JPS61240148A - Ｘ線による被測定物の組成分析方法 - Google Patents
Ｘ線による被測定物の組成分析方法Info
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- JPS61240148A JPS61240148A JP60082080A JP8208085A JPS61240148A JP S61240148 A JPS61240148 A JP S61240148A JP 60082080 A JP60082080 A JP 60082080A JP 8208085 A JP8208085 A JP 8208085A JP S61240148 A JPS61240148 A JP S61240148A
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
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- G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明はＸ線を利用した非破壊測定手段により被測定物
の組成を分析する方法に関する。
の組成を分析する方法に関する。
「従来の技術１
ｘｍによる非破壊側法は各種の分野で利用されている。
Ｘ線には白色Ｘ線、特性Ｘ線があり、例えば医療分野に
おいてＸ線ＣＴ装置により断層写真を撮影するとき、白
色Ｘ線を人体に対して放射状に照射し、その透過線を主
にＸｅ電離箱からなる複数の検出器により測定している
が、かかる測定法では被測定物の組成を精度よく分析す
るのが困難であるとされている。
おいてＸ線ＣＴ装置により断層写真を撮影するとき、白
色Ｘ線を人体に対して放射状に照射し、その透過線を主
にＸｅ電離箱からなる複数の検出器により測定している
が、かかる測定法では被測定物の組成を精度よく分析す
るのが困難であるとされている。
一方、不透明な物体の組成、濃度等につき、アイソトー
プ（Ｇａ ｂ Ｃｏ）などのγ線源を用いて測定分析す
る方法も実施されているが、この方法の場合、線源の安
定性が高い反面、半減期、取り扱い上の規制など、制約
を受けるところが多く、そのため工業化がむずかしいと
されている。
プ（Ｇａ ｂ Ｃｏ）などのγ線源を用いて測定分析す
る方法も実施されているが、この方法の場合、線源の安
定性が高い反面、半減期、取り扱い上の規制など、制約
を受けるところが多く、そのため工業化がむずかしいと
されている。
ｒ発明が解決しようとする問題点Ｊ
、上記に代わるものとして、白色Ｘ線を単色化して被測
定物に照射し、その透過線をＸ線検出器でそ測定する方
法が提案されているが、この種の組成分析法では、一般
的に高い分析精度が要求される。
定物に照射し、その透過線をＸ線検出器でそ測定する方
法が提案されているが、この種の組成分析法では、一般
的に高い分析精度が要求される。
高い分析精度を確保するためには、Ｘ線照射時において
Ｘ線源または被測定物のいずれか一方を走査する必要が
生じるが、こうした場合には、走査を要する分だけ測定
時間が長くなり、走査のための設備も大がかりとなる。
Ｘ線源または被測定物のいずれか一方を走査する必要が
生じるが、こうした場合には、走査を要する分だけ測定
時間が長くなり、走査のための設備も大がかりとなる。
上記走査を必要としない組成分析を行なおうとしても、
例えば前述したＸｅ検出器ではその精度が低いためこれ
が実行できず、走査方式による非測定物の組成分析では
、その被測定物を製造してい際の、すなわちオンライン
での組成分析がほとんど不可能となる。
例えば前述したＸｅ検出器ではその精度が低いためこれ
が実行できず、走査方式による非測定物の組成分析では
、その被測定物を製造してい際の、すなわちオンライン
での組成分析がほとんど不可能となる。
測定時間を短縮しながら精度の高い測定を実現するため
には、被測定物に対するｘｍの照射量を多くする必要が
あり、そのためには、Ｘ線ビームを幅１ｉＩｍ以下、長
さ５ＩＩＩＢ以上に設定するのがよいが、このような縦
長のＸ線ビームを回折して単色化し得る単結晶、および
その測定器は、これらを配置すべきスペースの点で困難
性をともなう。
には、被測定物に対するｘｍの照射量を多くする必要が
あり、そのためには、Ｘ線ビームを幅１ｉＩｍ以下、長
さ５ＩＩＩＢ以上に設定するのがよいが、このような縦
長のＸ線ビームを回折して単色化し得る単結晶、および
その測定器は、これらを配置すべきスペースの点で困難
性をともなう。
