JPS61186239A - Production of parent material for optical fiber and burner therefor - Google Patents
Production of parent material for optical fiber and burner thereforInfo
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- JPS61186239A JPS61186239A JP2348885A JP2348885A JPS61186239A JP S61186239 A JPS61186239 A JP S61186239A JP 2348885 A JP2348885 A JP 2348885A JP 2348885 A JP2348885 A JP 2348885A JP S61186239 A JPS61186239 A JP S61186239A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、大形の光ファイバ母材を効率良く安定に高速
度で製造する光ファイバ母材の製造方法に関するもので
ある。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber preform, which efficiently and stably manufactures a large optical fiber preform at a high speed.
［従来技術］
従来、光ファイバ母材を製造する方法としては、ＭＣＶ
Ｄ法（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏ
ｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ） 、 ＯＶＤ法（Ｏｕｔｓ
ｉｄｅ ＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ） 、 ＶＡ
Ｄ法（Ｖａｐｏｒ−ｐｈａｓｅ ＡｘｉａｌＤｅｐｏｓ
ｉ ｔ １ｏｎ）等がある。現在、産業界における関
心事はこれらの方法で得られる特性の優れた光ファイバ
をいかに経済的に、すなわち短時間のうちに大量に製造
して光ファイバの価格を低減化するかにある。特に、大
形の母材を高速度で製造することは、光ファイバの経済
化に対して効果が大きいので期待されている。[Prior Art] Conventionally, as a method for manufacturing optical fiber preforms, MCV
D method (Modified Chemical Vapo
rDeposition), OVD method (Outs
ide VaporDeposition), VA
D method (Vapor-phase Axial Depos
It 1on) etc. Currently, the industry is concerned with how to economically produce optical fibers with excellent properties obtained by these methods, that is, how to manufacture them in large quantities in a short period of time to reduce the cost of the optical fibers. In particular, manufacturing large-sized base materials at high speed is expected to have a large effect on economicalization of optical fibers.
従来ＶＡＤ法における高速合成法として、バーナを多段
にすることあるいは単一バーナで改良を加えることが検
討されてきた。多段バーナでは、多孔質母材成長端周囲
にバーナを複数個設置するのでバーナ本数を増すに従い
合成速度は向」ニする。Conventionally, as a high-speed synthesis method in the VAD method, it has been considered to use multiple stages of burners or to improve the use of a single burner. In a multi-stage burner, a plurality of burners are installed around the growing end of the porous base material, so as the number of burners increases, the synthesis speed increases.
しかし、各バーナ火炎の干渉により、特性、安定性およ
び再現性の点で単一バーナの場合に比較して劣っている
。単一バーナの場合には、多孔質母相を高速に合成する
ためにガラス原料をより多く供給しなければならず、ガ
ラス原料供給量を増加するに従い未反応ガラス原料の増
大、火炎流の乱れを生じ、合成収率が低下するという問
題があった。However, due to the interference of each burner flame, the characteristics, stability and reproducibility are inferior compared to the case of a single burner. In the case of a single burner, it is necessary to supply a larger amount of glass raw material in order to synthesize a porous matrix at high speed, and as the amount of glass raw material supplied increases, the amount of unreacted glass raw material increases and the flame flow becomes turbulent. There was a problem in that this resulted in a decrease in the synthesis yield.
さらに、高速で太い多孔質母材を製造するために流速に
着目してその最適化を図る試みがなされたが（Ｈ，５ｕ
ｄａらによる”Ｆｉｎｅ Ｇｌａｓｓ Ｐａｒｔｉｃｌ
ｅ−Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｉｎ
ｔｈｅ ＶＡＤ Ｐｒｏｃｅｓｓ”。Furthermore, attempts were made to optimize the flow rate by focusing on the flow rate in order to produce a thick porous base material at high speed (H, 5u
"Fine Glass Particle" by da et al.
e-Deposition Mechanism in
the VAD Process”.
Ｆｉｂｅｒ ａｎｄ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ０ｐｔｉ
ｃｓ、Ｖｏｌ、４．Ｎｏ、４゜ｐｐ、４２７−４３７）
、その場合には、収率が悪い状態でしか実現できず、
多孔質母材の製造方法としては適していなかった。Fiber and Integrated 0pti
cs, Vol, 4. No, 4°pp, 427-437)
, in that case, it can only be achieved with poor yield,
This method was not suitable for producing porous base materials.
ＶＡＤ法において、大形の母材を高速に合成するために
は、供給するガラス原料の量を増大させる必要があった
。そこで、ガラス原料の反応効率等を改善させるために
、火炎を多重化することが老えられている。すなわち、
火炎を多重にし、その内側火炎を退行させることにより
実効火炎長を増加させてガラス微粒子粒径を制御するバ
ーナが特願昭５８−２１９３８０号の「ガラス微粒子合
成用バーナ」において提案されている。In the VAD method, in order to synthesize a large base material at high speed, it is necessary to increase the amount of glass raw material supplied. Therefore, in order to improve the reaction efficiency of glass raw materials, it is becoming popular to use multiple flames. That is,
A burner has been proposed in Japanese Patent Application No. 58-219380 titled ``Burner for Synthesizing Glass Fine Particles,'' in which the effective flame length is increased by multiplexing flames and the inner flame is regressed to control the particle size of glass fine particles.
このような多重火炎バーナのひとつとしての二重火炎バ
ーナの構造を第１図に示す。第１図において、１は内側
火炎用ガラス原料供給口、２は内側火炎用ガラス原料供
給口１の周囲に配置した内側火炎用燃焼ガス供給口、３
は内側火炎用燃焼ガス供給口２の周囲に配置した外側火
炎用ガラス原料供給口、４は外側火炎用ガラス原料供給
口３の周囲に配置した外側火炎用燃焼ガス供給口である
。５は内側火炎用ノズル、６は外側火炎用ノズルであり
、内側火炎用ノズル５と外側火炎用ノズル６とは独立し
ている。７は内側火炎８内で反応しているガラス原料層
、８は外側火炎、１０は生成されたガラス微粒子、１１
は成長しつつある多孔質母材を示している。ａは内側火
炎の火炎長、ｂは内側および外側火炎から成る二重火炎
の火炎長を示す。ここで、内側火炎用ノズル５を外側火
炎用ノズル６より引込めて配置可能とすることにより、
内側火炎８が外側火炎９より距離立だけ退行可能なよう
に構成し、退行距離文をガラス原料の供給量に応じて調
節できるようにしである。The structure of a double flame burner as one of such multiple flame burners is shown in FIG. In FIG. 1, 1 is an inner flame frit supply port, 2 is an inner flame combustion gas supply port arranged around the inner flame frit supply port 1, and 3 is an inner flame frit supply port.
4 is a frit supply port for the outer flame arranged around the combustion gas supply port 2 for the inner flame, and a combustion gas supply port 4 for the outer flame is arranged around the frit supply port 3 for the outer flame. 5 is an inner flame nozzle, 6 is an outer flame nozzle, and the inner flame nozzle 5 and the outer flame nozzle 6 are independent. 7 is a frit layer reacting in the inner flame 8, 8 is the outer flame, 10 is the generated glass fine particles, 11
indicates a growing porous matrix. a indicates the flame length of the inner flame, and b indicates the flame length of the double flame consisting of the inner and outer flames. Here, by making it possible to arrange the inner flame nozzle 5 by retracting it from the outer flame nozzle 6,
The inner flame 8 is configured to be able to retreat by a distance from the outer flame 9, and the regression distance can be adjusted in accordance with the amount of glass raw material supplied.
火炎を２重化した場合には、外側火炎による火炎長の増
加によってガラス微粒子堆積量が増加する。換言すると
、火炎の２重化により、ガラス微粒子堆積速度が増加す
る。特に、ガラス原料の供給量が多いほど二重火炎の効
果は大きい。When the flames are duplicated, the amount of glass particles deposited increases due to the increase in flame length due to the outer flame. In other words, the duplication of flames increases the glass particle deposition rate. In particular, the greater the amount of glass raw material supplied, the greater the effect of the double flame.
これは、火炎が長くなるのでガラス原料の分解が促進さ
れ、これがため、ガラス微粒子の火炎中での滞留時間が
長くなって、生成されるガラス微粒子の粒径が大きくな
るためと考えられている。This is thought to be because the longer flame accelerates the decomposition of the glass raw materials, which lengthens the residence time of the glass particles in the flame and increases the particle size of the glass particles produced. .
次に、第２図は、２重火炎バーナによる火炎内滞留時間
とガラス微粒子比表面積およびガラス微粒子粒径との関
係を示すグラフである。第１図から明らかなように、ガ
ラス微粒子の火炎内滞留時間が長くなるに従って、ガラ
ス微粒子比表面積は小さくなり、逆にガラス微粒子粒径
は大きくなる。そこで火炎長を長くとることにより、ガ
ラス微粒子犬炎内滞留時間を長くすることができ、その
結果、ガラス微粒子粒径を大きくすることができること
が見出された。Next, FIG. 2 is a graph showing the relationship between the residence time in the flame of a double flame burner, the specific surface area of glass particles, and the particle size of glass particles. As is clear from FIG. 1, as the residence time of the glass particles in the flame becomes longer, the specific surface area of the glass particles decreases, and conversely, the particle size of the glass particles increases. Therefore, it has been found that by increasing the flame length, the residence time of the glass fine particles in the flame can be increased, and as a result, the particle size of the glass fine particles can be increased.
