JPS61208743A - 紫外線処理装置 - Google Patents
紫外線処理装置Info
- Publication number
- JPS61208743A JPS61208743A JP4997385A JP4997385A JPS61208743A JP S61208743 A JPS61208743 A JP S61208743A JP 4997385 A JP4997385 A JP 4997385A JP 4997385 A JP4997385 A JP 4997385A JP S61208743 A JPS61208743 A JP S61208743A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodeless lamp
- lamp
- microwaves
- ultraviolet
- antenna
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、マイクロ波により無電極ランプを放電させ、
この放電により放射される紫外線によって化学的あるい
は物理的な処理を施す紫外線処理装置に関する。
この放電により放射される紫外線によって化学的あるい
は物理的な処理を施す紫外線処理装置に関する。
例えば、上下水の浄化処理、あるいは半導体製造に使用
される超純水の製造技術などでは、水中の雑菌を殺菌(
滅菌)するため、水に紫外線を照射することがおこなわ
れている。また、ばっき処理槽などから排出される空気
中に含まれる雑菌の殺菌、脱臭のために、この排出空気
に紫外線を照射することも採用されている。ざらには、
紫外線を利用してインク乾燥などの物理的処理あるいは
化学的処理を施すことも考えられている。
される超純水の製造技術などでは、水中の雑菌を殺菌(
滅菌)するため、水に紫外線を照射することがおこなわ
れている。また、ばっき処理槽などから排出される空気
中に含まれる雑菌の殺菌、脱臭のために、この排出空気
に紫外線を照射することも採用されている。ざらには、
紫外線を利用してインク乾燥などの物理的処理あるいは
化学的処理を施すことも考えられている。
このような紫外線処理のために使用される紫外線発光源
として、従来、高出力水銀ランプが用いられてきた。高
出力水銀ランプはその出力を上げようとすると、電極間
距離を大きくしたり、発光管の径を太くする必要があり
、ランプの大形化、つまり紫外線発光源の大形化が余儀
無くされる。
として、従来、高出力水銀ランプが用いられてきた。高
出力水銀ランプはその出力を上げようとすると、電極間
距離を大きくしたり、発光管の径を太くする必要があり
、ランプの大形化、つまり紫外線発光源の大形化が余儀
無くされる。
また、安定器などのランプ付属設備も大形化する。
しかも、高出力水銀ランプは、電極材料の蒸発に起因す
るランプ発光管の黒化を生じるのでランプ寿命が短いと
いう欠点がある。
るランプ発光管の黒化を生じるのでランプ寿命が短いと
いう欠点がある。
このような欠点を解消する紫外線光源として、近時、マ
イクロ波により放電プラズマを発生させて発光させる無
電極ランプを用いたマイクロ波放電光源装置が開発され
つつある。
イクロ波により放電プラズマを発生させて発光させる無
電極ランプを用いたマイクロ波放電光源装置が開発され
つつある。
このものは、マイクロ波発振器より発生されたマイクロ
波を、たとえば導波管により無電極ランプの近くまで導
き、この導波管の上記無電極ランプ近傍に形成した開口
部に金属導体よりなるアンテナを挿通させ、このアンテ
ナの上記導波管外に導出された端部に上記無電極ランプ
を被冠して構成されている。
波を、たとえば導波管により無電極ランプの近くまで導
き、この導波管の上記無電極ランプ近傍に形成した開口
部に金属導体よりなるアンテナを挿通させ、このアンテ
ナの上記導波管外に導出された端部に上記無電極ランプ
を被冠して構成されている。
このような構成のマイクロ波放電光源装置は、マイクロ
波発振器で発生されたマイクロ波を導波管によってアン
テナまで伝送し、このアンテナで捕えたマイクロ波を無
電極ランプに照射し、これにより無電極ランプ内にプラ
ズマ放電を発生させ、封入した水銀や封入ガスを励起さ
せて紫外線を放出するようになっている。
波発振器で発生されたマイクロ波を導波管によってアン
テナまで伝送し、このアンテナで捕えたマイクロ波を無
電極ランプに照射し、これにより無電極ランプ内にプラ
ズマ放電を発生させ、封入した水銀や封入ガスを励起さ
せて紫外線を放出するようになっている。
このような無電極ランプは、マイクロ波により水銀や封
入ガスを励起させるものであるため、紫外線の出力効率
が高く、小形化が可能であるとともに、電極を持たない
から長寿命であるなどの利点がある。
入ガスを励起させるものであるため、紫外線の出力効率
が高く、小形化が可能であるとともに、電極を持たない
から長寿命であるなどの利点がある。
したがって、上記無電極ランプから照射される紫外線を
、被照射物に浴びせるようにすれば、小形で高効率な紫
外線処理装置が得られることになる。
、被照射物に浴びせるようにすれば、小形で高効率な紫
外線処理装置が得られることになる。
(背景技術の問題点〕
ところで、水銀における紫外線波長253.7nmの変
換効率は、点灯中水銀蒸気圧が 6×10°3TOrr
で最高になることが知られており、このため、点灯中無
電極ランプの最冷部温度を40°Cに保つことが理想と
