JPS61272984A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JPS61272984A JPS61272984A JP60114505A JP11450585A JPS61272984A JP S61272984 A JPS61272984 A JP S61272984A JP 60114505 A JP60114505 A JP 60114505A JP 11450585 A JP11450585 A JP 11450585A JP S61272984 A JPS61272984 A JP S61272984A
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- JP
- Japan
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- layer
- solder
- internal electrode
- electrostrictive
- effect element
- Prior art date
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はメカトロニクス機器に用いる電歪効果素子に関
し、特に積層型の電歪効果素子の端子の取シ出し構造に
関する。
し、特に積層型の電歪効果素子の端子の取シ出し構造に
関する。
従来、積層型の電歪効果素子は第３図に示す構造を採っ
ている。第３図において１は複合ペロブスカイト構造を
有するチタン酸ジルコニウム酸鉛からなるセラミックの
電歪材層であり、２は銀−パラジウム合金を用いた内部
電極層である。
ている。第３図において１は複合ペロブスカイト構造を
有するチタン酸ジルコニウム酸鉛からなるセラミックの
電歪材層であり、２は銀−パラジウム合金を用いた内部
電極層である。
３は内部電極層２の端面を一層おきに絶縁するために被
着されている絶縁保護膜でちる。４は内部電極層２を一
層おきに電気的接続するために被着した外部電極である
。
着されている絶縁保護膜でちる。４は内部電極層２を一
層おきに電気的接続するために被着した外部電極である
。
通常、電歪効果素子に電気信号を加えるためには、外部
電極４にリード線５を半田６を介して半田付けで取り付
けている。
電極４にリード線５を半田６を介して半田付けで取り付
けている。
この半田付は時の半田量は出来るだけ少量がよい。その
理由は半田量が多いと電歪効果素子動作時の伸び縮みの
ときに半田６と外部電極４との間に応力が働き動作時の
信頼性が低下する。
理由は半田量が多いと電歪効果素子動作時の伸び縮みの
ときに半田６と外部電極４との間に応力が働き動作時の
信頼性が低下する。
少量の半田でリード線を半田付は接続するためには、リ
ード線の線径を小さくしなければならない。したがって
線径が小さくなるとリード線が切れやすく゛なるなどの
取扱上の欠点が生じる。
ード線の線径を小さくしなければならない。したがって
線径が小さくなるとリード線が切れやすく゛なるなどの
取扱上の欠点が生じる。
本発明の目的はかかる従来欠点を除去した電歪効果素子
を提供することにある。
を提供することにある。
本発明の電歪効果素子は電歪材層が内部電極層にはさま
れて積層配設され、かつ上下２層の内部ｍ極層に接した
電歪材からなる保護層を有する積層体の側面に露出する
内部電極層の端面が部分的に絶縁性保護膜でａｍされ、
さらに導電体によって内部電極ｌ−と１層おきに電気的
に接続する外部電極が保護層上に延長され、保護層上に
延長形成された外部電極上でリード端子が電気的に接続
されたことを特徴とする。
れて積層配設され、かつ上下２層の内部ｍ極層に接した
電歪材からなる保護層を有する積層体の側面に露出する
内部電極層の端面が部分的に絶縁性保護膜でａｍされ、
さらに導電体によって内部電極ｌ−と１層おきに電気的
に接続する外部電極が保護層上に延長され、保護層上に
延長形成された外部電極上でリード端子が電気的に接続
されたことを特徴とする。
以下、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の電歪効果素子の斜視図であ
る。
る。
図中、１は厚さ０．１ ｍのチタン酸ジルコニウム酸鉛
からなるセラミ、りの電歪材層、２は厚さ５μｍの銀−
パラジウム合金を用いた内部電極層、３は内部電極層２
の端面を一層おきに絶縁させた厚さ１５μｍのガラス皮
膜の絶縁保護膜、４は銀ペースト被着させた外部電極、
５は直径０．２層ｍのポリウレタン被棟銅線などのリー
ド線、６は外部電極４とリード線５を電気的接続する共
晶半田などの半田である。この外部電極４−とリード線
５とを接続する半田６は、圧電的に不活性なダミ一層と
して最外層に設けた保護層７上に延長して形成された外
部電極４に接続させている。 。
からなるセラミ、りの電歪材層、２は厚さ５μｍの銀−
パラジウム合金を用いた内部電極層、３は内部電極層２
の端面を一層おきに絶縁させた厚さ１５μｍのガラス皮
膜の絶縁保護膜、４は銀ペースト被着させた外部電極、
５は直径０．２層ｍのポリウレタン被棟銅線などのリー
ド線、６は外部電極４とリード線５を電気的接続する共
晶半田などの半田である。この外部電極４−とリード線
５とを接続する半田６は、圧電的に不活性なダミ一層と
して最外層に設けた保護層７上に延長して形成された外
