JPS61193391A - Manufacture of ceramic heater - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はセラミックヒータ、特にディーゼルエンジンの
グローブラグ等に好適に用いられる七ラミックヒータの
製造方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic heater, particularly a hepteramic heater suitably used for glove lugs of diesel engines.

〔従来技術〕[Prior art]

ディーゼルエンジンには低温時の始動用部品としてグロ
ーでラグが用いられており、エンジンの始動性向上のた
めには速熱性のヒータを備えたンロープラグが要求され
る。Diesel engines use glow lugs as starting parts at low temperatures, and in order to improve engine starting performance, glow plugs equipped with quick-heating heaters are required.

発明者らはこの要求に応えるべく先に、アルミナ（Ａｌ
ｔｏｓ）と窒化珪素（Ｓ１ｓ　Ｎ４　）よりなる電気絶
縁性セラミック焼結体の支持体の先端に、珪化モリプデ
レ（ＭｏＳｉ、＊　）と５１ｓＮ４　よりなるセラミッ
ク焼結体の発熱体を接合し、支持体内に埋設した１対の
リード線を上記発熱体に接続せしめたセラミックヒータ
、およびこのヒータ。In order to meet this demand, the inventors first developed alumina (Al
A heating element made of a ceramic sintered body made of molybdenum silicide (MoSi, *) and 51sN4 was bonded to the tip of a support made of an electrically insulating ceramic sintered body made of A ceramic heater having a pair of buried lead wires connected to the heating element, and this heater.

を、支持体を構成すべきセラミックグリーンシートの積
層物と、発、熱体を構成すべきセラミックグリーンシー
トの積層ｉとをでこれ等の端面を衝接せしめて一体に加
圧焼成して製造する方法を開発した（特願昭５９−’７
０６７０号、特願昭５９−１１０１０９号）。is produced by pressing and firing a laminate of ceramic green sheets that should constitute a support body and a laminate of ceramic green sheets that should constitute a heating element by bringing their end surfaces into contact with each other. (Patent application 1987-'7)
No. 0670, Japanese Patent Application No. 110109/1982).

、　　　　　　　このヒータの発熱体は、高温耐酸化性
および高温強度にすぐれ、エンジンの燃焼室内に露出し
て使用できるので、速熱性にすぐれている。The heating element of this heater has excellent high-temperature oxidation resistance and high-temperature strength, and can be used exposed inside the combustion chamber of the engine, so it has excellent heat-up properties.

〔本発明が解決しようとする問題点〕 ところでこの種のセラミックヒータにおいては、耐久性
をよくし、かつ発熱体の比抵抗を安定して保持する必要
があり、このためにはひび割れ発生が可及的に少ない構
造体にしなければならない。[Problems to be solved by the present invention] However, in this type of ceramic heater, it is necessary to improve the durability and maintain the specific resistance of the heating element stably. The structure should be as small as possible.

本発明は、セラミックヒータの製造工程で生じるひび割
れに着目し、工程中でひび割れの生じないセラミックヒ
ータの製造方法を提供し、従来の問題点を解決するとと
を目的とするものである。The present invention focuses on cracks that occur during the manufacturing process of ceramic heaters, and aims to provide a method for manufacturing ceramic heaters that does not cause cracks during the process, and to solve the conventional problems.

〔商題点を解決するための手段〕[Means for solving commercial issues]

発明者らは、上記支持体および発熱体のセラミック原料
に添加する有機物たる可塑剤および一合剤の添加量と、
セラミックシートのひび割れならびに焼成収縮率とは相
関性があることを確認した。The inventors determined the amount of the organic plasticizer and mixture added to the ceramic raw material of the support and heating element, and
It was confirmed that there is a correlation between the cracking of the ceramic sheet and the firing shrinkage rate.

そこ、で、支持体についてはＡｅｇｏｓとＳ：Ｌｓ　Ｎ
ａ、との混合物、発熱体についてはＭ　ＯＳ　’１−　
露とＳ’ｘｓ　Ｎａとの混合物に、それぞれ可塑剤と結
合剤を添加するに際し、セラミックシートにひび（：５
　　） 割れが生じないように、かつ、支持体と発熱体が一体焼
結されるときの焼成収縮率が可及的に近似するように１
望ましくは焼成収縮率の差が７％ないしそれ以下となる
ように、可塑剤および結合剤の量を調整して添加し、支
持体と発熱体を一体焼結゛することで上記の目的を達成
する本のである。So, for the support, Aegos and S:LsN
a, for the heating element MOS '1-
When adding plasticizer and binder to the mixture of dew and S'xs Na, respectively, the ceramic sheet cracked (:5
) 1 to prevent cracks from occurring and to make the firing shrinkage ratio as close as possible when the support and heating element are sintered together.
The above objective is achieved by adjusting and adding the amount of plasticizer and binder so that the difference in firing shrinkage rate is desirably 7% or less, and integrally sintering the support and the heating element. This is a book that does.