すなわち、２重火炎バーナを用いて内側ノズルを退行さ
せることにより、ガラス微粒子粒径を増大させ、それに
よって微粒子の大径化と堆積速度の向上を図り、光ファ
イバ母材合成速度の高速化を達成することができると考
えられていた。That is, by regressing the inner nozzle using a double flame burner, the particle size of the glass particles is increased, thereby increasing the diameter of the particles and increasing the deposition rate, thereby increasing the speed of synthesizing the optical fiber preform. It was thought that this could be achieved.
このように、多重火炎バーナにおいてはガラス微粒子粒
径制御の効果は確認されているが、ガラス原料反応効率
の増大に関しては、十分な結果が得られていない。さら
に、実際の母材作製にあたっては、火炎温度不均一によ
る成長不安定性（多孔質母材の割れ、多孔質母材成長面
形状の乱れ）や屈折率分布の非制御性等の欠点があり、
多孔質母材を作製する際の各種ガスの供給条件によって
は、多孔質母材の成長が極めて遅くなったり不安定にな
ることがあり、再現性よ？母材を製）造するための条件
を把握して基本的な製造方法を確立することが重要な課
題となっている。As described above, although the effect of controlling the particle size of glass fine particles has been confirmed in multiple flame burners, sufficient results have not been obtained in terms of increasing the glass raw material reaction efficiency. Furthermore, in actual preparation of the base material, there are drawbacks such as growth instability due to non-uniform flame temperature (cracking of the porous base material, disturbance of the shape of the growth surface of the porous base material) and uncontrollability of the refractive index distribution.
Depending on the supply conditions of various gases when producing a porous base material, the growth of the porous base material may become extremely slow or unstable, leading to problems with reproducibility. It is an important issue to understand the conditions for manufacturing the base material and establish a basic manufacturing method.
［目的］
本発明の目的は、以上の諸点に鑑みて、大形の多孔質母
材を高速度で、しかも安定にかつ再現性よく製造する光
ファイバ母材の製造方法を提供することにある。[Objective] In view of the above-mentioned points, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an optical fiber preform in which a large porous preform is manufactured at high speed, stably, and with good reproducibility. .
本発明の他の目的は、かかる方法を実施するのに好適な
光ファイバ母材製造用バーナを提供することにある。Another object of the present invention is to provide a burner for producing an optical fiber preform suitable for carrying out such a method.
［発明の構成］
かかる目的を達成するために、本発明では、ガラス原料
を多重化した火炎に供給して多孔質母材を製造する際に
その多重化した火炎流の各々における流速を所定の関係
に定め、しかもガラス原料流の流速をかかる火炎流の流
速以下で供給する。[Structure of the Invention] In order to achieve the above object, the present invention provides a method for controlling the flow velocity of each of the multiplexed flame flows to a predetermined value when producing a porous base material by supplying glass raw materials to multiplexed flame flows. and the flow rate of the frit stream is less than or equal to the flow rate of the flame stream.
すなわち、本発明製造方法の第１形態では、火炎内でガ
ラス原料を分解してガラス微粒子を形成し、ガラス微粒
子を堆積させて多孔質母材を形成し、多孔質母材を透明
ガラス化して光ファイバ用母材を形成する光ファイバ母
材の製造方法において、ガラス原料を供給する原料供給
用ノズルと、原料供給用ノズルのまわりに順次に配置さ
れ、それぞれ個別の火炎流を順次に形成する複数の火炎
形成用ノズルを有するバーナを用い、複数の火炎のうち
、第に番目の火炎の流速をＶｋ、第に番目の火炎の外側
の第□ｒ＋１）番目の火炎の流速をＶｋ＋１およびガラ
ス原料の流速をＶｍとするときに、ｏ、ｔＶｋ、＋＜
ｖｋ＜ ２．５ Ｖｋ＋１Ｖｍ≦Ｖｋ＋１
ｖＩＩｌ≦ｖｉく
なる条件を満たすようになし、第に番目の西側火炎流を
第（ｋ＋１）番目のり鍍火炎流より退行させて得られる
多重火炎中にガラス原料を供給してガラス微粒子を生成
し、ガラス微粒子を出発材に堆積させて多孔質ｍ材を成
長させることを特徴とする。That is, in the first embodiment of the manufacturing method of the present invention, a glass raw material is decomposed in a flame to form glass fine particles, the glass fine particles are deposited to form a porous base material, and the porous base material is made into transparent glass. In a method for manufacturing an optical fiber preform that forms a preform for an optical fiber, a raw material supply nozzle for supplying a glass raw material and a raw material supply nozzle arranged sequentially around the raw material supply nozzle to sequentially form individual flame streams respectively. Using a burner having a plurality of flame forming nozzles, the flow velocity of the th flame among the plurality of flames is Vk, the flow velocity of the □r+1)th flame outside the th th flame is Vk+1, and the glass raw material. When the flow velocity of is Vm, o, tVk, +<
The glass raw material is placed in a multiple flame obtained by regressing the th (k+1)th west side flame flow from the (k+1)th gluing flame flow so as to satisfy the following conditions: vk<2.5 Vk+1Vm≦Vk+1 vIIl≦vi The method is characterized in that the porous material is grown by supplying glass particles to produce glass particles and depositing the glass particles on a starting material.
本発明製造方法の第２形態では、火炎内でガラス原料を
分解してガラス微粒子を形成し、ガラス微粒子を堆積さ
せて多孔質母材を形成し、多孔質用材を透明ガラス化し
て光ファイバ用母材を形成する光ファイバ母材の製造方
法において、ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと
、原料供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞ
れ個別の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズ
ルを有する八−すを用い、第に番目の火炎流を第（ｋ＋
１）番目の火炎流より退行させ、その際に第に番目の火
炎流の下流端と第（ｋ＋１）番目の火炎流の上流端とが
実質的に連続するように退行の距離を定め、得られる多
重火炎中にガラス原料を供給してガラス微粒子を生成し
、ガラス微粒子を出発材に堆積させて多孔質母材を成長
させることを特徴とする。In the second embodiment of the manufacturing method of the present invention, a glass raw material is decomposed in a flame to form glass particles, the glass particles are deposited to form a porous base material, and the porous material is made into transparent glass to form an optical fiber. A method for manufacturing an optical fiber preform forming a preform includes a raw material supply nozzle that supplies a glass raw material, and a plurality of flames that are sequentially arranged around the raw material supply nozzle and each sequentially forms an individual flame flow. Using an eight-piece with a forming nozzle, the th flame stream is
1) Regress the flame flow from the th flame flow, and determine the distance of the regression so that the downstream end of the th flame flow and the upstream end of the (k+1)th flame flow are substantially continuous; The method is characterized in that a glass raw material is supplied into multiple flames to generate glass fine particles, and the glass fine particles are deposited on a starting material to grow a porous base material.
本発明製造方法の第３形態では、火炎内でガラス原料を
分解してガラス微粒子を形成し、ガラス微粒子を堆積さ
せて多孔質母材を形成し、多孔質母材を透明ガラス化し
て光ファイバ用母材を形成する光ファイバ母材の製造方
法において、ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと
、原料供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞ
れ個別の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズ
ルを有するバーナを用い、複数の火炎のうち、第に番目
の火炎の流速をＶｋ、第に番目の火炎の外側の第（ｋ＋
１）番目の火炎の流速をｖｋ＋１およびガラス原料の流
速をＶｍとするときに、
０、ＩＶｋ＋１＜ ｖｋ ＜ ２．５ Ｖｋ＋１Ｖｍ≦
ＶｋヤＩ
Ｖｍ≦Ｖｋ
なる条件を満たすようになし、第に番目の火炎流を第（
ｋ＋１）番目の火炎流より退行させ、その際に第に番目
の火炎流の下流端と第（ｋ＋１）番目の火炎流の上流端
とが実質的に連続するように退行の距離を定め、得られ
る多重火炎中にガラス原料を供給してガラス微粒子を生
成し、ガラス微粒子を出発材に堆積させて多孔質母材を
成長させることを特徴とする。In the third embodiment of the manufacturing method of the present invention, a glass raw material is decomposed in a flame to form glass fine particles, the glass fine particles are deposited to form a porous base material, and the porous base material is made into transparent glass to form an optical fiber. In a method for manufacturing an optical fiber preform that forms a preform, a raw material supply nozzle that supplies a glass raw material, and a plurality of raw material supply nozzles that are sequentially arranged around the raw material supply nozzle and each of which sequentially forms an individual flame stream are used. Using a burner having a flame forming nozzle, the flow velocity of the th flame among the plurality of flames is set to Vk, and the flow velocity of the outside of the th flame is set to Vk.
1) When the flow velocity of the th flame is vk+1 and the flow velocity of the glass raw material is Vm, 0, IVk+1<vk<2.5 Vk+1Vm≦
Vk YaI Vm≦Vk The condition of Vm≦Vk is satisfied, and the th flame flow is
(k+1)-th flame flow, and at that time, the distance of regression is determined so that the downstream end of the (k+1)-th flame flow and the upstream end of the (k+1)-th flame flow are substantially continuous; The method is characterized in that a glass raw material is supplied into multiple flames to generate glass fine particles, and the glass fine particles are deposited on a starting material to grow a porous base material.
