JPS61200661A - Scanning type electron microscope - Google Patents
Scanning type electron microscopeInfo
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- JPS61200661A JPS61200661A JP60040897A JP4089785A JPS61200661A JP S61200661 A JPS61200661 A JP S61200661A JP 60040897 A JP60040897 A JP 60040897A JP 4089785 A JP4089785 A JP 4089785A JP S61200661 A JPS61200661 A JP S61200661A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は走査電子顕微鏡に関し、特に、試料の走査像に
基づいて試料の特定部分のＸ線分析を行うようにした走
査電子顕微鏡に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a scanning electron microscope, and particularly to a scanning electron microscope that performs X-ray analysis of a specific portion of a sample based on a scanned image of the sample.
［従来の技術］
走査電子顕微鏡において、陰極線管上に試料の走査像を
表示し、該試料像の特定部分を選択し、その特定部分に
対応した試料の微小部分に電子線を照射し、該試料から
発生したＸ線を検出して分析することが行われている。[Prior Art] In a scanning electron microscope, a scanned image of a sample is displayed on a cathode ray tube, a specific part of the sample image is selected, and an electron beam is irradiated onto a minute part of the sample corresponding to the specific part. X-rays generated from a sample are detected and analyzed.
この場合、試料の分析点を選択するために、試料像と共
に輝度の高いクロスラインや輝点を表示し、このクロス
ラインや輝点を所望とする分析点に移動させるようにし
ている。このクロスラインや輝点の位置信号は、装置を
分析モードとした際に、試料の選択された点に電子線を
偏向する信号として用いられる。In this case, in order to select the analysis point of the sample, a high-intensity cross line or bright spot is displayed along with the sample image, and the cross line or bright spot is moved to the desired analysis point. This cross line or bright spot position signal is used as a signal to deflect the electron beam to a selected point on the sample when the apparatus is placed in analysis mode.
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、陰極線管に表示された試料像は、陰極線管の
偏向コイルの自己インダクタンスにより、速い走査速度
に対しては電子線の偏向に遅れが生じる。又、走査電子
顕微鏡の鏡筒側においても、試料面上で電子線を走査す
るための偏向コイルの自己インダクタンスや偏向コイル
周辺の鉄枠等の影響により、速い走査速度に対して電子
線が追従できず、その結果、陰極線管上の試料像の各部
分は、走査信号の強度に正確に対応しなくなる。従って
、電子線の走査を停止し、クロスラインや輝点の位置信
号に基づいて、一定の強度の信号によって電子線を偏向
して分析モードとした場合には、電子線の試料上の照射
点は、陰極線管の像中で支持した点とは異なってしまい
、所望の分析が行えなくなる。この不都合を解消するた
めに、走査信号に応じた像のズレを求め、分析モードの
際にはこのズレの量に応じて試料上の電子線照射点を補
正することも考えられるが、このズレ量は走査速度等に
よって微妙に異なるため、満足できる結果は得られてい
ない。[Problems to be Solved by the Invention] By the way, when a sample image is displayed on a cathode ray tube, there is a delay in the deflection of the electron beam at a high scanning speed due to the self-inductance of the deflection coil of the cathode ray tube. Also, on the lens barrel side of a scanning electron microscope, the electron beam may not follow the high scanning speed due to the self-inductance of the deflection coil used to scan the electron beam over the sample surface, the iron frame around the deflection coil, etc. As a result, each part of the sample image on the cathode ray tube does not correspond exactly to the intensity of the scanning signal. Therefore, when scanning of the electron beam is stopped and the electron beam is deflected by a signal of a certain intensity based on the position signal of the cross line or bright spot to enter the analysis mode, the irradiation point of the electron beam on the sample is is different from the point supported in the cathode ray tube image, making it impossible to perform the desired analysis. In order to resolve this inconvenience, it is possible to calculate the image shift according to the scanning signal and correct the electron beam irradiation point on the sample according to the amount of this shift during analysis mode. Since the amount differs slightly depending on the scanning speed, etc., satisfactory results have not been obtained.
本発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、分析モ
ードにおいて、試料像で予め選択された分析点に正確に
電子線を照射することができる走査電子顕微鏡を提供す
ることを目的としている。The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and an object of the present invention is to provide a scanning electron microscope that can accurately irradiate an analysis point selected in advance on a sample image with an electron beam in analysis mode. .