部電極４に接続させている。 。
次に本実施例を製造工程順に説明する。
先ずチタン酸鉛などからなるセラミックの仮焼粉末を準
備し、少量のポリブチラール樹脂などの有慨バインダー
および７タル酸ジオクチルなどの可塑剤と共にエチルセ
ロソルブなどの有機溶媒中に分散させ、泥漿をつくる。
備し、少量のポリブチラール樹脂などの有慨バインダー
および７タル酸ジオクチルなどの可塑剤と共にエチルセ
ロソルブなどの有機溶媒中に分散させ、泥漿をつくる。
との泥漿をドクターブレードを用いたスリップキャステ
ィング法により厚さ１００μｍのポリエステルフィルム
上に流動塗布し、厚さ７０μｍの電歪材となるグリーン
シートを被着形成する。
ィング法により厚さ１００μｍのポリエステルフィルム
上に流動塗布し、厚さ７０μｍの電歪材となるグリーン
シートを被着形成する。
次にポリエステルフィルムからグリーンシートを剥離し
た後、銀−パラジクムペーストなどの導体ペース）ｆス
クリーン印刷によシ所定の形状に内部電極層２′ｆｔ形
成する。
た後、銀−パラジクムペーストなどの導体ペース）ｆス
クリーン印刷によシ所定の形状に内部電極層２′ｆｔ形
成する。
このグリーンシートを所望の枚数だけ積み重ね、熱プレ
スで上下から圧着して電歪材の積層体を形成する。
スで上下から圧着して電歪材の積層体を形成する。
このグリーンシートの積層時に内部電極層２を形成した
グリーンシートの上、下にそれぞれ２０〜３０枚の内部
電極層の形成されていないグリーンシートを積み重ねて
ダミ一層としての保護層を形成する。
グリーンシートの上、下にそれぞれ２０〜３０枚の内部
電極層の形成されていないグリーンシートを積み重ねて
ダミ一層としての保護層を形成する。
次にこの積層体に含まれる有機バインダーを高温で分解
して蒸発除去させてから上昇スピード５℃／分で温度１
１２０℃ まで上昇させ、温度１１２０℃で２時間保持
して焼結を行う。
して蒸発除去させてから上昇スピード５℃／分で温度１
１２０℃ まで上昇させ、温度１１２０℃で２時間保持
して焼結を行う。
焼結させた積層体を内周刃切断機で所望の厚みに切断し
て第２図（ａ）に示すようなスライス板を作製する。ス
ライス板の切断面には内部電極層２の端部が露出してい
るので、一層おきに電気的接続を取るために、逆に内部
電極層２の端部を一層おきに電気泳動法によりガラスか
らなる絶縁保護膜３を被着形成する。
て第２図（ａ）に示すようなスライス板を作製する。ス
ライス板の切断面には内部電極層２の端部が露出してい
るので、一層おきに電気的接続を取るために、逆に内部
電極層２の端部を一層おきに電気泳動法によりガラスか
らなる絶縁保護膜３を被着形成する。
次に第２図（ｂ）に示すようにダミ一層としての保護層
７にまで銀ペーストをスクリーン印刷などによシ外部電
極４を延長して形成する。このように保護層７上に形成
された外部電極４上に半田付けによシ直径０．．５ ｒ
ｒｔｎφのリード線５を接続して電歪効果素子を作製す
る。
７にまで銀ペーストをスクリーン印刷などによシ外部電
極４を延長して形成する。このように保護層７上に形成
された外部電極４上に半田付けによシ直径０．．５ ｒ
ｒｔｎφのリード線５を接続して電歪効果素子を作製す
る。
以上−説明したように本発明の電歪効果素子のリード線
が直径０．５ ｍｍ以上の太さのものを利用できるので
取扱い上、切断することなくリード線の信頼性が向上す
る効果がある。
が直径０．５ ｍｍ以上の太さのものを利用できるので
取扱い上、切断することなくリード線の信頼性が向上す
る効果がある。
第１図は本発明の電歪効果素子の斜視図、第２図（ａ）
、 （ｂ）は本発明の電歪効果素子の製造過程で作製
されるスライス板の斜視図、第３図は従来の電歪効果素
子の斜視図である。 ４−（外＃Ｓ電檀ジ ８１図 筋 ３ 図
、 （ｂ）は本発明の電歪効果素子の製造過程で作製
されるスライス板の斜視図、第３図は従来の電歪効果素
子の斜視図である。 ４−（外＃Ｓ電檀ジ ８１図 筋 ３ 図
Claims (1)
- 電歪材層が内部電極層にはさまれて積層配設され、か
つ上下二層の該内部電極層に接した電歪材からなる保護
層を有する積層体の側面に露出する内部電極層の端面が
部分的に絶縁性保護膜で被覆され、さらに導電体によっ
て前記内部電極層と一層おきに電気的に接続する外部電
極が、前記保護層上に延長され、前記保護層上に延長形
成された外部電極上でリード端子と電気的に接続された
ことを特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60114505A JPS61272984A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60114505A JPS61272984A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61272984A true JPS61272984A (ja) | 1986-12-03 |
Family