本発明バーナは、火炎内でガラス原料を分解してガラス
微粒子を形成する光ファイバ母材製造用バーナにおいて
、ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、原料供給
用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ、個別の
火炎波を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルと、複
数の火炎形成用ノズルの間に配置され、ガラス原料を供
給する外側供給用ノズルとを具え、複数の火炎形成用ノ
ズルのうち、−のノズルの開口部を−のノズルより外側
の火炎形成用ノズルの開口部より上流側に配置し、火炎
形成用ノズルの各々は可燃性ガス供給用ノズルおよび支
燃性ガス供給用ノズルを有し、原料供給用ノズルおよび
原料供給用ノズルの各々の開口部を、火炎形成用ノズル
の各々における可燃性ガス供給用ノズルおよび支燃性ガ
ス供給用ノズルの開口部よりも上流側に配設したことを
特徴とする。The burner of the present invention is a burner for manufacturing an optical fiber preform that decomposes glass raw materials in a flame to form glass fine particles, and includes a raw material supply nozzle that supplies glass raw materials and a raw material supply nozzle that is arranged sequentially around the raw material supply nozzle. , each comprising a plurality of flame-forming nozzles sequentially forming individual flame waves and an outer feed nozzle disposed between the plurality of flame-forming nozzles and supplying frit, the plurality of flame-forming nozzles Among the nozzles, the opening of the - nozzle is arranged upstream from the opening of the flame-forming nozzle outside the - nozzle, and each of the flame-forming nozzles is a combustible gas supply nozzle and a combustion-supporting gas supply nozzle. The openings of the raw material supply nozzle and the raw material supply nozzle are located upstream of the openings of the combustible gas supply nozzle and the combustion-supporting gas supply nozzle in each of the flame formation nozzles. It is characterized by being placed in.
［実施例］ 以下に図面を参照して本発明の詳細な説明する。[Example] The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
まず、燃焼ガスの流速と多孔質母材の成長安定性につい
て堆積実験を行った。この実験では、第１図に示したよ
うな同心円状の多重火炎ノズルにより構成された二重火
炎構造のバーナを使用し、第３図に示すように退行距＃
文を８０ｍｍとし、外側火炎流の流速ｖＯ１内側火炎流
の流速Ｖｉおよび原料流の流速Ｖｍの関係を調べた。First, a deposition experiment was conducted to examine the flow rate of combustion gas and the growth stability of the porous matrix. In this experiment, a burner with a double flame structure consisting of multiple concentric flame nozzles as shown in Fig. 1 was used, and the regression distance # was as shown in Fig. 3.
The relationship between the flow velocity vO1 of the outer flame flow, the flow velocity Vi of the inner flame flow, and the flow velocity Vm of the raw material flow was investigated, with the diameter being 80 mm.
外側火炎の火炎流速は火炎流レイノルズ数等を考慮に入
れて、安定した火炎が得られる２ｍ／ｓｅｅとした。こ
こで、火炎流速とは、支配的に火炎を構成する水素ガス
および酸素ガスの各流量を各ガスの吹き出すノズルの断
面積で除したものである。バーナ位置は通常の母材作製
における位置に設定した。ガラス微粒子堆積量は擬似母
材を用いているため擬似母材依存性があるので、任意目
盛とした。The flame flow velocity of the outer flame was set to 2 m/see, which allows a stable flame to be obtained, taking into account the flame flow Reynolds number and the like. Here, the flame flow velocity is obtained by dividing the respective flow rates of hydrogen gas and oxygen gas, which predominantly constitute the flame, by the cross-sectional area of the nozzle from which each gas is blown out. The burner position was set to the position used in normal base material production. Since the amount of glass fine particles deposited is dependent on the pseudo base material because a pseudo base material is used, it was set on an arbitrary scale.
ガラス原料としての四塩化ケイ素（ＳｉＣｕ４）をアル
ゴンガスをキャリアとして流速０．７ｍ／ｓｅｃで内側
火炎中心層に２２００ｃｃ ／ ｍ ｉｎで供給し、内
側火炎の火炎流流速Ｖｉを変化させてガラス微粒子堆積
量を測定した。火炎流速は酸素ガスおよび水素ガスの流
速を同じ割合で変化させることにより調節した。Silicon tetrachloride (SiCu4) as a glass raw material was supplied to the inner flame center layer at a flow rate of 2200 cc/min at a flow rate of 0.7 m/sec using argon gas as a carrier, and glass fine particles were deposited by changing the flame flow velocity Vi of the inner flame. The amount was measured. The flame flow rate was adjusted by changing the oxygen and hydrogen gas flow rates in equal proportions.
その結果を第４図に示す。内側火炎流流速Ｖｉを増加す
るにつれ、２重火炎としての効果が生じ、ガラス微粒子
堆積量は増加し、Ｖｉ ” Ｖｏ＝ ２ｍ／ｓｅｃのと
きに最大値をとり、最も好適であった。内側火炎流流速
Ｖｉをさらに増加すると、内側火炎が外側火炎を乱しは
じめ、安定な火炎が得られなくなり母材表面温度が不均
一になると共にガラス微粒子堆積速度は減少する。特に
内側火炎流流速Ｖｉが５ｍ／５ｅｃ（２，５Ｖｏ相当）
伺近を越えると安定した成長面は得られなくなった。The results are shown in FIG. As the inner flame flow velocity Vi increases, a double flame effect occurs, and the amount of glass particles deposited increases, reaching the maximum value when Vi'' Vo = 2 m/sec, which is the most suitable. When the flow velocity Vi is further increased, the inner flame starts to disturb the outer flame, a stable flame is no longer obtained, the base material surface temperature becomes uneven, and the glass particle deposition rate decreases.Especially when the inner flame velocity Vi increases 5m/5ec (equivalent to 2,5Vo)
Once you move beyond Kyoto, stable growth is no longer possible.
他方、内側火炎流流速Ｖ１を低下させていくと、Ｖｉが
０．２ｍ／５ｅｅ（０，ＩＶｏ相当）近傍以下では、バ
ーナとして機能しなくなり、やはり安定した成長面が得
られなくなった。On the other hand, as the inner flame flow velocity V1 was decreased, when Vi was around 0.2 m/5ee (equivalent to 0, IVo) or less, it no longer functioned as a burner, and a stable growth surface could no longer be obtained.
次に、キャリアガスのメｕ冊を調節することによって内
側火炎に供給するガラス原料層の流速Ｖｍを変化させて
、堆積したガラス微粒子の型部を測定することにより、
ガラス原料の液量に対するガラス原料収率を求めた結果
を第５図に示す。Next, by adjusting the volume of the carrier gas to change the flow velocity Vm of the frit layer supplied to the inner flame, and measuring the mold part of the deposited glass particles,
FIG. 5 shows the results of determining the glass raw material yield with respect to the liquid amount of glass raw material.
第β図かられかるように、ガラス原料層流速Ｖｍが０．
５Ｖｏ ＝ １ｍ／ｓｅｃ近傍を越えるあたりから収率
は急激に低下し、ＶｍがＶｏ＝２ｍ／ｓｅｃ近傍を越え
ると、ガラス原料は火炎とほとんど反応せず、安定した
成長は見られず、多孔質母材を安定に成長させるには、
バーナにおけるＶｍとｖＯに関しては７Ｖｍ≦ｖＯとす
ることが必要であることがわかった。As can be seen from Fig. β, the glass raw material layer flow velocity Vm is 0.
When Vm exceeds the vicinity of 5Vo = 1 m/sec, the yield decreases rapidly, and when Vm exceeds the vicinity of Vo = 2m/sec, the glass raw material hardly reacts with the flame, stable growth is not observed, and the glass becomes porous. To grow the base material stably,
Regarding Vm and vO in the burner, it was found that it is necessary to satisfy 7Vm≦vO.
以上から、高速で安定した母材の成長を得るためには、
内側火炎流の流速Ｖｏとしては、０、Ｉ Ｖｏ＜Ｖｉ＜
２．５ Ｖｏの範囲にあり、かつＶｍ≦ｖＯであること
が好ましく、特にＶｏ＝Ｖｉ≧Ｖｍが最も好ましいこと
がわかる。From the above, in order to obtain fast and stable growth of the base material,
The flow velocity Vo of the inner flame flow is 0, I Vo<Vi<
It can be seen that it is preferably in the range of 2.5 Vo and that Vm≦vO, and most preferably that Vo=Vi≧Vm.
なお、上述の実験ではＶｏ＝ ２ｍ／ｓｅｅとして、Ｖ
ｉおよびＶｍとｖＯとの関係を調べたが、ＶＯの設定は
多孔質母材の成長部付近で乱流が生じない範囲で変化さ
せることができる。ｖＯは作製しようとする多孔質母材
の径および母材形状によって異なり、通常は０．５〜５
ｍ／ｓｅｃの範囲に定める。この範囲で上述と同様の傾
向が得られた。In addition, in the above experiment, Vo = 2m/see, and V
Although the relationship between i and Vm and vO was investigated, the setting of VO can be changed within a range that does not cause turbulence near the growth part of the porous base material. vO varies depending on the diameter and shape of the porous base material to be produced, and is usually 0.5 to 5.
It is set within the range of m/sec. In this range, the same tendency as described above was obtained.
さらに、外側にもう１組の火炎を構成した３重火炎につ
いて、同様な検討を行った。最も内側の１重目火炎の流
速Ｖｉと最も外側の３重目火炎の流速Ｖｏ（２）との関
係を第６図に示す。ここで、２重目火炎の流速をＶｏ（
１）として、Ｖｏ（１） ＝ Ｖｏ（２） 。Furthermore, a similar study was conducted on a triple flame with another set of flames on the outside. FIG. 6 shows the relationship between the flow velocity Vi of the innermost first layer flame and the flow velocity Vo(2) of the outermost third layer flame. Here, the flow velocity of the second flame is Vo(
1), Vo(1) = Vo(2).
