2と検出器4とをZ
n−八Eめっき鋼板1に対して入射角φ。
制御装置11を駆動させて、X線源2と検出器4とをZ
n−八Eめっき鋼板1に対して入射角φ。
取出角ψが夫々所定値となるようにセットし、またX線
源2のX線管球を選択できるようになっている。
源2のX線管球を選択できるようになっている。
このように構成された本発明に係る蛍光X線分析装置に
よる本発明の分析方法を以下に説明する。
よる本発明の分析方法を以下に説明する。
まず演算制御装置8は付着量を測定すべくX線源2及び
検出器4を入射角φ1例えば90°、取出角φ1例えば
60°となるように回転させ、またX線源2をCu対陰
極のX線管球に選択する。
検出器4を入射角φ1例えば90°、取出角φ1例えば
60°となるように回転させ、またX線源2をCu対陰
極のX線管球に選択する。
X線源2からCuK、の励起X線が発せられると、励起
X線はZn−Aj!めっき滑板lへ照射され、検出器4
にて鋼板1bからの蛍光X線は電気信号として捉えられ
、その電気信号は波高分析器6.計数器7を経て演算制
御装置8へ与えられる。
X線はZn−Aj!めっき滑板lへ照射され、検出器4
にて鋼板1bからの蛍光X線は電気信号として捉えられ
、その電気信号は波高分析器6.計数器7を経て演算制
御装置8へ与えられる。
演算制御装置8は入力信号たる蛍光X線強度、例えばF
eK、の強度値と(3)式とに基づき付着量を算出する
。
eK、の強度値と(3)式とに基づき付着量を算出する
。
この算出が終了すると、演算制御装置8はX線源2及び
検出器4を所定の入射角φ2例えば30°。
検出器4を所定の入射角φ2例えば30°。
取出角ψ2例えば30°となるように回転させ、またX
線源2をもう、一方のW対陰極のX線管球に変更する。
線源2をもう、一方のW対陰極のX線管球に変更する。
X線源2からWKaの励起X線が発せられると検出器4
はZn−AJ合金被膜1aからの蛍光X線を捉える。そ
して演算制御装置8は入力信号及び付着量算出値、(6
)式に基づき組成を算出し、その算出値及び付着量算出
値を表示器9に表示させる。
はZn−AJ合金被膜1aからの蛍光X線を捉える。そ
して演算制御装置8は入力信号及び付着量算出値、(6
)式に基づき組成を算出し、その算出値及び付着量算出
値を表示器9に表示させる。
このように本発明により定量分析する場合は、Zn、−
A42合金被膜の厚さ及び組成の同時測定を可能とし得
る。
A42合金被膜の厚さ及び組成の同時測定を可能とし得
る。
なお、上記説明では大気中における測定を前提としてい
る。つまりAj! Kn 、 ZnLa線については空
気によるX線の吸収量が大きく大気中での蛍光X線強度
の測定が困難であるため、空気による吸収量が少ないZ
nK、、ZnK1 、PeKa、FeK7)線のなかか
らZnK、、FeKaを使用して大気中でも測定できる
ようにしている。但し、FeKzとFeKAとが検出さ
れる場合にはFeK6についてもFeKn強度に関する
(3)式と同様な関係式を定めてその式と(3)式との
連立方程式を解くことにより付着量を求める。
る。つまりAj! Kn 、 ZnLa線については空
気によるX線の吸収量が大きく大気中での蛍光X線強度
の測定が困難であるため、空気による吸収量が少ないZ
nK、、ZnK1 、PeKa、FeK7)線のなかか
らZnK、、FeKaを使用して大気中でも測定できる
ようにしている。但し、FeKzとFeKAとが検出さ
れる場合にはFeK6についてもFeKn強度に関する
(3)式と同様な関係式を定めてその式と(3)式との
連立方程式を解くことにより付着量を求める。
しかし、真空度が例えば1O−2Torr以下の状態で
測定する場合には^’ Ka + Zn L (1線に
よっても測定できる。そして、この場合AI Ka r
ZnL。
測定する場合には^’ Ka + Zn L (1線に
よっても測定できる。そして、この場合AI Ka r
ZnL。
の入射深さが浅いので、八βK a 、 Zn L a
線の強度は鋼板ibによる影響を受けておらず、組成だ
けの関数として表わせる。従って、この強度のみを測定
することにより直接組成の分析が可能である。
線の強度は鋼板ibによる影響を受けておらず、組成だ
けの関数として表わせる。従って、この強度のみを測定
することにより直接組成の分析が可能である。
そしてFeK、、FeK6線強度により付着量を求める
ことにより固定量分析が可能である。
ことにより固定量分析が可能である。
また、上記発明の原理のところでは、大気中においてA
βに、強度を測定できないため(4)式を(5)。
βに、強度を測定できないため(4)式を(5)。
(6)式に変化させてZnK、線強度を測定してA1%
を求めているが、上述の真空度下でAJK、線を測定す
ることにより組成を定量する場合には前記(2)式をテ
ィラー展開して(4)式に相当する式に変換して用いて
も本発明は実施できることは勿論である。
を求めているが、上述の真空度下でAJK、線を測定す
ることにより組成を定量する場合には前記(2)式をテ
ィラー展開して(4)式に相当する式に変換して用いて
も本発明は実施できることは勿論である。
なお、上記実施例ではW対陰極のX線管球とCu対陰極
