JPS61182281A

JPS61182281A - クライオパネル

Info

Publication number: JPS61182281A
Application number: JP60021693A
Authority: JP
Inventors: Toshio Hatada; 畑田　敏夫; Eiichi Hazaki; 栄市羽崎
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-02-08
Filing date: 1985-02-08
Publication date: 1986-08-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕本発明は、冷却用クライオパネルを内蔵した真空容器に
関する。

〔発明の背景〕

従来のクライオパネルは「真空」第２４巻第１１号（１
９８１）にみられるようにベルトで吊り下げる構造か、
特開昭５２−６０４２０に記されているように転勤球体
によって支持することにより、真空容器内壁との熱絶縁
を良好にする構造になっていた。しかし、容器本体が移
動する場合や、クライオパネルの容器からの脱着容易性
については配慮されていなかった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、脱着が容易で、容器からの熱侵入が少
なく、振動や熱歪みに対する信頼性が高いクライオパネ
ルを提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は可搬式で、多目的利用の真空実験装置に用いる
クライオパネルに関するものである。この場合のクライ
オパネルに必要な機能は、脱着が容易であること、容器
からの熱侵入が少ないこと、振動や熱歪みに耐えられる
ことであり、これらがすべて満されなければならない。

従来、容器からの熱侵入を少なくする構造のものはある
が、他の２つの機能を兼ね備えたものはなく、本発明に
至った。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図〜第７図により説明す
る。

第１図は本発明によるクライオパネルの全体図である。

１，２はそれぞれ真空容器の上部、下部であり、中央よ
り２つに分割できる構造になっている。クライオパネル
本体は、上部パネル５、円筒状パネル４、下部パネル６
より構成され、容器中心部に設置される試験体を取り囲
む構成になっている。上部パネル５の平面図は第２図の
ようになっている（第１図のＡ−Ａ矢視図）。また、こ
れらのクライオパネルは第３図に示すように、フィン８
と円形チューブ７から成るフィンチューブにより構成さ
れている。フィンチューブを基体としたのは、押し出し
成形法などにより容易に製作できる点と、溶接箇所が極
めて少なくなり、モレに対する信頼度が高くなるためで
ある。第１図に戻るが、１３，１．３’　はクライオパ
ネルへの冷却媒体（液体窒素など）導入配管であり、１
４゜１４′はその導出配管である。９．１０’、１１゜
１２は、クライオパネルと配管を接続、分離するフラン
ジである。３．３′はそれぞれ配管導入用フランジ、メ
クラフランジである。１５は円筒パネル吊り下げ用の支
柱であり、スリット１９が施こされている。２１はクラ
イオパネルを支柱に固定する支持体であり、２２はクラ
イオパネルのプレ止めである。一方１６．１７は下部パ
ネル支持用の支柱と蛇行状支持体である。１８は上部パ
ネル５と円筒パネル４の連結体であり、これにより上部
パネルと円筒パネルは一体構造になる。

つぎに本クライオパネルの、真空容器への組み込み手前
について説明する。第４図、第５図は第１ステツプを示
したものであり、クライオパネル支持用の支柱類（１５
，１６，１７）と冷却媒体導入導出用配管（１３，１３
’　、１４．１４’　）が取り付けられた状態を示す。

１３．１３’　。

１４−．１４’はメクラフランジ３′に溶接されて一体
になっている。支柱１５．１６はボルトにより容器壁に
固定される。第６図、第７図は第２ステツプを示したも
のであり、クライオパネルを支柱５、支持体１７に取り
付け、さらに配管１３゜１３’　、１４，１．４’　を
フランジ９〜１２を介してクライオパネルに接続した状
態を示す。ここで支持体２１はボルトにより支柱１５に
固定されてクライオパネルの上下変動を防ぐ役割を果し
、プレ止め２２は支柱１５に固定されておらず、単にク
ライオパネルの左右のプレを防ぐ役割を果す。

−右下部パネルの支柱１６には蛇行状支持体１７がつい
ているので、単にパネル６を落し込むだけで所定の位置
に装着さ′れる。このような状態にセットした後、第３
ステツプとして上部容器１と下部容器２をフランジを介
して接合すれば第１図に示したような目的の形態が実現
できる゛。

本発明によるクライオパネルは上記のような構成である
ので、第１に組立て、取りはずしが容易に実現できる。

また、第２に容器の左右（上下）振動に対して耐えられ
る。さらに、第３に支持体１５．１．６が上記の構造で
あるため容器壁からクライオパネル固定部までの距離を
長くとれ、低感による外部からの熱侵入を小さくするこ
とができる。

第８図は本発明の別の実施例を示したものである。本実
施例ではクライオパネル本体４’　、６’が適宜間隔を
有する平行板で構成されている。また、支柱１５′はス
リットが入っておらず、支持体２１′、プレ止め２２′
は支柱１５′を囲むように構成されている。さらに、蛇
行状支持体１７′は折り返し部が多くなっている。本実
施例においても、前記実施例とまったく同様の作用、効
果を有する。

上に述べたような構成並びに作用を有するクライオパネ
ルは特に第４図に示すような可搬式のパッケージ形真空
試験装置に適用した場合にその特徴が十分生かせる。第
４図において１，２は上下真空容器、２３は排気装置な
どが格納されている機械室、２４は移動用のキャスタで
ある。このような任意の場所で、種々の目的の真空試験
を行うことができる試験装置においては、上に述べた３
つの特徴を持つクライオパネルが不可欠である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、脱着が容易で、外部からの熱侵入が少
なく、振動に強いクライオパネルが実現できるので、多
目的、可搬式の真空システムへの適用が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の全体図、第２図は第１図のＡ−
Ａ矢視図、第３図は本発明実施例構成要］・・−Ｌ部容
器、２・・・下部容器、３・・・配管導入用フランジ、
３′・・・配管導入用メクラフランジ、４゜４′・・・
円筒状クライオパネル、５・・・上部クライオパネル、
６．６’・・・下部クライオパネル、７・・・チューブ
、８・・・フィン、９〜］２・・・配管接続用フランジ
、１３．１３’・・・冷却体導入配管、１４゜１４′・
・・冷却体導出配管、１５．１５’　、１６゜・・・支
柱、１７，１．７’・・・蛇行状支持体、１８・・・連
結体、１９・・・スリット、１９・・・ネジ穴、２１．
２１’　・・・支持体、２２．２２’・・・プレ止め、
２３・・・機械室、２４・・・キャスタ。代理人　弁理士　ノｊ、ＩＩ口務邦Ｙ　１区一／１ア３　　／４茅　２国竿　３　図芽　８　ロＶ　９区

Claims

【特許請求の範囲】１、試料冷却用クライオパネルを内蔵し、上下に分割可
能な真空容器において、該容器内の上下に位置する板状
構造体と、中央に位置する筒状構造体から構成され、該
構造体は上部容器内壁に取り付けられた支持体によつて
吊り下げられる部分と、下部容器内壁に取り付けられた
支持体によつて受けられる部分に分割され、かつそれぞ
れの構造体は支持体から容易に脱着できる構成であるこ
とを特徴とするクライオパネル。２、上部容器内支持体は複数の支持部を持ち、最下部以
外の支持部は上下方向の移動が自由構成である特許請求
の範囲第１項に記野のクライオパネル。３、下部容器内支持体は蛇行状支持部を有する構成であ
る特許請求の範囲第１項記載のクライオパネル。