JPS61265517A - 荷電粒子線を用いた測長装置 - Google Patents
荷電粒子線を用いた測長装置Info
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- JPS61265517A JPS61265517A JP10792085A JP10792085A JPS61265517A JP S61265517 A JPS61265517 A JP S61265517A JP 10792085 A JP10792085 A JP 10792085A JP 10792085 A JP10792085 A JP 10792085A JP S61265517 A JPS61265517 A JP S61265517A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は荷電粒子線を用いて試料を走査し、走査に伴っ
て得られた検出信号に基づいて表示装置に試料像を表示
し、該像中の任意の注目する部分の長さを測長するよう
にした装置に関する。
て得られた検出信号に基づいて表示装置に試料像を表示
し、該像中の任意の注目する部分の長さを測長するよう
にした装置に関する。
［従来の技術］
電子線等を用いて試料を２次元的に走査し、走査に伴っ
て得られる検出信号に基づいて試料像を表示装置に表示
し、この表示像を観察しながら、測長しようとする部分
をマーカーで指示して測長することが行なわれている。
て得られる検出信号に基づいて試料像を表示装置に表示
し、この表示像を観察しながら、測長しようとする部分
をマーカーで指示して測長することが行なわれている。
いま、第８図（ａ）に示されているマスクＭの幅Ｗを測
定しようとする場合を考える。従来の測長装置において
は、このマーカーとして同図に示すような２個のクロス
マーカー８１．３２を表示し、マーカーＳ１．Ｓ２を手
動により第８図（ｂ）に示すようにマスクＭの一端ど他
端に正確に一致させていた。
定しようとする場合を考える。従来の測長装置において
は、このマーカーとして同図に示すような２個のクロス
マーカー８１．３２を表示し、マーカーＳ１．Ｓ２を手
動により第８図（ｂ）に示すようにマスクＭの一端ど他
端に正確に一致させていた。
ところが、マーカーＳ１．８２を手動にて正確に移動さ
せるには時間がかかり、又、疲労も多い上、再現性に乏
しいため、第９図（ａ）に示すように、２＠のエリアマ
ーカーＥ１ 、Ｅ２を表示し、このエリアマーカーＥ１
、Ｅ２を第９図（ｂ）に示すように各々マスクＭの一
端及び他端をカバーする位置に移動させて、この移動操
作のみによってマスクＭの幅を得られる装置が開発され
た。即ち、この装置においては、エリアマーカーＥｌ。
せるには時間がかかり、又、疲労も多い上、再現性に乏
しいため、第９図（ａ）に示すように、２＠のエリアマ
ーカーＥ１ 、Ｅ２を表示し、このエリアマーカーＥ１
、Ｅ２を第９図（ｂ）に示すように各々マスクＭの一
端及び他端をカバーする位置に移動させて、この移動操
作のみによってマスクＭの幅を得られる装置が開発され
た。即ち、この装置においては、エリアマーカーＥｌ。
Ｅ２を上記のように位置させると、エリアマーカーＥ１
、Ｅ２のＹ方向の中心に対応するＸ走査ラインＲの第
１０図（ａ）に示すような画像信号を抽出し、この信号
を所定のレベルしてスライスした後、第１０図（ｂ）に
示すように波形整形し、この信号の幅をクロック信号に
よって測定するようにしている。この装置によれば、マ
ーカーによってマスクＭの端部がカバーされるようにマ
ーカーを粗く移動させるだけで、演算制御装置の働きに
より、再現性良くマスクＭの一端と他端の長さを測定す
ることができる。
、Ｅ２のＹ方向の中心に対応するＸ走査ラインＲの第
１０図（ａ）に示すような画像信号を抽出し、この信号
を所定のレベルしてスライスした後、第１０図（ｂ）に
示すように波形整形し、この信号の幅をクロック信号に
よって測定するようにしている。この装置によれば、マ
ーカーによってマスクＭの端部がカバーされるようにマ
ーカーを粗く移動させるだけで、演算制御装置の働きに
より、再現性良くマスクＭの一端と他端の長さを測定す
ることができる。
［発明が解決しようとする問題点］
さて、この従来装置により、例えば、第１１図（ａ）に
示す端部の起伏が激しいマスクＭ′の幅を測定しようと