Ｖｏ（１） −〇、２Ｖｏ（２）の場合を図示した。３
重火炎においても、同様の関係があることがわかった。The cases of Vo(1) -〇 and 2Vo(2) are illustrated. 3
A similar relationship was found in heavy flames.
特にＶｏ（１） ＝ ０．２Ｖｏ（２）の場合が示すよ
うに流速の異なる火炎が形成されている場合、安定成長
する範囲が狭くなると共に、ガラス微粒子堆積量も全体
に低下する傾向がみられた。In particular, when flames with different flow velocities are formed, as shown in the case of Vo(1) = 0.2Vo(2), the range of stable growth tends to become narrower, and the amount of glass particles deposited tends to decrease overall. It was done.
このように、本発明は２重火炎や３重火炎のみならず一
般的に多重火炎にも適用され、その各々の流速について
、第に番目の火炎の流速ｖｂと第（ｋ＋１）番目の火炎
の流速Ｖ ｋ＋１とに着目したときに両流連間に
０、 ＩＶｋ＋＋ ＜ Ｖｋ＜ ２．５Ｖｋ＋１Ｖｍ
≦ Ｖｋ＋＋
Ｖｉ ≦ ｖｋ
なる条件を満足させることによって、多孔質母材を高速
で、しかも安定かつ再現性よく成長させることができる
。As described above, the present invention is applied not only to double flames and triple flames but also to multiple flames in general, and for each of the flames, the flow velocity vb of the th flame and the flow velocity vb of the (k+1)th flame are determined. When focusing on the flow velocity Vk+1, the relationship between both flows is 0, IVk++ <Vk< 2.5Vk+1Vm
By satisfying the following conditions: ≦Vk++ Vi≦vk, the porous base material can be grown at high speed, stably, and with good reproducibility.
内側火炎あるいは外側火炎部における流速の調整は、バ
ーナ寸法およびノズル間隙を調整すると共に、酸素ガス
および水素ガスの双方あるいは一方の流量を調整するこ
とにより実現できる。Adjustment of the flow velocity in the inner flame or outer flame section can be achieved by adjusting the burner dimensions and nozzle gap, as well as the flow rates of oxygen gas and/or hydrogen gas.
次に、上述した火炎流の好適な流速の状態における内側
火炎の退行距＃文の決定について第７図を参照して説明
する。第７図はバーナの軸方向における火炎温度分布を
内側および外側火炎と対比して示す。ここで、Ｔｃはガ
ラス原料の反応下限を示す温度であり、この温度Ｔｃ以
下ではガラス原料が反応しないでそのままの状態にある
。Next, the determination of the regression distance # of the inner flame under the condition of the above-described preferred flame flow velocity will be explained with reference to FIG. FIG. 7 shows the flame temperature distribution in the axial direction of the burner in contrast to the inner and outer flames. Here, Tc is a temperature indicating the lower limit of reaction of the glass raw material, and below this temperature Tc, the glass raw material does not react and remains in that state.
第７図に示す退行距離Ｍｌの状態（Ａ）では内側火炎８
の下流端と外側火炎８の上流端とが実質的に連続してお
り、火炎温度は下限温度Ｔｃより高い温度で連続してい
る。ここで、連続とは、火炎温度が常に下限温度Ｔｃよ
り高い状態にあることを意味する。退行距８１を大きく
して文２にした状態（Ｂ）では、内側火炎８と外側火炎
９とが分離してしまう。そこで、退行距＃文は、上述し
たように定めた好適なＶｏ、 ＶｉおよびＶｍの条件の
下で、内側火炎８と外側火炎９とが実質的に連続するよ
うに定める。しかも、退行距離見は、このように定めら
れる範囲内でなるべく長くすることによって火炎長が長
くなるので、ガラス微粒子の堆積効率を高めることがで
きる。In the state (A) of the regression distance Ml shown in FIG. 7, the inner flame 8
The downstream end of the outer flame 8 and the upstream end of the outer flame 8 are substantially continuous, and the flame temperature is continuous at a temperature higher than the lower limit temperature Tc. Here, continuous means that the flame temperature is always higher than the lower limit temperature Tc. In the state (B) in which the regression distance 81 is increased and the condition 2 is obtained, the inner flame 8 and the outer flame 9 are separated. Therefore, the regression distance # statement is determined so that the inner flame 8 and the outer flame 9 are substantially continuous under the preferable conditions of Vo, Vi, and Vm determined as described above. Moreover, by making the regression distance as long as possible within the range determined in this manner, the flame length becomes longer, so that the deposition efficiency of glass particles can be increased.
このような流速条件下における２重火炎の効果を第８図
に示す。第８図は２重火炎化した場合としない場合のガ
ラス原料としての５ｉ（ｄＬ。供給量とガラス微粒子体
積量との関係を、直径１５０ｍｍの擬似母材に５ｉ０２
を堆積させたときの堆積速度をガラス原料である５ｉＣ
１゜の供給量に対して示している。ここで、実線が２重
火炎化した場合、破線が内側火炎単独の場合である。ガ
ラス微粒子を堆積して多孔質母材を成長させるための擬
似母材の外形を１５０ｍｍとした。The effect of the double flame under such flow velocity conditions is shown in FIG. Figure 8 shows the relationship between the amount of 5i (dL) supplied and the volume of glass particles as a glass raw material with and without double flame formation.
The deposition rate when depositing 5iC, which is a glass raw material, is
It is shown for a supply amount of 1°. Here, the solid line represents the case where there is a double flame, and the broken line represents the case where there is only an inner flame. The outer diameter of a pseudo base material for growing a porous base material by depositing glass particles was set to 150 mm.
ここで、 Ｓｉ０文。のイ共信合都−を５０００ｃｃ／
ｍ ｉｎとすると、２重火炎へ−すでは５ｇ／ｍｉｎの
堆積速度が得られ、収率は６０〜７０％であった。Here, Si0 sentence. 5000cc/
min in, a deposition rate of 5 g/min was obtained in the dual flame furnace, and the yield was 60-70%.
次に本発明の実施例について）ボベる６第９図に本発明
のガラス微粒子合成用バーナの一実施例を示す。ここで
、２１１ｔガラス原料供給用ノズル、２２はＮ２やプロ
パン、ブタンなどの炭化水素系燃料などの可燃性ガス供
１合用ノズル、２３はＡｒ、Ｈｅ 、Ｎ２などの不活性
ガス供給用ノズル、２４は０２などの支燃性ガス供給用
ノズル、２５は不活性ガス供給用ノズルである。これら
ノズル２２〜２５をノズル２１のまわりにこの順序で同
心円状に配置して内側多重ノズルとなし、可燃性ガスお
よび支燃性ガスにより内側火炎を形成する。さらに、２
６は外側ガラス原料（または不活性ガス）供給用ノズル
、２７は可燃性ガス供給用ノズル、２８は不活性ガス供
給用ノズル、２８は支燃性ガス供給用ノズルであり、こ
れらノズル２６〜２８をノズル２５の才わりにこの順序
で同心円状に配置して外側多重ノズルとなし、可燃性ガ
スおよび支燃性ガスにより外側火炎を形成する。ここで
、内側多重ノズルを外側多重ノズルよりも距Ｍｕだけ退
行させる。３０は外側多重ノズルのまわりに配置したフ
ードである。Next, regarding an embodiment of the present invention) Fig. 9 shows an embodiment of the burner for synthesizing glass fine particles of the present invention. Here, 211t glass raw material supply nozzle; 22 is a nozzle for supplying combustible gas such as N2, propane, and hydrocarbon fuel such as butane; 23 is a nozzle for supplying inert gas such as Ar, He, N2, etc.; 02 is a combustion-supporting gas supply nozzle, and 25 is an inert gas supply nozzle. These nozzles 22 to 25 are arranged concentrically in this order around the nozzle 21 to form an inner multiple nozzle, and an inner flame is formed by the combustible gas and the combustion-supporting gas. Furthermore, 2
6 is an outer glass raw material (or inert gas) supply nozzle, 27 is a combustible gas supply nozzle, 28 is an inert gas supply nozzle, 28 is a combustion-supporting gas supply nozzle, and these nozzles 26 to 28 are arranged concentrically in this order in place of the nozzle 25 to form an outer multiple nozzle, and an outer flame is formed by the combustible gas and the combustion-supporting gas. Here, the inner multiple nozzle is moved back from the outer multiple nozzle by a distance Mu. 30 is a hood arranged around the outer multiple nozzle.
ここで、ガラス原料供給用ノズル２１と、外側ガラス原
料供給用ノズル２６はそれぞれ、その外側にある各組の
可燃性ガス供給用ノズルおよび支燃性ガス供給用ノズル
に対してガス流の上流側に開口部を有するように配置す
る。これは塩化物等の形で供給されるガラス原料が火炎
中で分解されてガラス微粒子となったときに、そのガラ
ス微粒子が原料供給用ノズルの先端に付着することを防
止するためである。すなわち、ガラス微粒子がノズル先
端に伺着すると合成条件が経時的に変化してしまうから
である。Here, the frit supply nozzle 21 and the outer frit supply nozzle 26 are located on the upstream side of the gas flow with respect to each set of combustible gas supply nozzle and combustion-supporting gas supply nozzle located outside thereof. the opening. This is to prevent the glass particles from adhering to the tip of the raw material supply nozzle when the glass raw material supplied in the form of chloride or the like is decomposed in the flame and becomes glass particles. That is, if the glass particles arrive at the nozzle tip, the synthesis conditions will change over time.