のX線管球とを備えたX線源を使用しているが、本発明
は比例計数管本式の波高分析器を具備するので、これに
替えてγ線を発する241A−の同位体を備えた放射線
源を使用しても実施できる。
のX線管球とを備えたX線源を使用しているが、本発明
は比例計数管本式の波高分析器を具備するので、これに
替えてγ線を発する241A−の同位体を備えた放射線
源を使用しても実施できる。
これは比例計数管方式のものは、例えばFeK、とZn
Kaとの弁別が可能であるためである。また本発明はW
対陰極のX線管球、 Cu対陰極のX線管及球及び24
1A、の同位体を備えたものを用い、これらを選択的に
使用するようにしても実施できる。
Kaとの弁別が可能であるためである。また本発明はW
対陰極のX線管球、 Cu対陰極のX線管及球及び24
1A、の同位体を備えたものを用い、これらを選択的に
使用するようにしても実施できる。
241Amの同位体を使用して測定する場合は、発生す
るγ線のエネルギーレベルが高いため比較的付着量の厚
いものでも測定できる。
るγ線のエネルギーレベルが高いため比較的付着量の厚
いものでも測定できる。
更に本発明は波高分析器に限らず、Feフィルター、Z
nフィルターを有するイオンチャンバ一方式を用いても
FeK、、ZnKヶの弁別が可能であるので、付着量と
組成との定量分析を実施できる。
nフィルターを有するイオンチャンバ一方式を用いても
FeK、、ZnKヶの弁別が可能であるので、付着量と
組成との定量分析を実施できる。
そして、更に上記実施例では明示していないが、本発明
は溶融めっき、電気めっき等いずれの方法によりZn−
^lめっきされた合金被膜をも定量分析できることは勿
論である。
は溶融めっき、電気めっき等いずれの方法によりZn−
^lめっきされた合金被膜をも定量分析できることは勿
論である。
また、本発明はZn−A j2の2元素合金被膜に限ら
ず、Zn、Aj!を含自する3元素以上の合金被膜であ
っても定量分析できるのは勿論である。
ず、Zn、Aj!を含自する3元素以上の合金被膜であ
っても定量分析できるのは勿論である。
種々の付着量と組成のZn−^lめっき被膜の試料を大
気中にて定量分析すべく、付着量測定用としてCu対陰
極のX線管球を用いてこれを30kV−1011IAの
条件で励起し、φ=90”、 ψ=60°にてFeK
A線の強度を測定し、また組成測定用としてW対陰極の
X線管球を用いてこれを30kV−2On+^の条件で
励起し、φ=30°、ψ=30°にてZnK、線の強度
を測定した。
気中にて定量分析すべく、付着量測定用としてCu対陰
極のX線管球を用いてこれを30kV−1011IAの
条件で励起し、φ=90”、 ψ=60°にてFeK
A線の強度を測定し、また組成測定用としてW対陰極の
X線管球を用いてこれを30kV−2On+^の条件で
励起し、φ=30°、ψ=30°にてZnK、線の強度
を測定した。
第5図はこの測定により得られたFeKn線強度と化学
分析により求めた付着量との関係(白丸印)を示すグラ
フであり、図中実線は(3)式に基づき求めた検量線を
示す。この図より理解される如く本発明により付着量を
測定する場合は、測定値より求める付着量と検量線によ
り求まる付着量とがよく一致しており、FeKn線強度
を測定することにより付着量を精度よく定量できた。
分析により求めた付着量との関係(白丸印)を示すグラ
フであり、図中実線は(3)式に基づき求めた検量線を
示す。この図より理解される如く本発明により付着量を
測定する場合は、測定値より求める付着量と検量線によ
り求まる付着量とがよく一致しており、FeKn線強度
を測定することにより付着量を精度よく定量できた。
第6図は演算制御装置8にて求まったAJ%と化学分析
により求めたA1%との間の関係を示すグラフであり、
横軸に^1%−化学分析をとり、また縦軸にへN−X線
分析をとって示している。
により求めたA1%との間の関係を示すグラフであり、
横軸に^1%−化学分析をとり、また縦軸にへN−X線
分析をとって示している。
図中白丸印はその分析値を示す。この図より理解される
如く本発明による場合は組成の定量値を化学分析による
定量値とよく一致しており、正確に組成の定量分析が可
能であった。
如く本発明による場合は組成の定量値を化学分析による
定量値とよく一致しており、正確に組成の定量分析が可
能であった。
以上詳述した如く本発明による場合は、鋼材からの蛍光
X線の強度に基づいて付着量を算出し、また合金被膜か
らの蛍光X線の強度に基づいて直接に、又はその蛍光X
線強度と算出した付着量とに基づき組成を算出できるの
で、付着量と組成とを同時に定量分析が可能となり、品
質管理上有益な分析を行い得る。また本発明装置は大気
中、真空中に拘わらず、分析できるのでめっきラインへ
の適用が可能となり、この場合には操業中に定量分析で
きるので操業管理を行い得る等、本発明は優れた効果を
奏する。
X線の強度に基づいて付着量を算出し、また合金被膜か
らの蛍光X線の強度に基づいて直接に、又はその蛍光X
線強度と算出した付着量とに基づき組成を算出できるの
で、付着量と組成とを同時に定量分析が可能となり、品
質管理上有益な分析を行い得る。また本発明装置は大気
中、真空中に拘わらず、分析できるのでめっきラインへ