例えばＭａｌシンチレーションカウンタの場合、最小寸
法のものでもＯ−５インチはある。
法のものでもＯ−５インチはある。
殊に、二以上の組成からなる光ファイバ用多孔質母材等
の組成を分析するとき、白色Ｘ線の分岐後、これを二種
以上の単色Ｘ線とし、それぞれの透過線を測定すること
になるので、単結晶の数、Ｘ線検出器の数が多くなり、
上記スペースファクタ上の困難度が増す。
の組成を分析するとき、白色Ｘ線の分岐後、これを二種
以上の単色Ｘ線とし、それぞれの透過線を測定すること
になるので、単結晶の数、Ｘ線検出器の数が多くなり、
上記スペースファクタ上の困難度が増す。
本発明は上述した問題点に鑑み、被測定物、Ｘ線源等を
走査せずとも、短時間で被測定物の組成分析が行なえる
、しかもオンライン制御が可能な組成分析方法を提供し
ようとするものである。
走査せずとも、短時間で被測定物の組成分析が行なえる
、しかもオンライン制御が可能な組成分析方法を提供し
ようとするものである。
ｒ問題点を解決するための手段」
本発明は、Ｘ線源からの白色Ｘ線を被測定物の測定部間
全域に照射し、その被測定物を透過した後の透過線を、
「５×幅〉１×長さ」のＸ線ビームとなるよう、マルチ
コリメータにより分岐した後、該透過線中の低エネルギ
単色Ｘ線を単結晶により縦方向に回折するとともに該透
過線中の強エネルギ単色Ｘ線を他の単結晶により横方向
に回折し、これら回折後の透過線を、それぞれの回折方
向に対応して配置されたＸ線検出器により測定すること
を特徴としている。
全域に照射し、その被測定物を透過した後の透過線を、
「５×幅〉１×長さ」のＸ線ビームとなるよう、マルチ
コリメータにより分岐した後、該透過線中の低エネルギ
単色Ｘ線を単結晶により縦方向に回折するとともに該透
過線中の強エネルギ単色Ｘ線を他の単結晶により横方向
に回折し、これら回折後の透過線を、それぞれの回折方
向に対応して配置されたＸ線検出器により測定すること
を特徴としている。
ｒ作用Ｊ
本発明方法の場合、白色Ｘ線を被測定物の測定部間全域
に照射するから、Ｘ線源あるいは被測定物を走査する必
要がなく、その透過線をマルチコリメータにより「５×
幅＞ＩＸ長さ」のＸ＆ｌビームに分岐するから、測定時
間を短縮し、精度の高い測定を実現するための条件をも
満足させることができ、しかも上記透過線中、低エネル
ギ単色Ｘ線を単結晶により縦方向に回折するとともに該
透過線中の強エネルギ単色Ｘ線を他の単結晶により
３横方向に回折するから、これと対応
する各Ｘ検出器も上下二段のように複数段に配置でき、
Ｘ線検出器を配置する際のスペースファクタが緩和され
る。
に照射するから、Ｘ線源あるいは被測定物を走査する必
要がなく、その透過線をマルチコリメータにより「５×
幅＞ＩＸ長さ」のＸ＆ｌビームに分岐するから、測定時
間を短縮し、精度の高い測定を実現するための条件をも
満足させることができ、しかも上記透過線中、低エネル
ギ単色Ｘ線を単結晶により縦方向に回折するとともに該
透過線中の強エネルギ単色Ｘ線を他の単結晶により
３横方向に回折するから、これと対応
する各Ｘ検出器も上下二段のように複数段に配置でき、
Ｘ線検出器を配置する際のスペースファクタが緩和され
る。
「実 施 例Ｊ
以下１本発明方法の実施例につき、図面を参照して説明
する。
する。
第１図、第２図において、１はＸ線源、２．３はマルチ
コリメータ、４．５は単結晶、８．７はＸ線検出器であ
る。
コリメータ、４．５は単結晶、８．７はＸ線検出器であ
る。
８は不透明な被測定物である。
第１図、第２図において本発明方法を実施するとき、被
測定物７がマルチコリメータ２，３間に配置され、Ｘ線
源ｌから出射された白色Ｘ線がマルチコリメータ２によ
り絞られて被測定物８の幅方向全域に照射される。
測定物７がマルチコリメータ２，３間に配置され、Ｘ線
源ｌから出射された白色Ｘ線がマルチコリメータ２によ
り絞られて被測定物８の幅方向全域に照射される。
かかる白色Ｘ線は被測定物７を透過し、その透通線がマ
ルチコリメータ３によりビーム状に分光される。
ルチコリメータ３によりビーム状に分光される。
ついで、上記透過線のうち、低エネルギ単色Ｘ線は単結
晶４により縦方向、例えば第１図のごとき上刃、または
図示しない下方へ回折され、これと対応する位置に配置
されたＸ線検出器Ｂによりそのエネルギ強度が測定され
る。
晶４により縦方向、例えば第１図のごとき上刃、または
図示しない下方へ回折され、これと対応する位置に配置
されたＸ線検出器Ｂによりそのエネルギ強度が測定され
る。
一方、上記透過線中の強エネルギ単色Ｘ線は単結晶４を
透過した後、他の単結晶５により横方向に回折され、か
