JPS61264204A

JPS61264204A - Detector for height of parts

Info

Publication number: JPS61264204A
Application number: JP10590785A
Authority: JP
Inventors: Moritoshi Ando; 護俊安藤; Giichi Kakigi; 柿木　義一
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1985-05-20
Filing date: 1985-05-20
Publication date: 1986-11-22

Abstract

PURPOSE:To obtain plural pieces of information about height without moving parts by providing plural parts irradiating optical systems which irradiate rays from light sources of photoconductor laser from the upper part of the parts to be measured slantingly and a television camera enabling the pick up image from above the parts to be measured and emitting the rays from the light sources in order. CONSTITUTION:The title detector is composed of the plural part irradiating optical systems 13-1 and 13-2 which irradiate the rectilinar rays 11 from the upper part of the parts 12 slantingly and the TV camera 14 picking up the reflected rays from the parts 12 irradiated with these optical systems from right above the parts 12. The plural part irradiating optical systems 13-1 and 13-2 are composed of cylindrical lens 15 and 16 making the rays from the laser light sources 10 rectilinear respectively and controlled from a controller 17via drivers 18 so that the parts 12 are irradiated from the different positions respec tively and further, the plural light sources 10 emit the rays in order. Hereby, since the parts 12 can be irradiated with the plural part irradiating optical systems 13-1 and 13-2, plural pieces of information about the height can be obtained at a stationary state of the parts by the TV camera 14.

Description

【発明の詳細な説明】〔概　要〕半導体レーザを光源とし直線状の光を部品の斜め上方か
ら照射し、その反射光を上方からテレビカメラで撮像し
て部品の高さを検出する高さ検知装置において、部品を
照射する光学系を複数個配置することにより部品を動か
さずに複数の高さ情報を検知することができる。[Detailed Description of the Invention] [Summary] A height sensor that uses a semiconductor laser as a light source to irradiate linear light from diagonally above a component, and images the reflected light from above with a television camera to detect the height of the component. In the detection device, multiple pieces of height information can be detected without moving the component by arranging a plurality of optical systems that illuminate the component.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明はプリント配線板に搭載された電子部品の形状検
査等に用いられる部品高さ検知装置に関するものである
。The present invention relates to a component height detection device used for shape inspection of electronic components mounted on a printed wiring board.

従来、電子装置の製造工程において、プリント配線板に
搭載された電子部品が誤りなきかどうか、又は正常に取
付けられているか等を検査する必要があり、この検査は
目視により行なわれていた。BACKGROUND ART Conventionally, in the manufacturing process of electronic devices, it has been necessary to inspect whether electronic components mounted on a printed wiring board are correct or properly installed, and this inspection has been performed visually.

しかし最近は作業の合理化、信頼性の向上環の上から自
動化が要望されている。However, recently there has been a demand for automation in order to streamline work and improve reliability.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、部品高さの検知を行なう場合、第４図に示すよう
な光切断法と呼ばれる高さ検知法が知られている。これ
は′第４図ａに示すようにスリットを通した直線状の光
１を部品２の斜め上方から照射し、その反射光を部品の
上方からテレビカメラ３で撮像し、第４図すの如き反射
光の像４を得て、その段差ｄがｈｃ＜ｄ（但しｈは部品
高さ）であることを利用して部品高さｈを検知するよう
になっている。Conventionally, when detecting the height of a component, a height detection method called a light cutting method as shown in FIG. 4 has been known. This is done by irradiating linear light 1 through a slit from diagonally above the part 2 as shown in Figure 4a, and capturing the reflected light with a television camera 3 from above the part. An image 4 of the reflected light is obtained, and the height h of the component is detected using the fact that the step difference d is hc<d (where h is the height of the component).

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記の方法では、第５図のように部品２のＡ。 In the above method, A of part 2 as shown in FIG.

８２箇所の高さを検出したいときは部品２を矢印Ｐ方向
に移動して２回測定する必要があり、さらに多くの高さ
情報を得たいときは、その都度部品を移動させなければ
ならず、作業が繁雑となるという欠点があった。If you want to detect the heights at 82 locations, you need to move part 2 in the direction of arrow P and measure it twice, and if you want to obtain even more height information, you have to move the part each time. However, the disadvantage was that the work was complicated.

