JPS61217532A - 鋼帯の焼付防止剤および防止方法 - Google Patents
鋼帯の焼付防止剤および防止方法Info
- Publication number
- JPS61217532A JPS61217532A JP6032985A JP6032985A JPS61217532A JP S61217532 A JPS61217532 A JP S61217532A JP 6032985 A JP6032985 A JP 6032985A JP 6032985 A JP6032985 A JP 6032985A JP S61217532 A JPS61217532 A JP S61217532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- steel strip
- seizing
- seizure
- powder
- annealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は冷延材等の鋼帯をバッチ焼鈍する際に見られる
焼付密着を防止する焼付防止剤および防止方法に関する
。
焼付密着を防止する焼付防止剤および防止方法に関する
。
(従来技術と問題点)
冷延鋼帯は、コイル状に巻取られた後、その機械的性質
を向上させるために一般にバッチ焼鈍を受ける。この焼
鈍時に鋼帯間においてFe原子が焼純温度により活性化
され、鋼宙間志のわずかなすき間を拡散により移動し、
その結果として鋼帯同志に密着現象が生じる、いわゆる
焼付が発生する。
を向上させるために一般にバッチ焼鈍を受ける。この焼
鈍時に鋼帯間においてFe原子が焼純温度により活性化
され、鋼宙間志のわずかなすき間を拡散により移動し、
その結果として鋼帯同志に密着現象が生じる、いわゆる
焼付が発生する。
この焼付現象は下記の要因によりその程度が変化する。
(1)焼鈍温度:高い程、Fe原子が活性化され、焼付
きが発生する。
きが発生する。
(2)コイル巻取り張カニ張力が大きくなると、コイル
状態での鋼帯同志の面圧が増大し、焼付きが発生しやす
い。
状態での鋼帯同志の面圧が増大し、焼付きが発生しやす
い。
+31 @布表面粗さ:表面粗さが小さい程、鋼帯間の
すき間が減少し、焼付き易い。特に、表面粗さの小さい
プライト仕様の鋼帯はその傾向が大になる。
すき間が減少し、焼付き易い。特に、表面粗さの小さい
プライト仕様の鋼帯はその傾向が大になる。
(41w4帯の断面プロフィール:熱延ミルのロール異
常摩耗等により、鋼帯の幅方向プロフィールに異常突起
部があると、その部分にコイル面圧が集中し、焼付きが
発生する。
常摩耗等により、鋼帯の幅方向プロフィールに異常突起
部があると、その部分にコイル面圧が集中し、焼付きが
発生する。
したがって従来は、上記の要因に対して焼付を少なくす
る方向に対策をとっていた。しかし、その場合は次の問
題点が生じる。
る方向に対策をとっていた。しかし、その場合は次の問
題点が生じる。
tll焼鈍温度を低下させると、冷延鋼帯の機械的特性
が劣化し、加工性が悪化する。
が劣化し、加工性が悪化する。
(2)コイル巻取り張力を低下させ、面圧を減少させる
と、コイル自体が変形しやすく、次工程での巻戻し時に
巻ズレによる疵が生じやすい。
と、コイル自体が変形しやすく、次工程での巻戻し時に
巻ズレによる疵が生じやすい。
(3)鋼帯の表面粗さを大きくすると、焼付きはある程
度防止できるが、焼鈍、調圧後にもその過大な表面粗度
が残存し、表面性状が悪化する。特に、プライト仕様の
場合にその傾向が顕著になる。また、冷間圧延時のロー
ル表面粗度の維持が困難になる。
度防止できるが、焼鈍、調圧後にもその過大な表面粗度
