JPS61165005A - Dust-free adapter and fluid pressure operating equipment utilizing it - Google Patents
Dust-free adapter and fluid pressure operating equipment utilizing itInfo
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- JPS61165005A JPS61165005A JP310485A JP310485A JPS61165005A JP S61165005 A JPS61165005 A JP S61165005A JP 310485 A JP310485 A JP 310485A JP 310485 A JP310485 A JP 310485A JP S61165005 A JPS61165005 A JP S61165005A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は防塵アダプタおよびそれを用いた流体(背景技
術〕
近年、医療分野や半導体製造分野の如く、作業空間に対
して極めて高いクリーン度が要求される分野が拡がって
いる上に、そのクリーン度への要求がますます厳格にな
る傾向にある。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] The present invention relates to a dustproof adapter and a fluid using the same (Background Art) In recent years, extremely high cleanliness is required for work spaces, such as in the medical field and semiconductor manufacturing field. Not only is the field expanding, but the requirements for cleanliness are becoming increasingly strict.
そこで、このような分野では極めて高いクリーン度を維
持するためにクリーンルームを構築し、そのクリーンル
ーム内で所要の作業を実行することが必要となっている
。Therefore, in such fields, it is necessary to construct a clean room in order to maintain an extremely high degree of cleanliness, and to perform the required work within the clean room.
したがって、クリーンルーム内で使用されるエアシリン
ダ等の流体圧作動機器もクリーンルーム内に塵芥を持ち
込まないようなものであることが要求されて来ている。Therefore, there is a growing demand for fluid pressure operated equipment such as air cylinders used in clean rooms to be such that they do not introduce dust into the clean rooms.
特に、ロッドの摺動部からのリークが生じ易く、リーク
エア中の汚染物質でクリーンルームを汚染するため、こ
れを防止することが要求される。In particular, leakage from the sliding portion of the rod is likely to occur, and contaminants in the leaked air contaminate the clean room, so it is required to prevent this.
このような要求を満たすため、エアシリンダのロッドカ
バー自体に排出ボートを設け、この排出ボートを通して
エアシリンダからのニアリークをが考えられる。In order to meet such requirements, it is possible to provide a discharge boat on the rod cover of the air cylinder itself, and to prevent near leakage from the air cylinder through this discharge boat.
しカルながら、このi術では、ロッドカバーとして特別
な構造のものを発塵防止シリンダ専用に製作しかつ在庫
品として保管しなければならず、またその製作用の金型
として特別なものを用意しなければならない等の問題が
あることを本発明者は見い出した。However, with this i-technique, a rod cover with a special structure must be manufactured specifically for the dust prevention cylinder and kept in stock, and a special mold must be prepared for its manufacture. The present inventor has discovered that there are problems such as the need to do the following.
また、エアシリンダのロッドカバー前部に真空室を特別
に設け、この真空室をクリーンルーム外の排気装置に接
続するシリンダ装置が提案されている(特開昭59−1
64407号公報参照)。Furthermore, a cylinder device has been proposed in which a vacuum chamber is specially provided in the front part of the rod cover of the air cylinder, and this vacuum chamber is connected to an exhaust device outside the clean room (Japanese Patent Laid-Open No. 59-1
(See Publication No. 64407).
しかし、このシリンダ装置はやはり特別なロッドカバー
加工を必要とする上に、特にクリーンルームの真空度低
下防止を主目的としているために特別な排気装置と組み
合わせて使用することが必須の要求であり、システムの
複雑化、高コスト化を伴うという問題があることが本発
明者によって見い出された。However, this cylinder device still requires special rod cover processing, and because its main purpose is to prevent a drop in vacuum level in a clean room, it is essential to use it in combination with a special exhaust device. The inventors have discovered that there is a problem in that the system becomes more complicated and the cost increases.
本発明の目的は、通常の標準型ロッドカバーにりに起因
する発塵の防止を図ることのできる防塵アダプタおよび
それを用いた流体圧作動機器を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a dustproof adapter that can prevent dust generation caused by ordinary standard rod cover stains, and a fluid pressure operated device using the same.
本発明の他の目的は、特別な真空排気システムを要する
ことなく、低コストで発塵防止を図ることのできる防塵
アダプタおよびそれを用いた流体圧作動機器を提供する
ことにある。Another object of the present invention is to provide a dustproof adapter that can prevent dust generation at low cost without requiring a special evacuation system, and a fluid pressure operated device using the same.
〔実施例1〕
第1図は本発明による一実施例である防塵アダプタを取
り付けたエアシリンダの一例を示す半断面図である。[Embodiment 1] FIG. 1 is a half-sectional view showing an example of an air cylinder to which a dustproof adapter is attached, which is an embodiment of the present invention.