また、各ノズルの先端は第８図に示したように片刃状に
加工されていることか望ましい。厚みのある部材で作ら
れ、直角に切断された端部を有するノズルを用いた場合
には、その端部でガス流の乱れを生じ、ガラス微粒子の
ノズル脣端への付着等の間顯を生ずるからである。なお
、各組のノズルにおいて可燃性ガスと支燃性ガスの供給
場所を入れ換えてもバーナの特性に犬きな変化ｌオない
。Further, it is preferable that the tip of each nozzle is machined into a single-edged shape as shown in FIG. When using a nozzle that is made of a thick material and has an end cut at a right angle, turbulence in the gas flow occurs at the end, which may prevent glass particles from adhering to the nozzle edge. This is because it occurs. Note that even if the supply locations of the combustible gas and the combustion-supporting gas are switched in each set of nozzles, there is no significant change in the characteristics of the burner.
次に第８図示の２重火炎バーナにおいてバーナ外径５３
ｍｍ、運行距＃ｕ＝８０ｍｍとし、このバーナに対し、
本発明の製造方法を適用して多孔質母材の作製を行った
実施例を示す。Next, in the double flame burner shown in Fig. 8, the burner outer diameter is 53.
mm, travel distance #u = 80 mm, and for this burner,
An example will be shown in which a porous base material was manufactured by applying the manufacturing method of the present invention.
実施例１
実施例１は５ｉ０２のみから成る多孔質母材の製造に関
するものであり、多重火炎バーナとして、上述の流速モ
デル実験で使用した同心円状多重ノズル構造の２重火炎
バーナを使用した。Example 1 Example 1 relates to the production of a porous base material consisting only of 5i02, and the multiple flame burner used was a double flame burner with a concentric multiple nozzle structure used in the above flow rate model experiment.
第９図示の２重火炎バーナにおいて、外側火炎流流速、
内側火炎流流速および原料層流速を、それぞれ、２．１
ｍ／ ｓｅｃ 、 ２．１ｍ／ ｓｅｃおよび０．７ｍ
／ｓｅｃとした。原料供給用ノズルにはアルゴンガスを
キャリアとして四塩化ケイ素２２００ｃｃ／ｍｉｎを供
給した。母材合成速度は３．５ｇ／ｍｉｎ 、ガラス原
料収率は６５％であった。母材成長は非常に安定であり
、１０時間で直径１２０１で有効長８００ｍｍの大形多
孔質母材が得られた。１０時間という長時間の母材作製
においても成長面の形状などは変化せず、安定な成長が
なされた。In the double flame burner shown in FIG. 9, the outer flame flow velocity,
The inner flame flow velocity and the raw material layer flow velocity are respectively 2.1
m/sec, 2.1m/sec and 0.7m
/sec. Silicon tetrachloride was supplied at 2200 cc/min to the raw material supply nozzle using argon gas as a carrier. The base material synthesis rate was 3.5 g/min, and the glass raw material yield was 65%. The growth of the matrix was very stable, and a large porous matrix with a diameter of 120 mm and an effective length of 800 mm was obtained in 10 hours. Even during the preparation of the base material for a long time of 10 hours, the shape of the growth surface did not change, and stable growth was achieved.
実施例２
実施例２はＧｅＯ２を添加した屈折率分布を有する母材
用の多孔質母材の製造方法の実施例である。ここで固溶
した二酸化ゲルマニウムを形成させるためにＧｅＯ２を
添加しない場合に比較して、火炎温度を下げる必要があ
った。また、合成速度を増加させると共に屈折率分布を
調整するために下記に示すように外側火炎にもガラス原
料を供給した。Example 2 Example 2 is an example of a method for producing a porous base material for a base material having a refractive index distribution doped with GeO2. Here, in order to form germanium dioxide in solid solution, it was necessary to lower the flame temperature compared to the case where GeO2 was not added. Further, in order to increase the synthesis rate and adjust the refractive index distribution, a glass raw material was also supplied to the outer flame as shown below.
バーナとしては実施例１と同じ第９図示の２重火炎バー
ナを用い、外側火炎流流速、内側火炎流流速および原料
流流速を、それぞれ、２．Ｏｎ＋／ｓｅｅ、２．０ｍ／
ｓｅｅおよび０．８ｍ／ｓｅｃとなし、ガラス原料とし
て、実施例１と同条件の四塩化ケイ素に加えて四塩化ゲ
ルマニウムを２００ｃｃ／ｍｉｎやはりアルゴンガスを
キャリアとして供給した。母材合成速度は４．５ｇ／ｍ
ｉｎであり、比屈折率差１．１％が得られた。As the burner, the same double flame burner shown in FIG. 9 as in Example 1 was used, and the outer flame flow velocity, inner flame flow velocity, and raw material flow velocity were set to 2. On+/see, 2.0m/
see and 0.8 m/sec, and as a glass raw material, in addition to silicon tetrachloride under the same conditions as in Example 1, germanium tetrachloride was supplied at 200 cc/min with argon gas as a carrier. Base material synthesis rate is 4.5g/m
in, and a relative refractive index difference of 1.1% was obtained.
この実施例によれば、本発明の製造方法は、屈折率制御
用のドーパントを含有したガラス母材２含成にも有効で
あることが明らかになった。According to this example, it was revealed that the manufacturing method of the present invention is also effective for the glass base material 2 containing a dopant for controlling the refractive index.
なお、外側火炎にもガラス原料と供給すれば更に堆積速
度は向上するが、外側火炎内では、合成されたガラス微
粒子の火炎内での滞在時間のに長の効果はないので、全
ガラス原料供給量に対するガラス原料収率は多少低下す
ることが確認された。本例では原料収率は、５５％であ
った。ここで、ガラス原料収率が低下したのは、四塩化
ゲルマニウムの収率が四塩化ケイ素に比較して低いこと
と、外側火炎に供給したガラス原料収率が内側火炎に供
給したガラス原料収率より低いことに寄因している。Note that if glass raw materials are also supplied to the outer flame, the deposition rate will be further improved, but in the outer flame, there is no effect on the residence time of the synthesized glass fine particles in the flame, so it is necessary to supply all the glass raw materials. It was confirmed that the glass raw material yield relative to the amount decreased somewhat. In this example, the raw material yield was 55%. Here, the reason for the decrease in the yield of frit is that the yield of germanium tetrachloride is lower than that of silicon tetrachloride, and the yield of frit supplied to the outer flame is lower than the yield of frit supplied to the inner flame. This is due to the fact that it is lower.
［効果］
以上説明したように、本発明によれば、火炎を多重化し
、その各々の火炎の火炎流速を相等しくするなど最適に
定め、しかも内側火炎を外側火炎よりも退行させること
により、大形母材を高速にかつ安定に製造することがで
きる。その結果、母材製造効率が改善され、光ファイバ
価格を低下させることができる効果がある。[Effects] As explained above, according to the present invention, flames are multiplexed, the flame velocity of each flame is set to be equal to each other, and the inner flame is caused to regress more than the outer flame. The shape base material can be manufactured at high speed and stably. As a result, the base material manufacturing efficiency is improved and the cost of optical fibers can be reduced.