［問題点を解決するための手段］
本発明に基づく走査電子顕微鏡は、電子線源と、該電子
線源からの電子線を試料に細く収束するための収束レン
ズと、走査信号に基づき該試料上の電子線照射位置を移
動させるための偏向手段と、該電子線の照射に基づいて
該試料から得られた情報信号を検出する手段と、該情報
信号と該偏向手段に供給される走査信号に応じて試料像
を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡において
、水平走査信号発生手段と・、垂直走査信号発生手段と
、該垂直走査信号のレベルを調整する手段と、該水平走
査信号とレベルが調整された垂直走査信号との乗算を行
う手段とを設け、該乗算された信号を水平走査信号とし
て前記偏向手段に供給するように構成したことを特徴と
している。[Means for Solving the Problems] A scanning electron microscope based on the present invention includes an electron beam source, a converging lens for narrowly converging an electron beam from the electron beam source onto a sample, and a scanning electron microscope for focusing the electron beam on the sample based on a scanning signal. a deflection means for moving the upper electron beam irradiation position; a means for detecting an information signal obtained from the sample based on the electron beam irradiation; and a scanning signal supplied to the information signal and the deflection means. A scanning electron microscope comprising: a display means for displaying a sample image according to the horizontal scanning signal generating means; a vertical scanning signal generating means; a means for adjusting the level of the vertical scanning signal; and a means for multiplying by a vertical scanning signal whose level has been adjusted, and the multiplied signal is supplied to the deflection means as a horizontal scanning signal.
［作用］
分析点の選択のために試料上で電子線を走査し、該試料
の走査像を表示する際、電子線を走査する垂直走査信号
と信号強度レベルが調整された垂直走査信号との乗算が
行われ、この乗算された信号がその強度レベルを調整さ
れた後に、水平走査信号として用いられる。該垂直走査
信号の強度レベルと水平走査信号の強度レベルとが分析
モードの際の電子線偏向信号となる。該走査信号は、指
定した垂直走査信号レベル、すなわち、分析モードとし
た時の分析点において電子線の水平走査信号の速度が零
となり、この分析点から電子線の走査が遠ざかるに従っ
て走査信号の振幅が大きくなる。[Operation] When scanning an electron beam on a sample to select an analysis point and displaying a scanned image of the sample, a vertical scanning signal for scanning the electron beam and a vertical scanning signal whose signal intensity level has been adjusted are combined. A multiplication is performed and the multiplied signal is used as a horizontal scanning signal after its intensity level is adjusted. The intensity level of the vertical scanning signal and the intensity level of the horizontal scanning signal become an electron beam deflection signal in the analysis mode. The scanning signal has a specified vertical scanning signal level, that is, the velocity of the horizontal scanning signal of the electron beam becomes zero at the analysis point when the analysis mode is set, and the amplitude of the scanning signal increases as the scanning of the electron beam moves away from this analysis point. becomes larger.
この結果、分析点近傍では、走査像表示時点における鏡
筒側および陰極線管の偏向コイルの自己インダクタンス
による影響が無くなり、走査信号に正確に対応した試料
部分に電子線が照射され、又、走査信号に正確に対応し
て試料像が陰極線管に表示されることになる。従って、
分析モードとし、垂直走査信号と水平走査信号のレベル
調整によって選択された分析点に電子線を照射した際に
は、該分析点に正確に電子線が照射される。As a result, in the vicinity of the analysis point, the influence of the self-inductance of the lens barrel side and the deflection coil of the cathode ray tube at the time of displaying the scanned image is eliminated, and the electron beam is irradiated on the part of the sample that accurately corresponds to the scanning signal. The sample image will be displayed on the cathode ray tube in exact correspondence to the . Therefore,
When the analysis mode is set and an analysis point selected by level adjustment of the vertical scanning signal and horizontal scanning signal is irradiated with an electron beam, the analysis point is accurately irradiated with the electron beam.