した場合、エリアマーカーＥ１゜Ｅ２を第１１図のＥｌ
、Ｅ２で示すように位置させた場合にはＸ走査ライン
ＲにおけるマスクＭ′の幅が測長され、同図においてＥ
′１ 、 ｌ：ｉのように位置させた場合には、Ｘ走査
ラインＲ′における幅を測長されるため、その測長値に
は大きな差異が生じる。従って、マスクＭ−の平均的な
幅を測長しようとする場合には、エリアマークＥ１、Ｅ
２のＹ方向の位置を平均値が得られそうな位置に手動に
て移動させねばならず、操作性に問題があった。
示す端部の起伏が激しいマスクＭ′の幅を測定しようと
した場合、エリアマーカーＥ１゜Ｅ２を第１１図のＥｌ
、Ｅ２で示すように位置させた場合にはＸ走査ライン
ＲにおけるマスクＭ′の幅が測長され、同図においてＥ
′１ 、 ｌ：ｉのように位置させた場合には、Ｘ走査
ラインＲ′における幅を測長されるため、その測長値に
は大きな差異が生じる。従って、マスクＭ−の平均的な
幅を測長しようとする場合には、エリアマークＥ１、Ｅ
２のＹ方向の位置を平均値が得られそうな位置に手動に
て移動させねばならず、操作性に問題があった。
本発明は、正確にマーカーを移動させることなく、演算
処理装置の助けにより再瑛性良く測長を行ない得るよう
にした上）ホした従来装置の問題を解決し、端部の起伏
が激しい試料についての平均的な幅を簡単に測定するこ
とのできる荷電粒子線を用いた測長装置を提供すること
を目的としている。
処理装置の助けにより再瑛性良く測長を行ない得るよう
にした上）ホした従来装置の問題を解決し、端部の起伏
が激しい試料についての平均的な幅を簡単に測定するこ
とのできる荷電粒子線を用いた測長装置を提供すること
を目的としている。
［問題を解決するための手段］
そのため、本発明は荷電粒子線で試料を走査し、該走査
に伴って得られた検出信号に基づいて表示装置に試料像
を表示し、該像に重畳してＸ方向及びＹ方向の位置が可
変であってＸ及びＹ方向に幅を有する第１．第２のマー
カーを表示し、該第１゜第２のマーカーによってカバー
された試料の端部の距離を測長するようにした装置にお
いて、該第１、第２のマーカーのＹ方向の一端の座標を
Ｙｌ。
に伴って得られた検出信号に基づいて表示装置に試料像
を表示し、該像に重畳してＸ方向及びＹ方向の位置が可
変であってＸ及びＹ方向に幅を有する第１．第２のマー
カーを表示し、該第１゜第２のマーカーによってカバー
された試料の端部の距離を測長するようにした装置にお
いて、該第１、第２のマーカーのＹ方向の一端の座標を
Ｙｌ。
Ｙ方向の他端の座標をＹｌとするとき、ＹｌからＹｌの
間に略均等に分布するＹ座標値を有する複数のＸ走査ラ
インにおける副長値の平均値を各走査ラインの画像信号
に基づいて算出する手段を備えることを特徴としている
。
間に略均等に分布するＹ座標値を有する複数のＸ走査ラ
インにおける副長値の平均値を各走査ラインの画像信号
に基づいて算出する手段を備えることを特徴としている
。
［実施例１
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は本発明の一実施例を示すための図であり、図中
１は電子銃、２は電子銃１よりの電子線ＥＢを集束する
集束レンズ、３はＸ及びＹ偏向コイル対から成る偏向コ
イル、４はマスク等の被測定試料である。５は二次電子
検出器、６はデジタル走査信号発生回路、７，８はデジ
タル走査信号発生回路よりの走査信号をアナログ信号に
変換して増幅する走査回路、９は陰極線管、９Ｄは走査
コイル、１０はＡＤ変換器、１１はラインメモリ。
１は電子銃、２は電子銃１よりの電子線ＥＢを集束する
集束レンズ、３はＸ及びＹ偏向コイル対から成る偏向コ
イル、４はマスク等の被測定試料である。５は二次電子
検出器、６はデジタル走査信号発生回路、７，８はデジ
タル走査信号発生回路よりの走査信号をアナログ信号に
変換して増幅する走査回路、９は陰極線管、９Ｄは走査
コイル、１０はＡＤ変換器、１１はラインメモリ。
１２はメモリコントローラ、１３は積算器、１４はカー
ソルメモリ、１５はカーソルメモリコントローラ、１６
はカーソルメモリ１４よりの信号に基づいてブライトア
ップ信号を発生するブライトアップ回路、１７はｃｐｕ
、ｉｓは操作卓、１９はデータ表示用メモリ等を内臓し
ＣＰＵ１７よりの信号に基づいて陰極線管９に測長値デ
ータ等を表示するための表示信号を発生するデータ表示
