JPS61189404A - カメラホルダ− - Google Patents
カメラホルダ−Info
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- JPS61189404A JPS61189404A JP3073385A JP3073385A JPS61189404A JP S61189404 A JPS61189404 A JP S61189404A JP 3073385 A JP3073385 A JP 3073385A JP 3073385 A JP3073385 A JP 3073385A JP S61189404 A JPS61189404 A JP S61189404A
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- lens barrel
- camera
- optical axis
- spherical bearing
- lens
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0004—Supports
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Accessories Of Cameras (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
の１
本発明はカメラホルダーに関し、詳しくは半導体装置の
製造における半導体ペレットの画像認識に使用されるカ
メラホルダーに関するものである。
製造における半導体ペレットの画像認識に使用されるカ
メラホルダーに関するものである。
ｆａｔの１１社
例えば、半導体装置の製造におけるペレットマウント工
程では、予め、素子を多数形成済みの半導体ウェーハを
粘着シート上に貼着し、該半導体ウェーハを多数個の半
導体ペレット区画に切り込み、上記粘着シートを引きの
ばして個々のペレットに分割した上でリング状の枠体に
装着する。この粘着シートを貼着した枠体（以下ウェー
ハリングと称す）を、ＸＹテーブルに位置決め固定した
上で、上述のようにして各々分離した多数個の半導体ペ
レットを画像認識しながら順次位置決めしてペレットマ
ウントが行われる。
程では、予め、素子を多数形成済みの半導体ウェーハを
粘着シート上に貼着し、該半導体ウェーハを多数個の半
導体ペレット区画に切り込み、上記粘着シートを引きの
ばして個々のペレットに分割した上でリング状の枠体に
装着する。この粘着シートを貼着した枠体（以下ウェー
ハリングと称す）を、ＸＹテーブルに位置決め固定した
上で、上述のようにして各々分離した多数個の半導体ペ
レットを画像認識しながら順次位置決めしてペレットマ
ウントが行われる。
上記半導体装置の製造に使用される半導体ペレットの画
像認識装置における、カメラホルダーの具体例を第７図
乃至第９図を参照しながら以下説明する。第７図に於い
て、（１）は基台（図示せず）上に立設した支持アーム
、（２）は該支持アーム（１）の先端部（１ａ）にネジ
止め等によって固着した鏡筒支持用の支持プロッり、（
３）は該支持ブロック（２）の上下方向に貫通形成され
た挿通孔（図示せず）に上下動可能に貫挿された鏡筒で
、この鏡筒（３）は、上記支持ブロック（２）に螺装さ
れた位置決めネジ（４）を、支持ブロック（２）に内挿
された鏡筒（３）の外周面に当接させることにより支持
アーム（１）へ固定され、支持ブロック（２）に垂直保
持される。また鏡筒（３）の上下微調整による位置決め
は、鏡筒（３）の一部に固着された調整用ブロック（５
）に螺装した調整ネジ（６）を、支持アーム（１）の上
端面に当接させることにより行われる。（７）は上記鏡
筒（３）の上端開口部に、該鏡筒（３）と同軸上に装着
したテレビカメラで、このテレビカメラ（７）には、図
示しないが、モニターテレビが接続されている。（８）
は鏡筒（３）の下端開口部に、該鏡筒（３）と同軸上に
ネジ止めされた光学レンズ系のズームレンズで、このズ
ームレンズ（８）の倍率選定後は固定ネジ（９）により
該ズームレンズ（８）の回り止めを行う、 （１０）
は上記ズームレンズ（８）の下端部に装着された円筒状
のズームレンズアダプタ、（１１）は該ズームレンズア
ダプタ（１０）の側方にＬ字状金具（１２）を介して位
置決め固定した照明装置である。第８図及び第９図に示
すように、ズームレンズアダプタ（１０）の下４開口部
には、鏡筒（３）及びズームレンズ（８）の光軸、即ち
、カメラ光軸１０と略４５°の角度でハーフミラ−（１
