JPS61213615A - Measuring method for three-dimensional measuring instrument - Google Patents
Measuring method for three-dimensional measuring instrumentInfo
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- JPS61213615A JPS61213615A JP5509285A JP5509285A JPS61213615A JP S61213615 A JPS61213615 A JP S61213615A JP 5509285 A JP5509285 A JP 5509285A JP 5509285 A JP5509285 A JP 5509285A JP S61213615 A JPS61213615 A JP S61213615A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、三次元測定機の測定方法に係り、特に手動操
作型三次元測定機のロボットによる自動測定化に利用で
きる。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a measurement method using a coordinate measuring machine, and is particularly applicable to automatic measurement by a robot of a manually operated coordinate measuring machine.
［背景技術とその問題点］
一般に、形状が複雑な被測定物の寸法や形状等を高精度
に測定するには、三次元測定機が広く用いられている。[Background Art and its Problems] In general, three-dimensional measuring machines are widely used to accurately measure the dimensions, shapes, etc. of objects with complex shapes.
三次元測定機には１人がプローブまたはプローブの近傍
を手でつかみ、プローブを予め定められた測定手順に従
って被測定物の測定面へ順次当接させ、その当接時点の
プローブの移動変位量から被測定物の寸法や形状等を求
める手動型と、例えばＣＮＣ三次元測定機のように、測
定機本体にプローブをｘ、ｙ、ｚ軸の各軸方向へ移動さ
せるためのスクリューやモータ等の駆動装置を装備させ
、これらの駆動装置を予めプログラムされた手順に従っ
て自動的に制御しながらプローブを被測定物の測定、面
へ順次当接させる自動型と、が知られている。In a three-dimensional measuring machine, one person grasps the probe or the vicinity of the probe with his or her hand, brings the probe into contact with the measurement surface of the object in sequence according to a predetermined measurement procedure, and calculates the amount of displacement of the probe at the time of contact. A manual type that measures the dimensions and shape of the object to be measured, and a CNC three-dimensional measuring machine that uses screws and motors to move the probe in the x, y, and z axes. An automatic type is known in which the probe is equipped with a drive device and the probe is sequentially brought into contact with the surface of the object to be measured while automatically controlling these drive devices according to a preprogrammed procedure.
前者の型式は、構造が簡単であるため構造上測定精度に
影響を与える要素が少なく、高精度な測定値が得られる
利点がある反面１次のような欠点がある。即ち。The former type has a simple structure, so there are few structural elements that affect measurement accuracy, and although it has the advantage of being able to obtain highly accurate measurement values, it has the disadvantage of linearity. That is.
■被測定物毎に測定箇所および手順を人が全て記憶しな
ければならないので、作業ミスが生じやすい、しかも、
これは被測定物毎に変る。■As a person must memorize all the measurement points and procedures for each object to be measured, work errors are likely to occur.
This varies depending on the object to be measured.
（りそれと同時に、データ処理装置との一連的作業を要
するので、専門的かつ技術的知識が必要とされる結果、
誰でもが運転できるわけではない。(At the same time, it requires a series of operations with data processing equipment, so specialized and technical knowledge is required.
Not everyone can drive.
また、専門家は、測定態様から見れば測定機に占有され
、他の作業に活用できない、また、かかる人を集めるこ
とも難しい。Furthermore, in terms of the measurement aspect, the experts are occupied with the measuring machine and cannot be used for other tasks, and it is also difficult to gather such experts.
■大きな測定範囲を許容する大型の測定機にあっては、
被測定物の全ての測定点を測定するような場合、測定者
が測定機の周囲を動き回らなくてはならなかったり、測
定台の上に乗って操作しなければならないので、測定能
率が低下し、かつ安全性にも欠ける。■For large measuring machines that allow a large measurement range,
When measuring all measurement points on the object to be measured, the measurement efficiency decreases because the operator has to move around the measuring machine or stand on the measuring table to operate it. Moreover, it lacks safety.
■操作時間が長くなる場合には、体温が手からプローブ
等へ伝達され、その結果プローブ等の熱膨張によって測
定精度の低下が生じる場合がある。(2) If the operation time becomes long, body temperature may be transferred from the hand to the probe, etc., and as a result, measurement accuracy may decrease due to thermal expansion of the probe, etc.
これに対し、後者の型式は、前者とは逆に、前者の欠点
を解決でき、かつ同一性のある被測定物を繰返し測定す
るのに適している反面、プローブをｘ、ｙ、ｚ軸の各軸
方向へ自動的に移動させるためにスクリューやモータ等
の駆動装置を測定機本体、特にプローブ軸を支持するス
ライダ、更にはスライダを支持する梁に装着しなければ
ならないので、これらを支持する構造が大型にならざる
を得ない、すると、これら装置の重量増加に伴い、基礎
構造に歪や撓みが生じる結果、これにより測定精度が低
下する欠点がある。On the other hand, while the latter type can solve the drawbacks of the former and is suitable for repeatedly measuring the same object to be measured, it also In order to automatically move in each axis direction, drive devices such as screws and motors must be attached to the measuring machine body, especially the slider that supports the probe axis, and also the beam that supports the slider, so these must be supported. If the structure is forced to be large-sized, the increased weight of these devices will cause distortion and deflection of the basic structure, resulting in a reduction in measurement accuracy.
［発明の目的］
本発明の目的は、このような従来例の欠点を解消すべく
なされたもので、手動型および自動型の利点を生かしつ
つ１両型の欠点を全て解消でき、かつ自動型とする上で
測定手順に従って検出子を移動させるための移動軌跡を
能率よく設定できる三次元測定機の測定方法を提供する
ことにある。[Object of the Invention] The object of the present invention was to eliminate the drawbacks of such conventional examples. An object of the present invention is to provide a measuring method for a three-dimensional measuring machine that can efficiently set a movement trajectory for moving a detector according to a measurement procedure.
［問題点を解決するための手段および作用〕そのため、
本発明では、移動機構を介して三次元方向へ移動可能な
タッチ信号プローブ等の検出子を、測定機本体とは別個
独立なロボット機構により行い、つまり自動化のための
駆動装置を別個独立にし、これにより上述した両型式の
利点を生かしつつ欠点を解決する一方、測定機本体とロ
ボット機構とを機械的に切離した状態において。[Means and actions for solving problems] Therefore,
In the present invention, a detector such as a touch signal probe that is movable in three-dimensional directions via a moving mechanism is performed by a robot mechanism that is separate and independent from the measuring machine body, that is, the drive device for automation is made separate and independent. This solves the drawbacks while making the most of the advantages of both types described above, while also allowing the measuring instrument body and the robot mechanism to be mechanically separated.
