JPS61271438A - 浮遊微粒子測定方法及びその装置 - Google Patents
浮遊微粒子測定方法及びその装置Info
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- JPS61271438A JPS61271438A JP60114565A JP11456585A JPS61271438A JP S61271438 A JPS61271438 A JP S61271438A JP 60114565 A JP60114565 A JP 60114565A JP 11456585 A JP11456585 A JP 11456585A JP S61271438 A JPS61271438 A JP S61271438A
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- G01N2015/0053—Investigating dispersion of solids in liquids, e.g. trouble
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、油、水、空気等の流体中に浮遊する微粒子の
／暦度を測定する方法及びその装Ｈに係り、特に光学的
に測定する方法及びその装置に関する。
／暦度を測定する方法及びその装Ｈに係り、特に光学的
に測定する方法及びその装置に関する。
〔背景技術とその問題点］
流体中の微粒子（例えば油中のダスト、泡、水中の固形
物、空気中の塵埃）の濃度測定は光学的方法が多く用い
られている。この従来の方法は、光源と光検出器とを一
直線上に配置し、光源からの光を流体に照射して透過し
た光を光検出器で検出し、光検出器で検出される光量が
微粒子による光の吸収または散乱のために光源からの光
量よりも少なくなることに基づき流体中における微粒子
の濃度を測定するものである。
物、空気中の塵埃）の濃度測定は光学的方法が多く用い
られている。この従来の方法は、光源と光検出器とを一
直線上に配置し、光源からの光を流体に照射して透過し
た光を光検出器で検出し、光検出器で検出される光量が
微粒子による光の吸収または散乱のために光源からの光
量よりも少なくなることに基づき流体中における微粒子
の濃度を測定するものである。
以上の従来技術によると、微粒子の大きさ及び濃度が小
さいときには光源からの光量と光検出器で検出される光
量との差が大きくならないため、測定可能な微粒子の大
きさ及び濃度に限界があり、極小微粒子及び濃度の測定
は不可能であった。また一定収上の測定精度を維持する
ためには光源からの光量と光検出器で検出される光量と
の差を大きくする必要があり、このために測定対象であ
る試料流体の容量を大きくしなければならず、従って試
料流体の大容量化により装置が全体的に大型化してしま
う問題があった。
さいときには光源からの光量と光検出器で検出される光
量との差が大きくならないため、測定可能な微粒子の大
きさ及び濃度に限界があり、極小微粒子及び濃度の測定
は不可能であった。また一定収上の測定精度を維持する
ためには光源からの光量と光検出器で検出される光量と
の差を大きくする必要があり、このために測定対象であ
る試料流体の容量を大きくしなければならず、従って試
料流体の大容量化により装置が全体的に大型化してしま
う問題があった。
本発明の目的は、微粒子の大きさ、濃度が極めて小さく
ても測定可能で測定限界の向上を図ることができ、また
装置全体を小型化できて取扱いが容易になるとともに、
携帯することも可能になるようにした浮遊微粒子測定方
法およびその装置を提供するところにある。
ても測定可能で測定限界の向上を図ることができ、また
装置全体を小型化できて取扱いが容易になるとともに、
携帯することも可能になるようにした浮遊微粒子測定方
法およびその装置を提供するところにある。
〔問題点を解決するための手段および作用〕このため本
発明の測定方法は、微粒子が浮遊する流体に光を照射す
るとともに、この光を鏡面で反射させながら前記流体中
を進行させ、この進行途中で前記微粒子から反射、散乱
した光のそれぞれの平行光線を集光して検出することに
より前記流体中の前記微粒子の４度を測定するものであ
る。
発明の測定方法は、微粒子が浮遊する流体に光を照射す
るとともに、この光を鏡面で反射させながら前記流体中
を進行させ、この進行途中で前記微粒子から反射、散乱
した光のそれぞれの平行光線を集光して検出することに
より前記流体中の前記微粒子の４度を測定するものであ
る。
このように光を鏡面で反射させることにより、光路が長
くなって微粒子に多方向から光が照射されるようになり
、集光されて検出される前記平行光線の強度を大きくで
