JPS6125608U - 流体定圧供給装置 - Google Patents
流体定圧供給装置Info
- Publication number
- JPS6125608U JPS6125608U JP10613284U JP10613284U JPS6125608U JP S6125608 U JPS6125608 U JP S6125608U JP 10613284 U JP10613284 U JP 10613284U JP 10613284 U JP10613284 U JP 10613284U JP S6125608 U JPS6125608 U JP S6125608U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- constant pressure
- supply device
- pressure supply
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例に係る流体定圧供給装置の説
明図、第2図は同流体定圧供給装置を用いたシステムを
示す説明図、第3図は従来の流体供給のシステムを示す
説明図、第4図は従来及び本考案装置に係る圧力と時間
の関係を示す特匪図である。 1・・・流体供給源、2t 2at 2b・・・パ
ルフ、3.3at 3b−・・フィルター、4,4a
, 4b・−レギュレータ、5,5a〜5e,14a
〜14d・・・配管、6.20a.20b・・・圧力計
、7a,7b・・・機器、11・・・容器、12a.1
2b・・・レベルスイッチ、13・・・エア弁、15・
・・ボンブ、16a〜16c・・・バルブ、17・・・
カートリッジフィルタ、18・・・限外ろ過器、19a
.19b・・・二一ドルバルブ、21・・・制御器、2
2・・・流体定圧供給装置。
明図、第2図は同流体定圧供給装置を用いたシステムを
示す説明図、第3図は従来の流体供給のシステムを示す
説明図、第4図は従来及び本考案装置に係る圧力と時間
の関係を示す特匪図である。 1・・・流体供給源、2t 2at 2b・・・パ
ルフ、3.3at 3b−・・フィルター、4,4a
, 4b・−レギュレータ、5,5a〜5e,14a
〜14d・・・配管、6.20a.20b・・・圧力計
、7a,7b・・・機器、11・・・容器、12a.1
2b・・・レベルスイッチ、13・・・エア弁、15・
・・ボンブ、16a〜16c・・・バルブ、17・・・
カートリッジフィルタ、18・・・限外ろ過器、19a
.19b・・・二一ドルバルブ、21・・・制御器、2
2・・・流体定圧供給装置。
Claims (1)
- 流体洪給源より供給される流体が一時的に収容され、レ
ベルセンサーが設けられたタンクと、このタンクに連通
されたポンプと、このポンプ及び前記タンクに連通され
半導体製造用の機器に送給される流体を浄化して通過さ
せるフィルターと、前記レヘルセンサー、ポンプに電気
的に接続された制御器とを具備し、一定圧力の流体を前
記機器に供給することを特徴とする流体定圧供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10613284U JPS6125608U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 流体定圧供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10613284U JPS6125608U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 流体定圧供給装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6125608U true JPS6125608U (ja) | 1986-02-15 |
Family
ID=30665430
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10613284U Pending JPS6125608U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 流体定圧供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6125608U (ja) |
-
1984
- 1984-07-13 JP JP10613284U patent/JPS6125608U/ja active Pending
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