検出子を手動で所定の測定手順に従って移動させ、この
とき測定機本体側の各変位検出器の出力信号をロボット
機構側のロボット作動指令装置に取込んで検出子の移動
軌跡を記憶させ、測定に当って、記憶された移動軌跡デ
ータを測定手順プログラムに従って順次読出しながら、
ロボット機構を作動させるようにしたものである。The detector is manually moved according to a predetermined measurement procedure, and at this time, the output signals of each displacement detector on the measuring machine main body are input to the robot operation command device on the robot mechanism side, the movement trajectory of the detector is memorized, and the measurement is performed. While sequentially reading out the stored movement trajectory data according to the measurement procedure program,
It is designed to operate a robot mechanism.
具体的には、載物台上の被測定物に関与させる検出子を
三次元方向へ移動させる移動機構、検出子の移動変位量
を検出するための変位検出器およ−び変位検出器の出力
信号を所定処理して被測定物の寸法等を求めるデータ処
理装置を含む三次元測定機の測定方法であって、前記検
出子を、前記載物台上に取付けられた見本被測定物に沿
って複数ステップからなる所定の測定手順に従って前記
移動機構を介して移動させつつ、前記測定機本体と独立
したロボット機構のロボット作動指令装置に前記変位検
出器の出力信号を入力して検出子の移動軌跡を記憶させ
る検出子移動手順記憶工程と。Specifically, it includes a moving mechanism that moves the detector involved in the object to be measured on the stage in three dimensions, a displacement detector that detects the amount of displacement of the detector, and a displacement detector. A method for measuring a three-dimensional measuring machine including a data processing device that processes an output signal in a predetermined manner to determine the dimensions of an object to be measured, wherein the detector is placed on a sample object to be measured mounted on the object table. The output signal of the displacement detector is input to a robot operation command device of a robot mechanism independent from the measuring instrument main body, and the detector is moved by the moving mechanism according to a predetermined measurement procedure consisting of multiple steps. a detector movement procedure storage step for storing movement trajectories;
前記移動機構または検出子にロボット機構を連結した後
、前記測定手順の各ステップ毎に、前記ロボット４作動
指令装置に記憶された移動軌跡データに従ってロボット
機構を作動させて前記検出子を被測定物に関与させると
同時に、前記変位検出器の出力信号を前記データ処理装
置へ取込む測定データ取込工程と、この測定データ取込
工程によって取込まれた測定データに基づき被測定物の
寸法等を演算し、その演算完了後に前記ロボット作動指
令装置に次のステップ起動指令を発する測定値演算工程
と、からなり、前記測定データ取込工程と測定値演算工
程とを前記測定手順プログラムの全ステップについて繰
返して自動測定する、ことを特徴としている。After connecting the robot mechanism to the moving mechanism or the detector, the robot mechanism is operated in accordance with the movement locus data stored in the robot 4 operation command device for each step of the measurement procedure to move the detector to the object to be measured. At the same time, there is a measurement data acquisition step in which the output signal of the displacement detector is imported into the data processing device, and the dimensions of the object to be measured are determined based on the measurement data acquired in this measurement data acquisition step. and a measurement value calculation step of issuing a next step start command to the robot operation command device after the calculation is completed, and the measurement data acquisition step and the measurement value calculation step are performed for all steps of the measurement procedure program. It is characterized by repeated automatic measurements.
［実施例］
第１図は本発明の方法が適用された測定システムの外観
を示している。同図において、設置台ｌの上面には、三
次元測定機本体２が設置されているとともに、この三次
元測定機本体２と別個独立に構成されかつロボット作動
指令装置３からの作動指令に従って動作するロボット機
構４が設置されている。なお、三次元測定機本体２によ
って測定された測定データは、データ処理装置５へ送ら
れ、そこで所定処理された後被測定物の寸法や形状を表
わす値として出力される。[Example] FIG. 1 shows the appearance of a measurement system to which the method of the present invention is applied. In the figure, a coordinate measuring machine main body 2 is installed on the top surface of the installation stand l, and is configured separately and independently from the coordinate measuring machine main body 2 and operates according to operation commands from a robot operation command device 3. A robot mechanism 4 is installed. The measurement data measured by the three-dimensional measuring machine main body 2 is sent to the data processing device 5, where it is subjected to predetermined processing and then output as values representing the dimensions and shape of the object to be measured.
前記三次元測定機本体２は、被測定物１１ｔ＠置した載
物台１２の両側にそれぞれ案内レール１３を介して支柱
１４が前記載物台１２の前後方向（Ｙ軸方向）へ、この
両支社１４間に掛渡された水平ビーム１５に沿ってスラ
イダ１６が前記載物台１２の左右方向（Ｘ軸方向）へ、
このスライダ１６に下端に前記載物台１２上の被測定物
１１に関与させる検出子としてのタッチ信号プローブ１
７を有するプローブ軸１８が前記載物台１２の上下方向
（Ｘ軸方向）へ、それぞれ移動自在に設けられている。The three-dimensional measuring machine main body 2 has pillars 14 on both sides of the stage 12 on which the object to be measured 11t is placed, via guide rails 13, in the front-rear direction (Y-axis direction) of the stage 12. The slider 16 moves in the left-right direction (X-axis direction) of the document table 12 along the horizontal beam 15 spanning between the branch offices 14.
A touch signal probe 1 as a detector whose lower end is connected to the object to be measured 11 on the document table 12 on the slider 16
A probe shaft 18 having a probe shaft 7 is provided so as to be movable in the vertical direction (X-axis direction) of the document stage 12, respectively.
ここで、支柱１４、スライダ１６およびプローブ軸１８
等からなる移動機構１９は、例えばエアーベアリング装
置等により比較的軽い手動操作力でタッチ信号プローブ
１７を三次元方向へ移動させることができるようになっ
ている。Here, the pillar 14, the slider 16 and the probe shaft 18
The moving mechanism 19 consisting of, for example, an air bearing device or the like is capable of moving the touch signal probe 17 in three-dimensional directions with a relatively light manual operation force.