きるようになる。
くなって微粒子に多方向から光が照射されるようになり
、集光されて検出される前記平行光線の強度を大きくで
きるようになる。
また本発明の測定装置は、内面が鏡面であって内部に微
粒子が浮遊する流体を収容する筒部材と、この筒部材に
光軸が筒部材軸線と角度をなして取付けられた光源と、
前記微粒子から反射、散乱した光のそれぞれの平行光線
を集光する集光レンズと、この集光レンズと対向配置さ
れた光検出器と、この光検出器で検出された光量に関す
る信号を処理して前記流体中の前記微粒子の濃度を求め
る信号処理装置と、を有し、この構成によって前記測定
方法が実現される。
粒子が浮遊する流体を収容する筒部材と、この筒部材に
光軸が筒部材軸線と角度をなして取付けられた光源と、
前記微粒子から反射、散乱した光のそれぞれの平行光線
を集光する集光レンズと、この集光レンズと対向配置さ
れた光検出器と、この光検出器で検出された光量に関す
る信号を処理して前記流体中の前記微粒子の濃度を求め
る信号処理装置と、を有し、この構成によって前記測定
方法が実現される。
以下に説明する各実施例においては理解および説明の便
宜のため同一部材には同一符号を使用する。
宜のため同一部材には同一符号を使用する。
第１図は本実施例に係る装置の基本構造を示す断面図で
、第２図は装置の電気回路構成を示すブロック図である
。
、第２図は装置の電気回路構成を示すブロック図である
。
第１図において微粒子が浮遊する流体を内部に収容する
筒部材１ば同一内径寸法が軸方向に連続した円筒形で、
内面ＩＡは鏡面２になっている。
筒部材１ば同一内径寸法が軸方向に連続した円筒形で、
内面ＩＡは鏡面２になっている。
この鏡面２ば内面ＩＡにＡＩ、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ
等を薄着またばメッキすることにより形成される。筒部
材１には光源３が取付けられ、光源３からの光は筒部材
１の周側面に形成した透孔４を通過して筒部材１の内部
に進入できるようになっている。この透孔４にはガラス
等の透明部材が嵌め込まれ、筒部材１の気密性が確保さ
れている。
等を薄着またばメッキすることにより形成される。筒部
材１には光源３が取付けられ、光源３からの光は筒部材
１の周側面に形成した透孔４を通過して筒部材１の内部
に進入できるようになっている。この透孔４にはガラス
等の透明部材が嵌め込まれ、筒部材１の気密性が確保さ
れている。
光＃３はその光軸が筒部材１の軸線と角度をなすように
配置され、本実施例では光源３の光軸と筒部材１の軸線
とが直角をなしている。
配置され、本実施例では光源３の光軸と筒部材１の軸線
とが直角をなしている。
光源３は例えば、フォトダイオード、タングステンラン
プにより構成される。これに限らず光源３をレーザー光
や分光された光を発生する装置で構成してもよく、また
光ファイバーを利用したものでもよい。
プにより構成される。これに限らず光源３をレーザー光
や分光された光を発生する装置で構成してもよく、また
光ファイバーを利用したものでもよい。
筒部材１の開口端部ＩＢには集光レンズ５が配置され、
この集光レンズ５は片凸レンズで、凸面を外側に向け、
平坦面を開口端部ＩＢに密着当接させて筒部材１に取付
けられている。集光レンズ５の外側には光検出器６が設
けられ、集光レンズ５と光検出器６とは筒部材１の軸線
延長線上に対向配置され、これらの間隔は集光レンズ５
の焦点距離と同じである。集光レンズ５と光検出器６と
の間にはスリット部材７が配置される。
この集光レンズ５は片凸レンズで、凸面を外側に向け、
平坦面を開口端部ＩＢに密着当接させて筒部材１に取付
けられている。集光レンズ５の外側には光検出器６が設
けられ、集光レンズ５と光検出器６とは筒部材１の軸線
延長線上に対向配置され、これらの間隔は集光レンズ５
の焦点距離と同じである。集光レンズ５と光検出器６と
の間にはスリット部材７が配置される。
光検出器６は例えば光電子増倍管、Ｃｄｓその他のフォ
トセンサーにより構成される。これに限らず光検出器６
を光ファイバーにより別の検出器、分光器に光を導入す
る構造としてもよい。
トセンサーにより構成される。これに限らず光検出器６
を光ファイバーにより別の検出器、分光器に光を導入す
る構造としてもよい。
第２図に示す通り光検出器６には信号処理装置８が接続
され、この信号処理装置８は光検出器６で検出された光
が光電変換されて電気出力としての信号に変換された後
、この信号を所望処理するものである。すなわち、信号
処理袋Ｗ８は電気信号を増幅する機能、これを演算処理
して微粒子の濃度を求める機能、光検出器６で検出され
た光量が少ない場合には光源調整部９を制御して光源３
の発光量を増加させる機能などを有する。信号処理装置