信号発生回路、２０はその出力端が陰極ｔａ管９のグリ
ッド９Ｇに導入された合成回路である。
ソルメモリ、１５はカーソルメモリコントローラ、１６
はカーソルメモリ１４よりの信号に基づいてブライトア
ップ信号を発生するブライトアップ回路、１７はｃｐｕ
、ｉｓは操作卓、１９はデータ表示用メモリ等を内臓し
ＣＰＵ１７よりの信号に基づいて陰極線管９に測長値デ
ータ等を表示するための表示信号を発生するデータ表示
信号発生回路、２０はその出力端が陰極ｔａ管９のグリ
ッド９Ｇに導入された合成回路である。
ラインメモリ１０は第２図に示すように陰極線管９の−
Ｘ方向走査ラインに対応して４０９６のアドレスを有し
ており、各アドレスは８ビツトの深さを有している。又
、カーソルメモリ１４は第３図に示すように陰極線管９
の一画面に対応して深さ１ビツトの４０９６Ｘ ４０９
６のアドレスを有している。
Ｘ方向走査ラインに対応して４０９６のアドレスを有し
ており、各アドレスは８ビツトの深さを有している。又
、カーソルメモリ１４は第３図に示すように陰極線管９
の一画面に対応して深さ１ビツトの４０９６Ｘ ４０９
６のアドレスを有している。
陰極線管９の画面にＸ方向に平行な４本の横カーソルＣ
ｘｌ、 Ｃｘ２． Ｃｘ３． Ｃｘ４とＹ方向に平行な
２本の横カーソルＣｙ１． Ｃｙ２を表示するため、対
応するカーソルメモリ１４のアドレスには１が記憶され
ている。操作卓１８には、第４図に示すように前記カー
ソルＣｘｌ、 〜、 Ｃｘ４． Ｃｙｌ、 ｃｙｚの画
面上の位置を制御するため操作つまみＶＸＩ、〜。
ｘｌ、 Ｃｘ２． Ｃｘ３． Ｃｘ４とＹ方向に平行な
２本の横カーソルＣｙ１． Ｃｙ２を表示するため、対
応するカーソルメモリ１４のアドレスには１が記憶され
ている。操作卓１８には、第４図に示すように前記カー
ソルＣｘｌ、 〜、 Ｃｘ４． Ｃｙｌ、 ｃｙｚの画
面上の位置を制御するため操作つまみＶＸＩ、〜。
Ｖｘ４． Ｖｙｌ、 Ｖｙ２が備えられている。更に又
、操作卓１８には測長値の平均をとるべきカーソルＣＶ
１． ｃｙ２の間のＸ走査ラインの本数Ｎ１を指示する
ためのキーＺと、１Ｘ走査ラインの画像信号に対する積
算回数Ｎｓを指示するためのキーにも備えられている。
、操作卓１８には測長値の平均をとるべきカーソルＣＶ
１． ｃｙ２の間のＸ走査ラインの本数Ｎ１を指示する
ためのキーＺと、１Ｘ走査ラインの画像信号に対する積
算回数Ｎｓを指示するためのキーにも備えられている。
次に、第１１図で示したマスクＭ−の平均的な幅を測定
する場合を例にとり本発明の詳細な説明する。
する場合を例にとり本発明の詳細な説明する。
上述した構成において、操作卓１８より測定のスタート
を指示すると、デジタル走査信号発生回路６より走査信
号が発生し、電子線ＥＢは試料４上を二次元的に走査し
、この走査に伴う検出器５よりの信号は合成回路２０を
介して陰極線管９に輝度信号として供給される。そのた
め、陰極線管９には試料像が表示される。この際、デジ
タル走査信号発生回路６よりの走査信号がカーソルメモ
リコントローラ１５に送られているため、カーソルメモ
リ１４は電子線ＥＢによる試料４の二次元的な走査に同
期して読み出しが行なわれる。カーソルメモリ１４より
の信号に基づいてブライトアップ信号発生回路１６はブ
ライトアップ信号を発生させ、ブライトアップ信号を合
成回路２０を介して陰極線管９に送るため、陰極線管９
の画面には試料像に重畳して６本のカーソルＣｘ１．〜
．Ｃｘ４． Ｃｙｌ、 ＣＶ２が表示される。そこで、
操作卓１８のつまみＶｘｌ、 〜、 Ｖｘ４． Ｖｙｌ
、 ｖｙ２を操作すると、ＣＰＵ１７よりの信号に基づ
いてカーソルメモリコントローラ１５が制御され、カー
ソルメモリ１４内の１を書き込むアドレスが変更される
ため、陰極線管９に表示されるカーソルの位置が移動す
る。このようなつまみＶ ｘｉ、〜、 Ｖｘ４． Ｖｙ
ｌ、 ｖｙ２の操作により、第５図に示すように、横カ
ーソルＣｙ１． Ｃｙ２を適当な幅を有してマスクＭ−
の測定しようとするＹ方向位置に移動させると共に、第
１．第２の縦カーソルＣｘ１． Ｃｘ２によってマスク
Ｍ−の一端ｍ１を挟み、第３．第４の縦カーソルＣＸ３
． ＣＸ４によってマスクＭ′の測長しようとする他端
ｍ２を挟むようにする。この際の縦カーソルＣｘ１．
Ｃｘ２． Ｃｘ３． Ｃｘ４の座標をＸｌ。