されている。
換効率は、点灯中水銀蒸気圧が 6×10°3TOrr
で最高になることが知られており、このため、点灯中無
電極ランプの最冷部温度を40°Cに保つことが理想と
されている。
しかしながら、無電極ランプの周囲温度が低い場合、無
電極ランプの始動が不確実となったり、始動するまでの
時間や始動から安定するまでの時間が長くなったり、ざ
らには紫外線放射効率の低下を招く。
電極ランプの始動が不確実となったり、始動するまでの
時間や始動から安定するまでの時間が長くなったり、ざ
らには紫外線放射効率の低下を招く。
水銀における紫外線波長253.7nmの変換効率を高
くするためには、低圧放電を採用することが有効である
。なぜなら、高圧放電の場合は水銀蒸気の自己吸収作用
が大きいため紫外線波長253.7nmの出力が低下す
るためである。したがって、ランプ内の水銀蒸気圧を低
く抑えることが有効となる。
くするためには、低圧放電を採用することが有効である
。なぜなら、高圧放電の場合は水銀蒸気の自己吸収作用
が大きいため紫外線波長253.7nmの出力が低下す
るためである。したがって、ランプ内の水銀蒸気圧を低
く抑えることが有効となる。
しかしながら、ランプ内の水銀量を少なくすると、マイ
クロ波放電が発生しがたくなる欠点がある。しかもこれ
はランプ容積が増す程大きくなる傾向にある。
クロ波放電が発生しがたくなる欠点がある。しかもこれ
はランプ容積が増す程大きくなる傾向にある。
特に、被照射物が液体や気体であって、無電極ランプを
処理すべき液体や気体の流れの中にざらした場合、この
流体によって無電極ランプが強制冷却されるため、ラン
プの最冷部温度が低くなってしまう。ざらに無電極ラン
プを水などの冷たい流体の中に浸漬して用いる場合には
、最冷部温度の上昇が望めない。したがってこのような
場合には上記の欠点は極めて著しくなる。
処理すべき液体や気体の流れの中にざらした場合、この
流体によって無電極ランプが強制冷却されるため、ラン
プの最冷部温度が低くなってしまう。ざらに無電極ラン
プを水などの冷たい流体の中に浸漬して用いる場合には
、最冷部温度の上昇が望めない。したがってこのような
場合には上記の欠点は極めて著しくなる。
本発明は上述の事情に基づきなされたもので、その目的
とするのは、周囲温度が低かったり、最冷部温度の上昇
が望めない条件下であっても、確実な始動ができるとと
もに、紫外線波長253゜7nmの変換効率を高くする
ことができる紫外線処理装置を提供しようとするもので
ある。
とするのは、周囲温度が低かったり、最冷部温度の上昇
が望めない条件下であっても、確実な始動ができるとと
もに、紫外線波長253゜7nmの変換効率を高くする
ことができる紫外線処理装置を提供しようとするもので
ある。
(発明の概要〕
本発明は上記目的を達成するため、マイクロ波により放
電される無電極ランプに磁界を与えるようにしたもので
あり、上記無電極ランプの放電空間に磁界を与えると電
子のサイクロトロン運動を誘引して放電のきっかけがで
きるため始動が容易になるとともに、放電中ではマイク
ロ波の吸収率が上昇して水銀の励起が活発になり、紫外
線波長253.7nmの変換効率が高くなるようにした
ものでおる。
電される無電極ランプに磁界を与えるようにしたもので
あり、上記無電極ランプの放電空間に磁界を与えると電
子のサイクロトロン運動を誘引して放電のきっかけがで
きるため始動が容易になるとともに、放電中ではマイク
ロ波の吸収率が上昇して水銀の励起が活発になり、紫外
線波長253.7nmの変換効率が高くなるようにした
ものでおる。
、以下本発明について、図示の一実施例にもとづき説明
する。
する。
図面は水の殺菌処理装置に適用した例を示し、1はマイ
クロ波を伝送する導波管(伝送照射手段)である。この
導波管1は両端が閉塞された断面長方形の角筒をなして
いる。
クロ波を伝送する導波管(伝送照射手段)である。この
導波管1は両端が閉塞された断面長方形の角筒をなして
いる。
導波管1の一端には、マイクロ波を発生する発振器、す
なわちマグネトロン2が金属ガスケット4を介して設置
されている。マグネトロン2のマイクロ波発振部3は、
導波管1に導入されている。
なわちマグネトロン2が金属ガスケット4を介して設置
されている。マグネトロン2のマイクロ波発振部3は、
導波管1に導入されている。
マグネトロン2は、マグネトロン電源5に接続されてい
る。
る。
導波管1の他端には一側面に位置して、マイクロ波を通
過させるに充分な大きざの径、たとえば導波管1の縦幅
と略同等の径をもつ円形の開口部6が開設されている。
過させるに充分な大きざの径、たとえば導波管1の縦幅
と略同等の径をもつ円形の開口部6が開設されている。
この開口部6の中心部には、アンテナ7 (伝送照射手
段)が挿通されている。
段)が挿通されている。
アンテナ7は、フッ素樹脂またはアルミナセラミックス
等の絶縁体よりなる支持板8を介して導波管1に固定さ
れている。このアンテナ7は、銅などの金属導体によっ
て形成されており、導波管1の外側に向かって一定の長
さで突出されているとともに、導波管1の内側に向かっ
ても一定の長さで突出されている。
等の絶縁体よりなる支持板8を介して導波管1に固定さ
れている。このアンテナ7は、銅などの金属導体によっ
て形成されており、導波管1の外側に向かって一定の長
さで突出されているとともに、導波管1の内側に向かっ
ても一定の長さで突出されている。