［実施例］ 以下本発明の一実施例を添附図面に基づいて詳述する。[Example] An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
第１図において、１は電子銃であり、該電子銃１から発
生し加速された電子線は、収束レンズ２によって試料３
上に細く収束される。該電子線は偏向コイル４．５によ
って水平および垂直方向に偏向され、その結果、該電子
線は偏向コイルに供給される信号に応じて試料３上の所
定範囲を走査することになる。該試料への電子線の照射
に伴って発生した１、例えば、２次電子は検出器６によ
って検出され、陰極線管７に輝度変調信号として供給さ
れる。８は水平走査信号発生回路、９は垂直走査信号発
生回路であり、該水平走査信号発生回路８からの走査信
号は乗算回路１０に供給され、垂直走査信号発生回路９
からの走査信号は加算回路１１において垂直レベル調整
回路１２からの信号と加算された後に、該乗算回路１０
に供給される。該乗算回路１０の出力信号は加算回路１
３に供給されて水平レベル調整回路１４からの信号と加
算された後、スイッチ１５を介して倍率調整回路等を含
む水平偏向回路１６に供給される。該水平偏向回路１６
の出力信号は該偏向コイル４に供給される。該垂直走査
信号発生回路９からの垂直走査信号は、スイッチ１７お
よび垂直偏向回路１８を介して偏向コイル５に供給され
ている。該加算回路１３の出力信号は、陰極線管７の水
平走査信号として該陰極線管の水平偏向コイル１９に供
給されており、又、垂直走査信号発生回路９からの信号
は、陰極線管７の垂直偏向コイル２０に供給されている
。なお、２１は非分散型のＸ線検出器であり、該検出器
２１からの信号はマルチチャンネルの波高分析器を含む
アナライザ２２に供給される。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an electron gun, and an accelerated electron beam generated from the electron gun 1 is passed through a converging lens 2 to a sample 3.
narrowly converged at the top. The electron beam is deflected horizontally and vertically by a deflection coil 4.5, so that the electron beam scans a predetermined range on the sample 3 depending on the signal supplied to the deflection coil. Single, for example, secondary electrons generated as the sample is irradiated with the electron beam are detected by a detector 6 and supplied to a cathode ray tube 7 as a brightness modulation signal. Reference numeral 8 indicates a horizontal scanning signal generation circuit, and reference numeral 9 indicates a vertical scanning signal generation circuit.The scanning signal from the horizontal scanning signal generation circuit 8 is supplied to a multiplication circuit 10, and the vertical scanning signal generation circuit 9
The scanning signal from the multiplication circuit 10 is added to the signal from the vertical level adjustment circuit 12 in the addition circuit 11.
supplied to The output signal of the multiplier circuit 10 is sent to the adder circuit 1.
After being added to the signal from the horizontal level adjustment circuit 14, the signal is supplied to the horizontal deflection circuit 16 including a magnification adjustment circuit and the like via a switch 15. The horizontal deflection circuit 16
The output signal of is supplied to the deflection coil 4. The vertical scanning signal from the vertical scanning signal generating circuit 9 is supplied to the deflection coil 5 via a switch 17 and a vertical deflection circuit 18. The output signal of the adder circuit 13 is supplied to the horizontal deflection coil 19 of the cathode ray tube 7 as a horizontal scanning signal, and the signal from the vertical scanning signal generating circuit 9 is supplied as a horizontal scanning signal of the cathode ray tube 7. It is supplied to the coil 20. Note that 21 is a non-dispersive X-ray detector, and a signal from the detector 21 is supplied to an analyzer 22 including a multi-channel pulse height analyzer.
上述した如き構成において、垂直走査信号発生回路９か
らは第２図（ａ）に示す垂直走査信号が発生され、水平
走査信号発生回路８からは第２図（ｂ）に示す水平走査
信号が発生されている。該第２図（ａ）の垂直走査信号
は加算回路１１において、垂直レベル調整回路１２から
の信号と加算されるが、該回路１２からの信号が零のと
きには、第２図（ａ）の信号がそのまま乗算回路１０に
供給される。該乗算回路１０において第２図（、ａ）と
第２図（ｂ）の両走査信号が乗算され、第２図（Ｃ）の
信号が〜得られる。該第２図（Ｃ）の信号は加算回路１
３において、水平レベル調整回路１４からの信号と加算
されるが、該回路１４からの信号が零のときには、第２
図（Ｃ）の信号がそのまま水平走査信号として偏向コイ
ル４および陰極線管７の偏向コイル１９に供給される。In the configuration as described above, the vertical scanning signal generating circuit 9 generates the vertical scanning signal shown in FIG. 2(a), and the horizontal scanning signal generating circuit 8 generates the horizontal scanning signal shown in FIG. 2(b). has been done. The vertical scanning signal of FIG. 2(a) is added to the signal from the vertical level adjustment circuit 12 in the adder circuit 11, but when the signal from the circuit 12 is zero, the signal of FIG. 2(a) is added. is supplied to the multiplication circuit 10 as is. In the multiplication circuit 10, both the scanning signals of FIG. 2(a) and FIG. 2(b) are multiplied, and the signal of FIG. 2(C) is obtained. The signal in FIG. 2(C) is added to the adder circuit 1.