３）が固定されている。上記照明装置（１１）の内部に
は、光源、例えばハロゲンランプ（１４）が収納され、
該ハロゲンランプ（１４）の前方位置には、□固定ネジ
（１６）により位置決めされたコンデンサレンズ（１７
）が配置され、該コンデンサレンズ（１７）の光軸１１
は、前記カメラ光軸１ｏと略９０”の角度をなすよう設
定されている。また第７図において、（１８）は前記支
持フレーム（１）が立設された基台（図示せず）上の鏡
筒（３）の下方位置に設けられたＸＹテーブルで、この
ＸＹテーブル（１８）上には、前述したように多数個の
半導体ペレット （１９） （１９）−を貼着した
ウェーハリング（２０）が載置されている。
像認識装置における、カメラホルダーの具体例を第７図
乃至第９図を参照しながら以下説明する。第７図に於い
て、（１）は基台（図示せず）上に立設した支持アーム
、（２）は該支持アーム（１）の先端部（１ａ）にネジ
止め等によって固着した鏡筒支持用の支持プロッり、（
３）は該支持ブロック（２）の上下方向に貫通形成され
た挿通孔（図示せず）に上下動可能に貫挿された鏡筒で
、この鏡筒（３）は、上記支持ブロック（２）に螺装さ
れた位置決めネジ（４）を、支持ブロック（２）に内挿
された鏡筒（３）の外周面に当接させることにより支持
アーム（１）へ固定され、支持ブロック（２）に垂直保
持される。また鏡筒（３）の上下微調整による位置決め
は、鏡筒（３）の一部に固着された調整用ブロック（５
）に螺装した調整ネジ（６）を、支持アーム（１）の上
端面に当接させることにより行われる。（７）は上記鏡
筒（３）の上端開口部に、該鏡筒（３）と同軸上に装着
したテレビカメラで、このテレビカメラ（７）には、図
示しないが、モニターテレビが接続されている。（８）
は鏡筒（３）の下端開口部に、該鏡筒（３）と同軸上に
ネジ止めされた光学レンズ系のズームレンズで、このズ
ームレンズ（８）の倍率選定後は固定ネジ（９）により
該ズームレンズ（８）の回り止めを行う、 （１０）
は上記ズームレンズ（８）の下端部に装着された円筒状
のズームレンズアダプタ、（１１）は該ズームレンズア
ダプタ（１０）の側方にＬ字状金具（１２）を介して位
置決め固定した照明装置である。第８図及び第９図に示
すように、ズームレンズアダプタ（１０）の下４開口部
には、鏡筒（３）及びズームレンズ（８）の光軸、即ち
、カメラ光軸１０と略４５°の角度でハーフミラ−（１
３）が固定されている。上記照明装置（１１）の内部に
は、光源、例えばハロゲンランプ（１４）が収納され、
該ハロゲンランプ（１４）の前方位置には、□固定ネジ
（１６）により位置決めされたコンデンサレンズ（１７
）が配置され、該コンデンサレンズ（１７）の光軸１１
は、前記カメラ光軸１ｏと略９０”の角度をなすよう設
定されている。また第７図において、（１８）は前記支
持フレーム（１）が立設された基台（図示せず）上の鏡
筒（３）の下方位置に設けられたＸＹテーブルで、この
ＸＹテーブル（１８）上には、前述したように多数個の
半導体ペレット （１９） （１９）−を貼着した
ウェーハリング（２０）が載置されている。
半導体装置の製造におけるペレットマウント工程では、
上記ＸＹテーブル（１８）上に載置されたウェーハリン
グ（２０）の半導体ペレット（１９） （１９）−−
−・を予め画像認識する。この画像認識は、上記ＸＹテ
ーブル（１８）をｘＳｙ及びθ方向に移動させて所望の
半導体ペレフ） （１９）をカメラ光軸ｌＯ上に配置す
る。そして照明袋！ （１１）のハロゲンランプ（１４
）から照射された光は、ハーフミラ−（１３）にて一部
が反射されて上記半導体ペレッ） （１９）上に達する
。そして半導体ペレッ） （１９）で反射された光は、
ハーフミラ−（１３） 、ズームレンズ（８）及び鏡筒
（３）を透過してテレビカメラ（７）に達する。この反
射光を該テレビカメラ（７）にて検出して画像処理し、
その検出信号をモニターテレビに送出して該モニターテ
レビに映し出された画像を監視しながら半導体ペレツｌ
−（１９）の位置決めを行う。この半導体ペレット（１
９）の位置決め後、ペレットマウントが実行される。
上記ＸＹテーブル（１８）上に載置されたウェーハリン
グ（２０）の半導体ペレット（１９） （１９）−−
−・を予め画像認識する。この画像認識は、上記ＸＹテ
ーブル（１８）をｘＳｙ及びθ方向に移動させて所望の
半導体ペレフ） （１９）をカメラ光軸ｌＯ上に配置す
る。そして照明袋！ （１１）のハロゲンランプ（１４
）から照射された光は、ハーフミラ−（１３）にて一部