これにより、タッチ信号プローブ１７が移動されると、
タッチ信号プローブ１７が被測定物１１に当接したとき
、支柱１４のＹ軸方向の位置、スライダ１６のＸ軸方向
の位置およびプローブ軸１ＢのＸ軸方向の位置が前記デ
ータ処理装５！１５へ送られ、そこで所定処理された後
測定値としてデジタル表示される。As a result, when the touch signal probe 17 is moved,
When the touch signal probe 17 comes into contact with the object to be measured 11, the position of the support 14 in the Y-axis direction, the position of the slider 16 in the X-axis direction, and the position of the probe shaft 1B in the X-axis direction are the same as those of the data processing device 5!15. The measured values are then sent to the computer, where they are processed in a predetermined manner and then digitally displayed as measured values.
前記ロボット機構４は、第２図にも示す如く。The robot mechanism 4 is as shown in FIG.
前記ｔａ台ｌの上面に固定された基台２０に垂直に立設
されたＺ軸２１と、このＺ軸２１にＺ軸駆動モータ２２
の駆動によりＸ軸方向へ昇降自在に設けられた昇降ブロ
ック２３と、この昇降ブロック２３にＹ軸駆動モータ２
４の駆動によりＹ軸方向へ進退可能に設けられた互いに
平行な２木の進退杆２５と、これら２本の進退杆２５の
一端にＺ軸と平行にかつ旋回駆動モータ２６の駆動によ
り回転可能に設けられた回転軸２７と、この回転軸２７
に基端が固定された旋回アーム２８と、この旋回アーム
２８の先端と前記タッチ信号プローブ１７近傍のプロー
ブ軸１８とを互いに連結する連結アーム２９とから構成
されている。連結アーム２９は、プローブ軸１・８側の
一端が止めねじ３０によりプローブ軸１Ｂに固定されて
いるとともに、旋回アーム２８側の他端が連結軸３１と
ベアリング３２とにより旋回アーム２８に対して回転可
能に連結されている。これにより、ロボット機構４の作
動により移動機構１９を介してタッチ信号プローブ１７
が三次元方向へ移動されるようになっている。A Z-axis 21 is installed vertically on a base 20 fixed to the top surface of the TA stand L, and a Z-axis drive motor 22 is attached to this Z-axis 21.
A lift block 23 is provided to be able to move up and down in the X-axis direction by the drive of the lift block 23, and a Y-axis drive motor 2
4, two mutually parallel advancing/retracting rods 25 are provided so as to be movable in the Y-axis direction by the drive of 4, and one end of these two advancing/retracting rods 25 is rotatable parallel to the Z-axis and by the drive of a swing drive motor 26. a rotating shaft 27 provided in the rotating shaft 27;
It is composed of a swing arm 28 whose base end is fixed to the base end thereof, and a connecting arm 29 that connects the tip of the swing arm 28 and the probe shaft 18 near the touch signal probe 17 to each other. One end of the connecting arm 29 on the probe shafts 1 and 8 side is fixed to the probe shaft 1B by a set screw 30, and the other end on the rotating arm 28 side is fixed to the rotating arm 28 by a connecting shaft 31 and a bearing 32. Rotatably connected. As a result, the robot mechanism 4 operates to move the touch signal probe 17 through the moving mechanism 19.
is moved in three dimensions.
第３図は本測定システムの回路構成を示している。同図
において、４１は前記スライダ１６のＸ軸方向の移動変
位量つまりタッチ信号プローブ１７のＸ軸方向の移動変
位量を検出するＸ軸変位検出器、４２は支柱１４のＹ軸
方向における移動変位量つまりタッチ信号プローブ１７
のＹ軸方向における移動変位量を検出するＹ軸変位検出
器、４３はプローブ軸１８のＸ軸方向における移動変位
量つまりタッチ信号プローブ１７のＺ軸方向における移
動変位量を検出するＺ軸変位検出器である。これら変位
検出器４１，４２．４３で検出されたタッチ信号プロー
ブ１７のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向における測定データは、前記
タッチ信号プローブ１７の測定子１７Ａが被測定物１１
に当接し、そのタッチ信号プローブ１７からのタッチ信
号がデータ処理装置５へ与えられたとき、データ処理装
置５内へ取込まれるようになっている。FIG. 3 shows the circuit configuration of this measurement system. In the figure, 41 is an X-axis displacement detector that detects the amount of displacement of the slider 16 in the X-axis direction, that is, the amount of displacement of the touch signal probe 17 in the X-axis direction, and 42 is the displacement of the support column 14 in the Y-axis direction. quantity or touch signal probe 17
A Y-axis displacement detector 43 detects the displacement amount of the probe shaft 18 in the X-axis direction, that is, a Z-axis displacement detector 43 detects the displacement amount of the touch signal probe 17 in the Z-axis direction. It is a vessel. The measurement data in the X, Y, and Z axis directions of the touch signal probe 17 detected by these displacement detectors 41, 42, and 43 indicates that the measuring element 17A of the touch signal probe 17 is
When a touch signal from the touch signal probe 17 is applied to the data processing device 5, it is taken into the data processing device 5.
データ処理装置５は、変位検出器４１，４２゜４３から
与えられる測定データを所定処理して被測定物１１の寸
法等を求めるもので、前記測定データを記憶するための
メモリ、これらメモリに記憶された測定データを基に測
定モードに応じた演算を行うための演算処理プログラム
を記憶するメモリのほかに、測定手順が設定された複数
ステップからなる測定手順プログラムを記憶する測定手
順プログラムメモリ４４を備え、この測定手順プログラ
ムメモリ４４に記憶された測定手順プログラムに従って
、第４図中鎖線より左側に示すフローチャートの処理を
実行する。The data processing device 5 processes the measurement data provided from the displacement detectors 41, 42, 43 in a predetermined manner to obtain the dimensions of the object to be measured 11. In addition to the memory that stores an arithmetic processing program for performing calculations according to the measurement mode based on the measured data, there is also a measurement procedure program memory 44 that stores a measurement procedure program consisting of a plurality of steps in which measurement procedures are set. In accordance with the measurement procedure program stored in the measurement procedure program memory 44, the process of the flowchart shown on the left side of the dashed line in FIG. 4 is executed.
即ち、測定手順プログラムメモリ４４に記憶された測定
手順プログラムに従って、ステップ起動指令ＳＥＣを前
記ロボット作動指令装置３へ与え、これによりロボット
作動指令装Ｎ３からの指令でロボットａＩ！構４が所定
の動作を行う中で変位検出器４１，４２．４３からの測
定データが予め設定された数だけ入力されると、これら
の測定データを基に演算処理を実行した後、次のステッ
プ起動指令ＳＥＣをロボット作動指令装置３へ与える。That is, according to the measurement procedure program stored in the measurement procedure program memory 44, a step start command SEC is given to the robot operation command device 3, thereby causing the robot aI! to be activated by the command from the robot operation command device N3. When a preset number of measurement data from the displacement detectors 41, 42, and 43 are input while the structure 4 performs a predetermined operation, arithmetic processing is performed based on these measurement data, and then the next A step start command SEC is given to the robot operation command device 3.