第１図は火炎の多重化構成の概略を示す線図、
第２図はガラス微粒子の粒径と火炎内滞留時間との関係
を示す特性図、
第３図は本発明における２重火炎バーナでの各部流速お
よび退行距離の説明図、
第４図は本発明におけるガラス微粒子堆積量の内側火炎
の火炎流流速依存性を示す特性図、第５図はガラス微粒
子収率のガラス原料層流速依存性を示す特性図、
第６図は本発明におけるガラス微粒子堆積量の内側火炎
の火炎流流速依存性を示す特性図、第７図はバーナ軸方
向における内側火炎の退行距離と火炎温度との関係を示
す火炎温度分布図、
第８図は単独の火炎および２重火炎におけるガラス原料
供給量とガラス微粒子堆積量との関係を示す特性図、
第９図は２重火炎バーナの一実施例を示す断面図である
。
１・・・内側火炎用ガラス原料供給口、２・・・内側火
炎用燃焼ガス供給口、
３・・・外側火炎用ガラス原料供給口、４・・・外側火
炎用燃焼ガス供給口、
５・・・内側火炎用ノズル、
６・・・外側火炎用ノズル、
７・・・ガラス原料層、
８・・・内側火炎、
８・・・外側火炎、
１０・・・生成したガラス微粒子、
１１・・・多孔質母材、
２１・・・ガラス原料供給用ノズル、
２２・・・可燃性ガス供給田ノズル、
２３・・・不活性ガス供給用ノズル、
２４・・・支燃性ガス供給用ノズル、
２５・・・不活性ガス供給用ノズル、
２Ｂ・・・外側ガラス原料（または不活性ガス）供給用
ノズル、
２７・・・可燃性ガス供給用ノズル、
２８・・・不活性ガス供給用ノズル、
２８・・・支燃性ガス供給用ノズル、
３０・・・フード。
特許出願人 日本電信電話公社
代 理 人 弁理士 谷 義 −
手続補正書
昭和６０年２月２１日
特許庁長官 志 賀 学 殿
１、事件の表示
昭和６０年２月１２日提出の＃許願（３）２）発明の名
称
光ファイバ母材の製造方法および
光ファイバ母材製造用バーナ
３、補正をする者
事件との関係 特許出願人
（４２２）日本電信電話公社
４、代理人
住所〒１０７
東京都港区赤坂５丁目１番３１号
第６セイコービル３階
６、補正の対象
明細書の「２）特許請求の範囲」の欄および「３、発明
の詳細な説明」の欄
７、補正の内容
別紙の通り
１）特許請求の範囲を別紙の通り訂正する。
２）明細書第１３頁第２行目を［し、ガラス微粒子を種
棒に堆積させて多孔質母材を形成」に訂正する。
３）同頁第１２行目０’） ［Ｏ，ＩＶｋ＋１＜ ｖｋ
＜２．５Ｖｋ＋ＩＪ ヲｒＱ．１Ｖｋ＋１≦Ｖｋ≦２．
５Ｖｋ＋＋Ｊ ニ訂正する。
４）同頁下から第１行目〜同第１４頁第１行目を「ス微
粒子を生成することを特徴とす」に訂正する。
５）同第１４頁第５行目を「微粒子を種棒に堆積させて
多孔質母材を形成し、多孔質」に訂正する。
６）同頁第１６行目〜第１７行目を「てガラス微粒子を
生成することを特徴」に訂正する。
７）同第１５頁第１行目を「微粒子を種棒に堆積させて
多孔質母材を形成し、多孔質」に訂正する。
８）同頁第１１行目（７） ｒｏ．１Ｖｋ＋１＜ Ｖｋ
＜２．５Ｖｋ＋＋Ｊをｒｏ．１Ｖｋ＋１≦Ｖｋ≦２．５
Ｖｋ＋＋Ｊ ニ訂正する。
９）同第１６頁第１行目〜第２行目を「給してガラス微
粒子を生成することを」に訂正する。
１０）同第１８頁下から第６行目を
ｒｏ、ＩＶｏ≦ｌ／ｉ ≦２．５Ｖｏ Ｏ’）範囲にあ
り、カッＶｍ≦ｖＯで」に訂正する。
１１）同第２１頁第１行目を
ｒＱ、ＩＶｋ＋４≦Ｖｋ≦２．５Ｖｋ＋＋Ｊに訂正する
。
１２）同第２３頁第１行目〜第３行目を「線が内側火炎
単独の場合である。ｊに訂正する。
１３）同第２５頁第８行目の「運行距離」を「退行距離
」に訂正する。
１４）同第２７頁第６行目を［折率制御用のドーパント
を含有したガラス母材の」に訂正する。
以］二
別 紙
２）特許請求の範囲
ｌ）火炎内でガラス原料を分解してガラス微粒子を形成
し、該ガラス微粒子を１豊工堆積させて多孔質母材を形
成し、該多孔質母材を透明ガラス化して光ファイバ用母
材を形成する光ファイバ母材の製造方法において、
前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料
供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ個別
の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルを有
するバーナな用い、
前記複数の火炎のうち、第に番目の火炎の流速をｖｋ
＋前記該第に番目の火炎の外側の第（ｋ＋１）番目の火
炎の流速をＶ ｋ＋１および前記ガラス原料の流速をＶ
ｍとするときに、
虹バ鼠蛋］Ｌ５」」口〜１
Ｖｍ≦Ｖｋ＋１
ｖＩＩｌ≦Ｖｋ
なる条件を満たすようになし、
前記第に番目の火炎流を前記第（ｋ＋１）番目の火炎流
より退行させて得られる多重火炎中に前記ガラス原料を
供給してガラス微粒子を生成口ことを特徴とする光ファ
イバ母材の製造方法。
２）特許請求の範囲第１項記載の光ファイバ母材の製造
方法において、
Ｖｋ＋＋ ＝ Ｖｋ≧Ｖｍ
なる条件を満たすようにすることを特徴とする光ファイ
バ旬月の製造方法。
３）火炎内でガラス原料を分解してガラス微粒子を形成
し、該ガラス微粒子を１蔓工堆積させて多孔質母材を形
成し、該多孔質母材を透明ガラス化して光ファイバ用母
材を形成する光ファイバ母材の製造方法において、
前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料
供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ個別
の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルを有
するバーナを用い、
ｊ％に番目の火炎流１）５（ｋ＋１）番目の火炎流より
退行させ、その際に前記第に番目の火炎流の下流端と前
記第（ｋ＋１）番目の火炎流の上流端とが実質的に連続
するように前記退行の距離を定め、
得られる多重火炎中に前記ガラス原料を供給してガラス
微粒子を生成ｔ（ことを特徴とする光ファイバ母材の製
造方法。
４）火炎内でガラス原料を分解してガラス微粒子を形成
し、該ガラス微粒子を１蔓工堆積させて多孔質母材を形
成し、該多孔質母材を透明ガラス化して光ファイバ用母
材を形成する光ファイバ母材の製造方法において、
前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料
供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ個別
の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルを有
するバーナな用い、
前記複数の火炎のうち、第に番目の火炎の流速な Ｖｋ
ＬＭ第に番目の火炎の外側の第（ｋ＋１）番目の火炎の
流速をＶ ｋ＋１および前記ガラス原ネ１の流速をＶｍ
とするときに、０、ＩＶｂ＋＋＜ Ｖ ＜ ２．５
Ｖｋ＋１Ｖｍ≦Ｖｋ＋１
Ｖｍ≦Ｖｋ
なる条件を満たすようになし、
前記第に番目の火炎流を前記第（ｋ＋１）番目の火炎流
より退行させ、その際に前記第に番目の火炎流の下流端
と前記第（ｋ＋１）番目の火炎流の上流端とが実質的に
連続−するように前記退行の距離を定め、
得られる多重火炎中に前記ガラス原料を供給してガラス
微粒子を生成ｔ（ことを特徴とする光ファイバ母材の製
造方法。
５）特許請求の範囲第４項記載の光ファイバ母材の製造
方法において、
ｖｋ＋１−ｖｋ≧ｖｍ
なる条件を満たすようにすることを特徴とする光ファイ
バ母材の製造方法。
６）火炎内でガラス原料を分解してガラス微粒子を形成
する光ファイバ母材製造用バーナにおいて、
前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料
供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ、個
別の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルと
、前記複数の火炎形成用ノズルの間に配置され、ガラス
原料を供給する外側供給用ノズルとを具え、
前記複数の火炎形成用ノズルのうち、−のノズルの開口
部を当該−のノズルより外側の火炎形成用ノズルの開口
部より上流側に配置し、前記火炎形成用ノズルの各々は
可燃性ガス供給用ノズルおよび支燃性ガス供給用ノズル
を有し、前記原料供給用ノズルおよび前記原料供給用ノ
ズルの各々の開口部を、前記火炎形成用ノズルの各々に
おける前記可燃性ガス供給用ノズルおよび前記支燃性ガ
ス供給用ノズルの開口部よりも上流側に配設したことを
特徴とする光ファイバ母材製造用バーナ。
７）特許請求の範囲第６項記載の光ファイバ母材製造用
バーナにおいて、前記ノズルの各々の開口部の先端の断
面は片刃形状であることを特徴とする光ファイバ母材製
造用バーナ。
８）特許請求の範囲第８項または第７項記載の光ファイ
バＩ製造用バーナにおいて、前記二９火炎形成用ノズル
の開口部と前記−のノズルよ史五に火炎形成用ノズルの
開口部との１懇を調節可能にしたことを特徴とする光フ
ァイバ母材製造用バーナ。
（以下、余白）Fig. 1 is a diagram showing the outline of the flame multiplexing configuration, Fig. 2 is a characteristic diagram showing the relationship between the particle size of glass fine particles and the residence time in the flame, and Fig. 3 is a diagram showing the relationship between the particle size of glass particles and the residence time in the flame. Fig. 4 is a characteristic diagram showing the dependence of the amount of glass particles deposited on the flame flow velocity of the inner flame in the present invention, and Fig. 5 is a diagram showing the dependence of the glass particle yield on the flow velocity of the glass raw material layer. FIG. 6 is a characteristic diagram showing the dependence of the amount of glass particle deposition on the flame flow velocity of the inner flame in the present invention, and FIG. 7 is a characteristic diagram showing the relationship between the regression distance of the inner flame in the burner axial direction and the flame temperature. Figure 8 is a characteristic diagram showing the relationship between glass raw material supply amount and glass particle deposition amount in single flame and double flame, Figure 9 is a cross section showing an example of a double flame burner. It is a diagram. 1... Glass raw material supply port for inner flame, 2... Combustion gas supply port for inner flame, 3... Glass raw material supply port for outer flame, 4... Combustion gas supply port for outer flame, 5. ... Inner flame nozzle, 6... Outer flame nozzle, 7... Glass raw material layer, 8... Inner flame, 8... Outer flame, 10... Generated glass particles, 11... - Porous base material, 21... Glass raw material supply nozzle, 22... Flammable gas supply field nozzle, 23... Inert gas supply nozzle, 24... Combustion-supporting gas supply nozzle, 25... Inert gas supply nozzle, 2B... Outer glass raw material (or inert gas) supply nozzle, 27... Flammable gas supply nozzle, 28... Inert gas supply nozzle, 28... Nozzle for supplying combustion-supporting gas, 30... Hood. Patent Applicant Nippon Telegraph and Telephone Public Corporation Representative Patent Attorney Yoshi Tani −
Procedural amendment February 21, 1985 Mr. Manabu Shiga, Commissioner of the Patent Office1, Indication of the case #Application (3) filed on February 12, 1985 2) Title of invention Method for manufacturing optical fiber base material and light Burner for manufacturing fiber base material 3, relationship with the amended case Patent applicant (422) Nippon Telegraph and Telephone Public Corporation 4, agent address 3rd floor, 6th Seiko Building, 5-1-31 Akasaka, Minato-ku, Tokyo 107 6. Column “2) Claims” and “3. Detailed Description of the Invention” column 7 of the specification to be amended, contents of the amendment as shown in the attached sheet 1) Correct the scope of claims as shown in the attached sheet . 2) The second line of page 13 of the specification is corrected to ``and glass fine particles are deposited on a seed rod to form a porous base material.'' 3) Same page, line 12, 0') [O, IVk+1< vk
<2.5Vk+IJ worQ. 1Vk+1≦Vk≦2.