が反射されて上記半導体ペレッ） （１９）上に達する
。そして半導体ペレッ） （１９）で反射された光は、
ハーフミラ−（１３） 、ズームレンズ（８）及び鏡筒
（３）を透過してテレビカメラ（７）に達する。この反
射光を該テレビカメラ（７）にて検出して画像処理し、
その検出信号をモニターテレビに送出して該モニターテ
レビに映し出された画像を監視しながら半導体ペレツｌ
−（１９）の位置決めを行う。この半導体ペレット（１
９）の位置決め後、ペレットマウントが実行される。
べ占
上記従来のカメラホルダーでは、画像認識時にカメラ光
軸ＩｔＯを半導体ペレット（１９） （１９）・−・
に対して確実に垂直に設定しなければならず、そのため
、鏡筒（３）の支持アーム（１）への取付けが重要視さ
れる。ところが、上記支持アーム（１）、支持ブロック
（２）や鏡筒（３）等の各部品類を製造する上で、加工
精度に誤差があり、しかもこの加工精度の向上にも限界
がある。従ってカメラホルダーでは、これら部品類の加
工精度誤差が累積され、その結果半導体ベレッＩ−（１
９） （１９） −・に対してカメラ光軸ｌＯを垂直
に保持することが難しく、位置ずれが生じて良好な画像
認識が行い難かった。そこで、上記加工精度の誤差を補
正するため、例えば支持アーム（１）と、支持ブロック
（２）との間にスペーサを挿入したり、或いは上記部品
類を組付けたカメラホルダーを、一旦分解した上で削り
出し等の補正加工を行い、そして再度部品類を組付け、
試験的に画像認識していた。これでも尚、カメラ光軸が
垂直にならない場合には、上述した部品類の分解及び補
正加工を繰り返し行っていた。従って上記調整に手間が
かかって作業工数が増大するばかりでなく、補正加工に
よる微調整も作業者の熟練を要するために困難性を伴な
うという問題点があった。
軸ＩｔＯを半導体ペレット（１９） （１９）・−・
に対して確実に垂直に設定しなければならず、そのため
、鏡筒（３）の支持アーム（１）への取付けが重要視さ
れる。ところが、上記支持アーム（１）、支持ブロック
（２）や鏡筒（３）等の各部品類を製造する上で、加工
精度に誤差があり、しかもこの加工精度の向上にも限界
がある。従ってカメラホルダーでは、これら部品類の加
工精度誤差が累積され、その結果半導体ベレッＩ−（１
９） （１９） −・に対してカメラ光軸ｌＯを垂直
に保持することが難しく、位置ずれが生じて良好な画像
認識が行い難かった。そこで、上記加工精度の誤差を補
正するため、例えば支持アーム（１）と、支持ブロック
（２）との間にスペーサを挿入したり、或いは上記部品
類を組付けたカメラホルダーを、一旦分解した上で削り
出し等の補正加工を行い、そして再度部品類を組付け、
試験的に画像認識していた。これでも尚、カメラ光軸が
垂直にならない場合には、上述した部品類の分解及び補
正加工を繰り返し行っていた。従って上記調整に手間が
かかって作業工数が増大するばかりでなく、補正加工に
よる微調整も作業者の熟練を要するために困難性を伴な
うという問題点があった。
また、照明装置（１１）のハロゲンランプ（１４）で照
射され１．ズームレンズアダプタ（１０）のハーフミラ
−（１３）で反射された光は、上記カメラ光軸Ｉｔｏに
対して一様な平行光でなければならない。これは半導体
ペレット（１９） （１９）−上への照射光が斜め方
向から入射すると、半導体ペレッ） （１９） （１
９） −・の影が発生したり、或いは半導体ペレッｌ−
（１９） （１９）・−上での反射光がカメラ光軸ｊ
！ｏからずれて上記半導体ペレッ） （１９） （１
９） −・を画像認識しずらいからである。ところが、
上記鏡筒（３）の場合と同様、ズームレンズアダプタ（
１０）やＬ字状金具（１２）等の部品類の加工精度誤差
や、ハロゲンランプ（１４）のカバーガラスの厚みの非
対称、フィラメントの偏心等によって半導体ペレツト（
１９） （１９）−・への照射光がカメラ光軸ｌＯに
対して容易に平行とはならなかった。その結果、良好な
画像認識が行えず、照明装置（１１）による照射状態の
補正が必要となり、そのａｍ整も前記鏡筒（３）の場合
と同様、非常に困難性を伴っていた。
射され１．ズームレンズアダプタ（１０）のハーフミラ
−（１３）で反射された光は、上記カメラ光軸Ｉｔｏに
対して一様な平行光でなければならない。これは半導体
ペレット（１９） （１９）−上への照射光が斜め方
向から入射すると、半導体ペレッ） （１９） （１
９） −・の影が発生したり、或いは半導体ペレッｌ−
（１９） （１９）・−上での反射光がカメラ光軸ｊ
！ｏからずれて上記半導体ペレッ） （１９） （１