これを測定手順プログラムメモリ４４に記憶された測定
手順プログラムの全ステップについて行う。This is performed for all steps of the measurement procedure program stored in the measurement procedure program memory 44.
一方、前記ロボット作動指令装置３は、前記Ｚ軸駆動モ
ータ２２、Ｙ軸駆動モータ２４および旋回駆動モータ２
６を駆動させるモータ駆動装置５１と、検出子移動手順
記憶工程で求められたタッチ信号プローブ１７の移動軌
跡を記憶する移動軌跡記憶装置５２と、前記データ処理
装置５からステップ起動指令ＳＥＣが与えられた際、移
動軌跡データｇｉ５２に記憶された移動軌跡データを各
モータ２２，２４．２６の駆動量（指令値）に変換し、
この指令値に基づきモータ駆動量ｇ１５１を介してＺ軸
駆動モータ２２．Ｙ軸駆動モータ２４および旋回駆動モ
ータ２６を駆動させる運転指令装置５３とを含む、移動
軌跡記憶装置５２には、前記測定機本体２側の各変位検
出器４１，４２゜４３からの出力信号が入力されている
。また１Ｍ転指令装置５３は、前記Ｚ軸駆動モータ２２
によって昇降される昇降ブロー、り２３のＺ軸方向の位
置を検出するＺ軸位置検出器５４からの位置データ、前
記Ｙ軸駆動モータ２４によって移動される進退杆２５の
Ｙ軸方向における位置を検出するＹ軸位置検出器５５の
位置データおよび旋回駆動モータ２６によって旋回され
る旋回アーム２８の旋回角度を検出する０角検出器５６
からの角度データと移動軌跡データから換算された指令
値とを比較し、その差分だけ各モータ２２ 、２４ 、
２６に駆動指令を与える。On the other hand, the robot operation command device 3 controls the Z-axis drive motor 22, the Y-axis drive motor 24, and the rotation drive motor 2.
6, a movement trajectory storage device 52 that stores the movement trajectory of the touch signal probe 17 obtained in the detector movement procedure storage step, and a step start command SEC from the data processing device 5. At this time, the movement trajectory data stored in the movement trajectory data gi52 is converted into the drive amount (command value) of each motor 22, 24.26,
Based on this command value, the Z-axis drive motor 22. The movement trajectory storage device 52, which includes an operation command device 53 that drives the Y-axis drive motor 24 and the swing drive motor 26, receives output signals from the displacement detectors 41, 42, 43 on the measuring instrument main body 2 side. It has been entered. The 1M rotation command device 53 also controls the Z-axis drive motor 22.
The position data from the Z-axis position detector 54 detects the position of the lifting blower 23 in the Z-axis direction, which is raised and lowered by a zero angle detector 56 that detects the position data of the Y-axis position detector 55 and the rotation angle of the rotation arm 28 rotated by the rotation drive motor 26;
The angle data from and the command value converted from the movement trajectory data are compared, and each motor 22, 24,
A drive command is given to 26.
次に、本実施例の測定方法を説明する０本システムによ
る測定では、始めに検出子移動手順記憶工程が行なわれ
た後、測定データ取込工程と測定値演算工程とを測定手
順プログラムの全ステップについて繰返えし行なわれる
。Next, in the measurement using the 0-wire system to explain the measurement method of this example, the detector movement procedure storage step is first performed, and then the measurement data acquisition step and the measurement value calculation step are performed throughout the measurement procedure program. The steps are repeated.
検出子移動手順記憶工程では、まず測定機本体２とロボ
ット機構４との連結を切離す、これには、止めねじ３０
をゆるめ、連結アーム２９の先端をプローブ軸１８から
取外せばよい、すると、測定機本体２とロボット機構４
との機械的連結が切離された状態となるため、測定機本
体２のタッチ信号プローブ１７を手動操作によって三次
元方向の任意の位置へ移動させることができる。In the detector movement procedure storage process, first, the connection between the measuring instrument body 2 and the robot mechanism 4 is disconnected.
, and remove the tip of the connecting arm 29 from the probe shaft 18. Then, the measuring machine main body 2 and the robot mechanism 4
The touch signal probe 17 of the measuring instrument main body 2 can be moved to any position in three dimensions by manual operation.
この状態において、載物台ｌｚ上に見本被測定物１１を
載置した後、三次元測定機本体２のタッチ信号プローブ
１７を、手動操作により見本被測定物に沿ってデータ処
理装置５の測定手順プログラムメモリ４４に予め設定さ
れた測定手順プログラムに従って移動させる。すると、
タッチ信号プローブ１７が移動する各時点における変位
検出器４１．４２．４３からのデータがロボット作動指
令装置３の移動軌跡記憶装置５２へ順次記憶される。つ
まり、タッチ信号プローブエフが測定手順プログラムに
従って移動したときのタッチ信号プローブ１７の移動軌
跡が移動軌跡記憶装Ｗ１５２に記憶される。これを、測
定手順プログラムメモリ４４に記憶された測定手順プロ
グラムの全ステップについて行うと、移動軌跡記憶装置
５２には、測定手順プログラムの各ステップに対応して
タッチ信号プローブ１７の移動軌跡が順次記憶される。In this state, after placing the sample object to be measured 11 on the stage lz, the touch signal probe 17 of the coordinate measuring machine main body 2 is manually operated along the sample object to be measured by the data processing device 5. The measurement procedure program is moved according to a measurement procedure program preset in the procedure program memory 44. Then,
Data from the displacement detectors 41, 42, 43 at each point in time when the touch signal probe 17 moves is sequentially stored in the movement trajectory storage device 52 of the robot operation command device 3. That is, the movement locus of the touch signal probe 17 when the touch signal probe F moves according to the measurement procedure program is stored in the movement locus storage device W152. When this is performed for all steps of the measurement procedure program stored in the measurement procedure program memory 44, the movement trajectory of the touch signal probe 17 is sequentially stored in the movement trajectory storage device 52 corresponding to each step of the measurement procedure program. be done.