が残存し、表面性状が悪化する。特に、プライト仕様の
場合にその傾向が顕著になる。また、冷間圧延時のロー
ル表面粗度の維持が困難になる。
(4)鋼帯の断面プロフィールの異常突起を防止するこ
とは重要であるが、そのためには熱延ミルの作業ロール
交換頻度を増大させねばならず、能率低下につながる。
とは重要であるが、そのためには熱延ミルの作業ロール
交換頻度を増大させねばならず、能率低下につながる。
以上の理由により、前記(1)〜(4)の要因について
対策を行うことでは充分な焼付き防止効果が得られなか
った。
対策を行うことでは充分な焼付き防止効果が得られなか
った。
一方、バッチ焼鈍時の鋼帯の焼付を防止する別の手段と
して、アルミナ、シリカ、チタニア等の金属酸化物の水
性懸濁液、特にコロイド溶液を焼鈍前の鋼帯に塗布し、
乾燥してから、巻取って焼鈍する方法が従来より知られ
ている。たとえば、特開昭58−126934号公報お
よび同58−141339号公報は、アルミナ系のコロ
イド溶液をこのようにして鋼帯の焼付防止に使用するこ
とを開示している。
して、アルミナ、シリカ、チタニア等の金属酸化物の水
性懸濁液、特にコロイド溶液を焼鈍前の鋼帯に塗布し、
乾燥してから、巻取って焼鈍する方法が従来より知られ
ている。たとえば、特開昭58−126934号公報お
よび同58−141339号公報は、アルミナ系のコロ
イド溶液をこのようにして鋼帯の焼付防止に使用するこ
とを開示している。
この場合、アルミナ等の作用によりある程度の焼付防止
効果が得られるが、実際には焼付防止効果を充分に発揮
させるための付着量を実現するのが困難である。その理
由は、コロイド溶液を塗布してリンガ−ロールで絞った
後に乾燥するために、リンガ−ロール通過後の付着量が
非常に小さな値となるためである。したがってかがる手
段を用いても充分な焼付防止効果を得ることができなが
った。
効果が得られるが、実際には焼付防止効果を充分に発揮
させるための付着量を実現するのが困難である。その理
由は、コロイド溶液を塗布してリンガ−ロールで絞った
後に乾燥するために、リンガ−ロール通過後の付着量が
非常に小さな値となるためである。したがってかがる手
段を用いても充分な焼付防止効果を得ることができなが
った。
(問題点を解決するための手段)
上記問題点を解決するために、本発明では従来のように
水性コロイド溶液の状態で焼付防止剤を塗布して使用す
るのではなく、粉状の焼付防止剤を乾燥状態のままで焼
鈍前の綱帯に散布、付着させ、その後コイル状に鋼帯を
巻取って、焼鈍を行う。
水性コロイド溶液の状態で焼付防止剤を塗布して使用す
るのではなく、粉状の焼付防止剤を乾燥状態のままで焼
鈍前の綱帯に散布、付着させ、その後コイル状に鋼帯を
巻取って、焼鈍を行う。
本発明者らは、でんぷん質パウダー、好ましくはシリコ
ーン系樹脂で表面処理したでんぷん質パウダーがこの用
途に適していることを見い出し、本発明を完成させた。
ーン系樹脂で表面処理したでんぷん質パウダーがこの用
途に適していることを見い出し、本発明を完成させた。
ここに、本発明はでんぷん質パウダーからなる、鋼帯の
焼付防止剤である。
焼付防止剤である。
本発明の別の特徴によれば、本発明は、焼鈍前の鋼帯表
面に、でんぷん質パウダーを10−120 tag/イ
の量で散布した後、鋼帯をコイル状に巻取り、焼鈍を行
うことを特徴とする鋼帯の焼付防止方法である。
面に、でんぷん質パウダーを10−120 tag/イ
の量で散布した後、鋼帯をコイル状に巻取り、焼鈍を行
うことを特徴とする鋼帯の焼付防止方法である。
(作用)
以下、本発明をさらに詳しく説明する。
本発明で用いる焼付防止剤は、でんぷん質のパウダーで
ある。このパウダーは、分散性を向上させるためにでん
