JPS61262736A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
- Publication number
- JPS61262736A JPS61262736A JP10369585A JP10369585A JPS61262736A JP S61262736 A JPS61262736 A JP S61262736A JP 10369585 A JP10369585 A JP 10369585A JP 10369585 A JP10369585 A JP 10369585A JP S61262736 A JPS61262736 A JP S61262736A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- polymerizable monomer
- photosensitive resin
- meth
- parts
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は保存安定性、特に熱に対する安定性を改善した
感光性樹脂組成物に関する。この感光性樹脂組成物は、
各種基板上に塗布して、製版用コンタクトフィルム、マ
スキングフィルム、ブルー７ペーパー、記録フィルム、
複写紙、フォトレジスト印刷材料などの画像形成材料と
して広い用途がある。
感光性樹脂組成物に関する。この感光性樹脂組成物は、
各種基板上に塗布して、製版用コンタクトフィルム、マ
スキングフィルム、ブルー７ペーパー、記録フィルム、
複写紙、フォトレジスト印刷材料などの画像形成材料と
して広い用途がある。
有機過酸化物を含有した光重合開始剤をｍ−た感光性樹
脂は、熱に対して不安定な物質であり、製品として市場
に出すには少なくとも６ケ月間、好ましくは１年間以上
の保存安定性が必要であり、また輸出を考慮した場合５
０℃以上の温度での保存安定性が要求される。従来保存
安定性を改善するために安定剤としてフェノール類を用
いて匹たが、５０℃以上の保存条件では十分溝足するに
は至って論ない〇 〔発明が解決しようとする問題点〕 感光性樹脂を塗布した感光材料は特に熱や酸μの影響を
受は易込ので、その保存には細心の注意が必要である。
脂は、熱に対して不安定な物質であり、製品として市場
に出すには少なくとも６ケ月間、好ましくは１年間以上
の保存安定性が必要であり、また輸出を考慮した場合５
０℃以上の温度での保存安定性が要求される。従来保存
安定性を改善するために安定剤としてフェノール類を用
いて匹たが、５０℃以上の保存条件では十分溝足するに
は至って論ない〇 〔発明が解決しようとする問題点〕 感光性樹脂を塗布した感光材料は特に熱や酸μの影響を
受は易込ので、その保存には細心の注意が必要である。
感光材料がこれらの影響を受けると感度が低下し、露光
時間が一定にならず品質のバラツキの原因となり再現性
の良い鮮明な画像が得られなくなり、感光材料が現像液
に不溶とかつ安定性および熱に対する安定性（以下両者
を含めて安定性という）の改善された感光性樹脂組成物
を得ることを目的としている０ 〔問題を解決するための手段〕 本発明者らは、安定性の良い感光性樹脂組成物を得るた
めに鋭意研究を重ねた結果、一般にアミンは有機過酸化
物の分解促進剤であると考えられていたのに、特定の分
子構造を有するアミンを用いると、感度をほとんど低下
させずに安定性が著しく改善されることを見い出して本
発明に至った。
時間が一定にならず品質のバラツキの原因となり再現性
の良い鮮明な画像が得られなくなり、感光材料が現像液
に不溶とかつ安定性および熱に対する安定性（以下両者
を含めて安定性という）の改善された感光性樹脂組成物
を得ることを目的としている０ 〔問題を解決するための手段〕 本発明者らは、安定性の良い感光性樹脂組成物を得るた
めに鋭意研究を重ねた結果、一般にアミンは有機過酸化
物の分解促進剤であると考えられていたのに、特定の分
子構造を有するアミンを用いると、感度をほとんど低下