なお、可塑剤としてはジブチルフタレート、ジ−２−エ
チルヘキシルフタレート、トリクレジ〃ホ抹フェート、
ブチルフタリルブチルグリコＶ−）等の１種または２種
以上が、結合剤としてはポリビニルビフェニル等のプチ
ツール樹脂、アクリル系樹脂の１種ま邂は２種以上が用
いられ得る。In addition, as a plasticizer, dibutyl phthalate, di-2-ethylhexyl phthalate, tricreziphthalate,
One or more types of butylphthalyl butyl glycoV-) may be used, and one or more types of petit tour resins such as polyvinylbiphenyl and acrylic resins may be used as the binder.

゛また、支持体については、その原料たるＡｕｔｏｓ’
ｌ　Ｓｉｓ　Ｎ４　　の混合物における８１ｓＮ４量は
２５’ｅ−ｉｖ＊〜９０モル％が適当であり、発熱体に
ついテ？！：ＭＯ８ｉｘ　トＳ’ｘｓＮａｒＤ混合物Ｋ
　オｆｆ　ルＳｉＩ　Ｎ。゛Also, regarding the support, its raw material Autos'
The appropriate amount of 81sN4 in the mixture of lSisN4 is 25'e-iv* to 90 mol%, and it is suitable for the heating element. ! :MO8ix ToS'xsNarD mixture K
Off LeSiN.

量は２０モル％〜８０モル＊が適当である。また、発熱
体において、ＭＯ８Ｌと５１ｓＮ＜の粒径はＭ　ＯＳ　
１ｘ　　のそれを５ｉ＝Ｎａ　　よりも小さくすること
が望ましい。The appropriate amount is 20 mol% to 80 mol*. In addition, in the heating element, the particle size of MO8L and 51sN< is MOS
It is desirable to make that of 1x smaller than 5i=Na.

〔効　果〕〔effect〕

本発明によれば、ひび割れがなく、強度にすぐれ、かつ
発熱体の比抵抗が安定な信頼性の高いセラミックと−タ
が得られる。According to the present invention, it is possible to obtain a highly reliable ceramic heater that is free from cracks, has excellent strength, and has a stable specific resistance of the heating element.

〔実施例〕。〔Example〕.

先ず、本発明により得られるグロープラグ用セラミック
ヒータについて説明する。　　□・第′１図に示すセラ
ミックヒータにおいて、棒状の支持体２の先端には断面
コ字形の発熱体１が接合しである。支持体２内には軸線
方向に１対のリード線３ａ、３１）が埋設してあり、そ
の先端を発熱体１に接続せしめ、これによりセラミック
ヒータを構成している。First, the ceramic heater for glow plugs obtained by the present invention will be explained. □・In the ceramic heater shown in FIG. 1, a heating element 1 having a U-shaped cross section is joined to the tip of a rod-shaped support 2. A pair of lead wires 3a, 31) are embedded in the supporting body 2 in the axial direction, and their tips are connected to the heating element 1, thereby forming a ceramic heater.

支持体２の外周には金属スリーブ番が、更にその外周に
は金属ポデー５が取付けである。上記リード線Δａの後
端は支持体２の基端まで延び、該基端に嵌着した金属キ
ャップ６に接続し、キャップ６およびニラケル線マを介
して図示しない電源に接続しである。これにｉｂグロー
プラグを構成し、金属ボデー５に形成したネジ５１によ
り図示しないエンジン燃焼室に貫通固定される。A metal sleeve is attached to the outer periphery of the support 2, and a metal pod 5 is attached to the outer periphery. The rear end of the lead wire Δa extends to the base end of the support body 2, is connected to a metal cap 6 fitted to the base end, and is connected to a power source (not shown) via the cap 6 and a Nirakel wire. This constitutes an ib glow plug, which is fixed through a screw 51 formed in the metal body 5 into an engine combustion chamber (not shown).