を指示すると、デジタル走査信号発生回路６より走査信
号が発生し、電子線ＥＢは試料４上を二次元的に走査し
、この走査に伴う検出器５よりの信号は合成回路２０を
介して陰極線管９に輝度信号として供給される。そのた
め、陰極線管９には試料像が表示される。この際、デジ
タル走査信号発生回路６よりの走査信号がカーソルメモ
リコントローラ１５に送られているため、カーソルメモ
リ１４は電子線ＥＢによる試料４の二次元的な走査に同
期して読み出しが行なわれる。カーソルメモリ１４より
の信号に基づいてブライトアップ信号発生回路１６はブ
ライトアップ信号を発生させ、ブライトアップ信号を合
成回路２０を介して陰極線管９に送るため、陰極線管９
の画面には試料像に重畳して６本のカーソルＣｘ１．〜
．Ｃｘ４． Ｃｙｌ、 ＣＶ２が表示される。そこで、
操作卓１８のつまみＶｘｌ、 〜、 Ｖｘ４． Ｖｙｌ
、 ｖｙ２を操作すると、ＣＰＵ１７よりの信号に基づ
いてカーソルメモリコントローラ１５が制御され、カー
ソルメモリ１４内の１を書き込むアドレスが変更される
ため、陰極線管９に表示されるカーソルの位置が移動す
る。このようなつまみＶ ｘｉ、〜、 Ｖｘ４． Ｖｙ
ｌ、 ｖｙ２の操作により、第５図に示すように、横カ
ーソルＣｙ１． Ｃｙ２を適当な幅を有してマスクＭ−
の測定しようとするＹ方向位置に移動させると共に、第
１．第２の縦カーソルＣｘ１． Ｃｘ２によってマスク
Ｍ−の一端ｍ１を挟み、第３．第４の縦カーソルＣＸ３
． ＣＸ４によってマスクＭ′の測長しようとする他端
ｍ２を挟むようにする。この際の縦カーソルＣｘ１．
Ｃｘ２． Ｃｘ３． Ｃｘ４の座標をＸｌ。
Ｘ２ 、Ｘ３ 、Ｘ４とする。そこで、操作卓１８によ
り前記本数Ｎ１を例えば５に設定すると共に、積算の回
数ＮＳを例えば１０に設定した後、測長の開始を指示す
る。
り前記本数Ｎ１を例えば５に設定すると共に、積算の回
数ＮＳを例えば１０に設定した後、測長の開始を指示す
る。
カーソルＣｙ１． Ｃｙ２の座標値をＹｌ 、Ｙ２とす
るとき、ＣＰＵ１７はＹ座標値Ｙ１ 、Ｙ２を表わすデ
ータに基づいてカーソルＣｙ１． （、ｙ２を含んで両
カーソル間を５等分するＹ座標値Ｙ３ 、 Ｙ４ 。
るとき、ＣＰＵ１７はＹ座標値Ｙ１ 、Ｙ２を表わすデ
ータに基づいてカーソルＣｙ１． （、ｙ２を含んで両
カーソル間を５等分するＹ座標値Ｙ３ 、 Ｙ４ 。
Ｙ５を算出し、この得られているＹｌ、〜、 Ｙ５まで
の情報に基づいてデジタル走査信号発生回路６に制御信
号送り、マスク量−上において、まず、カーソルＣｙ１
に対応したＸ走査ライン上を電子線ＥＢにより１０回走
査させ、次に、第５図における点線ｙ３に対応するライ
ン上を１０回、順次同様に点線１． ｙ５ 、カーソル
Ｃｙ２上を各１０回ずつ走査させる。尚、点線ｙ３．ｙ
４．Ｙ５は実際には表示されない。カーソルＣＶＩ上の
第１回目の走査に伴って検出器５より例えば第６図（ｂ
）に示すような検出信号が得られたとすると、この信号
は検出信号はＤＡ変換器１０に送られてテジタル信号に
変換された後、ラインメモリ１１の各画素の座標に対応
したアドレスに記憶される。ラインメモリ１１には、第
２回目の走査により第１回目の走査時のものと略同様の
検出信号が送られて来るが、カーソルメモリコントロー
ラ１５にはＣＰＵ １７にＩ’）１７）前記座標Ｘ１
、 Ｘ２ 、 Ｘ３ 、 Ｘ４を表わす信号が送られて
おり、第６図（ｂ）に示す座標Ｘ１ 、Ｘ２で挟まれた
区間Ａ１と座標×３、Ｘ４で挟まれた区間Ａ２の信号が
送られてくると、カーソルメモリコントローラ１５はラ
インメモリ１１に記憶されていた区間ＡＩ、Ａ、２の信
号を読み出して積算器１３に送り、同一座標を有する第
２回目の信号と加算した後、ラインメモリ１１のこれら
区間ＡＩ 、Ａ２に対応したアドレスに格納する。第３
回以降の検出信号がＤＡ変換器１０から送られて来た際
にも、前述の場合と同様に信号の加算が行なわれる。そ
の結果、電子線ＥＢにより１０回のライン走査が終了す
ると、ラインメモリ１１の区間ＡＩ 、Ａ２に対応した
アドレスには、１０回の信号の加算によってＳ／Ｎ比が
向上した信号が記憶される。１０回のライン走査が終了
すると、ＣＰｔＪ１７はラインメモリ１１より区間Ａ１
に対応するアドレスの信号を読み出してその最大値をと
る座標Ｘ ａ＋ａｘ１を求め、次に区間Ａ２に対応する
アドレスの信号を読み出してその最大値をとる座標Ｘ