5Vk++J d Correct. 4) Correct the 1st line from the bottom of the same page to the 1st line of the 14th page to ``characterized by the generation of fine particles.'' 5) Correct the 5th line of page 14 to read, ``Fine particles are deposited on a seed rod to form a porous matrix.'' 6) Correct lines 16 to 17 on the same page to read, "The feature is that glass fine particles are produced." 7) Correct the first line of page 15 to read, ``Fine particles are deposited on a seed rod to form a porous matrix.'' 8) Same page, line 11 (7) ro. 1Vk+1<Vk
<2.5Vk++J ro. 1Vk+1≦Vk≦2.5
Vk++J d Correct. 9) On page 16, lines 1 and 2 are corrected to "supply glass particles to produce glass particles." 10) Correct the 6th line from the bottom of page 18 to ro, IVo≦l/i≦2.5Vo O') and Vm≦vO. 11) Correct the first line of page 21 to rQ, IVk+4≦Vk≦2.5Vk++J. 12) Lines 1 to 3 of page 23 of the same page are corrected to ``This is the case where the line is an inner flame alone. Correct to "distance". 14) Correct the 6th line of page 27 to read "of the glass base material containing a dopant for controlling the refractive index." ]2 Attachment 2) Claims l) A glass raw material is decomposed in a flame to form glass fine particles, and the glass fine particles are deposited to form a porous base material; A method for manufacturing an optical fiber preform in which a preform for an optical fiber is formed by transparently vitrifying a material, comprising: a raw material supply nozzle for supplying the glass raw material; A burner having a plurality of flame forming nozzles that sequentially forms a flame stream of
+ the flow velocity of the (k+1)th flame outside the said th flame is V k+1 and the flow velocity of the glass raw material is V
When m, the following conditions are satisfied, and the above-mentioned th flame flow is regressed from the above-mentioned (k+1)th flame flow. A method for producing an optical fiber preform, characterized in that the glass raw material is fed into the multiple flames obtained by the above-described process to generate glass particles. 2) A method for manufacturing an optical fiber base material according to claim 1, characterized in that the following condition is satisfied: Vk++ = Vk≧Vm. 3) Decompose the glass raw material in a flame to form glass fine particles, deposit one glass fine particle to form a porous base material, and convert the porous base material into transparent glass to obtain a base material for optical fiber. A method for producing an optical fiber preform comprising: a raw material supply nozzle for supplying the glass raw material; and a plurality of flames sequentially arranged around the raw material supply nozzle, each of which sequentially forms an individual flame flow. Using a burner having a forming nozzle, the flame stream 1) is caused to regress from the 5(k+1)th flame stream to j%, and at that time, the downstream end of the flame stream and the (k+1)th flame stream are An optical fiber preform characterized in that the regression distance is determined so that the upstream end of the flame flow is substantially continuous with the upstream end of the flame flow, and the glass raw material is supplied into the resulting multiple flames to produce glass particles. 4) A glass raw material is decomposed in a flame to form glass fine particles, one glass fine particle is deposited to form a porous base material, the porous base material is made into transparent glass, and light is emitted. A method for manufacturing an optical fiber preform that forms a fiber preform includes: a raw material supply nozzle for supplying the glass raw material; and a raw material supply nozzle that is sequentially arranged around the raw material supply nozzle to sequentially form individual flame streams. A burner having a plurality of flame forming nozzles with a flow velocity of Vk of the second flame among the plurality of flames.
The flow velocity of the (k+1)th flame outside the LMth flame is Vk+1, and the flow velocity of the glass raw material 1 is Vm.
When 0, IVb++<V<2.5
Vk+1Vm≦Vk+1 Vm≦Vk, the second flame flow is made to regress from the (k+1)th flame flow, and at that time, the downstream end of the second flame flow and the The regression distance is determined so that the upstream end of the (k+1)th flame flow is substantially continuous, and the glass raw material is supplied into the resulting multiple flames to produce glass particles. 5) In the method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 4, the optical fiber preform satisfies the following condition: vk+1−vk≧vm. Method of manufacturing wood. 6) A burner for manufacturing an optical fiber preform that decomposes a glass raw material in a flame to form glass particles, comprising: a raw material supply nozzle for supplying the glass raw material; and a raw material supply nozzle arranged in sequence around the raw material supply nozzle; a plurality of flame-forming nozzles each sequentially forming a separate flame stream; and an outer feed nozzle disposed between the plurality of flame-forming nozzles for supplying frit; Among the nozzles for use, the opening of the - nozzle is arranged upstream of the opening of the flame formation nozzle outside the - nozzle, and each of the flame formation nozzles is a combustible gas supply nozzle and a combustion support nozzle. a flammable gas supply nozzle, and the openings of the raw material supply nozzle and the raw material supply nozzle are connected to the combustible gas supply nozzle and the combustion supporting gas supply nozzle in each of the flame formation nozzles. A burner for producing an optical fiber preform, characterized in that it is disposed upstream of the opening of a nozzle. 7) A burner for manufacturing an optical fiber preform as set forth in claim 6, wherein the cross section of the tip of each opening of the nozzle is a single-edged shape. 8) In the burner for manufacturing optical fiber I according to claim 8 or 7, the opening of the flame forming nozzle (29) and the nozzle (-) are further combined with the opening of the flame forming nozzle. 1. A burner for manufacturing an optical fiber base material, characterized in that the length of the burner can be adjusted. (Hereafter, margin)
Claims (1)
し、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質母材を形成し、
該多孔質母材を透明ガラス化して光ファイバ用母材を形
成する光ファイバ母材の製造方法において、 前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料
供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ個別
の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルを有
するバーナを用い、 前記複数の火炎のうち、第ｋ番目の火炎の 流速をＶ＿ｋ、前記該第ｋ番目の火炎の外側の第（ｋ＋
１）番目の火炎の流速をＶ＿ｋ＿＋＿１および前記ガラ
ス原料の流速をＶ＿ｍとするときに、 ０．１Ｖ＿ｋ＿＋＿１＜Ｖ＿ｋ＜２．５Ｖ＿ｋ＿＋＿１
Ｖ＿ｍ≦Ｖ＿ｋ＿＋＿１ Ｖ＿ｍ≦Ｖ＿ｋ なる条件を満たすようになし、 前記第ｋ番目の火炎流を前記第（ｋ＋１）番目の火炎流
より退行させて得られる多重火炎中に前記ガラス原料を
供給してガラス微粒子を生成し、 該ガラス微粒子を出発材に堆積させて多孔質母材を成長
させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 ２）特許請求の範囲第１項記載の光ファイバ母材の製造
方法において、 Ｖ＿ｋ＿＋＿１＝Ｖ＿ｋ≧Ｖ＿ｍ なる条件を満たすようにすることを特徴とする光ファイ
バ母材の製造方法。 ３）火炎内でガラス原料を分解してガラス微粒子を形成
し、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質母材を形成し、
該多孔質母材を透明ガラス化して光ファイバ用母材を形
成する光ファイバ母材の製造方法において、 前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料
供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ個別
の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルを有
するバーナを用い、 前記第ｋ番目の火炎流を前記第（ｋ＋１）番目の火炎流
より退行させ、その際に前記第ｋ番目の火炎流の下流端
と前記第（ｋ＋１）番目の火炎流の上流端とが実質的に
連続するように前記退行の距離を定め、 得られる多重火炎中に前記ガラス原料を供給してガラス
微粒子を生成し、 該ガラス微粒子を出発材に堆積させて多孔質母材を成長
させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 ４）火炎内でガラス原料を分解してガラス微粒子を形成
し、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質母材を形成し、
該多孔質母材を透明ガラス化して光ファイバ用母材を形
成する光ファイバ母材の製造方法において、 前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料
供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ個別
の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルを有
するバーナを用い、 前記複数の火炎のうち、第ｋ番目の火炎の 流速をＶ＿ｋ、前記該第ｋ番目の火炎の外側の第（ｋ＋
１）番目の火炎の流速をＶ＿ｋ＿＋＿１および前記ガラ
ス原料の流速をＶ＿ｍとするときに、 ０．１Ｖ＿ｋ＿＋＿１＜Ｖ＿ｋ＜２．５Ｖ＿ｋ＿＋＿１
Ｖ＿ｍ≦Ｖ＿ｋ＿＋＿１ Ｖ＿ｍ≦Ｖ＿ｋ なる条件を満たすようになし、 前記第ｋ番目の火炎流を前記第（ｋ＋１）番目の火炎流
より退行させ、その際に前記第ｋ番目の火炎流の下流端
と前記第（ｋ＋１）番目の火炎流の上流端とが実質的に
連続するように前記退行の距離を定め、 得られる多重火炎中に前記ガラス原料を供給してガラス
微粒子を生成し、 該ガラス微粒子を出発材に堆積させて多孔質母材を成長
させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 ５）特許請求の範囲第４項記載の光ファイバ母材の製造
方法において、 Ｖ＿ｋ＿＋＿１≒Ｖ＿ｋ≧Ｖ＿ｍ なる条件を満たすようにすることを特徴とする光ファイ
バ母材の製造方法。 ６）火炎内でガラス原料を分解してガラス微粒子を形成
する光ファイバ母材製造用バーナにおいて、 前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料
供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ、個
別の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルと
、前記複数の火炎形成用ノズルの間に配置され、ガラス
原料を供給する外側供給用ノズルとを具え、 前記複数の火炎形成用ノズルのうち、一のノズルの開口
部を当該一のノズルより外側の火炎形成用ノズルの開口
部より上流側に配置し、前記火炎形成用ノズルの各々は
可燃性ガス供給用ノズルおよび支燃性ガス供給用ノズル
を有し、前記原料供給用ノズルおよび前記原料供給用ノ
ズルの各々の開口部を、前記火炎形成用ノズルの各々に
おける前記可燃性ガス供給用ノズルおよび前記支燃性ガ
ス供給用ノズルの開口部よりも上流側に配設したことを
特徴とする光ファイバ母材製造用バーナ。 ７）特許請求の範囲第６項記載の光ファイバ母材製造用
バーナにおいて、前記ノズルの各々の開口部の先端の断
面は片刃形状であることを特徴とする光ファイバ母材製
造用バーナ。 ８）特許請求の範囲第６項または第７項記載の光ファイ
バ製造用バーナにおいて、前記内側火炎形成用ノズルの
開口部と前記外側火炎形成用ノズルの開口部との相対位
置を調節可能にしたことを特徴とする光ファイバ母材製