本発明はこのような点にかんがみて創作されたもので、
部品を動かさずにその複数個所の高さ情報を検知できる
部品高さ検知装置を提供することを目的としている。The present invention was created in view of these points.
The object of the present invention is to provide a component height detection device that can detect height information at multiple locations without moving the component.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

このため本発明においては、半導体レーザを光源１０と
し直線状の光１１を被測定部品１２の斜め上方から照射
するようにした部品照射光学系の複数個１３−Ｉ〜１３
−７と、被測定部品１２の上方から撮像できるテレビカ
メラ１４とを具備して成り、前記複数の部品照射光学系
、１３−１〜１３−ｎはそれぞれ異なる位置から被測定
部品１２を照射できるように配置され、且つその光源１
０は順次発光するように制御されることを特徴としてい
る。For this reason, in the present invention, a plurality of component irradiation optical systems 13-I to 13 each include a semiconductor laser as a light source 10 and a linear light 11 irradiated from diagonally above the component to be measured 12.
-7 and a television camera 14 capable of capturing an image of the part to be measured 12 from above, and each of the plurality of component irradiation optical systems 13-1 to 13-n can irradiate the part to be measured 12 from different positions. and the light source 1
0 is characterized in that it is controlled to emit light sequentially.

〔作　用〕[For production]

異なった位置に配置された複数の部品照射光学系と、反
射光を撮像するテレビカメラとにより部品を動かさずに
その複数個所の高さ情報を得ることが可能となる。By using a plurality of component irradiation optical systems placed at different positions and a television camera that captures images of reflected light, it is possible to obtain height information at multiple locations without moving the component.

〔実施例〕〔Example〕

第１図は本発明の第１の実施例を示す図である。 FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention.

本実施例は部品１２を斜め上方から直線状の光１１で照
射する複数の部品照射光学系１３．、ｌ　、　ＩＬ２と
、４該光学系で照射した部品１２からの反射光を部品１
２の真上から撮像するテレビカメラ１４とからなり、前
記複数の部品照射光学系１３−、　、１３−。In this embodiment, a plurality of component irradiation optical systems 13. , l, IL2 and 4. The reflected light from the component 12 irradiated by the optical system is transmitted to the component 1.
The plurality of component irradiation optical systems 13-, , 13- are comprised of a television camera 14 that captures images from directly above 2.

はそれぞれレーザ光源１０とその光を直線状にする２個
のシリンドリカルレンズ１５　、１６とより構成され、
それぞれ異なった位置から部品１２を照射するように配
置されている。また複数の光源１０は順次発光するよう
にコントローラ１７からドライバ１日を介して制御され
るようになっている。each consists of a laser light source 10 and two cylindrical lenses 15 and 16 that make the light linear,
They are arranged so as to irradiate the component 12 from different positions. Further, the plurality of light sources 10 are controlled by the controller 17 via the driver so as to sequentially emit light.

このように構成された本実施例は部品１２を複数の部品
照射光学系１３−＋　、　ｔ３−ｚで照射することがで
きるため、部品１２を静止したままでテレビカメラ１４
によって複数の高さ情報を得ることができる。なお光源
ｌＯを順次発光させる理由は複数の高さ情報が混同しな
いようにするためである。In this embodiment configured in this way, the component 12 can be irradiated by a plurality of component irradiation optical systems 13-+ and t3-z, so the component 12 can be irradiated with the television camera 14 while the component 12 remains stationary.
Multiple height information can be obtained by Note that the reason why the light sources 10 are made to emit light sequentially is to prevent multiple pieces of height information from being confused.

第２図は本発明の第２の実施例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

同図ににおいて第１図と同一部分は同一符号を付して示
した。In this figure, the same parts as in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

本実施例が前実施例と異なるところは前実施例と同様な
部品照射光学系１３−１〜１３−４をＸ方向及びＹ方向
にそれぞれ配置したことである。このように構成された
本実施例は前実施例と同様に部品１２を動かさずに複数
の高さ情報を得ることができる。This embodiment differs from the previous embodiment in that component irradiation optical systems 13-1 to 13-4 similar to those of the previous embodiment are arranged in the X direction and the Y direction, respectively. This embodiment configured in this manner can obtain a plurality of pieces of height information without moving the component 12, as in the previous embodiment.