９） −・を画像認識しずらいからである。ところが、
上記鏡筒（３）の場合と同様、ズームレンズアダプタ（
１０）やＬ字状金具（１２）等の部品類の加工精度誤差
や、ハロゲンランプ（１４）のカバーガラスの厚みの非
対称、フィラメントの偏心等によって半導体ペレツト（
１９） （１９）−・への照射光がカメラ光軸ｌＯに
対して容易に平行とはならなかった。その結果、良好な
画像認識が行えず、照明装置（１１）による照射状態の
補正が必要となり、そのａｍ整も前記鏡筒（３）の場合
と同様、非常に困難性を伴っていた。
。 占 ° るための
本発明は上記問題点に鑑みて提案されたもので、この問
題点を解決するための技術的手段は、支持アームの先端
部に、球面軸受で任意方向傾動可能に支承して垂下保持
された鏡筒と、該鏡筒の下端部に同軸的に装着された光
学レンズ系と、光学レンズ系の下部に球面軸受で任意方
向傾動可能に支承して垂下保持され、且つ、下方に配置
した被測定物を照射する照明装置と、上記鏡筒の上端部
に同軸的に装着され、且つ、照明装置から照射されて被
測定物上で反射した光を検出し画像処理するカメラとを
具備したものである。
題点を解決するための技術的手段は、支持アームの先端
部に、球面軸受で任意方向傾動可能に支承して垂下保持
された鏡筒と、該鏡筒の下端部に同軸的に装着された光
学レンズ系と、光学レンズ系の下部に球面軸受で任意方
向傾動可能に支承して垂下保持され、且つ、下方に配置
した被測定物を照射する照明装置と、上記鏡筒の上端部
に同軸的に装着され、且つ、照明装置から照射されて被
測定物上で反射した光を検出し画像処理するカメラとを
具備したものである。
皿
上記技術的手段によれば、鏡筒を球面軸受で支持アーム
に支持させることにより、上記鏡筒を任意方向に傾動さ
せることができ、また照明装置を球面軸受で光学レンズ
系に支持させることによって、上記照明装置も任意方向
に傾動させることが可能となり、鏡筒及び照明装置の取
付けにおける微調整位置決めが容易となって良好な画像
認識が行える。
に支持させることにより、上記鏡筒を任意方向に傾動さ
せることができ、また照明装置を球面軸受で光学レンズ
系に支持させることによって、上記照明装置も任意方向
に傾動させることが可能となり、鏡筒及び照明装置の取
付けにおける微調整位置決めが容易となって良好な画像
認識が行える。
実見■
本発明に係るカメラホルダーの一実施例を第１図乃至第
６図を参照しながら説明する。第１図乃至第３図に於い
て、（２１）は基台（図示せず）上に立設した支持アー
ム、（２２）は該支持アーム（２１）の先端部（２１ａ
）に固着された鏡筒支持用の支持ブロックで、この支
持ブロック（２２）は、上下方向に挿通孔（２３ａ）が
貫通形成された軸受台（２３）と、該軸受台（２３）に
螺着され、上記挿通孔（２３ａ）と連通ずる連通孔（２
４８）が貫通形成された軸受押え（２４）とからなる、
（２５）は上記支持ブロック（２２）の各挿通孔（
２３ａ）（２４ａ）に貫挿された鏡筒、（２６）は該鏡
筒（２５）を支持ブロック（２２）に任意方向傾動可能
に支承して垂下保持する球面軸受で、この球面軸受（２
６）は、第２図にも示すように、鏡筒（２５）の外周面
に上下方向摺動可能に嵌装した外周面凸状の内球（２６
ａ）と、該内球（２６ａ）に嵌合し、且つ、上記支持ブ
ロック（２２）の軸受台（２３）と軸”受押え（２４）
との間で押え込λ７で固定された内周面凹状の外殻（２
６ｂ）とからなる、上記鏡筒（２５）の支持アーム（２
１）への位置決め固定は、第３図に示すように、支持ブ
ロック（２２）の軸受台（２３）に略１２０°間隔３箇
所に螺装された位置決めネジ（２７ａ）（２７ｂ）（２
７ｃ）を鏡筒（２５）の外周面に当接させることにより
該鏡筒（２５）を支持ブロック（２２）に垂直保持する
。また鏡筒（２５）の上下微調整は、該鏡筒（２５）が
球面軸受（２６）の内球（２６ａ）に摺動可能に設けら
れているため、上記鏡筒（２５）に固着された調整用ブ
ロック（２８）に螺装した調整ネジ（２９）を、支持ア
ーム（２２）の軸受押え（２４）の上端面に当接させる
ことにより行われる。（３０）は従来と同様、鏡筒（２
５）の上端開口部に同軸上に装着したテレビカメラ、（
３１）も従来と同様、鏡筒（２５）の下端開口部に同軸
上にネジ止めされた光学レンズ系のズームレンズで、倍
率選定後には固定ネジ（３２）により上記ズームレンズ
（３１）の回り止めを行う。（３３）は上記ズームレン
ズ（３１）の下端部に、後述する球面軸受で任意方向傾
動可能に支承して垂下保持された照明装置、（３４）は