８には表示記録部１０が接続され、この表示記録部１０
は信号処理装置８で求められた微粒子の濃度をデジタル
またはアナログ表示する機能およびこれを記録する機能
を有する。
され、この信号処理装置８は光検出器６で検出された光
が光電変換されて電気出力としての信号に変換された後
、この信号を所望処理するものである。すなわち、信号
処理袋Ｗ８は電気信号を増幅する機能、これを演算処理
して微粒子の濃度を求める機能、光検出器６で検出され
た光量が少ない場合には光源調整部９を制御して光源３
の発光量を増加させる機能などを有する。信号処理装置
８には表示記録部１０が接続され、この表示記録部１０
は信号処理装置８で求められた微粒子の濃度をデジタル
またはアナログ表示する機能およびこれを記録する機能
を有する。
次に作用について述べる。
筒部材１の内部に流体を収容する。この流体は濃度を測
定すべきダスト、塵埃等の微粒子が存在するものであれ
ば油、水、空気などでよい。光源３を発光させると流体
に光が照射され、この光は鏡面２で反射しながら流体中
を進行する。進行途中で光は微粒子１１に衝突し、反射
、散乱する。
定すべきダスト、塵埃等の微粒子が存在するものであれ
ば油、水、空気などでよい。光源３を発光させると流体
に光が照射され、この光は鏡面２で反射しながら流体中
を進行する。進行途中で光は微粒子１１に衝突し、反射
、散乱する。
この反射、散乱はそれぞれの微粒子１１について行われ
、散乱光の内の平行光線１２が集光レンズ５で集光され
ながら筒部材１の外部に導出される。
、散乱光の内の平行光線１２が集光レンズ５で集光され
ながら筒部材１の外部に導出される。
以上において、鏡面２による反射によって光路が長くな
っているとともに、光の進行方向は乱反射で任意な方向
であるため、微粒子１１には多方向から光が照射され、
換言すると筒部材１の内面ＩＡの全面が発光面になった
のと同じになり、従って前記平行光線１２の強度は大き
くなり、集光レンズ５で集光されて光検出器６で検出さ
れる光量が大きなものとなる。
っているとともに、光の進行方向は乱反射で任意な方向
であるため、微粒子１１には多方向から光が照射され、
換言すると筒部材１の内面ＩＡの全面が発光面になった
のと同じになり、従って前記平行光線１２の強度は大き
くなり、集光レンズ５で集光されて光検出器６で検出さ
れる光量が大きなものとなる。
光検出器６で検出された光量に基づき電気信号が発生し
、この信号が信号処理装置８で処理されて微粒子１１の
濃度が表示記録部１０に表示、記録される。ここで、微
粒子１１の大きさが極めて小さなものであっても、平行
光線１２の強度が大きくなるため極小微粒子ＩＩの測定
が可能になる。
、この信号が信号処理装置８で処理されて微粒子１１の
濃度が表示記録部１０に表示、記録される。ここで、微
粒子１１の大きさが極めて小さなものであっても、平行
光線１２の強度が大きくなるため極小微粒子ＩＩの測定
が可能になる。
また流体中の微粒子１１の濃度が小さなものであっても
それぞれの微粒子１１から発生する平行光線１２の強度
は大きいためその濃度を測定できるようになり、従来装
置よりも測定感度を高めることができる。
それぞれの微粒子１１から発生する平行光線１２の強度
は大きいためその濃度を測定できるようになり、従来装
置よりも測定感度を高めることができる。
また、本装置は外形において筒部材１が主要部材で、光
検出器６、スリット部材７等を含めても全体的に細長の
筒状となるため、装置を小型、軽量化することができ、
取扱い、操作性の向上を図ることができるとともに、携
帯性も得られるようになる。
検出器６、スリット部材７等を含めても全体的に細長の
筒状となるため、装置を小型、軽量化することができ、
取扱い、操作性の向上を図ることができるとともに、携
帯性も得られるようになる。
第３図、第４図は具体的実施例を示す。筒部材１には保
持部材１３が設けられ、この保持部材１３は円筒形状で
、外筒である筒部材１に対して内筒である保持部材１３
は筒部材１の軸線方向に摺動自在になっている。筒部材
１の内部に臨む保持部材１３の開口端部１３Ａには集光
レンズ５が取付保持され、また保持部材１３の内部に光
検出器６及びスリット部材７が配置される。従って集光
レンズ５等は筒部材ｌに対して移動自在になっている。
持部材１３が設けられ、この保持部材１３は円筒形状で
、外筒である筒部材１に対して内筒である保持部材１３
は筒部材１の軸線方向に摺動自在になっている。筒部材
１の内部に臨む保持部材１３の開口端部１３Ａには集光
レンズ５が取付保持され、また保持部材１３の内部に光
検出器６及びスリット部材７が配置される。従って集光
レンズ５等は筒部材ｌに対して移動自在になっている。
筒部材１の底面ＩＣには開口部１４が形成され、筒部材