ID=14639432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60114505A Pending JPS61272984A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61272984A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0247540A2 (en) * | 1986-05-22 | 1987-12-02 | Nec Corporation | Electrostriction effect element |
| JPS63151087A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-23 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型圧電体 |
| JPS6457662U (ja) * | 1987-10-01 | 1989-04-10 | ||
| JPH02164085A (ja) * | 1988-12-19 | 1990-06-25 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPH06188471A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-08 | Nec Corp | 電圧アクチュエータ |
| WO2000052769A1 (de) * | 1999-03-04 | 2000-09-08 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer aktor |
| WO2000079607A1 (de) * | 1999-06-19 | 2000-12-28 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit verbesserten elektrodenanschlüssen |
| US7111927B2 (en) | 2000-06-12 | 2006-09-26 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit |
| WO2012080381A1 (de) * | 2010-12-17 | 2012-06-21 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
-
1985
- 1985-05-28 JP JP60114505A patent/JPS61272984A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0247540A2 (en) * | 1986-05-22 | 1987-12-02 | Nec Corporation | Electrostriction effect element |
| JPS63151087A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-23 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型圧電体 |
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| JPH06188471A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-08 | Nec Corp | 電圧アクチュエータ |
| WO2000052769A1 (de) * | 1999-03-04 | 2000-09-08 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer aktor |
| WO2000079607A1 (de) * | 1999-06-19 | 2000-12-28 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit verbesserten elektrodenanschlüssen |
| US6411018B1 (en) | 1999-06-19 | 2002-06-25 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator with improved electrode connections |
| JP2003502869A (ja) * | 1999-06-19 | 2003-01-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| CZ301223B6 (cs) * | 1999-06-19 | 2009-12-16 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrický ovladac |
| US7111927B2 (en) | 2000-06-12 | 2006-09-26 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit |
| WO2012080381A1 (de) * | 2010-12-17 | 2012-06-21 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
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