このようにして、測定手順プログラムに対応するタッチ
信号プローブ１７の移動軌跡をロボット作動指令装Ｍ３
の移動軌跡記憶装ｆｉ１５２へ記憶させた後、前記移動
機構１９のプローブ軸１８にロボット機構４の連結アー
ム２９を連結する。この状態において、載物台１２上に
被測定物を載置した後、測定データ取込工程と測定値演
算工程とを行なう。In this way, the movement trajectory of the touch signal probe 17 corresponding to the measurement procedure program is determined by the robot operation command device M3.
After storing the movement trajectory in the movement trajectory storage device fi 152, the connection arm 29 of the robot mechanism 4 is connected to the probe shaft 18 of the movement mechanism 19. In this state, after placing the object to be measured on the stage 12, a measurement data acquisition process and a measurement value calculation process are performed.
測定データ取込工程と測定値演算工程は、第４図に示す
フローチャートの処理に従って行われる。即ち、データ
処理装置５が測定モードに設定されると、データ処理装
置５およびロボット作動指令装置３では共に測定のため
の準備処理が行われた後、データ処理装置５において、
測定手順プログラムメモリ４４に記憶された測定手順プ
ログラムの中から第１番目のステップ、つまり第１番目
の測定項目が指示され、この測定項目に対応するステッ
プ起動指令Ｓ Ｅ ＣＩがロボット作動指令装置３の運
転指令装Ｍ５３へ与えられる。The measurement data import step and the measurement value calculation step are performed according to the flowchart shown in FIG. That is, when the data processing device 5 is set to the measurement mode, after both the data processing device 5 and the robot operation command device 3 perform preparation processing for measurement, the data processing device 5
The first step, that is, the first measurement item, is instructed from the measurement procedure program stored in the measurement procedure program memory 44, and the step start command S E CI corresponding to this measurement item is sent to the robot operation command device 3. is given to the operation command device M53.
ロボット作動指令装置３の運転指令装置５３では、前記
データ処理装！ｔ５からのステップ起動指令Ｓ Ｅ Ｃ
＋が与えられると、そのステップ起動指令５ＥＣＩに対
応する移動軌跡データを移動軌跡記憶装置５２の中から
読出し、この移動軌跡データを各モータ２２，２４．２
６の駆動量に変換し、その駆動指令値に基づきモータ駆
動量！ｉ５１を介してＺ軸駆動モータ２２、Ｙ軸駆動モ
ータ２４および旋回駆動モータ２６を駆動させる。する
と、ロボット機構４を介してタッチ信号プローブ１７が
移動される。タッチ信号プローブ１７の移動により、タ
ッチ信号プローブ１７が被測定物ｌｌに当接すると、タ
ッチ信号プローブ１７からタッチ信号がデータ処理装置
５へ与えられる。このとき、Ｘ軸変位検出器４１によっ
て検出されたＸ軸方向の位置データ、Ｙ軸変位検出器４
２によって検出されたＹ軸方向における位置データおよ
びＸ軸変位検出器４３によって検出されたＺ軸方向にお
ける位置データがそれぞれデータ処理装置５内へ取込ま
れる。なお、この工程中において、初めに、プローブ交
換を行った後、測定に入るようにしてもよい。In the operation command device 53 of the robot operation command device 3, the data processing device! Step start command S E C from t5
When + is given, the movement trajectory data corresponding to the step start command 5ECI is read out from the movement trajectory storage device 52, and this movement trajectory data is transferred to each motor 22, 24.2.
Convert to the drive amount of 6 and change the motor drive amount based on the drive command value! The Z-axis drive motor 22, Y-axis drive motor 24, and swing drive motor 26 are driven via i51. Then, the touch signal probe 17 is moved via the robot mechanism 4. When the touch signal probe 17 comes into contact with the object to be measured 11 due to the movement of the touch signal probe 17, a touch signal is provided from the touch signal probe 17 to the data processing device 5. At this time, the X-axis direction position data detected by the X-axis displacement detector 41, the Y-axis displacement detector 4
The position data in the Y-axis direction detected by the X-axis displacement detector 2 and the position data in the Z-axis direction detected by the X-axis displacement detector 43 are respectively taken into the data processing device 5. Note that during this step, the probe may be replaced first and then measurement may be started.
すると、データ処理装置５では、Ｘ軸変位検出器４１．
Ｙ軸変位検出器４２およびＺ軸変位検出器４３から与え
られる測定データが所定数入力されると、それらの測定
データに基づき被測定物ｌｌの寸法等を演算し、その演
算結果を例えばプリンタ等により出力する。この演算終
了後に、測定手順プログラムメモリ４４に記憶された測
定手順プログラムの中から第２番目のステップ、つまり
第２番目の測定項目指示され、これに基づくステップ起
動指令Ｓ Ｅ Ｃ２がロボット作動指令装置３の運転指
令装！ｉ５３へ与えられる。Then, in the data processing device 5, the X-axis displacement detector 41.
When a predetermined number of measurement data from the Y-axis displacement detector 42 and the Z-axis displacement detector 43 are input, the dimensions of the object to be measured 11 are calculated based on these measurement data, and the calculation results are printed on a printer, etc. Output by After this calculation is completed, the second step, that is, the second measurement item, is instructed from the measurement procedure program stored in the measurement procedure program memory 44, and the step start command S E C2 based on this is sent to the robot operation command device. 3 driving command device! Given to i53.
ロボット作動指令装置３の運転指令装Ｍ５３では、デー
タ処理装置５からのステップ起動指令ＳＥ Ｃ２が与え
られると、そのステップ起動指令ＳＥ Ｃ２に対応する
移動軌跡データを移動軌跡記憶装置５２の中から読出し
、その移動軌跡データを各モータ２２，２４．２６の駆
動量に変換し、その駆動指令値に基づきモータ駆動装置
５１を介して２軸駆動モータ２２、Ｙ軸駆動モータ２４
および旋回駆動モータ２６を駆動させる。When the operation command device M53 of the robot operation command device 3 receives the step start command SE C2 from the data processing device 5, it reads out movement trajectory data corresponding to the step start command SE C2 from the movement trajectory storage device 52. , converts the movement locus data into the drive amount of each motor 22, 24, 26, and drives the two-axis drive motor 22 and Y-axis drive motor 24 via the motor drive device 51 based on the drive command value.
and drives the swing drive motor 26.
このようにして、測定データ取込工程と測定値演算工程
とが測定手順プログラムの全ステップについて繰返し行
なわれ、これ（より自動測定が達成される。In this way, the measurement data acquisition process and the measurement value calculation process are repeated for all steps of the measurement procedure program, thereby achieving more automatic measurement.