第３図は本発明の第３の実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention.

同図において第１図と同一部分は同一符号を付して示し
た。In this figure, the same parts as in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

本実施例が第１図の実施例と異なるところは多数の部品
照射光学系１３−１〜１３１を円周１９上に配置したこ
とである。このように構成された本実施例は部品１２を
動かさずにさらに多数の高さ情報を得ることができる。This embodiment differs from the embodiment shown in FIG. In this embodiment configured in this way, even more height information can be obtained without moving the component 12.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べてきたように、本発明によれば、光切断法にお
いて、複数の部品照射光学系を用いることにより、部品
を動かさずにその複数の高さ情報を得ることができ、実
用的には極めて有用である。As described above, according to the present invention, by using a plurality of component irradiation optical systems in the optical cutting method, multiple pieces of height information can be obtained without moving the component. Extremely useful.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の第１の実施例を示す図、第２図は本発
明の第２の実施例を示す図、第３図は本発明の第３の実
施例を示す図、第４図及び第５図は従来の光切断法を説
明するための図である。第１図、第２図、第３図において、１０は光源、１１は直線状の光、１２は部品、１３−３〜１３□は部品照射光学系、１４はテレビカメラ、１５　、１６はシリンドリカルレンズ、１７はコントロ
ーラ、１８はドライバである。本発明の第１の実施例を示す図第１図１ｏ・・・光源　　　　　　　　　１１・・・直線状の
光１２・・・部品　　　　　　　１３．．１３□・・・
部品照射光学系１４・・・テレビカメラ　　　　　　１
５．１６・・・シリンドリカルレンズ１７・・・コント
ローラ　　　　　　　　　１８８０．ト、−ライ２く本
発明の第２の実施例を示す図第２図１０・・・光源１３−１〜１３−４・・・部品照射光学系１４・・・テ
レビカメラ１５．１６・・・シリンドリカルレンズ本発明の第３の
実施例を示す図第３図１２・・・部品１３−１〜１３−ｎ・・・部品照射光学系１４・・・テ
レビカメラFIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the invention, FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the invention, FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the invention, and FIG. 4 is a diagram showing a third embodiment of the invention. FIG. 5 and FIG. 5 are diagrams for explaining the conventional optical cutting method. 1, 2, and 3, 10 is a light source, 11 is a linear light, 12 is a component, 13-3 to 13□ are a component irradiation optical system, 14 is a television camera, 15 and 16 are cylindrical 17 is a controller, and 18 is a driver. 1o...Light source 11...Linear light 12...Parts 13. Diagram showing the first embodiment of the present invention. ．． 13□...
Component irradiation optical system 14...TV camera 1
5.16...Cylindrical lens 17...Controller 1880. 10...Light sources 13-1 to 13-4...Component irradiation optical system 14...Television camera 15, 16...・Cylindrical lens A diagram showing the third embodiment of the present invention FIG. 3 12... Parts 13-1 to 13-n... Parts Irradiation optical system 14... Television camera

Claims

【特許請求の範囲】１、半導体レーザを光源（１０）とし直線状の光（１１
）を被測定部品（１２）の斜め上方から照射するように
した部品照射光学系の複数個（１３＿−＿１〜１３＿−
＿ｎ）と、被測定部品（１２）の上方から撮像できるテレビカメラ
（１４）とを具備して成り、上記複数の部品照射光学系（１３＿−＿１〜１３＿−＿
ｎ）はそれぞれ異なる位置から被測定部品（１２）を照
射できるように配置され、且つその光源（１０）は順次発光するように制御される
ことを特徴とする部品高さ検知装置。[Claims] 1. A semiconductor laser is used as a light source (10), and linear light (11
) of a plurality of component irradiation optical systems (13_-_1 to 13_-
_n) and a television camera (14) capable of capturing an image from above of the component to be measured (12), the plurality of component irradiation optical systems (13_-_1 to 13_-_
n) are arranged so that the parts to be measured (12) can be irradiated from different positions, and the light sources (10) are controlled to sequentially emit light.