上記導波管1の外側に向かって突出されたアンテナ7の
外周には、無電極ランプ9が被冠されている。無電極ラ
ンプ9は、図示の下端が閉塞された筒形の内側ガラスチ
ューブ10と、この内側ガラスチューブ10の外側にこ
の内側ガラスチューブ10を覆って設けられた外側ガラ
スチューブ11とを備え、これら内、外ガラスチューブ
io、 1i間に気密の放電空間12を構成している。
外周には、無電極ランプ9が被冠されている。無電極ラ
ンプ9は、図示の下端が閉塞された筒形の内側ガラスチ
ューブ10と、この内側ガラスチューブ10の外側にこ
の内側ガラスチューブ10を覆って設けられた外側ガラ
スチューブ11とを備え、これら内、外ガラスチューブ
io、 1i間に気密の放電空間12を構成している。
この放電空間12内には、水銀と、アルゴンなどの希ガ
スが封入されている。
スが封入されている。
このような無電極ランプ9は、固定具13を介して前記
支持板8に取着されており、この場合、内側ガラスチュ
ーブ10の内部中心線上に上記アンテナ7が収容されて
いる。
支持板8に取着されており、この場合、内側ガラスチュ
ーブ10の内部中心線上に上記アンテナ7が収容されて
いる。
このような無電極ランプ9は、容器15内に収容されて
いる。容器15は、非磁気遮蔽材料により構成されてお
り、図示上端は0リング16を介して支持板8に液密に
取付られているとともに、下端にはOリング17を介し
てカバー18が液密に取着されている。このため、容器
15は、内部に上記無電極ランプ9を収容した処理室1
9を構成している。
いる。容器15は、非磁気遮蔽材料により構成されてお
り、図示上端は0リング16を介して支持板8に液密に
取付られているとともに、下端にはOリング17を介し
てカバー18が液密に取着されている。このため、容器
15は、内部に上記無電極ランプ9を収容した処理室1
9を構成している。
容器15には上記処理室19に連なる流入口20および
流出口21が開口されている。流入口20は、流量計2
2、ポンプ23を介して水源24に接続されており、ま
た、流出口21は処理された水を使用する使用箇所(図
示しない)に接続されている。
流出口21が開口されている。流入口20は、流量計2
2、ポンプ23を介して水源24に接続されており、ま
た、流出口21は処理された水を使用する使用箇所(図
示しない)に接続されている。
しかして、容器15の外周囲には容器15を取り囲むよ
うにして電磁石25が配置されている。この電磁石25
は交流電源26に接続されている。
うにして電磁石25が配置されている。この電磁石25
は交流電源26に接続されている。
このような構成の作用について説明する。
マグネトロン2のマイクロ波発振部3から発振されたマ
イクロ波は、導波管1内を伝送されてアンテナ7に達す
る。アンテナ7に達したマイクロ波は、このアンテナ7
を通じて無電極ランプ9の内側に放射される。したがっ
て、無電極ランプ9の放電空間12内に封入されている
水銀や希ガスが励起されてプラズン放電を発生し、この
放電により発生する紫外線はランプ9の外方、すなわち
容器15内の処理室19に放射される。
イクロ波は、導波管1内を伝送されてアンテナ7に達す
る。アンテナ7に達したマイクロ波は、このアンテナ7
を通じて無電極ランプ9の内側に放射される。したがっ
て、無電極ランプ9の放電空間12内に封入されている
水銀や希ガスが励起されてプラズン放電を発生し、この
放電により発生する紫外線はランプ9の外方、すなわち
容器15内の処理室19に放射される。
一方、ポンプ23により水源24から汲み上げた水は流
量計22、流入口20を通じて処理室19内に導入され
る。処理室19内では無電極ランプ9から紫外線が放出
されているので、処理室19内の水は紫外線の照射を浴
び、紫外線の殺菌作用により殺菌される。そして、殺菌
処理の終えた水は流出口21より排出される。
量計22、流入口20を通じて処理室19内に導入され
る。処理室19内では無電極ランプ9から紫外線が放出
されているので、処理室19内の水は紫外線の照射を浴
び、紫外線の殺菌作用により殺菌される。そして、殺菌
処理の終えた水は流出口21より排出される。
ところで、無電極ランプ9にマイクロ波を伝送すると同
時に、電磁石25に交流電源26を印加すると、この電
磁石25によって、無電極ランプ9の放電空間12内に
交流電磁界が発生する。この交流電磁界は無電極ランプ
9の放電空間12内の電子にサイクロトロン運動を発生
させ、したがって、放電のきっかけとなる放電の種の発
生チャンスを多くするから、始動を促し、放電開始が容
易になる。
時に、電磁石25に交流電源26を印加すると、この電
磁石25によって、無電極ランプ9の放電空間12内に
交流電磁界が発生する。この交流電磁界は無電極ランプ
9の放電空間12内の電子にサイクロトロン運動を発生
させ、したがって、放電のきっかけとなる放電の種の発
生チャンスを多くするから、始動を促し、放電開始が容
易になる。
しかも放電中にあっては、交流電磁界の作用によりアン
テナ7から伝送されてくるマイクロ波の吸収率が上昇し
、このため水銀の励起が活発になり、水の中に浸漬され
ていることにより最冷部温度が上昇しなくても、紫外線
波長253.7nmの変換効率がきわめて高くなる。
テナ7から伝送されてくるマイクロ波の吸収率が上昇し
、このため水銀の励起が活発になり、水の中に浸漬され
ていることにより最冷部温度が上昇しなくても、紫外線