１の周側面にも開口部１５が設けられている。
１の周側面にも開口部１５が設けられている。
以上の筒部材１、保持部材１３等で検出部１６が構成さ
れ、この検出部１６はコード１７で電気制御部１８に接
続され、電気制御部１８は前記信号処理装置８、光源調
整部９、表示記録部１０を含むものとなっている。
れ、この検出部１６はコード１７で電気制御部１８に接
続され、電気制御部１８は前記信号処理装置８、光源調
整部９、表示記録部１０を含むものとなっている。
本装置の不使用時には保持部材１３が筒部材ｌに押し入
れられ、従って検出部】６は収縮状態とされ、長さ寸法
の短縮により格納スペースを小さくできる。本装置を使
用する場合には、第４図に示す通り検出部１６を流体１
９に挿入する。この時保持部材１３は筒部材１に対して
伸長状態とされ、前記開口部１４から流体１９が流入す
るとともに前記開口部１５がら空気が排出され、筒部材
１に流体１９が収容充填される。そして光１ｆｆ１３を
発光させて流体１９中に浮遊する微粒子の濃度測定が行
われる。
れられ、従って検出部】６は収縮状態とされ、長さ寸法
の短縮により格納スペースを小さくできる。本装置を使
用する場合には、第４図に示す通り検出部１６を流体１
９に挿入する。この時保持部材１３は筒部材１に対して
伸長状態とされ、前記開口部１４から流体１９が流入す
るとともに前記開口部１５がら空気が排出され、筒部材
１に流体１９が収容充填される。そして光１ｆｆ１３を
発光させて流体１９中に浮遊する微粒子の濃度測定が行
われる。
この測定作業において、微粒子の濃度が小さく光検出器
６で検出される光量が少ない場合には、筒部材１に対し
て保持部材１３を伸び挙動させて筒部材１に収容される
流体１９の量を大きくする。
６で検出される光量が少ない場合には、筒部材１に対し
て保持部材１３を伸び挙動させて筒部材１に収容される
流体１９の量を大きくする。
これにより筒部材１内の微粒子の数が増し、光検吊器６
で検出される光量が増大する。このようにこの実施例で
は保持部材１３を筒部材１に対して移動自在としたため
、筒部材１に収容する流体１９の量を微粒子の濃度に応
じて調整できるようになり、検出濃度の限界を高めるこ
とができる。
で検出される光量が増大する。このようにこの実施例で
は保持部材１３を筒部材１に対して移動自在としたため
、筒部材１に収容する流体１９の量を微粒子の濃度に応
じて調整できるようになり、検出濃度の限界を高めるこ
とができる。
第５図は作業者が筒部材１に試料流体を収容するように
構成されている実施例を示す。筒部材１の周側面には２
本の管部材２０．２１が立設され、筒部材１を水平方向
に対して角度θ傾け、低位の管部材２０から流体を流し
入れるとともに高位の管部材２１から空気抜きを行う。
構成されている実施例を示す。筒部材１の周側面には２
本の管部材２０．２１が立設され、筒部材１を水平方向
に対して角度θ傾け、低位の管部材２０から流体を流し
入れるとともに高位の管部材２１から空気抜きを行う。
第６図は管路２２に流れている流体の微粒子濃度を直接
測定するための実施例を示す。筒部材１の周側面には開
口部２３．２４が形成され、これらの開口部２３．２４
は管路２２に設けられた開口部２５．２６と連結管２７
．２８を介して連結され、管路２２中の流体が筒部材１
に迂回流入し、流出する。この実施例では筒部材１の内
部に反射防止部材２９が設けられており、この反射防止
部材２９の少なくとも集光レンズ５と対向する面が黒色
に着色されている。これにより集光レンズ５とは反対方
向へ進行してから筒部材１の端部で反射されるべき光線
が反射防止部材２９で吸収されて反射せず、従って光検
出器６で検出される光が集光レンズ５の方向へ進行した
微粒子１１からの前記平行光線１２のみとなり、微粒子
濃度の測定精度を高めるようになっている。
測定するための実施例を示す。筒部材１の周側面には開
口部２３．２４が形成され、これらの開口部２３．２４
は管路２２に設けられた開口部２５．２６と連結管２７
．２８を介して連結され、管路２２中の流体が筒部材１
に迂回流入し、流出する。この実施例では筒部材１の内
部に反射防止部材２９が設けられており、この反射防止
部材２９の少なくとも集光レンズ５と対向する面が黒色
に着色されている。これにより集光レンズ５とは反対方
向へ進行してから筒部材１の端部で反射されるべき光線
が反射防止部材２９で吸収されて反射せず、従って光検
出器６で検出される光が集光レンズ５の方向へ進行した
微粒子１１からの前記平行光線１２のみとなり、微粒子
濃度の測定精度を高めるようになっている。
第７図は潤滑油にＪＩＳ標準ダストを添加し、ＪＩＳ
Ｂ ９９３０の５「自動式粒子計数器法」所載の汚濁計
測器ＨＩＡＣＰＣ−３２０（ＨＴＡＣ／ＲＹＣＯＩｎｓ