させずに安定性が著しく改善されることを見い出して本
発明に至った。
すなわち、本発明は、バイレダー樹脂、重合性モノマー
および有機過酸化物含有光重合開始剤を主成分とする光
重合型感光性樹脂において、一般式（１） で表わされる第３アミンを重合性モノマーに対して０．
１〜１０重量％含有することを特徴とする感光性樹脂組
成物を提供するものである。
および有機過酸化物含有光重合開始剤を主成分とする光
重合型感光性樹脂において、一般式（１） で表わされる第３アミンを重合性モノマーに対して０．
１〜１０重量％含有することを特徴とする感光性樹脂組
成物を提供するものである。
本発明において安定剤として用いる一般式（１）で表わ
される第３アミンは上記に特定したものでなければなら
ない。
される第３アミンは上記に特定したものでなければなら
ない。
一般式（１）中でＲ２の一つが水素原子である第２アミ
進剤として働き、著しい感度の低下を招き、安定剤とし
ては使用できな匹。また、Ｒ２が炭素数３以上のアルキ
ル基の場合には第３アミンの分子量が大きくなり、溶解
性が不良となり好ましくない。
進剤として働き、著しい感度の低下を招き、安定剤とし
ては使用できな匹。また、Ｒ２が炭素数３以上のアルキ
ル基の場合には第３アミンの分子量が大きくなり、溶解
性が不良となり好ましくない。
Ｒ１の炭素数が１１以下の場合には、分子量が小さくな
って揮発性が高まり、特に５０℃以上の高温での安定性
が低下する。Ｒ１の炭素数の上限は特にないが、３０程
ｉｔで使用可能であり、入手の容易さなどの面から２４
以下のものが好ましか。
って揮発性が高まり、特に５０℃以上の高温での安定性
が低下する。Ｒ１の炭素数の上限は特にないが、３０程
ｉｔで使用可能であり、入手の容易さなどの面から２４
以下のものが好ましか。
一般式（１）で表わされる第３アミンの使用量は重合性
モノマーに対して０．１〜１０重量％、好ましくは０．
５〜５重量％である。使用量が０．１重量−未満では安
定化効果が得られず、１０重量係を越えても安定化効果
は増大せず、また感光性樹脂組成物の感度や塗膜物性に
悪影響を及ぼす。
モノマーに対して０．１〜１０重量％、好ましくは０．
５〜５重量％である。使用量が０．１重量−未満では安
定化効果が得られず、１０重量係を越えても安定化効果
は増大せず、また感光性樹脂組成物の感度や塗膜物性に
悪影響を及ぼす。
本発明に用いるバインダー樹脂としては（メタ）アクリ
ル酸エステル系の樹脂、ビニルビロドリン系ノｍ 指、
ビニルアルコール系の樹脂など塗膜形成能のあるものな
らば制限はなく、分子量も１万〜５０万程度のものが使
用できる◇バインダー樹脂として例えば、ポリ（メチル
メタクリレ−７ヒドロキシエチルメタクリレート）、ポ
リ（イソブチルメタクリレート／メチルメタクリｖ−ト
／メタクリル酸）、ポリ−Ｎ−ビニルピロビリン、ポッ
ト重合によりポリビニルアルコールの水酸基の一部をア
クリル酸と反応させることにより得られる不飽和基を側
鎖に導入した樹脂、またはポリグリシジルメタクリレー
トのグリシジル基の一品をメタクリル酸と反応させるこ
とにより得られる不飽和基を導入し先樹脂などがある。
ル酸エステル系の樹脂、ビニルビロドリン系ノｍ 指、
ビニルアルコール系の樹脂など塗膜形成能のあるものな
らば制限はなく、分子量も１万〜５０万程度のものが使
用できる◇バインダー樹脂として例えば、ポリ（メチル
メタクリレ−７ヒドロキシエチルメタクリレート）、ポ
リ（イソブチルメタクリレート／メチルメタクリｖ−ト
／メタクリル酸）、ポリ−Ｎ−ビニルピロビリン、ポッ
ト重合によりポリビニルアルコールの水酸基の一部をア
クリル酸と反応させることにより得られる不飽和基を側
鎖に導入した樹脂、またはポリグリシジルメタクリレー
トのグリシジル基の一品をメタクリル酸と反応させるこ
とにより得られる不飽和基を導入し先樹脂などがある。
これらのバインダー樹脂は１踵単独または２橿以上の組
合せ使用が可能である。
合せ使用が可能である。