つ、これと対応する位置に配置されたＸ線検出器７によ
りそのエネルギ強度が測定される。
透過した後、他の単結晶５により横方向に回折され、か
つ、これと対応する位置に配置されたＸ線検出器７によ
りそのエネルギ強度が測定される。
こうして各Ｘ線検出器８．７により測定された結果が図
示しない電子計算機に入力され、該計算機により被測定
物８の組成が分析される。
示しない電子計算機に入力され、該計算機により被測定
物８の組成が分析される。
なお、＃述したＸ線検出器８，７としてはＮａ１１
を積層したシンチレーションカウンタが
用いられる。
を積層したシンチレーションカウンタが
用いられる。
本発明方法において、直径８０１層の５ｊ０２−Ｇｅ０
２からなる光ファイバ用多孔質母材を被測定物とし、こ
れの組成を分析するとき、下記の条件で実施した。
２からなる光ファイバ用多孔質母材を被測定物とし、こ
れの組成を分析するとき、下記の条件で実施した。
ＭａｘｌｆｌＯｋｅｙ 、ターゲット−Ｗ製 放射角！
３０度〔マルチコリメータ２．３〕 幅×長さ−０，５Ｘ １０にて分光するもの、分光数３
０〔単結晶４〕 ’Ｊｉ製、輻×長さ×厚さ−ＩＸ２ＱＸｌ 、３０個〔
単結晶５〕 Ｓｉ製、幅×長さ×厚さ雪４０ Ｘ１５Ｘ１．５ 、３
０個ＣＸｉ！Ｌ検出器６〕 ＮａＩ製、口径０．５インチ、３０個 〔Ｘ線検出器７〕 ＮａＩ製、口径０．５インチ、３０個 なお、Ｘ線検出器６．７はフォトマルプリアンプと一体
になったものを使用した。
３０度〔マルチコリメータ２．３〕 幅×長さ−０，５Ｘ １０にて分光するもの、分光数３
０〔単結晶４〕 ’Ｊｉ製、輻×長さ×厚さ−ＩＸ２ＱＸｌ 、３０個〔
単結晶５〕 Ｓｉ製、幅×長さ×厚さ雪４０ Ｘ１５Ｘ１．５ 、３
０個ＣＸｉ！Ｌ検出器６〕 ＮａＩ製、口径０．５インチ、３０個 〔Ｘ線検出器７〕 ＮａＩ製、口径０．５インチ、３０個 なお、Ｘ線検出器６．７はフォトマルプリアンプと一体
になったものを使用した。
第１図、第２図で例示した方法を上記の条件により実施
して光ファイバ用多孔質母材の組成を分析するとき、単
結晶５により８０ｋｅマのエネルギを回折し、単結晶６
により２００ｋｅマのエネルギを回折し、これらを上記
Ｘ線検出器で測定した。
して光ファイバ用多孔質母材の組成を分析するとき、単
結晶５により８０ｋｅマのエネルギを回折し、単結晶６
により２００ｋｅマのエネルギを回折し、これらを上記
Ｘ線検出器で測定した。
この際の測定時間は数分であった。
なお１組成分布が軸対称である上記光ファイバ用多孔質
母材を分析するとき、コリメータにより分光されたＸ線
間の母材組成をも測定することにより分析精度が高まる
。
母材を分析するとき、コリメータにより分光されたＸ線
間の母材組成をも測定することにより分析精度が高まる
。
このような場合は、Ｘ線源を中心にしてその線源以降の
各機器を水平方向へ少量だけ回転移動すればよい。
各機器を水平方向へ少量だけ回転移動すればよい。
各機器を回転させるとき、ＮａＩの口径が０．５インチ
であるので、精度は要求されない。
であるので、精度は要求されない。
ｒ発明の効果Ｊ
以上説明した通り、本発明方法によるときは、Ｘ線源あ
るいは被測定物を走査する必要がないから、被測定物を
オンラインにて分析することができ、透過線をマルチコ
リメータにより所定のＸ線ビームに分岐するから、測定
時間を短縮し、精度の高い測定を実現することができ、
しかも上記透過線を単結晶により縦方向、横方向に回折
するから、これと対応する各Ｘ検出器も複数段に配置し
てＸ線検出器を配置する際のスペースファクタをも緩和
し得る。
るいは被測定物を走査する必要がないから、被測定物を
オンラインにて分析することができ、透過線をマルチコ
リメータにより所定のＸ線ビームに分岐するから、測定
時間を短縮し、精度の高い測定を実現することができ、
しかも上記透過線を単結晶により縦方向、横方向に回折
するから、これと対応する各Ｘ検出器も複数段に配置し
てＸ線検出器を配置する際のスペースファクタをも緩和
し得る。
第１図は本発明方法の一実施例を略章した正面図、第２
図は同上の平面図である。 １拳・・・Ｘ線源 ２．３・１１番マルチコリメータ ４．５０−・単結晶 ６．７φ鳴・Ｘ線検出器 ８・・−・被測定物
図は同上の平面図である。 １拳・・・Ｘ線源 ２．３・１１番マルチコリメータ ４．５０−・単結晶 ６．７φ鳴・Ｘ線検出器 ８・・−・被測定物
Claims (4)
- （１）Ｘ線源からの白色Ｘ線を被測定物の測定部間全域
に照射し、その被測定物を透過した後の透過線を、「５