3, it is added to the signal from the horizontal level adjustment circuit 14, but when the signal from the circuit 14 is zero, the second
The signal shown in FIG. 3C is directly supplied to the deflection coil 4 and the deflection coil 19 of the cathode ray tube 7 as a horizontal scanning signal.
該水平走査信号は、画面の中心Ｏにおいて振幅（速度）
が零となり、中心から離れるに従って振幅（速度）が大
きくなる。この結果、該陰極線管７の画面には第３図に
示す如く、走査信号に応じて部分的に試料像が表示され
る。The horizontal scanning signal has an amplitude (velocity) at the center O of the screen.
becomes zero, and the amplitude (velocity) increases as the distance from the center increases. As a result, the sample image is partially displayed on the screen of the cathode ray tube 7 in accordance with the scanning signal, as shown in FIG.
ここで、水平走査信号の振幅が零となる試料部分は、垂
直レベル調整回路１２と水平レベル調整回路１４を調節
することによって任意に変えることができる。例えば、
垂直レベル調整回路１２から第２図１＞に示すｍＶの信
号を発生させれば、加算回路１１からは第２図（ｅ）の
信号が得られる。この信号は乗算回路１０において水平
走査信号と乗算されることから、第２図（ｆ）の信号が
得られる。なお、第２図（ｆ）の信号は加算回路１３に
おいて、水平レベル調整回路１４からのレベル信号ｎＶ
と加算された後の信号である。該第２図（ｆ）の信号は
、水平走査信号として各水平偏向コイルに供給されるが
、この走査信号は、ｍＶとｎＶの垂直および水平レベル
信号に応じた試料部分で水平走査信号の振幅が零となる
ため、陰極線管７の画面上には、第４図に示す像が表示
される。Here, the sample portion where the amplitude of the horizontal scanning signal becomes zero can be arbitrarily changed by adjusting the vertical level adjustment circuit 12 and the horizontal level adjustment circuit 14. for example,
If the vertical level adjustment circuit 12 generates the mV signal shown in FIG. 2(1), the adder circuit 11 obtains the signal shown in FIG. Since this signal is multiplied by the horizontal scanning signal in the multiplier circuit 10, the signal shown in FIG. 2(f) is obtained. Note that the signal in FIG. 2(f) is used as the level signal nV from the horizontal level adjustment circuit 14 in the addition circuit
This is the signal after being added. The signal shown in FIG. 2(f) is supplied to each horizontal deflection coil as a horizontal scanning signal, and this scanning signal changes the amplitude of the horizontal scanning signal at the sample portion according to the mV and nV vertical and horizontal level signals. becomes zero, so the image shown in FIG. 4 is displayed on the screen of the cathode ray tube 7.