波長253.7nmの変換効率がきわめて高くなる。
この結果、紫外線の出力が高くなるので水の殺菌能力が
向上し、また、能力に比して装置全体を小形化できる。
向上し、また、能力に比して装置全体を小形化できる。
なお、上記実施例では水の殺菌浄化の場合について説明
したが、この発明は上記実施例に限らず、その他の液体
、あるいは空気を始めとするガス体の殺菌、脱臭処理、
またはインク乾燥処理などに実施できる。
したが、この発明は上記実施例に限らず、その他の液体
、あるいは空気を始めとするガス体の殺菌、脱臭処理、
またはインク乾燥処理などに実施できる。
また、上記実施例では、ita石25を容器15の外周
囲に配置した構造について説明したが、防水、絶縁処理
をした電磁石25を無電極ランプ9の周囲に設置するよ
うにしてもよい。
囲に配置した構造について説明したが、防水、絶縁処理
をした電磁石25を無電極ランプ9の周囲に設置するよ
うにしてもよい。
ざらにアンテナ7は、上記実施例のごとく無電極ランプ
9の内側ガラスチューブ10内に挿通させたものに限ら
ず、例えば一般照明用けい光ランプと同様な外形をもつ
無電極ランプの外側に添設するようなものであってもよ
く、アンテナや無電極ランプの形状には制約されない。
9の内側ガラスチューブ10内に挿通させたものに限ら
ず、例えば一般照明用けい光ランプと同様な外形をもつ
無電極ランプの外側に添設するようなものであってもよ
く、アンテナや無電極ランプの形状には制約されない。
ざらにまた、マイクロ波の伝送照射手段として導波管と
アンテナを使用したが、導波管の代わりに同軸ケーブル
を用いても良く、かつアンテナの代わりに空洞共娠器を
用いるようにしてもよい。
アンテナを使用したが、導波管の代わりに同軸ケーブル
を用いても良く、かつアンテナの代わりに空洞共娠器を
用いるようにしてもよい。
(発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、マイクロ波により
放電される無電極ランプに磁界を与えるようにしたから
、この磁界により無電極ランプ内で電子のサイクロトロ
ン運動を誘引して放電のきっかけができるため、始動が
容易かつ確実になるとともに、放電中ではマイクロ波の
吸収率が上昇して水銀の励起が活発になり、紫外線波長
253゜7nmの変換効率が高くなる。
放電される無電極ランプに磁界を与えるようにしたから
、この磁界により無電極ランプ内で電子のサイクロトロ
ン運動を誘引して放電のきっかけができるため、始動が
容易かつ確実になるとともに、放電中ではマイクロ波の
吸収率が上昇して水銀の励起が活発になり、紫外線波長
253゜7nmの変換効率が高くなる。
電光源を用いた水の殺菌処理装置の説明図である。
1・・・導波管(伝送照射手段)、2・・・マグネトロ
ン、6・・・開口部、7・・・アンテナ(伝送照射手段
)、9・・・無電極ランプ、15・・・容器、19・・
・処理室、20・・・流入口、21・・・流出口、25
・・・電磁石。
ン、6・・・開口部、7・・・アンテナ(伝送照射手段
)、9・・・無電極ランプ、15・・・容器、19・・
・処理室、20・・・流入口、21・・・流出口、25
・・・電磁石。
Claims (2)
- (1)マイクロ波発振器と、マイクロ波を受けることに
より内部に封入された水銀が励起されて紫外線を発する
無電極ランプと、上記マイクロ波発振器により発生した
マイクロ波を上記無電極ランプに伝送照射する手段と、
上記無電極ランプから放射される紫外線を被照射物に照
射する処理室とを具備する紫外線処理装置において、上
記無電極ランプに磁界を与える磁場発生装置を備えたこ
とを特徴とする紫外線処理装置。 - (2)前記被照射物は流体であり、前記無電極ランプは
この流体に接触されることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の紫外線処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4997385A JPS61208743A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 紫外線処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4997385A JPS61208743A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 紫外線処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61208743A true JPS61208743A (ja) | 1986-09-17 |
Family
ID=12845957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4997385A Pending JPS61208743A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 紫外線処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61208743A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63262154A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-28 | 株式会社 豊振科学産業所 | 衛生装置 |