従来と同様、鏡筒（２５）の下方位置に設けられたＸＹ
テーブルで、このｘｙ子テーブル３４）上には、多数個
の半導体ペレッ） （３５） （３５）−を貼着した
ウェーハリング（３６）が載置されている。第４図は断
面り字形状のハウジング（３７）からなる上記照明装置
（３３）の部分断面図であり、同図に於いて、（３８）
は前記球面軸受で、この球面軸受（３８）は、ズームレ
ンズ（３１）の下部に設けられた筒状体（３９）の筒状
部（３９ａ）に固着された外周面凸状の内球（３８ａ）
と、咳内球（３８ａ）に嵌合し、且つ、上記ハウジング
（３７）の上端開口部に取付けられた内周面凹状の外殻
（３８ｂ ’）とからなる、 （４０） （４０）
は上記筒状体（３９）のフランジ部（３９ｂ ）に螺着
された位置決めネジで、この位置決めネジ（４０）
（４０）をハウジング（３７）の上端面に当接させるこ
とにより、ハウジング（３７）の位置決めが行われる。
６図を参照しながら説明する。第１図乃至第３図に於い
て、（２１）は基台（図示せず）上に立設した支持アー
ム、（２２）は該支持アーム（２１）の先端部（２１ａ
）に固着された鏡筒支持用の支持ブロックで、この支
持ブロック（２２）は、上下方向に挿通孔（２３ａ）が
貫通形成された軸受台（２３）と、該軸受台（２３）に
螺着され、上記挿通孔（２３ａ）と連通ずる連通孔（２
４８）が貫通形成された軸受押え（２４）とからなる、
（２５）は上記支持ブロック（２２）の各挿通孔（
２３ａ）（２４ａ）に貫挿された鏡筒、（２６）は該鏡
筒（２５）を支持ブロック（２２）に任意方向傾動可能
に支承して垂下保持する球面軸受で、この球面軸受（２
６）は、第２図にも示すように、鏡筒（２５）の外周面
に上下方向摺動可能に嵌装した外周面凸状の内球（２６
ａ）と、該内球（２６ａ）に嵌合し、且つ、上記支持ブ
ロック（２２）の軸受台（２３）と軸”受押え（２４）
との間で押え込λ７で固定された内周面凹状の外殻（２
６ｂ）とからなる、上記鏡筒（２５）の支持アーム（２
１）への位置決め固定は、第３図に示すように、支持ブ
ロック（２２）の軸受台（２３）に略１２０°間隔３箇
所に螺装された位置決めネジ（２７ａ）（２７ｂ）（２
７ｃ）を鏡筒（２５）の外周面に当接させることにより
該鏡筒（２５）を支持ブロック（２２）に垂直保持する
。また鏡筒（２５）の上下微調整は、該鏡筒（２５）が
球面軸受（２６）の内球（２６ａ）に摺動可能に設けら
れているため、上記鏡筒（２５）に固着された調整用ブ
ロック（２８）に螺装した調整ネジ（２９）を、支持ア
ーム（２２）の軸受押え（２４）の上端面に当接させる
ことにより行われる。（３０）は従来と同様、鏡筒（２
５）の上端開口部に同軸上に装着したテレビカメラ、（
３１）も従来と同様、鏡筒（２５）の下端開口部に同軸
上にネジ止めされた光学レンズ系のズームレンズで、倍
率選定後には固定ネジ（３２）により上記ズームレンズ
（３１）の回り止めを行う。（３３）は上記ズームレン
ズ（３１）の下端部に、後述する球面軸受で任意方向傾
動可能に支承して垂下保持された照明装置、（３４）は
従来と同様、鏡筒（２５）の下方位置に設けられたＸＹ
テーブルで、このｘｙ子テーブル３４）上には、多数個
の半導体ペレッ） （３５） （３５）−を貼着した
ウェーハリング（３６）が載置されている。第４図は断
面り字形状のハウジング（３７）からなる上記照明装置
（３３）の部分断面図であり、同図に於いて、（３８）
は前記球面軸受で、この球面軸受（３８）は、ズームレ
ンズ（３１）の下部に設けられた筒状体（３９）の筒状
部（３９ａ）に固着された外周面凸状の内球（３８ａ）
と、咳内球（３８ａ）に嵌合し、且つ、上記ハウジング
（３７）の上端開口部に取付けられた内周面凹状の外殻
（３８ｂ ’）とからなる、 （４０） （４０）
は上記筒状体（３９）のフランジ部（３９ｂ ）に螺着
された位置決めネジで、この位置決めネジ（４０）
（４０）をハウジング（３７）の上端面に当接させるこ
とにより、ハウジング（３７）の位置決めが行われる。
（４１）はハウジング（３７）の上端開口部の下方に取
付部材（４２）を介してカメラ光軸ｌｏに対して略４５
°の角度で固定されたハーフミラ−１（４３）はハウジ
ング（３７）の該ハーフミラ−（４１）の下方位置に穿
設された透過窓、（４４）は上記ハーフミラ−（４１）
の側方、即ち、カメラ光軸β０と直交する方向に配置さ
れたハロゲンランプで、このハロゲンランプ（４４）の
前方には、図示しないが、従来と同様コンデンサレンズ
が配置されている。
付部材（４２）を介してカメラ光軸ｌｏに対して略４５