ｍａＸ２を求め、更にこれら座標の間隔に基づいてカー
ソルＣｙｌ上の測長すべき距離Ｄ１を算出する。この算
出値Ｄ１はＣＰＵ１７に付属するメモリに蓄えられる。
の情報に基づいてデジタル走査信号発生回路６に制御信
号送り、マスク量−上において、まず、カーソルＣｙ１
に対応したＸ走査ライン上を電子線ＥＢにより１０回走
査させ、次に、第５図における点線ｙ３に対応するライ
ン上を１０回、順次同様に点線１． ｙ５ 、カーソル
Ｃｙ２上を各１０回ずつ走査させる。尚、点線ｙ３．ｙ
４．Ｙ５は実際には表示されない。カーソルＣＶＩ上の
第１回目の走査に伴って検出器５より例えば第６図（ｂ
）に示すような検出信号が得られたとすると、この信号
は検出信号はＤＡ変換器１０に送られてテジタル信号に
変換された後、ラインメモリ１１の各画素の座標に対応
したアドレスに記憶される。ラインメモリ１１には、第
２回目の走査により第１回目の走査時のものと略同様の
検出信号が送られて来るが、カーソルメモリコントロー
ラ１５にはＣＰＵ １７にＩ’）１７）前記座標Ｘ１
、 Ｘ２ 、 Ｘ３ 、 Ｘ４を表わす信号が送られて
おり、第６図（ｂ）に示す座標Ｘ１ 、Ｘ２で挟まれた
区間Ａ１と座標×３、Ｘ４で挟まれた区間Ａ２の信号が
送られてくると、カーソルメモリコントローラ１５はラ
インメモリ１１に記憶されていた区間ＡＩ、Ａ、２の信
号を読み出して積算器１３に送り、同一座標を有する第
２回目の信号と加算した後、ラインメモリ１１のこれら
区間ＡＩ 、Ａ２に対応したアドレスに格納する。第３
回以降の検出信号がＤＡ変換器１０から送られて来た際
にも、前述の場合と同様に信号の加算が行なわれる。そ
の結果、電子線ＥＢにより１０回のライン走査が終了す
ると、ラインメモリ１１の区間ＡＩ 、Ａ２に対応した
アドレスには、１０回の信号の加算によってＳ／Ｎ比が
向上した信号が記憶される。１０回のライン走査が終了
すると、ＣＰｔＪ１７はラインメモリ１１より区間Ａ１
に対応するアドレスの信号を読み出してその最大値をと
る座標Ｘ ａ＋ａｘ１を求め、次に区間Ａ２に対応する
アドレスの信号を読み出してその最大値をとる座標Ｘ
ｍａＸ２を求め、更にこれら座標の間隔に基づいてカー
ソルＣｙｌ上の測長すべき距離Ｄ１を算出する。この算
出値Ｄ１はＣＰＵ１７に付属するメモリに蓄えられる。
全く同様にラインｙ３．ラインｌ、ラインＶ５．カーソ
ルＣｙ２についても順次算出値［）３．０４ 、Ｄ５
、Ｄ２が求められる。すると、ＣＰＵ１７はＤ１〜Ｄ５
までの平均値りを算出し、その算出値を表わす信号をデ
ータ表示回路１９に送る。データ表示回路１９はＣＰＵ
１７よりの信号に基づいてデータ表示信号発生回路１９
はデータ表示信号を発生し、このデータ表示信号は合成
回路２０を介して陰極線管９に送られるため、第５図に
示すように、陰楊線管画面に前記幅Ｗ′の平均値を示す
データ値りが表示される。
ルＣｙ２についても順次算出値［）３．０４ 、Ｄ５
、Ｄ２が求められる。すると、ＣＰＵ１７はＤ１〜Ｄ５
までの平均値りを算出し、その算出値を表わす信号をデ
ータ表示回路１９に送る。データ表示回路１９はＣＰＵ
１７よりの信号に基づいてデータ表示信号発生回路１９
はデータ表示信号を発生し、このデータ表示信号は合成
回路２０を介して陰極線管９に送られるため、第５図に
示すように、陰楊線管画面に前記幅Ｗ′の平均値を示す
データ値りが表示される。
又、平均値では無く、マスクＭ′の局所的な幅を測長し
ようとする場合には、操作卓１８を用いて横カーソルＣ
ｙ１． Ｃｙ２を重ならせるか又はその距離を穫めて小
さくすれば良く、このように横カーソルＣｙ１． Ｃｙ
２の幅を調節することにより平均的な幅と局所的な幅を
任意に測長することができる。
ようとする場合には、操作卓１８を用いて横カーソルＣ
ｙ１． Ｃｙ２を重ならせるか又はその距離を穫めて小
さくすれば良く、このように横カーソルＣｙ１． Ｃｙ
２の幅を調節することにより平均的な幅と局所的な幅を
任意に測長することができる。
このようにして、端部の起伏が激しい測定対象であって
も、マーカーのＹ方向の位置を粗く設定するだけで、自
動的に測定対象の平均的な長さを測定することができる
。
も、マーカーのＹ方向の位置を粗く設定するだけで、自
動的に測定対象の平均的な長さを測定することができる
。
尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、幾多
の他の態様を取り得る。
の他の態様を取り得る。
例えば、上述した実施例においては、１Ｘ走査ライン如
に１個ずつの測長値データを求めるようにしたが、第′
１走査ラインを例えば１０回走査した際に得られた画像
信号を積算した後、この積算された信号に更に第２回目
の走査ラインの１０回分の画像信号を積算するようにし
て、全ての走査ラインの画像信号を積算した後、２個の
ピークに対応するＸ座標を求め、このＸ座標に基づいて
測長値の平均値を求めるようにしても良い。
に１個ずつの測長値データを求めるようにしたが、第′
１走査ラインを例えば１０回走査した際に得られた画像
信号を積算した後、この積算された信号に更に第２回目
の走査ラインの１０回分の画像信号を積算するようにし
て、全ての走査ラインの画像信号を積算した後、２個の
ピークに対応するＸ座標を求め、このＸ座標に基づいて
測長値の平均値を求めるようにしても良い。
又、上述した実施例においては、信号のがピークとなる
２座標値に基づいて測長値を算出する如き装置に本発明
を適用するようにしたが、信号をスライスして測長値を
求める装置にも本発明は同様に適用できる。
２座標値に基づいて測長値を算出する如き装置に本発明
を適用するようにしたが、信号をスライスして測長値を
求める装置にも本発明は同様に適用できる。
更に又、横方向の位置及び幅が可変なマーカーとして一
対の縦カーソルを用いるようにしたが、第７図に示すよ
うな枠状のマーカーＵ１ 、ｔＪ２を用いても良い。
対の縦カーソルを用いるようにしたが、第７図に示すよ
うな枠状のマーカーＵ１ 、ｔＪ２を用いても良い。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明においては、
Ｙ方向に幅を有するマーカーの間に略均等に分布する複
数のＸ走査ラインにおける画像信号を自動的に抽出し、
これら複数のライン上における測長値の平均値を求める
ようにしたため、端部の起伏が激しい測定対象であって
も、マーカーのＹ方向の位置を粗く設定するだけで、測
定対象の端部間の幅を測定することができる。
Ｙ方向に幅を有するマーカーの間に略均等に分布する複
数のＸ走査ラインにおける画像信号を自動的に抽出し、
これら複数のライン上における測長値の平均値を求める
ようにしたため、端部の起伏が激しい測定対象であって
も、マーカーのＹ方向の位置を粗く設定するだけで、測
定対象の端部間の幅を測定することができる。
又、上述した実施例の装置においては、横カーソル（、
＋１． ＣＶ２の距離を調節するだけで、試料の平均的
な幅の測長と、局所的な幅の測定を切換えることができ
る。
＋１． ＣＶ２の距離を調節するだけで、試料の平均的
な幅の測長と、局所的な幅の測定を切換えることができ
る。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図はラ
インメモリを説明するための図、第３図はカーソルメモ
リを説明するための図、第４図は操作卓を説明するため
の図、第５図は第１図に示した一実施例装置におけるマ
ーカーの表示例を示すための図、第６図は実施例装置の
動作を説明するために信号波形を示すための図、第７図
は本発明の他の実施例を説明するための図、第８図は基
本的な従来装置を説明するための図、第９図は第８図の
基本的な従来装置を改良した従来装置を説明するための
図、第１０図は従来装置の動作を説明するための波形図
、第１１図は従来装置の欠点を説明するための図である
。 １：電子銃 Ｅ８：電子線 ２：集束レンズ ３：偏向コイル４：試料
５：検出器 ６：デジタル走査信号発生回路 ７．８：走査回路 ９：陰極線管 １０：ＡＤ変換器 １１ニラインメモリ１２．１５
：メモリコントローラ １４：カーソルメモリ １６：ブライトアップ回路 １７：ＣＰＵ １８：操作卓１９：データ信
号発生回路 ２０：合成回路 Ｍ、Ｍ′：マスク８１ 、 Ｓ
２ ：クロスマーカー Ｅ’１ 、 Ｅ２． Ｕｌ 、 Ｕ２ ：エリア（枠状
）マーカＣｘ１．〜． Ｃｘ４． Ｃｙｌ、 ＣＶ２：
カーソルＸｔ 、 〜、 Ｘ４ 、 ）ｌａｘｌ、 Ｘ
ｍａｘ２： Ｘ座標Ｙ１．〜．Ｙ５：Ｙ座標
インメモリを説明するための図、第３図はカーソルメモ
リを説明するための図、第４図は操作卓を説明するため