×幅＞１×長さ」のＸ線ビームとなるよう、マルチコリ
メータにより分岐した後、該透過線中の低エネルギ単色
Ｘ線を単結晶により縦方向に回折するとともに該透過線
中の強エネルギ単色Ｘ線を他の単結晶により横方向に回
折し、これら回折後の透過線を、それぞれの回折方向に
対応して配置されたＸ線検出器により測定することを特
徴とするＸ線による被測定物の組成分析方法。 - （２）被測定物は、上下方向の組成分布がほぼ等しい二
成分系光ファイバ多孔質母材からなる特許請求の範囲第
１項記載のＸ線による被測定物の組成分析方法。 - （３）二種類の単色Ｘ線を、別個の多層Ｘ線検出器によ
り測定する特許請求の範囲第１項記載のＸ線による被測
定物の組成分析方法。 - （４）Ｘ線源から放射状に出射した白色Ｘ線を被測定物
に照射し、Ｘ線源を中心にして、マルチコリメータ、単
結晶、Ｘ線検出器を少量回転させる特許請求の範囲第１
項記載のＸ線による被測定物の組成分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60082080A JPH071241B2 (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60082080A JPH071241B2 (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61240148A true JPS61240148A (ja) | 1986-10-25 |
| JPH071241B2 JPH071241B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=13764476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60082080A Expired - Lifetime JPH071241B2 (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071241B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62201340A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
| CN113805242A (zh) * | 2021-08-25 | 2021-12-17 | 浙江大华技术股份有限公司 | 安检机射线源控制方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622925A (en) * | 1979-08-01 | 1981-03-04 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Analytic measurement method for base material for optical fiber |
-
1985
- 1985-04-17 JP JP60082080A patent/JPH071241B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622925A (en) * | 1979-08-01 | 1981-03-04 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Analytic measurement method for base material for optical fiber |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62201340A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
| JP2583215B2 (ja) * | 1986-02-28 | 1997-02-19 | 古河電気工業株式会社 | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
| CN113805242A (zh) * | 2021-08-25 | 2021-12-17 | 浙江大华技术股份有限公司 | 安检机射线源控制方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH071241B2 (ja) | 1995-01-11 |
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