本発明に用いる重合性モノマーは露光により光重合する
もので、例えば、ペンタエリスリトールトリ（メタ）ア
クリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アク
リレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリ
レート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレー
ト等の多官能アルコールの不飽和酸エステルがある。さ
らにまた、不飽和基を２個以上もつモノマーとして、２
゜２−ビス（４−アクリロイルオキシジェトキシフェニ
ル）プロパン−？Ｎ、 Ｎ’−メチレンビスアクリルア
ミド等も使用できる。これらの重合性モノマーも１種単
独または２種以上の組合せ使用が可能である。
もので、例えば、ペンタエリスリトールトリ（メタ）ア
クリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アク
リレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリ
レート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレー
ト等の多官能アルコールの不飽和酸エステルがある。さ
らにまた、不飽和基を２個以上もつモノマーとして、２
゜２−ビス（４−アクリロイルオキシジェトキシフェニ
ル）プロパン−？Ｎ、 Ｎ’−メチレンビスアクリルア
ミド等も使用できる。これらの重合性モノマーも１種単
独または２種以上の組合せ使用が可能である。
本発明に用いる有機過酸化物含有光重合開始剤は、有機
過酸化物を含有する光重合開始剤である。
過酸化物を含有する光重合開始剤である。
有機過酸化物としてたとえば、ベンゾイルペルオキシド
、メチルエチルケトノベルオキシド、ジ第３ブチルペル
オキシド、第３ブチルヒドロペルオキシド、ジイソプロ
ピルペルオキシジカーボネート、第３ブチルペルオキシ
ベンゾエート、ジ第３プチルジペルオキクイン７タレー
ト、２．５−ジメチル−２，５−ジ（ベンゾイルペルオ
キシ）ヘキサン、３，３に４．４′テトラ（第３ブテル
ベルオキクカルボニル）ベンゾフェノｙなどがある。
、メチルエチルケトノベルオキシド、ジ第３ブチルペル
オキシド、第３ブチルヒドロペルオキシド、ジイソプロ
ピルペルオキシジカーボネート、第３ブチルペルオキシ
ベンゾエート、ジ第３プチルジペルオキクイン７タレー
ト、２．５−ジメチル−２，５−ジ（ベンゾイルペルオ
キシ）ヘキサン、３，３に４．４′テトラ（第３ブテル
ベルオキクカルボニル）ベンゾフェノｙなどがある。
有機過酸化物と併用する物質としては、シアニン系染料
、メロシアニン系染料、キサンチン系染料、チアゾール
系染料、４−（４−ニトロ７エ二ルンー２．６−ビス（
４−ブチルフェニル）ピリリウムバークロレートに代表
されるビリリウム塩、４−（４−ブトキシフェニル）
−２，６−ビス（４−メトキシフェニル）テオビリリウ
ムフルオはボレートや４−（４−ブトキシフェニル）
−２，６−ジフェニルチオビリリウムテトラフルオ四ボ
レートに代表されるチオピリリウム頃、６−（４−メト
キシフェニル） −２，４−ジフェニルセレノビリリウ
ムパーク。レートに代表されるセレノピリリウム１１
λ２′−アゾビスー４−クアノー１−メチルヒヘリジン
に代表されるアゾビスニトリルであるアゾ化合物、ナフ
タリンま九はその誘導体やアントラセンまたはその誘導
体などに代表される多環芳香族化合物、アントラキノン
やキサントン、チオキサントｙなど和代表される芳香族
カルボニル化合物などがある。
、メロシアニン系染料、キサンチン系染料、チアゾール
系染料、４−（４−ニトロ７エ二ルンー２．６−ビス（
４−ブチルフェニル）ピリリウムバークロレートに代表
されるビリリウム塩、４−（４−ブトキシフェニル）
−２，６−ビス（４−メトキシフェニル）テオビリリウ
ムフルオはボレートや４−（４−ブトキシフェニル）