造用バー ナ。[Claims] 1) decomposing glass raw materials in a flame to form glass fine particles, and depositing the glass fine particles to form a porous matrix;
A method for producing an optical fiber preform in which the porous preform is transparently vitrified to form an optical fiber preform, comprising: a raw material supply nozzle for supplying the glass raw material; and a raw material supply nozzle arranged sequentially around the raw material supply nozzle. using a burner having a plurality of flame forming nozzles that sequentially form individual flame streams, the flow velocity of the k-th flame among the plurality of flames is V_k, and the outside of the k-th flame is of (k+
1) When the flow velocity of the second flame is V_k_+_1 and the flow velocity of the glass raw material is V_m, 0.1V_k_+_1<V_k<2.5V_k_+_1
V_m≦V_k_+_1 V_m≦V_k The glass raw material is supplied into a multiple flame obtained by regressing the k-th flame flow from the (k+1)-th flame flow to form glass fine particles. 1. A method for producing an optical fiber preform, comprising: producing a porous preform, and depositing the glass particles on a starting material to grow a porous preform. 2) A method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, characterized in that the following condition is satisfied: V_k_+_1=V_k≧V_m. 3) decomposing the glass raw material in a flame to form glass fine particles, and depositing the glass fine particles to form a porous matrix;
A method for producing an optical fiber preform in which the porous preform is transparently vitrified to form an optical fiber preform, comprising: a raw material supply nozzle for supplying the glass raw material; and a raw material supply nozzle arranged sequentially around the raw material supply nozzle. using a burner having a plurality of flame forming nozzles that sequentially form individual flame streams, the k-th flame stream is regressed from the (k+1)-th flame stream, and the k-th flame stream is determining the regression distance so that the downstream end of the k-th flame stream and the upstream end of the (k+1)-th flame stream are substantially continuous, and supplying the glass raw material into the resulting multiple flame stream. A method for producing an optical fiber preform, comprising: generating glass fine particles; and depositing the glass fine particles on a starting material to grow a porous preform. 4) decomposing the glass raw material in a flame to form glass fine particles, and depositing the glass fine particles to form a porous matrix;
A method for producing an optical fiber preform in which the porous preform is transparently vitrified to form an optical fiber preform, comprising: a raw material supply nozzle for supplying the glass raw material; and a raw material supply nozzle arranged sequentially around the raw material supply nozzle. using a burner having a plurality of flame forming nozzles that sequentially form individual flame streams, the flow velocity of the k-th flame among the plurality of flames is V_k, and the outside of the k-th flame is of (k+
1) When the flow velocity of the second flame is V_k_+_1 and the flow velocity of the glass raw material is V_m, 0.1V_k_+_1<V_k<2.5V_k_+_1
The conditions V_m≦V_k_+_1 and V_m≦V_k are satisfied, and the k-th flame flow is caused to regress from the (k+1)-th flame flow, and at that time, the downstream end of the k-th flame flow and the Determining the regression distance so that the upstream end of the (k+1)th flame flow is substantially continuous, supplying the glass raw material into the resulting multiple flames to generate glass fine particles, and producing glass fine particles. A method for producing an optical fiber preform, which comprises growing a porous preform by depositing it on a starting material. 5) A method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 4, characterized in that the following condition is satisfied: V_k_+_1≒V_k≧V_m. 6) A burner for manufacturing an optical fiber preform that decomposes a glass raw material in a flame to form glass particles, comprising: a raw material supply nozzle for supplying the glass raw material; and a raw material supply nozzle arranged in sequence around the raw material supply nozzle; a plurality of flame-forming nozzles each sequentially forming a separate flame stream; and an outer feed nozzle disposed between the plurality of flame-forming nozzles for supplying frit; The opening of one of the flame-forming nozzles is arranged upstream of the opening of the flame-forming nozzle outside the one nozzle, and each of the flame-forming nozzles is a combustible gas supply nozzle and a combustion-supporting nozzle. a flammable gas supply nozzle, and the openings of the raw material supply nozzle and the raw material supply nozzle are connected to the combustible gas supply nozzle and the combustion supporting gas supply nozzle in each of the flame formation nozzles. A burner for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that it is disposed upstream of a nozzle opening. 7) A burner for manufacturing an optical fiber preform as set forth in claim 6, wherein the cross section of the tip of each opening of the nozzle is a single-edged shape. 8) In the optical fiber manufacturing burner according to claim 6 or 7, the relative position of the opening of the inner flame forming nozzle and the opening of the outer flame forming nozzle is adjustable. A burner for manufacturing an optical fiber base material, which is characterized by:
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2348885A JPS61186239A (en) | 1985-02-12 | 1985-02-12 | Production of parent material for optical fiber and burner therefor |
| CA000475011A CA1284921C (en) | 1984-02-27 | 1985-02-22 | Method, apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform |
| US06705362 US4618354B1 (en) | 1984-02-27 | 1985-02-25 | Method,apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform |
| AU39122/85A AU556545B2 (en) | 1984-02-27 | 1985-02-25 | Producing optical fibre preforms |
| DE8585301304T DE3575414D1 (en) | 1984-02-27 | 1985-02-26 | METHOD, DEVICE AND BURNER FOR PRODUCING A PREFORM FOR OPTICAL FIBERS. |
| EP85301304A EP0154500B1 (en) | 1984-02-27 | 1985-02-26 | Method, apparatus and burner for fabrication an optical fiber preform |
| AU60205/86A AU586490B2 (en) | 1979-06-12 | 1986-07-14 | Burner for fabricating an optical fiber preform |
| AU60204/86A AU584223B2 (en) | 1984-02-27 | 1986-07-14 | Apparatus for fabricating an optical fiber preform |
| US07/054,886 US4801322A (en) | 1984-02-27 | 1987-05-27 | Method, apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2348885A JPS61186239A (en) | 1985-02-12 | 1985-02-12 | Production of parent material for optical fiber and burner therefor |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10745591A Division JPH0672026B2 (en) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Burner for manufacturing optical fiber preform |
| JP10745491A Division JPH0672025B2 (en) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Method for manufacturing optical fiber preform |
| JP10745391A Division JPH0672024B2 (en) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Method for manufacturing optical fiber preform |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61186239A true JPS61186239A (en) | 1986-08-19 |
| JPH0416418B2 JPH0416418B2 (en) | 1992-03-24 |
Family
ID=12111896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2348885A Granted JPS61186239A (en) | 1979-06-12 | 1985-02-12 | Production of parent material for optical fiber and burner therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61186239A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5396104A (en) * | 1989-03-28 | 1995-03-07 | Nippon Steel Corporation | Resin coated bonding wire, method of manufacturing the same, and semiconductor device |
| WO2005005331A1 (en) * | 2003-07-10 | 2005-01-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of manufacturing optical fiber base material |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS60112636A (en) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Burner for synthesizing fine glass particle |
-
1985
- 1985-02-12 JP JP2348885A patent/JPS61186239A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60112636A (en) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Burner for synthesizing fine glass particle |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5396104A (en) * | 1989-03-28 | 1995-03-07 | Nippon Steel Corporation | Resin coated bonding wire, method of manufacturing the same, and semiconductor device |
| WO2005005331A1 (en) * | 2003-07-10 | 2005-01-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of manufacturing optical fiber base material |
| CN100412015C (en) * | 2003-07-10 | 2008-08-20 | 信越化学工业株式会社 | Method of manufacturing optical fiber base material |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0416418B2 (en) | 1992-03-24 |
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