ぷん質の粒子の周囲をシリコーン系樹脂による表面処理
で被覆したものであるのが好ましいが、未処理のでんぷ
ん質パウダーも使用できる。でんぷん質パウダーの粒径
は100μ以下が好ましく、粒径が100μを超えると
均一付着しにくくなる。好ましい粒径の範囲は、5〜5
0μである。
ある。このパウダーは、分散性を向上させるためにでん
ぷん質の粒子の周囲をシリコーン系樹脂による表面処理
で被覆したものであるのが好ましいが、未処理のでんぷ
ん質パウダーも使用できる。でんぷん質パウダーの粒径
は100μ以下が好ましく、粒径が100μを超えると
均一付着しにくくなる。好ましい粒径の範囲は、5〜5
0μである。
でんぷん質パウダーは、たとえばじゃがいも、とうもろ
こしのでんぷんでよい。また、このでんぷん質パウダー
の表面処理は、シリコーン系樹脂をでんぷん質1粒子当
たり0.5〜3μ程度の厚さで吸着させることによって
行うことができる。
こしのでんぷんでよい。また、このでんぷん質パウダー
の表面処理は、シリコーン系樹脂をでんぷん質1粒子当
たり0.5〜3μ程度の厚さで吸着させることによって
行うことができる。
でんぷん質パウダーの散布量は特には限定しないが、一
般には10〜120B /rdの範囲内が特に好ましい
。その理由は、後述する実施例に述べる本発明者らの実
験結果では、第1図に示すように、1抛g/f以下の付
着量では焼付防止効果が小さく、また120a+g /
rrfを超えると、焼付防止効果は充分に達成できる
が、焼鈍時にでんぷんが炭化し、鋼板上にスマフヂとし
て黒色の汚れを生じることになるためである。より好ま
しい散布量は、10〜40ag/rrrの範囲である。
般には10〜120B /rdの範囲内が特に好ましい
。その理由は、後述する実施例に述べる本発明者らの実
験結果では、第1図に示すように、1抛g/f以下の付
着量では焼付防止効果が小さく、また120a+g /
rrfを超えると、焼付防止効果は充分に達成できる
が、焼鈍時にでんぷんが炭化し、鋼板上にスマフヂとし
て黒色の汚れを生じることになるためである。より好ま
しい散布量は、10〜40ag/rrrの範囲である。
散布方法は特に規定しないが、例えば、第2図に示す如
く、洗浄ライン出側において巻取り機の直前で鋼帯1に
本発明の焼付防止剤をパウダー散布機2により散布する
ことができる。散布機2の具体的構造は、たとえば第3
図に示すように、ロールフィーダー3と静電付加器4の
組合せからなるものでよい。ロールフィーダー3はガイ
ド板5、ロール6およびロール回転用モーター7がら構
成される。この装置によれば、ガイド板5により形成さ
れたホッパーに貯えられたパウダーは、表面に凹凸を設
けたロール6の回転につれてロールの凹部に入り込むこ
とによって少しづつ切り出され、下方に運ばれる。下側
まできたパウダーを静電付加器4により帯電させ、鋼帯
1の上に落下させ、吸着させる。このようにして、でん
ぷん質パウダーを均一に散布することができる。この場
合、ロールの回転数、ロールとガイド板のギャップ、ロ
ール表面粗度、静電付加器の電圧などのいずれか1以上
を変更することで、パウダーの散布量は容易に調節でき
る。
く、洗浄ライン出側において巻取り機の直前で鋼帯1に
本発明の焼付防止剤をパウダー散布機2により散布する
ことができる。散布機2の具体的構造は、たとえば第3
図に示すように、ロールフィーダー3と静電付加器4の
組合せからなるものでよい。ロールフィーダー3はガイ
ド板5、ロール6およびロール回転用モーター7がら構
成される。この装置によれば、ガイド板5により形成さ
れたホッパーに貯えられたパウダーは、表面に凹凸を設
けたロール6の回転につれてロールの凹部に入り込むこ