従って１本実施例によれば、タッチ信号プローブ１７を
三次元測定機本体２とは別個独立なロボット機構４によ
って移動させるようにしたので１手動型のもつ欠点およ
び自動型のもつ欠点を共に解決することができる。つま
り、大型の測定檄でも測定者が定位置で遠隔操作できる
ため、測定能率の向上と共に安全な測定が可能であり、
しかも測定者がプローブ等を直接つかむ必要がないこと
から、温度変化の影響が極めて少ない、また、三次元測
定機本体２にタッチ信号プローブエフを移動させるため
のスクリューやモータ等を装備させる必要がないことか
ら構造も簡素化でき、その重量で歪や撓みが発生するこ
とがなく、その結果高精度測定が可能である。Therefore, according to this embodiment, the touch signal probe 17 is moved by a robot mechanism 4 that is separate and independent from the coordinate measuring machine main body 2, thereby solving both the drawbacks of the manual type and the drawbacks of the automatic type. can do. In other words, even large measuring instruments can be operated remotely by the operator from a fixed position, which improves measurement efficiency and enables safe measurements.
Moreover, since the measuring person does not need to directly hold the probe, etc., the influence of temperature changes is extremely small, and there is no need to equip the coordinate measuring machine main body 2 with a screw or motor to move the touch signal probe F. The structure can be simplified because there is no distortion or bending due to its weight, and as a result, highly accurate measurement is possible.
また、ロボット作動指令装置ｉ３の移動軌跡記憶装置５
２に記憶された移動軌跡データに基づいてロボット機構
４を作動させるようにしたので、手動型のように被測定
物毎に測定箇所および手順を人が記憶する必要がなく、
ミス作業をなくすことができる。しかも、専門家にロボ
ット機構４を模範運転させ、その移動軌跡を移動軌跡記
憶装置１５２へ一旦記憶させれば、後は自動運転するこ
とができるので、専門家の負担を軽減することができ、
飛躍的普及が期待できる。In addition, the movement trajectory storage device 5 of the robot operation command device i3
Since the robot mechanism 4 is operated based on the movement trajectory data stored in the robot mechanism 2, there is no need for a person to memorize the measurement location and procedure for each object to be measured, unlike in the manual type.
Mistakes can be eliminated. In addition, once an expert performs a model operation of the robot mechanism 4 and its movement trajectory is once stored in the movement trajectory storage device 152, the rest can be automatically operated, reducing the burden on the expert.
We can expect rapid spread.
また、タッチ信号プローブ１７の移動軌跡を移動軌跡記
憶装置５２へ記憶させるに当っては、測定機本体２とロ
ボット機構４との機械的連結を切離し、この状態におい
て測定機本体２のタッチ信号プローブ１７を手動操作に
より予め設定された所定の測定手順に従って移動させれ
ば、測定機の変位検出器４１，４２．４３からの出力信
号を利用して自動的に行なわれるので、極めて能率よく
タッチ信号プローブ１７の移動軌跡を記憶させることが
できる。もっとも、測定時におけるロボット機構４の運
転時には、ロボット機構４の各検出器５４，５５．５６
からのフィードバック信号によりロボット機構４の位置
制御を行なうため、つまり移動軌跡データの記憶用の検
出器と測定時の検出器との位置誤差が生じる問題が残る
が、検出子としてタッチ信号プローブ１７を用いる場合
には、１０〜５腸層程度の許容オーバストロークがあり
、かつオーバランしても当接時点に発するタッチ信号を
もって測定データを取込むので、構造的にも、また精度
的にも問題はない。In addition, in order to store the movement locus of the touch signal probe 17 in the movement locus storage device 52, the mechanical connection between the measuring machine main body 2 and the robot mechanism 4 is disconnected, and in this state, the touch signal probe of the measuring machine main body 2 is 17 by manual operation according to a predetermined measurement procedure, the measurement is performed automatically using the output signals from the displacement detectors 41, 42, and 43 of the measuring device, so the touch signal can be detected very efficiently. The movement trajectory of the probe 17 can be stored. However, during operation of the robot mechanism 4 during measurement, each detector 54, 55, 56 of the robot mechanism 4
Since the position of the robot mechanism 4 is controlled by the feedback signal from When used, there is an allowable overstroke of about 10 to 5 layers, and even if there is an overrun, measurement data is captured using the touch signal issued at the time of contact, so there are no problems in terms of structure or accuracy. do not have.
このことは、ロポッ）ＩＩ構４についても、タッチ信号
プローブ１７の許容オーバーストローク（中ｌＯ〜５虐
霞）の精度で位置づけできれば十分であるから、高級ロ
ボット機構等を必要とすることがない、つまり、タッチ
信号プローブ１７は上記範囲程度のオーバーストローク
を許容でき、かつ自由状態において所定の姿勢に自動復
帰できる構造であるが、オーバーランしても当接時点に
発するタッチ信号をもって測定データを取込むので、高
級ロボット機構を用いなくても測定誤差が生じることが
ないという測定機固有の利益がある。このことはまた１
両者のマツチングをそれほど厳格にしなくてもよいとい
う利益もある。This also means that for the Robot II structure 4, it is sufficient to position the touch signal probe 17 with an accuracy of the allowable overstroke (medium 10 to 5 gross haze), so there is no need for a high-class robot mechanism, etc. In other words, the touch signal probe 17 has a structure that can tolerate an overstroke within the above range and can automatically return to a predetermined posture in a free state. The measurement device has the inherent advantage that measurement errors do not occur even if high-grade robot mechanisms are not used. This is also 1
There is also the advantage that the matching between the two does not have to be so strict.
また、ロボット機構４を起動させるには、データ処理装
置５からステップ起動指令ＳＥＣをロボット作動指令装
置３の運転指令装！５３へ与えればよいので、つまりデ
ータ処理装置５とロボット作動指令装置３とをステップ
起動指令ＳＥＣを介して連結すればよいので、既設の手
動型三次元測定機に取入れる場合でも容易にかつ経済的
に構成することができる。In order to start the robot mechanism 4, the data processing device 5 sends a step start command SEC to the operation command device of the robot operation command device 3! 53, that is, the data processing device 5 and the robot operation command device 3 can be connected via the step start command SEC, so it is easy and economical to incorporate it into an existing manual coordinate measuring machine. It can be configured as follows.