このように、垂直レベル調整回路１２と水平レベル調整
回路１４とを任意に調整することにより、水平走査信号
が零となる試料部分を選択することができる。該両回路
を調整して試料の所望とする部分における走査信号を零
とした後、スイッチ１５と１７を図中点線で示す如く切
換え、両レベル調整回路からの信号が偏向信号として偏
向コイル４．５に供給されるようにすれば、試料上での
電子線の走査は停止され、第３図の状態では試料像の中
心部分０に対応した試料上に電子線が照射され、第４図
の状態では選択した試料部分Ｐに電子線が継続して照射
されることになる。該試料の選択された特定点に電子線
を照射した状態で、該試料から発生するＸｌｌは検出器
２１によって検出される。該検出された信号はアナライ
ザ２２に供給され、分析される。In this manner, by arbitrarily adjusting the vertical level adjustment circuit 12 and the horizontal level adjustment circuit 14, it is possible to select a sample portion where the horizontal scanning signal becomes zero. After adjusting both circuits to make the scanning signal at a desired portion of the sample zero, switches 15 and 17 are switched as shown by dotted lines in the figure, and the signals from both level adjustment circuits are used as deflection signals to be applied to the deflection coil 4. 5, the scanning of the electron beam on the sample is stopped, and in the state shown in FIG. In this state, the selected sample portion P is continuously irradiated with the electron beam. Xll generated from the sample is detected by the detector 21 while the selected specific point of the sample is irradiated with the electron beam. The detected signal is provided to an analyzer 22 and analyzed.
上述した如く、試料の分析点を選ぶ際には、常に分析点
における水平走査信号の振幅、すなわち、速度が零とさ
れ、又、その周囲ではその速度が遅くされているため、
鏡筒側および陰極線管の偏向コイルの自己インダクタン
ス等による影響がなくなり、分析点の近傍では、電子線
の偏向信号強度と電子線の試料上の照射位置や表示され
た試料像の各部分とは正確に対応することになり、スイ
ッチの切換によって電子線の照射位置を分析点に固定し
た際には、正確に選択した点に電子線が照射され、所望
の分析を行うことが可能となる。As mentioned above, when selecting an analysis point on a sample, the amplitude, or speed, of the horizontal scanning signal at the analysis point is always set to zero, and the speed is slowed around that point.
The influence of the self-inductance of the lens barrel side and the deflection coil of the cathode ray tube is eliminated, and in the vicinity of the analysis point, the electron beam deflection signal intensity, the electron beam irradiation position on the sample, and each part of the displayed sample image are This results in accurate correspondence, and when the electron beam irradiation position is fixed at the analysis point by switching the switch, the electron beam is irradiated to the precisely selected point, making it possible to perform the desired analysis.
上述した第１図の実施例では、分析点が画面の中心のと
きには第３図に示す如く全画面の１／２に試料像が表示
されるものの、分析点が画面中心から離れると走査像の
表示面積は、第４図に示す如く１／２以下となる。第５
図は、この点を改良した実施例を示しており、図中第１
図と同一構成要素は同一番号を付しである。In the embodiment shown in FIG. 1 described above, when the analysis point is at the center of the screen, the sample image is displayed on 1/2 of the entire screen as shown in FIG. 3, but when the analysis point moves away from the center of the screen, the scanned image becomes The display area becomes 1/2 or less as shown in FIG. Fifth
The figure shows an example that improves this point.
Components that are the same as those in the figures are given the same numbers.
第５図において、垂直走査信号発生回路９からの信号と
垂直レベル調整回路１２からの信号は、加算回路１１に
よって加算された後に、絶対値回路３１に供給される。In FIG. 5, the signal from the vertical scanning signal generation circuit 9 and the signal from the vertical level adjustment circuit 12 are added by an adder circuit 11 and then supplied to an absolute value circuit 31.
該垂直レベル調整回路１２の正負の両端子電圧は極性選
択回路３２に供給されるが、該極性選択回路は、加算回
路１１の出力の極性に応じて正か負の端子電圧を出力す
る。該回路３２の出力信号は、垂直レベル調整回路１２
からの選択された電圧と加算回路３３において加算され
、絶対値回路３４に供給される。該両絶対値回路３１．
３４の出力は除算回路３５において除算される。該除算
回路３５によって除算された信号は乗算回路１０におい
て水平走査信号と乗算されると共に、反転レベルシフト
回路３６に供給される。該反転レベルシフト回路３６に
おいて９反転され、０■から正側の信号にシフトされた
信号は、乗算回路３７に供給されて水平レベル調整回路
１４からのレベル信号との乗算がなされる。該乗算回路
３７の出力信号は、乗算回路１０の出力信号と共に、加
算回路１３に供給される。Both positive and negative terminal voltages of the vertical level adjustment circuit 12 are supplied to a polarity selection circuit 32, which outputs a positive or negative terminal voltage depending on the polarity of the output of the addition circuit 11. The output signal of the circuit 32 is transmitted to the vertical level adjustment circuit 12.