の図、第５図は第１図に示した一実施例装置におけるマ
ーカーの表示例を示すための図、第６図は実施例装置の
動作を説明するために信号波形を示すための図、第７図
は本発明の他の実施例を説明するための図、第８図は基
本的な従来装置を説明するための図、第９図は第８図の
基本的な従来装置を改良した従来装置を説明するための
図、第１０図は従来装置の動作を説明するための波形図
、第１１図は従来装置の欠点を説明するための図である
。 １：電子銃 Ｅ８：電子線 ２：集束レンズ ３：偏向コイル４：試料
５：検出器 ６：デジタル走査信号発生回路 ７．８：走査回路 ９：陰極線管 １０：ＡＤ変換器 １１ニラインメモリ１２．１５
：メモリコントローラ １４：カーソルメモリ １６：ブライトアップ回路 １７：ＣＰＵ １８：操作卓１９：データ信
号発生回路 ２０：合成回路 Ｍ、Ｍ′：マスク８１ 、 Ｓ
２ ：クロスマーカー Ｅ’１ 、 Ｅ２． Ｕｌ 、 Ｕ２ ：エリア（枠状
）マーカＣｘ１．〜． Ｃｘ４． Ｃｙｌ、 ＣＶ２：
カーソルＸｔ 、 〜、 Ｘ４ 、 ）ｌａｘｌ、 Ｘ
ｍａｘ２： Ｘ座標Ｙ１．〜．Ｙ５：Ｙ座標
Claims (3)
- （１）荷電粒子線で試料を走査し、該走査に伴つて得ら
れた検出信号に基づいて表示装置に試料像を表示し、該
像に重畳してＸ方向及びＹ方向の位置が可変であつてＸ
及びＹ方向に幅を有する第１、第２のマーカーを表示し
、該第１、第２のマーカーによつてカバーされた試料の
端部の距離を測長するようにした装置において、該第１
、第２のマーカーのＹ方向の一端の座標をＹ１、Ｙ方向
の他端の座標をＹ２とするとき、Ｙ１からＹ２の間に略
均等に分布するＹ座標値を有する複数のＸ走査ラインに
おける測長値の平均値を各走査ラインの画像信号に基づ
いて算出する手段を備えることを特徴とする荷電粒子線
を用いた測長装置。 - （２）該第１、第２のマーカーのＹ方向の幅が可変とさ
れている前記特許請求の範囲第１項記載の荷電粒子線を
用いた測長装置。 - （３）該第１のマーカーはＹ方向に平行な第１、第２の
線状縦カーソルとＸ方向に平行な第１、第２の線状横カ
ーソルから成り、第２のマーカーはＹ方向に平行な第３
、第４の線状縦カーソルと該第１、第２の線状横カーソ
ルから成る前記特許請求の範囲第１項乃至第２項記載の
荷電粒子線を用いた測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10792085A JPS61265517A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 荷電粒子線を用いた測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10792085A JPS61265517A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 荷電粒子線を用いた測長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61265517A true JPS61265517A (ja) | 1986-11-25 |
Family
ID=14471396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10792085A Pending JPS61265517A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 荷電粒子線を用いた測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61265517A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63215908A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Erionikusu:Kk | 断面測定方法 |
| JPS63277911A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-11-15 | Erionikusu:Kk | 断面測定方法 |