ｔｒｕｍｅｎｔ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ製）によるＮＡＳ等
級との相関を調べた実験結果である。このグラフが示す
ように相関係数Ｒ＝０．９９の良好な結果が得られた。
Ｂ ９９３０の５「自動式粒子計数器法」所載の汚濁計
測器ＨＩＡＣＰＣ−３２０（ＨＴＡＣ／ＲＹＣＯＩｎｓ
ｔｒｕｍｅｎｔ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ製）によるＮＡＳ等
級との相関を調べた実験結果である。このグラフが示す
ように相関係数Ｒ＝０．９９の良好な結果が得られた。
また蒸留し、０．８ミクロンのミリポアフィルタ−（Ｍ
ｉｌｌｉｐｏｒｅ Ｃｏｒｐ製）で濾過した水にカオリ
ンを添加し、カオリン粒子量と表示値（検出光量）との
相関を調べた結果、良好な結果が得られた。
ｉｌｌｉｐｏｒｅ Ｃｏｒｐ製）で濾過した水にカオリ
ンを添加し、カオリン粒子量と表示値（検出光量）との
相関を調べた結果、良好な結果が得られた。
更に、試料流体を空気中の煙草の煙とし、この煙の稀釈
量との相関を調べた結果、良好な結果が得られた。
量との相関を調べた結果、良好な結果が得られた。
第９図は第８図の過りモータ３０で回転する攪拌部材３
１により水をｔｌからｔ２まで攪拌し、水中の泡により
従来の透過法による測定方法と本発明に係る測定方法と
による検出光量の違いを調べたものである。攪拌停止後
、透過法では曲線Ａのように時間とともに検出光量が増
加するのに対し、本発明の方法では曲＆？ｌ Ｂのよう
に検出光量が減少する。
１により水をｔｌからｔ２まで攪拌し、水中の泡により
従来の透過法による測定方法と本発明に係る測定方法と
による検出光量の違いを調べたものである。攪拌停止後
、透過法では曲線Ａのように時間とともに検出光量が増
加するのに対し、本発明の方法では曲＆？ｌ Ｂのよう
に検出光量が減少する。
以上説明した第１図〜第６図の各実施例において、筒部
材Ｉは断面円形の円筒状となっていたがこれを断面円形
以外の形状、例えば断面四角形としてもよい。また、第
３図、第４図の実施例のように筒部材１に移動自在な保
持部材１３を設けて粒子濃度に応じ筒部材１に収容する
流体容量を調整する構成は、第５図、第６図の各実施例
においても実施可能である。更に、第６図で示した反射
防止部材２９についての構成も第３図、第４図の実施例
および第５図の実施例に実施可能である。
材Ｉは断面円形の円筒状となっていたがこれを断面円形
以外の形状、例えば断面四角形としてもよい。また、第
３図、第４図の実施例のように筒部材１に移動自在な保
持部材１３を設けて粒子濃度に応じ筒部材１に収容する
流体容量を調整する構成は、第５図、第６図の各実施例
においても実施可能である。更に、第６図で示した反射
防止部材２９についての構成も第３図、第４図の実施例
および第５図の実施例に実施可能である。
第３図、第４図の実施例に反射防止部材２９を適用する
場合には、反射防止部材２９を複数の孔を設けた２枚と
し、これらの反射防止部材２９を孔の位置をずらせて筒
部材１の底面ＩＣに設けることにより、流体の流入と光
線の吸収とを同時に達成できる。
場合には、反射防止部材２９を複数の孔を設けた２枚と
し、これらの反射防止部材２９を孔の位置をずらせて筒
部材１の底面ＩＣに設けることにより、流体の流入と光
線の吸収とを同時に達成できる。
本発明によれば、光検出器で検出される微粒子からの平
行光線の強度が大きくなるため、微粒子の大きさ、濃度
が極めて小さいものであっても測定可能となり、測定限
界を高めることができる。
行光線の強度が大きくなるため、微粒子の大きさ、濃度
が極めて小さいものであっても測定可能となり、測定限
界を高めることができる。
また装置全体を小型化でき、携帯可能とすることも実現
でき、装置の取扱い、操作性の容易化を達成できるよう
になる。
でき、装置の取扱い、操作性の容易化を達成できるよう
になる。
第１図は装置の基本構造を示す断面図、第２図は電気回
路を示すブロック図、第３図は具体的実施例を示す一部
断面の説明図、第４図は第３図で示した検出部の使用状
態を示す斜視図、第５図は別実施例を示す斜視図、第６
図は更なる別実施例を示す断面図、第７図は実験結果を
示すグラフの図、第８図は従来方法との比較のための実
験方法を示す図、第９図はその実験結果のグラフ図であ
る。 １・・・筒部材、２・・・鏡面、３・・・光源、５・・
・集光レンズ、６・・・光検出器、７・・・スリット部
材、８・・・信号処理装置、１１・・・微粒子、１２・
・・平行光線、１３・・・保持部材。
路を示すブロック図、第３図は具体的実施例を示す一部
断面の説明図、第４図は第３図で示した検出部の使用状