発熱体１は導電性のＭＯ８ｉ、と、絶縁性の・　　　　
　８１ｓ　Ｎｓ　　の混合物の焼結体である。ＭＯ８ｉ
、意は発熱体１に耐酸化性を付与し、また低熱膨張係数
の８１ｓＮａ　　は耐熱衝撃性を付与する。ＭＯＳ１ｓ
の粒径は５１ｓＮａ　　の粒径よりも小さく、小径のＭ
Ｏ８ｉ＊　　の粒子が５ｉｓＮａ　の粒子を取囲んでＭ
Ｏ８ｊ−ｘ　　粒子が互に接触する組織となっている。The heating element 1 is made of conductive MO8i and insulating material.
This is a sintered body of a mixture of 81sNs. MO8i
, which gives the heating element 1 oxidation resistance, and 81sNa, which has a low coefficient of thermal expansion, gives thermal shock resistance. MOS1s
The particle size of 51sNa is smaller than that of 51sNa, and the small diameter M
O8i* particles surround 5isNa particles and M
The structure is such that the O8j-x particles are in contact with each other.

支持体２はＡｌｌ黛Ｏｘと５ｉｓＮ４の混合物の焼結体
よりなる。The support body 2 is made of a sintered body of a mixture of Alloy Ox and 5isN4.

次に、上記セラミックヒータの製造方法の実施例につい
て説明する。Next, an example of the method for manufacturing the ceramic heater described above will be described.

ＭＯ８ｉ、ｚ　３０モｙｖ＊（以下、単［％とする）（
平均粒径０．９．ｕｎ）とＳｉ、、ｓＮ４．７０％（平
均粒径３．５μｍ）とをアルミナポット中に混入し、エ
タノール等の溶媒とともに混合、攪拌した後、セラミッ
クシートを得るために可塑剤たるジプチルフタレート（
以下、ＤＢＰという）と結合剤たるポリビニルビフエニ
／Ｉ／（以下、ＰｖＢという）（重合度１００）を添加
して更に混練を行ない、３　Ｘ　Ｉ　Ｏ’　〜ｌ　ＯＸ
　１０’　ｐｏｉ、８６１ノ粘度を有するスラリーを調
整し、ドクタブレード法にて乾燥後の厚さが０．６日と
なる発熱体用のセラミックシートを得た。MO8i, z 30moyv* (hereinafter referred to as %) (
Average particle size 0.9. un) and Si, sN 4.70% (average particle size 3.5 μm) are mixed in an alumina pot, mixed with a solvent such as ethanol, stirred, and then mixed with diptylphthalate as a plasticizer to obtain a ceramic sheet. (
(hereinafter referred to as DBP) and polyvinylbiphenylene/I/ (hereinafter referred to as PvB) as a binder (degree of polymerization 100) were further kneaded to form a mixture of 3X I O' ~ l OX
A slurry having a viscosity of 10' poi and 861 was prepared, and a ceramic sheet for a heating element having a thickness of 0.6 days after drying was obtained using a doctor blade method.

また、５０％Ｓ’ｘｓＮ＜’（平均粒径０．９．ｕｍ）
と５０９６ＡｌｈＯｓ　　（平均粒径１μｍ）を、上記
発熱体用セラミックシートの場合と同一工程で処理し、
乾燥後の厚さが０．６箇となる支持体用セラミックシー
トを得た。Also, 50%S'xsN<' (average particle size 0.9.um)
and 5096AlhOs (average particle size 1 μm) were treated in the same process as the above ceramic sheet for heating element,
A ceramic sheet for a support having a thickness of 0.6 pieces after drying was obtained.

次に第２図に示すように発熱体用セラミック１′の複数
枚を積層し、また支持体用セラミックシート２の複数枚
を積層し、積層物を図示のように組合せ、リード線３ａ
、３ｂを挟んで、１００”Ｃ，２５１ｑ／ｄｌで、その
後ア、μボン雰囲気中で３６０　Ｉｃｙ　／　ｃ−でホ
ットプレス焼成を行ない一体化した。Next, as shown in FIG. 2, a plurality of heating element ceramic sheets 1' are laminated, a plurality of support ceramic sheets 2 are laminated, the laminates are combined as shown, and the lead wire 3a is laminated.
, 3b in between, and then hot press firing was performed at 100''C and 251q/dl, and then at 360 Icy/c- in a μ-bon atmosphere to integrate them.