の適用が可能となり、この場合には操業中に定量分析で
きるので操業管理を行い得る等、本発明は優れた効果を
奏する。
第1.2.3図は本発明の原理説明図、第4図は本発明
の実hr=状態を示す模式図、第5,6図は本発明の効
果説明図である。 ■・・・Zn−Al1めっき鋼板 1a・・・Zn−^
1合金被膜tb・・・鋼板 2・・・X線源 4・・・
検出器 6・・・波高分析器 8・・・演算制御装置
10・・・X線、角度制御装置 11・・・角度制御装
置
の実hr=状態を示す模式図、第5,6図は本発明の効
果説明図である。 ■・・・Zn−Al1めっき鋼板 1a・・・Zn−^
1合金被膜tb・・・鋼板 2・・・X線源 4・・・
検出器 6・・・波高分析器 8・・・演算制御装置
10・・・X線、角度制御装置 11・・・角度制御装
置
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、鋼材表面に形成されたZn、Alを含有する金属被
膜の組成及び付着量を蛍光X線分析する方法において、 金属被膜側より鋼材へ向けて励起放射線を 照射して鋼材からのFeK_α線及び/又はFeK_β
線の強度を測定し、その測定値に基づき金属被膜の付着
量を算出し、 また金属被膜からのZnK_α線又はZnK_β線の強
度を測定し、その測定値と算出した金属被膜の付着量と
に基づき金属被膜の組成を算出することを特徴とする金
属被膜の蛍光X線分析方法。 2、前記金属被膜の組成の算出に、金属被膜中のZn重
量分比(Zn%)、前記ZnK_α線又はZnK_β線
の強度(I_z_n)及び金属被膜の付着量(x)の間
の関係を示す下式を用いる特許請求の範囲第1項記載の
金属被膜中の蛍光X線分析方法。 I_z_n=a・(Zn%)・x+b・(Zn%)・x
^2+c・(Zn%)^2・x^2+d 但し、a、b、c、d:定数 3、鋼材表面に形成されたZn、Alを含有する金属被
膜の組成及び付着量を蛍光X線分析する方法において、 金属被膜側より鋼材へ向けて励起X線を照 射して鋼材からのFeK_α線及び/又はFeK_β線
の強度を測定し、その測定値に基づきこれと一定の関係
を有する金属被膜の付着量を算出し、 また金属被膜からのZnL_α線又はAlK_α線の強
度を真空下で測定し、その測定値に基づき金属被膜の組
成を算出することを特徴とする金属被膜の蛍光X線分析
方法。 4、鋼材表面に形成されたZn、Alを含有する金属被
膜の組成及び付着量を蛍光X線分析する装置において、
^2^4^1Amの同位体、W対陰極のX線管球又はC
u対陰極のX線管球の1つを少なくとも有し、金属被膜
側より鋼材へ向けて励起放射線を照射する放射線源と、 金属被膜又は鋼材からの蛍光X線を弁別し てその強度を検出する検出器と を具備し、前記放射線源、検出器夫々は金 属被膜に対して入射角、取出角を相対的に設定変更でき
るようになしてあることを特徴とする金属被膜の蛍光X
線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11926785A JPS61277041A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 金属被膜の螢光x線分析方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11926785A JPS61277041A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 金属被膜の螢光x線分析方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61277041A true JPS61277041A (ja) | 1986-12-08 |
Family
ID=14757114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11926785A Pending JPS61277041A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 金属被膜の螢光x線分析方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61277041A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190041161A (ko) * | 2017-10-12 | 2019-04-22 | 주식회사 포스코 | 도금 성분 측정 장치 |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP11926785A patent/JPS61277041A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190041161A (ko) * | 2017-10-12 | 2019-04-22 | 주식회사 포스코 | 도금 성분 측정 장치 |
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