WO1989009068A1 (en) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Paul Hirsch | Process and appliance for disinfecting and/or deodorizing the interior space of a microwave oven and for sterilizing objects contained therein |
JPH01284255A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-15 | Yoshizo Fujimoto | マイクロ波による複合滅菌方法およびその装置 |
WO1995012222A1 (en) * | 1993-10-28 | 1995-05-04 | Fusion Lighting, Inc. | Apparatus for coupling electromagnetic radiation to an electrodeless lamp |
JP2002531178A (ja) * | 1998-11-28 | 2002-09-24 | キー、テクノロジーズ、リミテッド | 滅菌装置 |
EP1684330A1 (en) * | 2004-09-25 | 2006-07-26 | Lg Electronics Inc. | Middle output electrodeless lighting system |
WO2006103287A3 (fr) * | 2005-04-01 | 2006-12-14 | Rc Lux | Dispositif micro-onde pour le traitement d'un flux par un rayonnement lumineux |
JP2009202120A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
US7794673B2 (en) | 1999-11-23 | 2010-09-14 | Severn Trent Water Purification, Inc. | Sterilizer |
JP2012061440A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Photoscience Japan Corp | 液体処理装置 |
US8269190B2 (en) | 2010-09-10 | 2012-09-18 | Severn Trent Water Purification, Inc. | Method and system for achieving optimal UV water disinfection |
JP2012223732A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Photoscience Japan Corp | 液体処理装置 |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP4997385A patent/JPS61208743A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63262154A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-28 | 株式会社 豊振科学産業所 | 衛生装置 |
WO1989009068A1 (en) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Paul Hirsch | Process and appliance for disinfecting and/or deodorizing the interior space of a microwave oven and for sterilizing objects contained therein |
JPH01284255A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-15 | Yoshizo Fujimoto | マイクロ波による複合滅菌方法およびその装置 |
JPH0426864B2 (ja) * | 1988-05-10 | 1992-05-08 | Yoshizo Fujimoto | |
WO1995012222A1 (en) * | 1993-10-28 | 1995-05-04 | Fusion Lighting, Inc. | Apparatus for coupling electromagnetic radiation to an electrodeless lamp |
US5448135A (en) * | 1993-10-28 | 1995-09-05 | Fusion Lighting, Inc. | Apparatus for coupling electromagnetic radiation from a waveguide to an electrodeless lamp |