なお、上記実施例では、測定機の変位検出器４１．４２
．４３からの出力信号を利用してタッチ信号プローブ１
７の移動軌跡を移動軌跡記憶装置５２へ記憶させる一方
、ＩＪ４定時におけるロボット機構４の運転時には、ロ
ボット機構４の各検出器５４．５５．５６からのフィー
ドバック信号によりロボット機構４の位置制御を行なう
ようにしたが、例えば測定機本体の変位検出器４１，４
２゜４３からの出力信号をロボット作動指令装置３の運
転指令装置５３ヘフイ一ドバツク信号として与えるよう
にすれば、軌跡記憶時と位置制御時との間で位置誤差が
生じることがないばかりでなく。In addition, in the above embodiment, the displacement detectors 41 and 42 of the measuring machine
．． Touch signal probe 1 using the output signal from 43
7 is stored in the movement trajectory storage device 52, while the position of the robot mechanism 4 is controlled by feedback signals from the respective detectors 54, 55, and 56 of the robot mechanism 4 when the robot mechanism 4 is operated at the IJ4 regular time. However, for example, the displacement detectors 41 and 4 of the measuring machine main body
If the output signal from the 2° 43 is given as a back signal to the operation command device 53 of the robot operation command device 3, not only will there be no position error between the time of trajectory storage and the time of position control. .
ロボット機構４の位置検出器５４，５５．５６が不要に
なる利点がある。There is an advantage that the position detectors 54, 55, and 56 of the robot mechanism 4 are not required.
また、移動軌跡記憶装置５２に記憶されたタッチ信号プ
ローブ１７の移動軌跡データを運転指令装置５３におい
てロボット４１構４の各モータ２２．２４．２６の駆動
量に換算するようにしたが、タッチ信号プローブ１７の
移動軌跡を移動軌跡データＭ５２へ記憶させる際に各モ
ータ２２゜２４．２６の駆動量に換算して記憶するよう
にしてもよい。In addition, although the movement trajectory data of the touch signal probe 17 stored in the movement trajectory storage device 52 is converted into the drive amount of each motor 22, 24, 26 of the robot 41 structure 4 in the operation command device 53, the touch signal When storing the movement locus of the probe 17 in the movement locus data M52, it may be converted into the drive amount of each motor 22°24.26 and stored.
また、三次元測定機本体２側の移動機構１９は上記実施
例の構造に限らず、タッチ信号プローブ１７を比較的軽
い力で三次元方向へ移動させることができるものであれ
ばよい、更に、検出子としては、上記実施例で述べたタ
ッチ信号プローブ１７に限らず、例えば光学式の非接触
検出器でもよい。Further, the moving mechanism 19 on the three-dimensional measuring machine main body 2 side is not limited to the structure of the above embodiment, and may be any mechanism as long as it can move the touch signal probe 17 in the three-dimensional direction with a relatively light force. The detector is not limited to the touch signal probe 17 described in the above embodiment, but may be an optical non-contact detector, for example.
同様に、ロボット機構４についても、移動機構１９の三
次元的移動を行えるものであればよい。Similarly, the robot mechanism 4 may be any mechanism as long as it can move the moving mechanism 19 three-dimensionally.
例えば、第５図に示す如く、基台６１に移動台６２を前
記タッチ信号プローブ１７のＸ軸方向と同方向へ移動自
在に設け、この移動台６２に支持フレーム６３を前記タ
ッチ信号プローブ１７のＹ軸方向と同方向へ移動自在に
設け、この支持フレーム６３の先端に、一端が前記プロ
ーブ軸１８に連結された連結レバー６４の他端を前記タ
ッチ信号プローブ１７のＺ軸方向と同方向へ移動させる
昇降装置６５を設けた構成でもよい、このようにすると
、ロボット機構４の３つの移動軸が測定機本体２のｘ、
ｙ、ｚ軸とそれぞれ一致するため、移動軌跡データを記
憶させるに当って、各変位検出器４１，４２．４３の信
号を各モータ２２，２４．２６の駆動量に換算しなくて
もよい利点がある。更に、ロボット機構４の各駆動源と
しては、上記実施例で述べたモータに限らず、例えば油
圧、空気圧等の他の動力源でもよい。For example, as shown in FIG. 5, a movable stage 62 is provided on a base 61 so as to be movable in the same direction as the X-axis direction of the touch signal probe 17, and a support frame 63 is attached to the movable stage 62 to support the touch signal probe 17. A connecting lever 64 is provided to be movable in the same direction as the Y-axis direction, and one end of the connecting lever 64 is connected to the probe shaft 18 at the tip of the support frame 63, and the other end of the connecting lever 64 is connected in the same direction as the Z-axis direction of the touch signal probe 17. A configuration may also be provided in which an elevating device 65 for moving is provided. In this way, the three movement axes of the robot mechanism 4 are aligned with the x,
Since they coincide with the y and z axes, there is no need to convert the signals of each displacement detector 41, 42, 43 into the drive amount of each motor 22, 24, 26 when storing movement locus data. There is. Further, the drive sources of the robot mechanism 4 are not limited to the motors described in the above embodiments, but may be other power sources such as hydraulic pressure or pneumatic pressure.
また、上記実施例では、ロボット機構４の先端のハンド
をプローブ軸１８のタッチ信号プローブ１７近傍に係合
させたが、タッチ信号プローブ１７、或いはプローブ軸
１８の任意の位置でもよい０例えば、ロボット機構４の
先端の連結アーム２９の一端をプローブ軸１８の上端に
係合させるようにすれば、ロボット機構４の各アームが
被測定物１１にぶつかることがないので、有効測定範囲
を縮小させることがない、しかも、このようにすると、
ロボット機構４を測定機本体２の側方に配置できるため
、載物台１２の前後方向の空間を確保できる。Further, in the above embodiment, the hand at the tip of the robot mechanism 4 is engaged with the probe shaft 18 near the touch signal probe 17, but it may be engaged at any position on the touch signal probe 17 or the probe shaft 18. By engaging one end of the connecting arm 29 at the tip of the mechanism 4 with the upper end of the probe shaft 18, each arm of the robot mechanism 4 will not collide with the object to be measured 11, thereby reducing the effective measurement range. There is no, and if you do it like this,
Since the robot mechanism 4 can be placed on the side of the measuring machine main body 2, space in the front and rear directions of the stage 12 can be secured.
また、ロボット機構４は三次元測定機本体２と全く別体
に構成したが、タッチ信号プローブ１７の可動部に重量
の負担をかけなければ１例えば載物台１２等に取付は或
いは併用するようにしてもよい、このようにすると、装
置全体がコンパクトに構成できる利点がある。Furthermore, although the robot mechanism 4 is constructed completely separately from the three-dimensional measuring machine main body 2, it can be attached to, for example, the stage 12, or used together, as long as the movable part of the touch signal probe 17 is not burdened with weight. This method has the advantage that the entire device can be configured compactly.