得られたセラミックヒータの各構成部１材につ（１ｒ） き、密度および焼成収縮率を調べた結果を第１表（発熱
体部）および第２表（支持体部）に示す。The results of examining the density and firing shrinkage rate of each component (1r) of the obtained ceramic heater are shown in Table 1 (heating body part) and Table 2 (support body part).

表において、焼成収縮率は、次による。In the table, the firing shrinkage rate is as follows.

（（積層後の体積）−（ホットプレス焼成後の体積））
／（積層後の体積） なお、嵩密度は、ホットプレス焼成によすＤＢＰとＰＶ
Ｂは焼失するた畝いずれもほぼ同じである。((Volume after lamination) - (Volume after hot press firing))
/(Volume after lamination) The bulk density is for DBP and PV due to hot press firing.
In B, the ridges that are burned away are almost the same.

またシート状況で、◎は極めて良好、○は良好、×はひ
び発生またはシート乾燥しにくい、Δはシートに可焼性
なし、あるいは若干のひび発生を示す。In addition, regarding the sheet condition, ◎ indicates very good condition, ○ indicates good condition, × indicates that cracks are generated or the sheet is difficult to dry, and Δ indicates that the sheet has no scorchability or some cracks are generated.

Ｅ−円 第１表および第２表より、Ｍｏ５１ｘ　ｓ　ｏ％とＳｉ
、ｓ　Ｎａ　　７０９６の発熱体、およびＡｅｘＯａ　
　Ｆ１０％とＳｉｓ　Ｎａ　　’５０９６の支持体にお
いて、ひび割れのない良好なセラミックシートを得るた
めには発熱体用セラミックシートにあってはＤＢＰ添加
量７．０〜１０１％、ＰＶＢ添加量７．０〜１４．０％
、支持体用七ラミックシートにあってはＤＢＰｍ加１１
．ｏ　〜７．５％、ＰＶＢｍ重量６．０〜１２．０％の
範囲であることが知られる。この場合、焼成収縮率は発
熱体では５０〜５７体積％、支持体では５０〜５３体積
％である。From E-yen Tables 1 and 2, Mo51x so% and Si
, s Na 7096 heating element, and AexOa
In order to obtain a good ceramic sheet without cracks in a support of F10% and Sis Na '5096, the amount of DBP added is 7.0 to 101% and the amount of PVB added is 7.0 to 101% for a ceramic sheet for a heating element. 14.0%
, DBPm addition 11 for seven lamic sheets for supports
．． o to 7.5%, and PVBm weight is in the range of 6.0 to 12.0%. In this case, the firing shrinkage rate is 50 to 57 volume % for the heating element and 50 to 53 volume % for the support.

次に、焼成収縮率の種々異る発熱体部と支持体部を組合
せて一体焼結した場合の発熱体部、支持体部および接合
部の抗折強度を第３表に示す。Next, Table 3 shows the bending strength of the heating element, the support, and the joint when the heating element and the support having various firing shrinkage rates are combined and sintered together.

グローブラグのヒータとしてエンジン内で使用する場合
、抗折強度の値としては各部とも少くとも４５　’９　
／　ｍの強さが要求される。第３表よりＤＢＰおよびＰ
ＶＢの添加量を上記の範囲とし、焼成収縮率が５０〜５
７体積％の発熱体部と５０〜５３寧体積％の支持体部を
組合せホットプレス焼成して得たセラミックヒータはい
□ずれの部分も抗折強度が４５　ｊ９　／’　ｗ：とな
る。このことより、発熱体部と支持体部の焼成収縮率の
差は７体積％ないしそれ以下にすべきことが知られる。When used in an engine as a globe lug heater, each part should have a bending strength of at least 45'9.
/m strength is required. From Table 3, DBP and P
The amount of VB added is within the above range, and the firing shrinkage rate is 50 to 5.
A ceramic heater obtained by hot-press firing a combination of a heating element portion of 7% by volume and a support portion of 50 to 53% by volume also has a bending strength of 45 j9 /'w:. From this, it is known that the difference in firing shrinkage rate between the heating element part and the support part should be 7% by volume or less.

へ Ｅ面画 上記の実験結果はいずれも、発熱体の原料をＭＯ８ｉｔ
　　３０％、Ｓｉ＊Ｎ４７０％、支持体の原料をＡ１１
ｊｙｓ　　５０％、Ｓｉｎ　Ｎａ　　５０５Ｍとした場
合である。All of the above experimental results show that the raw material for the heating element is MO8it.
30%, Si*N470%, support material A11
jys 50% and Sin Na 505M.