The selected voltage is added in an adder circuit 33 and supplied to an absolute value circuit 34. Both absolute value circuits 31.
The output of 34 is divided in a division circuit 35. The signal divided by the division circuit 35 is multiplied by the horizontal scanning signal in the multiplication circuit 10 and is supplied to the inversion level shift circuit 36. The signal which is inverted by 9 in the inversion level shift circuit 36 and shifted from 0 to a positive signal is supplied to a multiplication circuit 37 and multiplied by the level signal from the horizontal level adjustment circuit 14. The output signal of the multiplication circuit 37 is supplied to the addition circuit 13 together with the output signal of the multiplication circuit 10.
上述した構成において、垂直走査信号発生回路９からの
第２図（ａ）に示す信号は、加算回路１１において、第
２図（ｄ）に示す垂直レベル調整回路１２からの垂直レ
ベル信号と加算され、第２図（ｅ）の信号が得られる。In the above configuration, the signal shown in FIG. 2(a) from the vertical scanning signal generation circuit 9 is added to the vertical level signal from the vertical level adjustment circuit 12 shown in FIG. 2(d) in the adder circuit 11. , the signal shown in FIG. 2(e) is obtained.
該第２図（ｅ）の信号は、絶対値回路３１に供給されて
第６図（ａ）の信号が得られる。一方、垂直レベル調整
回路１２の両端子電圧は極性選択回路３２に供給される
が、該回路においては、第２図（ｅ）に示した加算回路
１１の出力信号の極性に応じて正か負の端子電圧が出力
される。該極性選択回路３２の出力は、加算回路３３に
おいて、第２図（ｄ）の垂直レベル調整回路１２からの
垂直レベル信号と加算された後、絶対値回路３４に供給
され、該絶対値回路３４からは第６図（ｂ）の信号が得
られる。The signal shown in FIG. 2(e) is supplied to the absolute value circuit 31 to obtain the signal shown in FIG. 6(a). On the other hand, the voltage at both terminals of the vertical level adjustment circuit 12 is supplied to a polarity selection circuit 32, which determines whether the voltage is positive or negative depending on the polarity of the output signal of the adder circuit 11 shown in FIG. 2(e). The terminal voltage of is output. The output of the polarity selection circuit 32 is added to the vertical level signal from the vertical level adjustment circuit 12 shown in FIG. From this, the signal shown in FIG. 6(b) is obtained.
該絶対・値回路３１と絶対値回路３４の出力信号は除算
回路３５に供給され、第６図（ａ）の信号と第６図（ｂ
）の信号との除算が行われ、第６図（Ｃ）の信号が得ら
れる。該第６図（Ｃ）の信号は乗算回路１０において第
２図（ｂ）に示す水平走査信号と乗算され、第６図（ｄ
）の信号が得られる。第６図（Ｃ）に示す該除算回路３
５の出力信号は、反転レベルシフト回路３６にも供給さ
れており、信号が反転されて第６図（ｅ）の信号が得ら
れる。該第６図（ｅ）の信号は乗算回路３７に供給され
て水平レベル調整回路１４からの水平レベル信号との乗
算が行われ、第６図（ｆ）の信号が得られる。該第６図
（ｆ）の信号は、第６図（ｄ）に示す乗算回路１０の出
力信号と加算回路１３において加算され、第６図（Ｑ）
に示す信号が得られる。該第６図（Ｇ）に示す信号はス
イッチ１５．（ｍ自回路１６を介して図示していないが
、鏡筒側の偏向コイルに水平走査信号として供給される
。この結果、陰極線管画面上には、第７図に示す試料像
が表示されるが、このときの水平走査信号は、垂直方向
の走査の開始と終了時に常に陰極線管の画面一杯に電子
線が偏向されるような振幅と強度にされ、選択された分
析点Ｑに向って徐々に振幅が狭く（走査速度が遅く）さ
れている。The output signals of the absolute value circuit 31 and the absolute value circuit 34 are supplied to a division circuit 35, and the signals shown in FIG. 6(a) and the signal shown in FIG. 6(b) are
) is performed to obtain the signal shown in FIG. 6(C). The signal shown in FIG. 6(C) is multiplied by the horizontal scanning signal shown in FIG. 2(b) in the multiplication circuit 10, and the signal shown in FIG.