態を示す斜視図、第５図は別実施例を示す斜視図、第６
図は更なる別実施例を示す断面図、第７図は実験結果を
示すグラフの図、第８図は従来方法との比較のための実
験方法を示す図、第９図はその実験結果のグラフ図であ
る。 １・・・筒部材、２・・・鏡面、３・・・光源、５・・
・集光レンズ、６・・・光検出器、７・・・スリット部
材、８・・・信号処理装置、１１・・・微粒子、１２・
・・平行光線、１３・・・保持部材。
Claims (4)
- （１）微粒子が浮遊する流体に光を照射するとともに、
この光を鏡面で反射させながら前記流体中を進行させ、
この進行途中で前記微粒子から反射、散乱した光のそれ
ぞれの平行光線を集光して検出することにより前記流体
中の前記微粒子の濃度を測定することを特徴とする浮遊
微粒子測定方法。 - （２）内面が鏡面であって内部に微粒子が浮遊する流体
を収容する筒部材と、この筒部材に光軸が筒部材軸線と
角度をなして取付けられた光源と、前記微粒子から反射
、散乱した光のそれぞれの平行光線を集光する集光レン
ズと、この集光レンズと対向配置された光検出器と、こ
の光検出器で検出された光量に関する信号を処理して前
記流体中の前記微粒子の濃度を求める信号処理装置と、
を有することを特徴とする浮遊微粒子測定装置。 - （３）特許請求の範囲第２項において、前記集光レンズ
は前記筒部材に取付けられていることを特徴とする浮遊
微粒子測定装置。 - （４）特許請求の範囲第２項において、前記筒部材には
筒部材軸線方向に移動自在な保持部材が設けられ、前記
集光レンズ及び前記光検出器はこの保持部材に保持され
ていることを特徴とする浮遊微粒子測定装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60114565A JPH0640059B2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 浮遊微粒子測定方法及びその装置 |
| CA000509506A CA1272043A (en) | 1985-05-28 | 1986-05-20 | Method of and apparatus for measuring floating fine particles |
| KR1019860004004A KR940002496B1 (ko) | 1985-05-28 | 1986-05-22 | 부유미입자 측정 방법 및 그 장치 |
| DE8686107281T DE3682535D1 (de) | 1985-05-28 | 1986-05-28 | Verfahren und vorrichtung zum messen feiner schwebeteilchen. |
| EP86107281A EP0203600B1 (en) | 1985-05-28 | 1986-05-28 | Method of and apparatus for measuring floating fine particles |
| US07/197,615 US4848905A (en) | 1985-05-28 | 1988-05-23 | Method of and apparatus for measuring suspended fine particles |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60114565A JPH0640059B2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 浮遊微粒子測定方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61271438A true JPS61271438A (ja) | 1986-12-01 |
| JPH0640059B2 JPH0640059B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=14640996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60114565A Expired - Lifetime JPH0640059B2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 浮遊微粒子測定方法及びその装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4848905A (ja) |
| EP (1) | EP0203600B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0640059B2 (ja) |