°の角度で固定されたハーフミラ−１（４３）はハウジ
ング（３７）の該ハーフミラ−（４１）の下方位置に穿
設された透過窓、（４４）は上記ハーフミラ−（４１）
の側方、即ち、カメラ光軸β０と直交する方向に配置さ
れたハロゲンランプで、このハロゲンランプ（４４）の
前方には、図示しないが、従来と同様コンデンサレンズ
が配置されている。
半導体装置の製造におけるペレットマウント工程での画
像認識は、従来要領と同様に、ｘｙ子テーブル３４）の
移動によりカメラ光軸１ｏ上に配置された半導体ペレッ
ト（３５）を、照明装置（３３）のハロゲンランプ（４
４）でハーフミラ−（４１）を介して照射する。そして
半導体ペレット（３５）上で反射された光をテレビカメ
ラ（３０）にて検出し、その検出信号をテレビカメラ（
３０）に接続されたモニターテレビに送出して、このモ
ニターテレビの画像を監視しながら半導体ペレット°（
３５）の位置決め並びにペレットマウントが実行される
。
像認識は、従来要領と同様に、ｘｙ子テーブル３４）の
移動によりカメラ光軸１ｏ上に配置された半導体ペレッ
ト（３５）を、照明装置（３３）のハロゲンランプ（４
４）でハーフミラ−（４１）を介して照射する。そして
半導体ペレット（３５）上で反射された光をテレビカメ
ラ（３０）にて検出し、その検出信号をテレビカメラ（
３０）に接続されたモニターテレビに送出して、このモ
ニターテレビの画像を監視しながら半導体ペレット°（
３５）の位置決め並びにペレットマウントが実行される
。
上記画像認識時、調整ネジ（２９）により鏡筒（２５）
の上下位置を微調整した上で、前述したようにカメラ光
軸１１０、即ち上記鏡筒（２５）を半導体ペレット（３
５）に対して垂直に設定しなければならない。この鏡筒
（２５）を垂直保持するための傾き補正は、鏡筒（２５
）を取付けた状態で、テレビカメラ（３０）による画像
をモニターテレビで監視しながら行われる。第５図に示
すように鏡筒（２５）が半導体ペレット（３５）に対し
て傾斜していた場合（カメラ光軸ｊ！ｏ’）、該鏡筒（
２５）が支持ブロック（２２）に球面軸受（２６）で任
意方向傾動可能に支承されているため、位置決めネジ（
２７ａ）（２７ｂ）（２７ｃ）（第３図参照）を夫々適
宜突出退入させ、鏡筒（２５）を球面軸受（２６）の内
球（２６ａ）の曲率中心Ｏを中心として第５図実線矢印
方向に傾動させて第２図に示す垂直状態に保持する。
の上下位置を微調整した上で、前述したようにカメラ光
軸１１０、即ち上記鏡筒（２５）を半導体ペレット（３
５）に対して垂直に設定しなければならない。この鏡筒
（２５）を垂直保持するための傾き補正は、鏡筒（２５
）を取付けた状態で、テレビカメラ（３０）による画像
をモニターテレビで監視しながら行われる。第５図に示
すように鏡筒（２５）が半導体ペレット（３５）に対し
て傾斜していた場合（カメラ光軸ｊ！ｏ’）、該鏡筒（
２５）が支持ブロック（２２）に球面軸受（２６）で任
意方向傾動可能に支承されているため、位置決めネジ（
２７ａ）（２７ｂ）（２７ｃ）（第３図参照）を夫々適
宜突出退入させ、鏡筒（２５）を球面軸受（２６）の内
球（２６ａ）の曲率中心Ｏを中心として第５図実線矢印
方向に傾動させて第２図に示す垂直状態に保持する。
また上記鏡筒（２５）の傾き補正と同時に、照明装置（
３３）から半導体ペレット（３５）上に照射される光を
カメラ光軸Ｉｌｏに対して一様な平行光にしなければな
らず、そのため上記照明装置（３３）の傾き補正を行わ
なければならない。
３３）から半導体ペレット（３５）上に照射される光を
カメラ光軸Ｉｌｏに対して一様な平行光にしなければな
らず、そのため上記照明装置（３３）の傾き補正を行わ
なければならない。
この照明装置（３３）の傾き補正も、上記鏡筒（２５）
の場合と同様に照明装置（３３）を取付けたままの状態
で、テレビカメラ（３０）による画像をモニターテレビ
で監視しながら行われる。
の場合と同様に照明装置（３３）を取付けたままの状態
で、テレビカメラ（３０）による画像をモニターテレビ
で監視しながら行われる。
例えば第６図に示すように照明装置（３３）のハロゲン
ランプ（４４）から照射されてハーフミラ−（４１）で
反射された光の光軸ｉ１゛がカメラ光軸ＸＯに対して傾
斜している場合、上記照明装置（３３）のハウジング（
３７）がズームレンズ（３１）の下部に球面軸受（３８
）で任意方向傾動可能に支承されているため、位置決め
ネジ（４０）（４０）を夫々適宜突出退入させ、ハウジ
ング（３７）を球面軸受（３８）の内球（３８ａ）の曲
率中心０′を中心として第６図実線矢印方向に傾動させ