) signals are obtained. The division circuit 3 shown in FIG. 6(C)
The output signal of No. 5 is also supplied to an inversion level shift circuit 36, and the signal is inverted to obtain the signal shown in FIG. 6(e). The signal shown in FIG. 6(e) is supplied to the multiplication circuit 37, where it is multiplied by the horizontal level signal from the horizontal level adjustment circuit 14 to obtain the signal shown in FIG. 6(f). The signal shown in FIG. 6(f) is added to the output signal of the multiplier circuit 10 shown in FIG. 6(d) in the adder circuit 13, and the signal shown in FIG. 6(Q) is added.
The signal shown is obtained. The signal shown in FIG. 6(G) is sent to switch 15. (Although not shown, it is supplied as a horizontal scanning signal to the deflection coil on the lens barrel side via the own circuit 16. As a result, the sample image shown in FIG. 7 is displayed on the cathode ray tube screen. However, the horizontal scanning signal at this time is set to such an amplitude and intensity that the electron beam is always deflected to fill the screen of the cathode ray tube at the start and end of vertical scanning, and is gradually deflected toward the selected analysis point Q. The amplitude is narrower (slower scanning speed).
従って、垂直レベルと水平レベルを任意に変えても、垂
直走査の開始と終了時には陰極線管の画面一杯に電子線
が走査され、陰極線管に表示される試料像の面積はいつ
でも全画面の１／２とすることができ、広い範囲の試料
像を観察しながら、所望の分析点の選択を行うことがで
きる。なお、この実施例でも、スイッチ１５と１７を切
換えて垂直レベル調整回路１２と水平レベル調整回路１
４の出力信号を鏡筒側の偏向コイルに供給すれば、選択
した分析点Ｑに正確に電子線を照射することができる。Therefore, even if the vertical and horizontal levels are changed arbitrarily, the electron beam will scan the entire screen of the cathode ray tube at the start and end of vertical scanning, and the area of the sample image displayed on the cathode ray tube will always be 1/1/2 of the entire screen. 2, and a desired analysis point can be selected while observing a wide range of sample images. In this embodiment as well, the switches 15 and 17 are switched to control the vertical level adjustment circuit 12 and the horizontal level adjustment circuit 1.
By supplying the output signal No. 4 to the deflection coil on the lens barrel side, the selected analysis point Q can be accurately irradiated with the electron beam.
なお、本発明は、上述した実施例に限定されず幾多の変
形が可能である。例えば、２次電子を検出して試料像を
表示したが、反ｔＪＪ１！子に基づいて試料像を表示す
るようにしても良い。又、第１図の実施例で、偏向コイ
ル５に供給する垂直走査信号として、垂直走査信号発生
回路からの垂直走査信号と垂直レベル調整回路からの垂
直レベル信号を加算した第２図（ｅ）の信号を供給する
ように構成しても良い。Note that the present invention is not limited to the embodiments described above, and can be modified in many ways. For example, when a sample image is displayed by detecting secondary electrons, anti-tJJ1! The sample image may be displayed based on the child. In addition, in the embodiment shown in FIG. 1, as the vertical scanning signal supplied to the deflection coil 5, the vertical scanning signal from the vertical scanning signal generation circuit and the vertical level signal from the vertical level adjustment circuit are added, as shown in FIG. 2(e). The configuration may be such that the signal is supplied.
［効果］
以上詳述した如く、本発明においては、試料像の注目す
べき点の走査速度を零としているため、該注目点近傍に
おいては、偏向コイルのインダクタンス等による悪影響
はなくなり、電子線の走査信号の強度に対応した試料部
分に正確に電子線が照射され、又、走査信号に正確に対
応して試料像が表示されることから、試料像を観察し、
分析点を選択するモードから注目点の分析モードに切換
えたときには、該分析点に正確に電子線が照射され、望
ましい分析結果を得ることができる。[Effects] As detailed above, in the present invention, since the scanning speed at a point of interest on the sample image is zero, there is no adverse effect due to the inductance of the deflection coil in the vicinity of the point of interest, and the electron beam is The electron beam is accurately irradiated on the part of the sample that corresponds to the intensity of the scanning signal, and the sample image is displayed in accordance with the scanning signal, so the sample image can be observed.