原料の配合割合を変化させた場合、ひび割れのない良好
なセラミックＳ／）を得るためにＤＢＰおよびＰＶＢ添
加量をどのように変化させるかについて実験を行なった
結果を第３図ないし第６図に示す。第３図および第４図
は発熱体についてのものであり、第５図および第６図は
支持体についてのものである。Ａ領域はひび′割れのな
い良好なセラミックシートが得られる領域、Ｂ領域はひ
び割れが発生する領域、Ｃ領域はセラミックシートが乾
燥しにくい領域である。Figures 3 to 6 show the results of an experiment on how to change the amount of DBP and PVB added in order to obtain a good ceramic S/) without cracks when the mixing ratio of raw materials was changed. show. Figures 3 and 4 are for the heating element, and Figures 5 and 6 are for the support. Region A is a region where a good ceramic sheet without cracks can be obtained, region B is a region where cracks occur, and region C is a region where the ceramic sheet is difficult to dry.

良好なセラミックシートを得るためには、発熱体にあっ
てはＭｏ５ｉｔ量の増加とともにＤＢＰおよびＰＶＢ添
加量を増す必要があり、支持体にあっては８１ｓＮ＜　
　量の増加とともにＤＢＰ。In order to obtain a good ceramic sheet, it is necessary to increase the amount of DBP and PVB added as well as the amount of Mo5it in the heating element, and the amount of DBP and PVB added in the support is 81sN<
DBP with increasing amount.

ＰＶＢ添加量を増す必要がある。It is necessary to increase the amount of PVB added.

第７図は、発熱体におけるＤＢＰおよびＰＶＢの添加量
を組成に対応して第３図、第４図のＡ領域とした場合の
発熱体の焼成収縮率を示すもので、収縮率は線ａと線す
の間の範囲にある。Figure 7 shows the firing shrinkage rate of the heating element when the amount of DBP and PVB added in the heating element is set to the A range of Figures 3 and 4 in accordance with the composition, and the shrinkage rate is the line a. It is in the range between and.

また第８図は、支持体におけるＤＢＰおよびＰＶＢの添
加量を組成に対応して第５図、第６図のＡ−城とした場
合の支持体の焼成収縮率を示すもので、収縮率は線Ｃと
線ｄの間の範囲にある。Moreover, FIG. 8 shows the firing shrinkage rate of the support when the amount of DBP and PVB added in the support is set to A-Castle in FIGS. 5 and 6 according to the composition, and the shrinkage rate is It is in the range between line C and line d.

しかして発熱体と支持体はそれぞれの焼成収縮率の差が
７体積％ないしそれ以下になる組合せとし、両者を一体
焼結することにより、各部の抗折強度が４５１ｃ９／■
１のセラミックヒータを得ることができる。Therefore, by combining the heating element and the support with a difference in firing shrinkage of 7% by volume or less, and by sintering them together, the bending strength of each part is 451c9/■
1 ceramic heater can be obtained.

なお、可塑剤としてはＤＢＰの他、ジ−２−エチルへキ
シ′ルフタレート、トリクレジルホスフェート、ブチル
フタリルブチルグリコレートの１種または２種以上を用
いて同様の効果を得ることができる。また結合剤として
は、ＰＶＢの他、プチツール樹脂、アクリル系樹脂のう
ち　′の１種または２種以上を用いて同様の効果を得る
ことができる。In addition to DBP, one or more of di-2-ethylhexyl phthalate, tricresyl phosphate, and butylphthalyl butyl glycolate can be used as the plasticizer to obtain the same effect. Furthermore, as the binder, in addition to PVB, the same effect can be obtained by using one or more of the following among petit tour resins and acrylic resins.