て第４図に示すように上記ハーフミラ−（４１）での反
射光の光軸１１″をカメラ光軸Ｎ。
ランプ（４４）から照射されてハーフミラ−（４１）で
反射された光の光軸ｉ１゛がカメラ光軸ＸＯに対して傾
斜している場合、上記照明装置（３３）のハウジング（
３７）がズームレンズ（３１）の下部に球面軸受（３８
）で任意方向傾動可能に支承されているため、位置決め
ネジ（４０）（４０）を夫々適宜突出退入させ、ハウジ
ング（３７）を球面軸受（３８）の内球（３８ａ）の曲
率中心０′を中心として第６図実線矢印方向に傾動させ
て第４図に示すように上記ハーフミラ−（４１）での反
射光の光軸１１″をカメラ光軸Ｎ。
と一致させ、該反射光をカメラ光軸７！Ｏに対して一様
な平行光にして半導体ペレッｌ−（３５）を照射させる
。
な平行光にして半導体ペレッｌ−（３５）を照射させる
。
光所坐立泉
本発明によれば、鏡筒及び照明装置を球面軸受で任意方
向傾動可能に支承させたことにより、各部品類の加工に
高精度を要求する必要がなく、この加工精度誤差等によ
って鏡筒のカメラ光軸が被測定物に対して垂直とはなら
ず、また照明装置から被測定物上に照射される光の光軸
が上記カメラ光軸から位置ずれしても、各部品類の組付
は後鏡筒及び照明装置を分解することなく取付は状態の
ままで迅速且つ容易に微調整することができる。従って
、従来のような作業者の熟練を要することなく、上記鏡
筒を被測定物に対して垂直保持することができ、且つ、
照明装置をカメラ光軸に対して位置合わせすることがで
きて作業性も大幅に向上すると共に良好な画像認識を行
うことが実現容易となる。
向傾動可能に支承させたことにより、各部品類の加工に
高精度を要求する必要がなく、この加工精度誤差等によ
って鏡筒のカメラ光軸が被測定物に対して垂直とはなら
ず、また照明装置から被測定物上に照射される光の光軸
が上記カメラ光軸から位置ずれしても、各部品類の組付
は後鏡筒及び照明装置を分解することなく取付は状態の
ままで迅速且つ容易に微調整することができる。従って
、従来のような作業者の熟練を要することなく、上記鏡
筒を被測定物に対して垂直保持することができ、且つ、
照明装置をカメラ光軸に対して位置合わせすることがで
きて作業性も大幅に向上すると共に良好な画像認識を行
うことが実現容易となる。
第１図は本発明に係るカメラホルダーの一実施例を示す
正面図、第２図は鏡筒の取付は状態を示す第１図の要部
拡大断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線に沿う断面図、
第４図は照明装置の取付は状態を示す第１図の要部拡大
断面図、第５図は鏡筒の傾き補正を説明するための要部
拡大断面図、第６図は照明装置の傾き補正を説明するた
めの要部拡大断面図である。第７図は従来のカメラホル
ダーの具体例を示す正面図、第８図は第７図の照明装置
を示す拡大上面図、第９図は第８図の正断面図である。 （２１） −支持アーム、（２１ａ ） −先端部、（
２５） −鏡筒、（２６）−球面軸受、（３０） −カ
メラ、（３１）−光学レンズ系（ズームレンズ）、（３
３） −照明装置、（３５） −被測定物（半導体ペレ
ット）、（３８） −・球面軸受。 特 許 出 願 人 二チデン機械株式会社代
理 人 江 原 省 吾第７
図 第８図 第９図
正面図、第２図は鏡筒の取付は状態を示す第１図の要部
拡大断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線に沿う断面図、
第４図は照明装置の取付は状態を示す第１図の要部拡大
断面図、第５図は鏡筒の傾き補正を説明するための要部
拡大断面図、第６図は照明装置の傾き補正を説明するた
めの要部拡大断面図である。第７図は従来のカメラホル
ダーの具体例を示す正面図、第８図は第７図の照明装置
を示す拡大上面図、第９図は第８図の正断面図である。 （２１） −支持アーム、（２１ａ ） −先端部、（
２５） −鏡筒、（２６）−球面軸受、（３０） −カ
メラ、（３１）−光学レンズ系（ズームレンズ）、（３
３） −照明装置、（３５） −被測定物（半導体ペレ
ット）、（３８） −・球面軸受。 特 許 出 願 人 二チデン機械株式会社代
理 人 江 原 省 吾第７
図 第８図 第９図
Claims (1)
- （１）支持アームの先端部に、球面軸受で任意方向傾動
可能に支承して垂下保持された鏡筒と、該鏡筒の下端部
に同軸的に装着された光学レンズ系と、光学レンズ系の
下部に球面軸受で任意方向傾動可能に支承して垂下保持
され、且つ、下方に配置した被測定物を照射する照明装