When switching from the analysis point selection mode to the attention point analysis mode, the analysis point is accurately irradiated with the electron beam, and desired analysis results can be obtained.
第１図は本発明の第１の実施例を示す図、第２図は第１
の実施例の動作を説明するために用いた信号波形図、第
３．４．７図は本発明に基づいて表示された試料像を示
す図、第５図は本発明の第２の実施例を示す図、第６図
は第２の実施例の動作を説明するために用いた信号波形
図である。
１・・・電子銃 ２・・・収束レンズ３・・・
試料 ４，５・・・偏向コイル６・・・２次
電子検出器 ７・・・陰極線管８・・・水平走査信号発
生回路
９・・・ｆ！直定走査信号発生回
路０・・・乗算回路 １１・・・加算回路１２・・
・垂直レベル調整回路
１３・・・加算回路
１４・・・水平レベル調整回路
１５．１７・・・スイッチ
１６・・・水平方向偏向回路
１８・・・Ｉ直方向偏向回路
２１・・・非分散型Ｘ線検出器
２２・・・アナライザ
第１図
第２図
第０図
第７図FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a first embodiment of the present invention.
Fig. 3.4.7 is a diagram showing a sample image displayed based on the present invention, and Fig. 5 is a signal waveform diagram used to explain the operation of the embodiment of the present invention. FIG. 6 is a signal waveform diagram used to explain the operation of the second embodiment. 1... Electron gun 2... Converging lens 3...
Samples 4, 5...Deflection coil 6...Secondary electron detector 7...Cathode ray tube 8...Horizontal scanning signal generation circuit 9...f! Direct scanning signal generation circuit 0...Multiplication circuit 11...Addition circuit 12...
・Vertical level adjustment circuit 13...Addition circuit 14...Horizontal level adjustment circuit 15.17...Switch 16...Horizontal deflection circuit 18...I-direction deflection circuit 21...Non-distributed type X-ray detector 22... Analyzer Figure 1 Figure 2 Figure 0 Figure 7
Claims (2)
く収束するための収束レンズと、走査信号に基づき該試
料上の電子線照射位置を移動させるための偏向手段と、
該電子線の照射に基づいて該試料から得られた情報信号
を検出する手段と、該情報信号と該偏向手段に供給され
る走査信号に応じて試料像を表示する表示手段とを備え
た走査電子顕微鏡において、水平走査信号発生手段と、
垂直走査信号発生手段と、該垂直走査信号のレベルを調
整する手段と、該水平走査信号とレベルが調整された垂
直走査信号との乗算を行う手段とを設け、該乗算された
信号を水平走査信号として前記偏向手段に供給するよう
に構成した走査電子顕微鏡。(1) an electron beam source, a converging lens for narrowly converging the electron beam from the electron beam source onto the sample, and a deflection means for moving the electron beam irradiation position on the sample based on a scanning signal;
A scanning device comprising means for detecting an information signal obtained from the sample based on irradiation with the electron beam, and display means for displaying a sample image in accordance with the information signal and a scanning signal supplied to the deflection means. In the electron microscope, horizontal scanning signal generating means;
Vertical scanning signal generating means, means for adjusting the level of the vertical scanning signal, and means for multiplying the horizontal scanning signal by the level-adjusted vertical scanning signal are provided, and the multiplied signal is used for horizontal scanning. A scanning electron microscope configured to supply the deflection means as a signal.
の走査信号の振幅と強度レベルは常に一定に維持されて
いる特許請求の範囲第１項記載の走査電子顕微鏡。(2) The scanning electron microscope according to claim 1, wherein the amplitude and intensity level of the horizontal scanning signal at the start and end of the vertical scanning signal are always maintained constant.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040897A JPS61200661A (en) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | Scanning type electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040897A JPS61200661A (en) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | Scanning type electron microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61200661A true JPS61200661A (en) | 1986-09-05 |
| JPH027507B2 JPH027507B2 (en) | 1990-02-19 |
Family
ID=12593300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60040897A Granted JPS61200661A (en) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | Scanning type electron microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61200661A (en) |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP60040897A patent/JPS61200661A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH027507B2 (en) | 1990-02-19 |
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