| JP2007003535A (ja) * | 2001-08-29 | 2007-01-11 | Hitachi Ltd | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
| JP2007192753A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Horon:Kk | 画像取得方法および画像取得装置 |
| US7659508B2 (en) | 2001-08-29 | 2010-02-09 | Hitachi, Ltd. | Method for measuring dimensions of sample and scanning electron microscope |
| WO2011052339A1 (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン寸法測定方法及びそれに用いる荷電粒子線顕微鏡 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59112217A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-28 | Toshiba Corp | 寸法測定方法 |
-
1985
- 1985-05-20 JP JP10792085A patent/JPS61265517A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59112217A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-28 | Toshiba Corp | 寸法測定方法 |
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| JPS63215908A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Erionikusu:Kk | 断面測定方法 |
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| US7659508B2 (en) | 2001-08-29 | 2010-02-09 | Hitachi, Ltd. | Method for measuring dimensions of sample and scanning electron microscope |
| US8080789B2 (en) | 2001-08-29 | 2011-12-20 | Hitachi, Ltd. | Sample dimension measuring method and scanning electron microscope |
| JP2007192753A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Horon:Kk | 画像取得方法および画像取得装置 |
| WO2011052339A1 (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン寸法測定方法及びそれに用いる荷電粒子線顕微鏡 |
| JPWO2011052339A1 (ja) * | 2009-10-27 | 2013-03-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン寸法測定方法及びそれに用いる荷電粒子線顕微鏡 |
| JP5514832B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2014-06-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン寸法測定方法及びそれに用いる荷電粒子線顕微鏡 |
| US9200896B2 (en) | 2009-10-27 | 2015-12-01 | Hitachi High-Technologies Corporation | Pattern dimension measurement method and charged particle beam microscope used in same |
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