| KR (1) | KR940002496B1 (ja) |
| CA (1) | CA1272043A (ja) |
| DE (1) | DE3682535D1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004170298A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Kurita Water Ind Ltd | 粒子状態検出用プローブおよび粒子状態検出装置 |
| JP2011122968A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-23 | Jx Nippon Oil & Energy Corp | 潤滑油劣化モニター装置 |
| JP2016522893A (ja) * | 2013-04-26 | 2016-08-04 | ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニーＢｅｃｔｏｎ， Ｄｉｃｋｉｎｓｏｎ Ａｎｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 全内部反射を使用して光を収集するための方法およびシステム |
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| US5164598A (en) * | 1985-08-05 | 1992-11-17 | Biotrack | Capillary flow device |
| EP0231542B1 (en) * | 1985-12-10 | 1990-09-26 | High Yield Technology | Particle detector for wafer processing equipment and method of detecting a particle |
| JP2560362B2 (ja) * | 1987-12-18 | 1996-12-04 | 富士通株式会社 | 多重反射鏡 |
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| EP0149632A4 (en) * | 1983-06-30 | 1986-11-21 | Commw Scient Ind Res Org | OPTICAL DEVICE FOR MEASURING LIQUID PROPERTIES. |
-
1985
- 1985-05-28 JP JP60114565A patent/JPH0640059B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-05-20 CA CA000509506A patent/CA1272043A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-05-22 KR KR1019860004004A patent/KR940002496B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-05-28 DE DE8686107281T patent/DE3682535D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1986-05-28 EP EP86107281A patent/EP0203600B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-05-23 US US07/197,615 patent/US4848905A/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| KR860009303A (ko) | 1986-12-22 |
| EP0203600A3 (en) | 1987-10-21 |
| DE3682535D1 (de) | 1992-01-02 |
| EP0203600B1 (en) | 1991-11-21 |
| CA1272043A (en) | 1990-07-31 |
| JPH0640059B2 (ja) | 1994-05-25 |
| KR940002496B1 (ko) | 1994-03-25 |
| US4848905A (en) | 1989-07-18 |
| EP0203600A2 (en) | 1986-12-03 |
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