−２，６−ジフェニルチオビリリウムテトラフルオ四ボ
レートに代表されるチオピリリウム頃、６−（４−メト
キシフェニル） −２，４−ジフェニルセレノビリリウ
ムパーク。レートに代表されるセレノピリリウム１１
λ２′−アゾビスー４−クアノー１−メチルヒヘリジン
に代表されるアゾビスニトリルであるアゾ化合物、ナフ
タリンま九はその誘導体やアントラセンまたはその誘導
体などに代表される多環芳香族化合物、アントラキノン
やキサントン、チオキサントｙなど和代表される芳香族
カルボニル化合物などがある。
本発明で使用する有機過酸化物含有光重合開始剤は、上
記の有機過酸化物の１種または２種以上および有機過酸
化物を併用する上船の物質の１種または２種以上を組合
せて使用する。
記の有機過酸化物の１種または２種以上および有機過酸
化物を併用する上船の物質の１種または２種以上を組合
せて使用する。
本発明の感光性樹脂組成物は、前記バインダー樹脂、重
合性モノマー、有機過酸化物含有光重合開始剤、および
一般式（１）で表わされる第３アミンを所定量配合して
、均一に混合した組成物である。
合性モノマー、有機過酸化物含有光重合開始剤、および
一般式（１）で表わされる第３アミンを所定量配合して
、均一に混合した組成物である。
各成分の配合食は、重合性モノマー１００重量部に対し
てバインダー樹脂５０〜３００１１を部、有機過酸化物
含有重合開始剤０．１〜２０重量部、一般式（１）の第
３アミン０．１〜１０重量部が適当であるＯ 本発明の感光性樹脂組成物は、前記成分のほかに画像を
着色するために必要に応じて色素を添加することができ
る。色素としては、例えばエチルバイオレット、クリス
タルバイオレット、ローズベンガル等がある。このほか
必要により溶媒その他の成分を添加することができる。
てバインダー樹脂５０〜３００１１を部、有機過酸化物
含有重合開始剤０．１〜２０重量部、一般式（１）の第
３アミン０．１〜１０重量部が適当であるＯ 本発明の感光性樹脂組成物は、前記成分のほかに画像を
着色するために必要に応じて色素を添加することができ
る。色素としては、例えばエチルバイオレット、クリス
タルバイオレット、ローズベンガル等がある。このほか
必要により溶媒その他の成分を添加することができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、各種基板上に塗布して、
感光性樹脂シートとして使用するものであり、この際、
感光性樹脂組成物をメチルエチルケトン、イソプロパツ
ール、エチルセロソルブ等の溶媒で５〜１００倍程度に
希釈して回転塗布、ロールコート、バーコード等の方法
を用＾て、基板上に０．５〜１０ｕｍの厚さになるよう
に均一に塗布して用いる。この基板上に塗布された感光
性樹脂組成物に光が照射されると、露光部分の重合性モ
ノマーが光重合して硬化するので、その後現イ象処理に
より未露光部分を溶解除去すると所定の画像が得られる
。
感光性樹脂シートとして使用するものであり、この際、
感光性樹脂組成物をメチルエチルケトン、イソプロパツ
ール、エチルセロソルブ等の溶媒で５〜１００倍程度に
希釈して回転塗布、ロールコート、バーコード等の方法
を用＾て、基板上に０．５〜１０ｕｍの厚さになるよう
に均一に塗布して用いる。この基板上に塗布された感光
性樹脂組成物に光が照射されると、露光部分の重合性モ
ノマーが光重合して硬化するので、その後現イ象処理に
より未露光部分を溶解除去すると所定の画像が得られる
。
本発明の感光性樹脂組成物は、安定剤としで、一般式（
１）で表わされるに３アミンを配合することおいても優
れた安定性を示す。
１）で表わされるに３アミンを配合することおいても優
れた安定性を示す。
次に実施例および比較例によって本発明をさらに詳絹に
説明する。各例中、部は重量部を示す。
説明する。各例中、部は重量部を示す。
実施例１
ポリ（メチルメタクリレート／２−ヒドロキシエチルメ
タクリレ−））（９０／１０モル比：分子量６万）６０
部、ペンタエリスリトールトリアクリレート４０部、ジ