置と、上記鏡筒の上端部に同軸的に装着され、且つ、照
明装置から照射されて被測定物上で反射した光を検出し
画像処理するカメラとを具備したことを特徴とするカメ
ラホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3073385A JPS61189404A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | カメラホルダ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3073385A JPS61189404A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | カメラホルダ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61189404A true JPS61189404A (ja) | 1986-08-23 |
| JPH0543083B2 JPH0543083B2 (ja) | 1993-06-30 |
Family
ID=12311869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3073385A Granted JPS61189404A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | カメラホルダ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61189404A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63111607U (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-18 | ||
| JP2004354283A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Miyota Kk | 表面検査用画像装置の照明ユニットとその制御方法。 |
| JP2005070417A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-03-17 | Pentax Corp | レンズ調整装置 |
| JP2011508913A (ja) * | 2008-01-04 | 2011-03-17 | レンズベイビーズ， リミテッド ライアビリティ カンパニー | 可動レンズアセンブリとそれに関連する方法 |
| EP3658987A4 (en) * | 2017-07-24 | 2021-04-07 | Solve Forensics (Pty) Ltd | CAPTURE OF EVIDENCE |
-
1985
- 1985-02-19 JP JP3073385A patent/JPS61189404A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63111607U (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-18 | ||
| JP2004354283A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Miyota Kk | 表面検査用画像装置の照明ユニットとその制御方法。 |
| JP2005070417A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-03-17 | Pentax Corp | レンズ調整装置 |
| JP2011508913A (ja) * | 2008-01-04 | 2011-03-17 | レンズベイビーズ， リミテッド ライアビリティ カンパニー | 可動レンズアセンブリとそれに関連する方法 |
| EP3658987A4 (en) * | 2017-07-24 | 2021-04-07 | Solve Forensics (Pty) Ltd | CAPTURE OF EVIDENCE |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543083B2 (ja) | 1993-06-30 |
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