とによって少しづつ切り出され、下方に運ばれる。下側
まできたパウダーを静電付加器4により帯電させ、鋼帯
1の上に落下させ、吸着させる。このようにして、でん
ぷん質パウダーを均一に散布することができる。この場
合、ロールの回転数、ロールとガイド板のギャップ、ロ
ール表面粗度、静電付加器の電圧などのいずれか1以上
を変更することで、パウダーの散布量は容易に調節でき
る。
本発明のでんぷん質パウダーからなる焼付防止剤は、9
00℃程度までの温度での焼鈍に使用できる。
00℃程度までの温度での焼鈍に使用できる。
以下、実施例により本発明を例示する。
(実施例)
焼付防止剤として、シリコーン系樹脂(商品名二二ッカ
リコ)で表面処理した10〜20μの粒径のでんぷんパ
ウダーを用い、第3図に示す散布装置にて各種の量で散
布した後、コイルに巻取り、バッチ焼鈍を行った。この
でんぷんは、じゃがいもから得たでんぷんであって、で
んぷん粒子表面には約1μ程度の厚みの上記シリコーン
系樹脂被覆が形成されていた。使用した鋼帯は冷間圧延
により製造した、板厚0.5mm 、板幅1000mm
の低炭素ギルド鋼からなる表面ブライト仕上げの鋼帯で
あり、巻取り張力は第4図に示す張カバターンで巻取っ
た。散布量の調節は、静電付加器の電圧を調整すること
により、第5図に示す電圧−散布量の関係で散布量を変
更することにより行った。焼鈍は680℃で18時間行
った。
リコ)で表面処理した10〜20μの粒径のでんぷんパ
ウダーを用い、第3図に示す散布装置にて各種の量で散
布した後、コイルに巻取り、バッチ焼鈍を行った。この
でんぷんは、じゃがいもから得たでんぷんであって、で
んぷん粒子表面には約1μ程度の厚みの上記シリコーン
系樹脂被覆が形成されていた。使用した鋼帯は冷間圧延
により製造した、板厚0.5mm 、板幅1000mm
の低炭素ギルド鋼からなる表面ブライト仕上げの鋼帯で
あり、巻取り張力は第4図に示す張カバターンで巻取っ
た。散布量の調節は、静電付加器の電圧を調整すること
により、第5図に示す電圧−散布量の関係で散布量を変
更することにより行った。焼鈍は680℃で18時間行
った。
680℃×18時間のバッチ焼鈍後、調圧時のペイオフ
リールによる巻き戻し時に焼付いた鋼帯の剥離に伴って
発生する焼付音の大きさで焼付の程度を評価し、散布量
と焼付防止効果の関係を調べた。
リールによる巻き戻し時に焼付いた鋼帯の剥離に伴って
発生する焼付音の大きさで焼付の程度を評価し、散布量
と焼付防止効果の関係を調べた。
その結果を第1図にグラフで示すが、散布量Oのコイル
では焼付音が大きく、検査ラインでの目視結果でも焼付
きによる表面疵が認められた。これに対して、でんぷん
質パウダーを10mg/++?以上の量で散布すると、
散布量が増加するにつれて焼付音も大幅に減少し、特に
6抛g/n?以上の散布量では目視検査においても焼付
きによる表面疵の発生は全く認められなかった。ただし
、120mg/rrlの散布量になると、コイルの巻締
りによるスクラッチ疵が発生し、表面品質を確保できな
かった。
では焼付音が大きく、検査ラインでの目視結果でも焼付
きによる表面疵が認められた。これに対して、でんぷん
質パウダーを10mg/++?以上の量で散布すると、
散布量が増加するにつれて焼付音も大幅に減少し、特に
6抛g/n?以上の散布量では目視検査においても焼付
きによる表面疵の発生は全く認められなかった。ただし
、120mg/rrlの散布量になると、コイルの巻締
りによるスクラッチ疵が発生し、表面品質を確保できな
かった。
次に、散布量を50+mg/rdおよび10(ll1g
/rrrと一定にして、コイル巻取り張力を第5図に示
す張カバターンに対して1.0倍、1.3倍および1.