ｐａ３ブチルジペルオキシイソ７タレート４部、チオフ
ラビン８３部、ドデシルジメルアミン０．５部およびメ
チルセロソルブ１０蟲をよく混合して感光性樹脂組成物
とした。
タクリレ−））（９０／１０モル比：分子量６万）６０
部、ペンタエリスリトールトリアクリレート４０部、ジ
ｐａ３ブチルジペルオキシイソ７タレート４部、チオフ
ラビン８３部、ドデシルジメルアミン０．５部およびメ
チルセロソルブ１０蟲をよく混合して感光性樹脂組成物
とした。
チオフラビンＳの構造式は次の通りである。
この感光液を砂目立てをし之アルミニウム板上に回転塗
布機を用いて乾燥型膜厚がｌｐｍになる２ＫＷの超高圧
水銀灯で３秒露光し念後、現僚を行った。
布機を用いて乾燥型膜厚がｌｐｍになる２ＫＷの超高圧
水銀灯で３秒露光し念後、現僚を行った。
安定性の試験は、感光性樹脂塗布板を８０℃のふ卵器に
入れて促進試験を行い、その後、感光性相定性試験の結
果は８０℃での値であるが、８０℃での１時間の促進試
験は室温（２５℃）において２０日相当するものと換算
できる。結果を表１に示す。
入れて促進試験を行い、その後、感光性相定性試験の結
果は８０℃での値であるが、８０℃での１時間の促進試
験は室温（２５℃）において２０日相当するものと換算
できる。結果を表１に示す。
実施例２
／１５モル比二分子量１０万）１００部にグラフトして
得た側鎖に不飽和基を有する樹脂５５部、トリメチロー
ルプロパントリアクリレート４５部、２．５−ジメチル
−２，５−ジ（ベンゾイルペルオキシ）ヘキサン３部、
４−（４−ブトキシフェニル）−２，６−ジフェニルチ
オピリリウムテトラフルオロボレート３部、オクタデシ
ルジメチルアミン１部、クリスタルバイオレット０．１
部、および溶媒としてメチルエチルケトン／イソプロパ
ツール（１部１重量比）２０００部を用いて実施例１と
同様に実施した。結果を表−１に示す。
得た側鎖に不飽和基を有する樹脂５５部、トリメチロー
ルプロパントリアクリレート４５部、２．５−ジメチル
−２，５−ジ（ベンゾイルペルオキシ）ヘキサン３部、
４−（４−ブトキシフェニル）−２，６−ジフェニルチ
オピリリウムテトラフルオロボレート３部、オクタデシ
ルジメチルアミン１部、クリスタルバイオレット０．１
部、および溶媒としてメチルエチルケトン／イソプロパ
ツール（１部１重量比）２０００部を用いて実施例１と
同様に実施した。結果を表−１に示す。
実施例３
ポリ−Ｎ−ビニルピロリドン（分子量３６万）５０部、
ペンタエリスリトールテトラアクリレート５０部、ＩＩ
ＩＥ３ブチルペルオキシベンゾエート５部、チオ７ラビ
ンＴ ３部、ヘキサデシルジエチルアミン１部、エチル
バイオレット０．２部、およびエチルセロソルブ２００
０部を用いて実施例１と同様に実施した。結果を表−１
に示す。チオ７ラビンＴの構造式は次の通りである。
ペンタエリスリトールテトラアクリレート５０部、ＩＩ
ＩＥ３ブチルペルオキシベンゾエート５部、チオ７ラビ
ンＴ ３部、ヘキサデシルジエチルアミン１部、エチル
バイオレット０．２部、およびエチルセロソルブ２００
０部を用いて実施例１と同様に実施した。結果を表−１
に示す。チオ７ラビンＴの構造式は次の通りである。
■
Ｈｓ
実施例４
ポリビニルアルコール（■クラレ製：クラレポパー／’
ＰｖＡ−２１０： ）ｙ７７部８８％）０２０チ水溶液
３００部、Ｎ、 Ｎ’−メチレンビスアクリルアミド４
０部、３． ３’、 ４．４’−テトラ−（第３ブチ
ルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン３部、メロシ
アニン系染料３部、テトラデシルジメチルアミン２部、
およびエチルセロソルブ１５００部を用いて実施例１と
同様に実施した。結果を表−１ｊｃ示す。メロシアニン
系染料の構造式は次の通シである。
ＰｖＡ−２１０： ）ｙ７７部８８％）０２０チ水溶液
３００部、Ｎ、 Ｎ’−メチレンビスアクリルアミド４
０部、３． ３’、 ４．４’−テトラ−（第３ブチ
ルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン３部、メロシ
アニン系染料３部、テトラデシルジメチルアミン２部、
およびエチルセロソルブ１５００部を用いて実施例１と
同様に実施した。結果を表−１ｊｃ示す。メロシアニン
系染料の構造式は次の通シである。
比較例１
実施例１においてドデシルジメチルアミンを無添加のも
のを調製し、実施例１と同様に実施した。
のを調製し、実施例１と同様に実施した。
結果を表−１に示す。
比較例２
実施例１において、ドデシルジメチルアミンの代わりく
ジメチルブチルアミンを用いて調製し、実施例１と同様
に実施した。結果を表−１に示す。
ジメチルブチルアミンを用いて調製し、実施例１と同様
に実施した。結果を表−１に示す。
比較例３
実施例３１ＣおいてへΦサブシルジエチルアミンの代わ
りに、ｐ−メトキシフェノールを用いて調製し、実施列
１と同様に実施した。結果を表−１に示す。
りに、ｐ−メトキシフェノールを用いて調製し、実施列
１と同様に実施した。結果を表−１に示す。
比較例４
実施例４において、テトラデシルジメチルアミンの代わ
りに２．２′−メチレン−ビス−（４−エチル−６−第
３ブチルフエノール）を用いて調製し、実施例１と同様
に実施した。結果を表−１に示す。
りに２．２′−メチレン−ビス−（４−エチル−６−第
３ブチルフエノール）を用いて調製し、実施例１と同様
に実施した。結果を表−１に示す。
表−１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 バインダー樹脂、重合性モノマーおよび有機過酸化物含
有光重合開始剤を主成分とする光重合型感光性樹脂にお
いて、一般式（１） ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・・・・・
（１） 〔ただし、Ｒ＿１は炭素数１２以上のアルキル基を表わ
し、Ｒ＿２はメチル基またはエチル基を表わす〕 で表わされる第３アミンを、重合性モノマーに対して０
．１〜１０重量％含有することを特徴とする感光性樹脂
組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10369585A JPS61262736A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10369585A JPS61262736A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61262736A true JPS61262736A (ja) | 1986-11-20 |
Family
ID=14360911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10369585A Pending JPS61262736A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61262736A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5919603A (en) * | 1992-08-28 | 1999-07-06 | Hitachi, Ltd. | Process for producing printed wiring board |
-
1985
- 1985-05-17 JP JP10369585A patent/JPS61262736A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5919603A (en) * | 1992-08-28 | 1999-07-06 | Hitachi, Ltd. | Process for producing printed wiring board |
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