以上説明したように本発明によれば電気絶縁性のセラミ
ックよりなる支持体と、導電性セラミックよりなる発熱
体が一体焼゛結□され産□セラミックヒータであって、
１内部帳６ｊび割れがなく強度にすぐれるとともに１発
熱）−１の比抵抗が安定で信頼性が高いセラミックと１
−、夕を得ることが中庁 できる。本発明により得られ；た゛ビー。夕は、特にデ
ィーゼルエンジンのグロー゛、テラグ・用ヒータと４、
′ して極めて好適である。　　□As explained above, according to the present invention, a ceramic heater is produced in which a support made of electrically insulating ceramic and a heating element made of conductive ceramic are integrally sintered,
1 Inner book 6j Ceramic with no cracking, excellent strength, 1 heat generation) -1 resistivity is stable and highly reliable.
−, you can get the evening at the central office. Obtained according to the present invention; In the evening, especially the glow of the diesel engine, the heater for the Terrag,
' It is extremely suitable. □

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明により号ら゛れた七ラミックヒータを備
えたグロープラグの一一図、第２図はセラミックヒータ
の製造工程纂示す図１．第３図、第４図、第５図、第６
図、第・“７図および第８図はセラミックと−タに関す
る実験結果を示す図である。 １・・・・・・発熱体　　　　２・・・・・・支持体３
ａ、３ｂ・・・・・・リード線 １．２・・・・・・セラミックシ一ト ｗ＆　　　　　　　　　　　　　　　　　　　藪（’／
、）日Δｄ （’／、）燦勅γｈ （０ム）姻ｉＳ来ｒト レ ば 場 −７１へ３− １　　　　　　（０ん）日△ｄ 謝FIG. 1 is a diagram of a glow plug equipped with a seven-layer ceramic heater according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a summary of the manufacturing process of the ceramic heater. Figure 3, Figure 4, Figure 5, Figure 6
Figures 7 and 8 are diagrams showing experimental results regarding ceramics and heaters. 1...Heating element 2...Support 3
a, 3b...Lead wire 1.2...Ceramic sheet w &Yabu('/
,) day Δd ('/,) sankyoku γh (0mu) marriage iS come r training place -71 3- 1 (0n) day △d xie

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）　アルミナと窒化珪素の混合物の焼結体よりなる
絶縁性セラミツク支持体の先端に、珪化モリブデンと窒
化珪素の混合物の焼結体よりなる導電性セラミツク発熱
体を接合したセラミツクヒータを製造するに際し、アル
ミナと窒化珪素との混合物、および珪化モリブデンと窒
化珪素との混合物にそれぞれジブチルフタレート、ジ−
２−エチルヘキシルフタレート、トリクレジルホスフエ
ート、ブチルフタリルプチルグリコートの少くとも１種
よりなる可塑剤と、プチツール樹脂、アクリル系樹脂の
少くとも１種よりなる結合剤を添加し混練して得たスラ
リーより支持体用セラミツクシートおよび発熱体用セラ
ミツクシートを作製し、支持体用セラミツクシートの複
数枚を積層した積層物と、発熱体用セラミツクシートの
複数枚を積層した積層物の端部を衝接せしめ、これ等積
層体をホットプレス焼成し、一体焼結することを特徴と
するセラミックヒータの製造方法。(1) Manufacturing a ceramic heater in which a conductive ceramic heating element made of a sintered body of a mixture of molybdenum silicide and silicon nitride is bonded to the tip of an insulating ceramic support body made of a sintered body of a mixture of alumina and silicon nitride. In this process, dibutyl phthalate and di-
A plasticizer consisting of at least one of 2-ethylhexyl phthalate, tricresyl phosphate, and butylphthalylbutyl glycote, and a binder consisting of at least one of petit tour resin and acrylic resin are added and kneaded. A ceramic sheet for a support and a ceramic sheet for a heating element were prepared from the obtained slurry, and a laminate of a plurality of ceramic sheets for a support and a laminate of a plurality of ceramic sheets for a heating element were prepared. A method for manufacturing a ceramic heater, characterized in that the laminate is brought into contact with each other, hot-press fired, and integrally sintered. （２）　アルミナと窒化珪素の混合物における窒化珪素
量が２５モル％ないし９０モル％であり、珪化モリブデ
ンと窒化珪素の混合物における窒化珪素量が２０モル％
ないし８０モル％であり、これ等混合物のそれぞれに、
これ等混合物の焼成収縮率の差が７％ないしそれ以下と
なる量の上記可塑剤および結合剤を添加する特許請求の
範囲第１項記載のセラミツクヒータの製造方法。(2) The amount of silicon nitride in the mixture of alumina and silicon nitride is 25 mol% to 90 mol%, and the amount of silicon nitride in the mixture of molybdenum silicide and silicon nitride is 20 mol%.
and 80 mol % of each of these mixtures,
2. The method of manufacturing a ceramic heater according to claim 1, wherein the plasticizer and binder are added in an amount such that the difference in firing shrinkage rate of the mixture is 7% or less.