5倍の比率で増加させて巻取った場合の焼付音の大きさ
を比較した。その結果を第6図に示すが、5抛g/イの
散布量では、巻取り張力が増加するに従って焼付音が増
大するが、100 tsg/ rdの散布量では、巻取
り張力が1.5倍に増加した場合でも、焼付音は全く増
加しなかった。
/rrrと一定にして、コイル巻取り張力を第5図に示
す張カバターンに対して1.0倍、1.3倍および1.
5倍の比率で増加させて巻取った場合の焼付音の大きさ
を比較した。その結果を第6図に示すが、5抛g/イの
散布量では、巻取り張力が増加するに従って焼付音が増
大するが、100 tsg/ rdの散布量では、巻取
り張力が1.5倍に増加した場合でも、焼付音は全く増
加しなかった。
また、本発明の焼付防止剤を散布してコイルに巻取り、
バッチ焼鈍することにより製造した冷延鋼板を、防錆試
験、化成処理性試験、スマッヂ評価試験により検査した
が、焼付防止剤を使用しないでバッチ焼鈍した通常の冷
延鋼板と比べて全く同等のレベルであった。
バッチ焼鈍することにより製造した冷延鋼板を、防錆試
験、化成処理性試験、スマッヂ評価試験により検査した
が、焼付防止剤を使用しないでバッチ焼鈍した通常の冷
延鋼板と比べて全く同等のレベルであった。
(発明の効果)
以上に説明したように、本発明の焼付防止剤および防止
方法は、冷延製品の表面性状を損ねることなく、非常に
すぐれた焼付防止効果を達成できる。また、本発明で焼
付防止剤として使用するでんぷん質パウダーは、アルミ
ナ、シリカに比べて単位重量当たりの原単位が約115
0程度と非常に安価な材料であるので、アルミナ、シリ
カ等からなる焼付防止剤に比べて非常に低コストで製造
することができる。さらに、固体のパウダーを使用する
ため、水溶液の塗布と乾燥を行う従来の焼付防止剤に比
べてより簡便に使用できる。
方法は、冷延製品の表面性状を損ねることなく、非常に
すぐれた焼付防止効果を達成できる。また、本発明で焼
付防止剤として使用するでんぷん質パウダーは、アルミ
ナ、シリカに比べて単位重量当たりの原単位が約115
0程度と非常に安価な材料であるので、アルミナ、シリ
カ等からなる焼付防止剤に比べて非常に低コストで製造
することができる。さらに、固体のパウダーを使用する
ため、水溶液の塗布と乾燥を行う従来の焼付防止剤に比
べてより簡便に使用できる。
第1図は、でんぷん質パウダーの散布量と焼付音の関係
を示すグラフ、 第2図は、本発明の焼付防止剤の散布方法を示す略式斜
視図、 第3図は、本発明の焼付防止剤の散布に利用できる散布
装置の略式断面図、 第4図は、実施例における巻取り張カバターンを示すグ
ラフ、 第5図は、静電付加器の電圧と散布量の関係を示すグラ
フ、および 第6図は、巻取り張力と焼付音の関係を示すグラフであ
る。 1 :鋼帯 2 :パウダー散布量3 :
ロールフィーダー 4 :静電付加器5 ニガイド坂
6 :ロール第1図 1つ; ノシ 1を= (m♀イ6つ 第2図 第3図 1:aIIi? 第4図 つA〕し表1島を 第5図 第6図 1.0 1,3 1.5
を示すグラフ、 第2図は、本発明の焼付防止剤の散布方法を示す略式斜
視図、 第3図は、本発明の焼付防止剤の散布に利用できる散布
装置の略式断面図、 第4図は、実施例における巻取り張カバターンを示すグ
ラフ、 第5図は、静電付加器の電圧と散布量の関係を示すグラ
フ、および 第6図は、巻取り張力と焼付音の関係を示すグラフであ
る。 1 :鋼帯 2 :パウダー散布量3 :
ロールフィーダー 4 :静電付加器5 ニガイド坂
6 :ロール第1図 1つ; ノシ 1を= (m♀イ6つ 第2図 第3図 1:aIIi? 第4図 つA〕し表1島を 第5図 第6図 1.0 1,3 1.5
Claims (3)
- (1)でんぷん質パウダーからなる鋼帯の焼付防止剤。
- (2)前記でんぷん質パウダーがシリコーン系樹脂によ
り表面被覆されたものである、特許請求の範囲第1項記
載の鋼帯の焼付防止剤。 - (3)焼鈍前の鋼帯表面に、でんぷん質パウダーを10
〜120mg/m^2の量で散布した後、鋼帯をコイル
状に巻取り、焼鈍を行うことを特徴とする鋼帯の焼付防
止方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6032985A JPS61217532A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 鋼帯の焼付防止剤および防止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6032985A JPS61217532A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 鋼帯の焼付防止剤および防止方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61217532A true JPS61217532A (ja) | 1986-09-27 |
JPH0118133B2 JPH0118133B2 (ja) | 1989-04-04 |
Family
