JPS6118476A - 圧電振動子 - Google Patents

圧電振動子

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Publication number
JPS6118476A
JPS6118476A JP13948984A JP13948984A JPS6118476A JP S6118476 A JPS6118476 A JP S6118476A JP 13948984 A JP13948984 A JP 13948984A JP 13948984 A JP13948984 A JP 13948984A JP S6118476 A JPS6118476 A JP S6118476A
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JP
Japan
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electrode
layer
electrode layer
nickel
piezoelectric vibrator
Prior art date
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Pending
Application number
JP13948984A
Other languages
English (en)
Inventor
正治 神原
実 高橋
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
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  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば超音波加湿器の超音波振動子等として
利用するのに好適な圧電振動子に関する。
従来技術 従来のこの種の圧電振動子は1例えば第4図に例示する
ように、圧電磁器素体lの表面に、銀を主成分とする第
1電極層2を設けると共に、この第1電極層2に2する
保護膜として、銀以外の金属を主成分とする第2電極層
3を設けた二層構造となっていた。前記第1電極層2は
特性の向上及び安定化等の観点から、通常、銀焼付は電
極として形成される。第2電極層3は第1電極層2に対
する保護層として耐酸化性、寿命特性等を向上させるた
めに設けられたもので、Niメッキ等によって形成され
る。
なお、超音波加湿器の超音波振動子として利用する場合
には、前述の2層構造で成る電極(イ)、(ロ)を圧電
磁器素体1の相対向する両面にそれぞれ形成し、電極(
イ)のある面側を超音波放射面として利用する。
従来技術の欠点 しかし、Niメッキ等で成る第2電極層3を最外層とす
る従来構造では耐酸性が低く、酢酸等による腐食試験を
行なった場合、100時間程度で腐食されてしまう、ま
た、耐酸性及び耐薬品性が低いため、超音波加湿器の超
音波振動子として使用した場合等に、電極表面に付着し
た水垢除去を行なう際には、酸洗いや薬品洗浄等を行な
うことができず、充分な洗浄効果を得ることが困難であ
った。
本発明の目的 本発明t1上述する従来からの問題点を解決し、耐酸性
及び耐薬品性に優れた電極を持ち、超音波加湿器の超音
波振動子等に使用するのに好適、な圧電振動子を提供す
ることを目的とする。
本発明の#I成 上記目的を達成するため、本発明に係る圧電振動子は、
表層がニッケル不働態皮膜で成る電極を有することを特
徴とする。
実施例 第1図は本発明に係る圧電振動子の正面断面図、第2図
は同じくその底面図、第3図は電極部分の拡大断面図で
ある0図において、第4図と同一の参照符号は同一性あ
る構成部分を示す、この実施例では、圧電磁器素体lの
表面に銀を主成分とする第1電極層2を形成し、この第
1電極層2の上にニッケルを主成分とする第2電極層3
を形成し、この第2電極層3の上にニッケル不働態皮膜
4を形成しである。
第1電極層2は従来と同様に銀焼付けによって形成し、
第2電極層3はニッケルメッキによって形成する。ニッ
ケル不働態皮膜4はこのようにして形成された第2電極
層3のニッケルメッキ層に対し、塩酸或いは硫酸等で表
面処理を施すことによって形成される。従って、ニッケ
ル不働態皮膜4は表面処理程度の厚み、例えば0.17
Lm〜2.5gmの層厚となり、第2電極層3を構成す
るニッケルメッキ層の略50%程度の層厚となる。なお
、第1電極層2は5Bm 〜25JLm、第2電極層3
は0.2gm〜57Lm程度となるように形成するのが
望ましい。
電極の表面皮膜を構成するニッケル不働態皮膜4は無定
形(非晶質)であり、非常にち密で密着性のよい柔軟な
構造をとり、金属イオンの金属から溶液への移動を妨げ
、金属イオン移動の障壁となる。このため、従来のニッ
ケルメッキ層の場合に比べて、耐酸化性及び耐薬品性が
著しく向上し、超音波加湿器の超音波振動子として使用
した場合などに、ニッケル不働態皮膜4の表面に付着し
た水垢等を、酸洗いや薬品洗浄等によって行なうことが
可能になり、充分な洗浄効果を得ることができるように
なる。
この実施例では、圧電磁器素体lの厚さ方向の両面に形
成される電極(イ)、(ロ)の両者とも1表層をニッケ
ル不働態皮@4としであるが、超音波加湿器の超音波振
動子として利用する場合に超音波放射面となる電極(イ
)のみを、その表層をニッケル不働態皮膜4としても良
い。また、電極の表層がニッケル不S態皮M4となって
いれば本発明の範囲内であり、電極の他の構造は、実施
例に限定されないことは言うまでもない。
本発明の効果 以上述べたように4本発明は1表層がニッケル不働態皮
膜で成る電極を有することを特徴とするから、ニッケル
不働態皮膜により、金属イオン移動の障壁を形成し、耐
酸性及び耐薬品性に優れた電極構造を持ち、超音波加湿
器の超音波振動子等に使用するのに好適な圧電振動子を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る圧電振動子の正面断面図、第2図
は同じくその底面図、第3図は電極部分の拡大断面図、
第4図は従来の圧電振動子の断面図である。 l・・勢圧電磁器素体 2・・・第1電極層3−・・第
2電極層 4・・・ニッケル不働態皮膜

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表層がニッケル不働態皮膜で成る電極を有するこ
    とを特徴とする圧電振動子。
  2. (2)前記電極は、銀を主成分とし圧電磁器素体の表面
    に形成された第1電極層と、ニッケルを主成分とし前記
    第1電極層の上に形成された第2電極層と、この第2電
    極層の上に形成されたニッケル不働態皮膜とで構成され
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の圧電
    振動子。
  3. (3)前記ニッケル不働態皮膜は、0.1pm〜2.5
    μmの層厚を有することを特徴とする特許請求の範囲第
    1項または第2項に記載の圧電振動子。
JP13948984A 1984-07-05 1984-07-05 圧電振動子 Pending JPS6118476A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01260243A (ja) * 1988-04-07 1989-10-17 Tdk Corp 超音波加湿器用振動子及びその製造方法
JPH0270600U (ja) * 1988-11-15 1990-05-29
JPH02218389A (ja) * 1989-02-20 1990-08-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 針位置検出器
US20210139727A1 (en) * 2018-07-18 2021-05-13 Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha Ink composition for inkjet textile printing and textile printing method for hydrophobic fiber

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