JP2011145299A (ja) * | 1998-11-28 | 2011-07-28 | Severn Trent Water Purification Inc | 紫外線光源 |
JP2002531178A (ja) * | 1998-11-28 | 2002-09-24 | キー、テクノロジーズ、リミテッド | 滅菌装置 |
US7794673B2 (en) | 1999-11-23 | 2010-09-14 | Severn Trent Water Purification, Inc. | Sterilizer |
EP1684330A1 (en) * | 2004-09-25 | 2006-07-26 | Lg Electronics Inc. | Middle output electrodeless lighting system |
US7129639B2 (en) | 2004-09-25 | 2006-10-31 | Lg Electronics Inc. | Middle output electrodeless lighting system |
WO2006103287A3 (fr) * | 2005-04-01 | 2006-12-14 | Rc Lux | Dispositif micro-onde pour le traitement d'un flux par un rayonnement lumineux |
JP2009202120A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
US8269190B2 (en) | 2010-09-10 | 2012-09-18 | Severn Trent Water Purification, Inc. | Method and system for achieving optimal UV water disinfection |
JP2012061440A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Photoscience Japan Corp | 液体処理装置 |
JP2012223732A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Photoscience Japan Corp | 液体処理装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6951633B1 (en) | Hybrid ozone generator | |
JPS61208743A (ja) | 紫外線処理装置 | |
RU2294034C1 (ru) | Газоразрядный источник ультрафиолетового излучения | |
KR100524407B1 (ko) | 무전극식 자외선 발생장치 | |
RU2236060C1 (ru) | Газоразрядный источник ультрафиолетового излучения | |
JP2009536091A (ja) | 無電極ガス放電ランプを有する流体処理、特に水殺菌のための装置 | |
JPS6146290A (ja) | 流体処理装置 | |
JP5049004B2 (ja) | 紫外線光源及び化学反応促進装置 | |
US9718705B2 (en) | UV light source having combined ionization and formation of excimers | |
JP2007080705A (ja) | マイクロ波放電ランプおよび当該マイクロ波放電ランプを備えたマイクロ波放電光源装置 | |
KR100832398B1 (ko) | 무전극 지르코늄 자외선램프와 이를 이용한 액상 살균장치 | |
JPH1012197A (ja) | 無電極放電ランプ、無電極放電ランプ装置、無電極放電ランプ点灯装置、紫外線照射装置及び流体処理装置 | |
JP2018142476A (ja) | 放電ランプ | |
JPS61240562A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
JPH1012195A (ja) | 無電極ランプ、無電極ランプ点灯装置及び紫外線照射装置 | |
JPH1021711A (ja) | 照射装置および水処理装置 | |
RU2390498C2 (ru) | Установка для обеззараживания воды ультрафиолетовым излучением | |
JP3859091B2 (ja) | 液体処理装置および水処理装置 | |
JPH1015040A (ja) | 紫外線照射装置 | |
JPS622446A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
US20130140471A1 (en) | Enhanced Output Mercury-Free UVC Lamp System | |
JPH10134778A (ja) | 無電極放電ランプユニット及び液体処理装置 | |
JP3509817B2 (ja) | 無電極放電ランプ | |
JPH113686A (ja) | 放電容器、無電極放電ランプ、無電極放電ランプ装置および照明装置 | |
JPH09199033A (ja) | 誘電体バリア放電ランプの製造方法 |