ID=13139019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6032985A Granted JPS61217532A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 鋼帯の焼付防止剤および防止方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61217532A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2058409A1 (en) * | 2006-12-25 | 2009-05-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method for heat treatment |
JP2014065935A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Jfe Steel Corp | 高炭素熱延鋼帯の製造方法 |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP6032985A patent/JPS61217532A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2058409A1 (en) * | 2006-12-25 | 2009-05-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method for heat treatment |
EP2058409A4 (en) * | 2006-12-25 | 2012-12-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | HEAT TREATMENT PROCESS |
JP2014065935A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Jfe Steel Corp | 高炭素熱延鋼帯の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0118133B2 (ja) | 1989-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1856301A1 (en) | Non-stick metal product coated by pvd with a hydrophobic metal oxide. | |
JPS61217532A (ja) | 鋼帯の焼付防止剤および防止方法 | |
US3389006A (en) | Process for forming a refractory coating on silicon-iron stock | |
JP2006247740A (ja) | プレス加工用銅又は銅合金板条 | |
JP2005097742A (ja) | 合金化溶融亜鉛めっき鋼板の製造方法および合金化溶融亜鉛めっき鋼板。 | |
JP4525252B2 (ja) | 合金化溶融亜鉛めっき鋼板の製造方法 | |
US6139937A (en) | Magnetic recording medium | |
KR101603564B1 (ko) | 전자파 흡수시트용 브레이킹장치 | |
JP3178257B2 (ja) | 加工性に優れた高珪素鋼板 | |
JP3367601B2 (ja) | 溶融亜鉛めっき装置 | |
KR102379727B1 (ko) | 백청방지제를 이용한 아연도금강선 제조방법 | |
JPH09125134A (ja) | コイル焼鈍時の焼付き防止方法 | |
JPS58141339A (ja) | 鋼帯の密着防止剤およびその使用方法 | |
JP2683071B2 (ja) | 方向性珪素鋼板の焼鈍方法 | |
JP2019151903A (ja) | マグネットロール式搬送装置 | |
JPS5995116A (ja) | ポリエステルフイルムロ−ル | |
JPS62170023A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
JP4779372B2 (ja) | カーボンロール、鋼板の製造装置および製造方法 | |
JPH0471723A (ja) | 帯状金属の巻取方法 | |
JPS5856754B2 (ja) | リン酸塩処理の前処理方法 | |
JPH10121265A (ja) | 潤滑性、脱脂性、溶接性に優れる合金化溶融亜鉛めっき鋼板 | |
JP2005171366A (ja) | プレス加工用銅又は銅合金板条及びその製造方法 | |
JPH02194157A (ja) | 加工性に優れたガルバニール鋼板とその製造方法および装置 | |
JP2022094422A (ja) | 浴中ロール研磨ブレード、研磨装置及びめっき装置 | |
JPS58224178A (ja) | 薄膜金属 |