［発明の効果］
以上の通り、本発明によれば、手動型および自動型の利
点を生かしつつ、両型の欠点を全て解消でき、かつ自動
型とする上で測定手順に従って検出子を移動させるため
の移動軌跡を能率よく設定できる三次元測定機の測定方
法を提供することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, it is possible to take advantage of the advantages of the manual type and the automatic type, while eliminating all the drawbacks of both types, and in addition, in the automatic type, the detector can be moved according to the measurement procedure. It is possible to provide a measurement method for a three-dimensional measuring machine that can efficiently set a movement locus for the purpose of the present invention.
第１図から第４図は本発明の方法を適用した装置の一実
施例を示すもので、第１１３！ｆｆは全体の斜視図、第
２図はロポ−／ ）機構の要部を示す側面図。
第３図は回路構成を示すブロック図、第４図はデータ処
理装置とロボット作動指令装置との処理動作を示すフロ
ーチャートである。第５図は本発明の方法を適用した装
置の他の実施例を示す全体の斜視図である。
２・・・三次元測定機本体、３・・・ロボット作動指令
装置、４・・・ロボット機構、５・・・データ処理装置
。
１１・・・被測定物、１２・・・載物台、１７・・・検
出子としてのタッチ信号プローブ、１９・・・移動機構
、４１・・・Ｘ軸変位検出器、４２・・・Ｙ軸変位検出
器、４３・・・Ｘ軸変位検出器。1 to 4 show an embodiment of the apparatus to which the method of the present invention is applied, and the 113th! ff is an overall perspective view, and FIG. 2 is a side view showing essential parts of the robot mechanism. FIG. 3 is a block diagram showing the circuit configuration, and FIG. 4 is a flowchart showing the processing operations of the data processing device and the robot operation command device. FIG. 5 is an overall perspective view showing another embodiment of the apparatus to which the method of the present invention is applied. 2... Three-dimensional measuring machine main body, 3... Robot operation command device, 4... Robot mechanism, 5... Data processing device. DESCRIPTION OF SYMBOLS 11... Object to be measured, 12... Stage, 17... Touch signal probe as a detector, 19... Movement mechanism, 41... X-axis displacement detector, 42... Y Axis displacement detector, 43...X-axis displacement detector.
Claims (1)
方向へ移動させる移動機構、検出子の移動変位量を検出
するための変位検出器および変位検出器の出力信号を所
定処理して被測定物の寸法等を求めるデータ処理装置を
含む三次元測定機の測定方法であって、 前記検出子を、前記載物台上に取付けられた見本被測定
物に沿って複数ステップからなる所定の測定手順に従っ
て前記移動機構を介して移動させつつ、前記測定機本体
と独立したロボット機構のロボット作動指令装置に前記
変位検出器の出力信号を入力して検出子の移動軌跡を記
憶させる検出子移動手順記憶工程と、 前記移動機構または検出子にロボット機構を連結した後
、前記測定手順の各ステップ毎に、前記ロボット作動指
令装置に記憶された移動軌跡データに従ってロボット機
構を作動させて前記検出子を被測定物に関与させると同
時に、前記変位検出器の出力信号を前記データ処理装置
へ取込む測定データ取込工程と、 この測定データ取込工程によって取込まれた測定データ
に基づき被測定物の寸法等を演算し、その演算完了後に
前記ロボット作動指令装置に次のステップ起動指令を発
する測定値演算工程と、からなり、 前記測定データ取込工程と測定値演算工程とを前記測定
手順プログラムの全ステップについて繰返して自動測定
する、 ことを特徴とする三次元測定機の測定方法。(1) A moving mechanism that moves the detector involved in the object to be measured on the stage in three dimensions, a displacement detector for detecting the amount of displacement of the detector, and predetermined processing of the output signal of the displacement detector. A measuring method for a three-dimensional measuring machine including a data processing device for determining the dimensions, etc. of an object to be measured, the method comprising: moving the detector in multiple steps along a sample object mounted on the object table; While moving the detector through the moving mechanism according to a predetermined measurement procedure, the output signal of the displacement detector is input to a robot operation command device of a robot mechanism independent from the measuring instrument main body, and the movement locus of the detector is stored. a step of storing a detector movement procedure; after connecting a robot mechanism to the moving mechanism or the detector, operating the robot mechanism according to the movement trajectory data stored in the robot operation command device for each step of the measurement procedure; a measurement data acquisition step of bringing the detector into contact with the object to be measured and at the same time importing the output signal of the displacement detector into the data processing device; and based on the measurement data taken in by this measurement data acquisition step. a measurement value calculation step of calculating the dimensions of the object to be measured, and issuing a next step start command to the robot operation command device after the calculation is completed, and the measurement data acquisition step and the measurement value calculation step are A measuring method using a three-dimensional measuring machine, characterized in that all steps of a measuring procedure program are repeatedly and automatically measured.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5509285A JPS61213615A (en) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | Measuring method for three-dimensional measuring instrument |
| GB08606311A GB2174216B (en) | 1985-03-19 | 1986-03-14 | Method of operating a coordinate measuring instrument |
| US06/841,104 US4799170A (en) | 1985-03-19 | 1986-03-18 | Method of measuring by coordinate measuring instrument |
| CN86101800.1A CN1009221B (en) | 1985-03-19 | 1986-03-19 | Method of measuring by coordinate measuring instrument |
| DE19863609246 DE3609246A1 (en) | 1985-03-19 | 1986-03-19 | METHOD FOR MEASURING BY MEANS OF A COORDINATE MEASURING INSTRUMENT |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5509285A JPS61213615A (en) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | Measuring method for three-dimensional measuring instrument |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61213615A true JPS61213615A (en) | 1986-09-22 |
| JPH0339614B2 JPH0339614B2 (en) | 1991-06-14 |
Family
ID=12989090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5509285A Granted JPS61213615A (en) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | Measuring method for three-dimensional measuring instrument |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61213615A (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5794607A (en) * | 1980-12-04 | 1982-06-12 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Multidimensional measuring machine |
-
1985
- 1985-03-19 JP JP5509285A patent/JPS61213615A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5794607A (en) * | 1980-12-04 | 1982-06-12 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Multidimensional measuring machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0339614B2 (en) | 1991-06-14 |
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