本実施例において、流体圧作動機器の一例としてのエア
シリンダはシリンダ本体(シリンダチューブ)1と、こ
のシリンダチューブ1内でエア流入ボート2または3か
らのエアにより軸方向に摺動するピストン4と、該ピス
トン4の端部から軸方向に延在するピストンロッド5と
、ピストン4側の端部を閉止するヘッドカバー6と、該
ヘッドカバー6とシリンダチューブ1との間をシールす
るガスケット7と、シリンダチューブ1のピストンワン
ド5側の端部を閉止しかつその軸方向中心部を前記ピス
トンロッド5が貫通して外部に突出する通常の標準型の
ロッドカバー8と、該ロッドカバー8とピストンロッド
5およびシリンダチューブlとの間をそれぞれシールす
るシール9およびガスケット10とを有している。In this embodiment, an air cylinder as an example of a fluid pressure operated device includes a cylinder body (cylinder tube) 1 and a piston 4 that slides in the axial direction within the cylinder tube 1 by air from an air inflow boat 2 or 3. , a piston rod 5 extending in the axial direction from an end of the piston 4, a head cover 6 that closes the end on the piston 4 side, a gasket 7 that seals between the head cover 6 and the cylinder tube 1, and a cylinder. A normal standard rod cover 8 that closes the end of the tube 1 on the piston wand 5 side and has the piston rod 5 pass through its axial center and protrude outside; the rod cover 8 and the piston rod 5; It has a seal 9 and a gasket 10 for sealing between the cylinder tube 1 and the cylinder tube 1, respectively.
また、前記ロッドカバー8の外端(第1図の右端)には
、ガスケット11を介して防塵アダプタ12がねじ13
により着脱可能に取り付けられている。防塵アダプタ1
2の軸方向中心部を前記ピストンロッド5が貫通して外
部に突出し、該防塵アダプタ12とピストンロッド5と
の間はシール14によりシールされている。防塵アダプ
タ12とピストンロッド5との間は摺動による切粉の発
生を防止するよう相互間に隙間が形成されている。Further, a dustproof adapter 12 is attached to a screw 13 at the outer end of the rod cover 8 (the right end in FIG. 1) via a gasket 11.
It is removably attached. Dustproof adapter 1
The piston rod 5 passes through the axial center of the dustproof adapter 12 and projects to the outside, and the space between the dustproof adapter 12 and the piston rod 5 is sealed by a seal 14. A gap is formed between the dustproof adapter 12 and the piston rod 5 to prevent generation of chips due to sliding movement.
防塵アダプタ12はロッドカバー8とピストンロッド5
との間から外部にリークするエアが図示しないクリーン
ルーム内に排出されて該エアに含汚染することを防止す
るためのものである。そのため、防塵アダプタ12の外
周方向には排気ポート15が形成されており、この排気
ポート15は該排気ポート15の突出端外側に嵌装され
る図示しない排気管を介してクリーンルームの外部に連
通している。The dustproof adapter 12 connects the rod cover 8 and the piston rod 5.
This is to prevent the air leaking to the outside from being discharged into a clean room (not shown) and contaminating the air. Therefore, an exhaust port 15 is formed in the outer circumferential direction of the dustproof adapter 12, and this exhaust port 15 communicates with the outside of the clean room via an exhaust pipe (not shown) fitted on the outside of the protruding end of the exhaust port 15. ing.
次に、本実施例の作用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.
本実施例のエアシリンダを作動させる場合、エア流入ボ
ート2または3からシリンダチューブ1内のピストン4
の左右のシリンダ室内にエアを供給することにより、ピ
ストン4およびピストンロッド5は右または左方向に摺
動する。When operating the air cylinder of this embodiment, the air inlet boat 2 or 3 is connected to the piston 4 in the cylinder tube 1.
By supplying air into the left and right cylinder chambers of the piston 4 and the piston rod 5, the piston 4 and the piston rod 5 slide to the right or left.
その際、ピストンロッド5の摺動により、シリンダチュ
ーブ1内のエアがピストンロッド5とロッドカバー8と
の間から外方にリークすることがある。At this time, air within the cylinder tube 1 may leak outward from between the piston rod 5 and the rod cover 8 due to the sliding movement of the piston rod 5.
その場合、本実施例では、ロッドカバー8の外端側に防
塵アダプタ12が取り付けられているので、ロッドカバ
ー8の外方に漏れ出たエアは通路ら図示しない排気管を
介してクリーンルーム外に排出される。In this case, in this embodiment, since the dustproof adapter 12 is attached to the outer end side of the rod cover 8, the air leaking outward from the rod cover 8 is discharged from the passage to the outside of the clean room via an exhaust pipe (not shown). It is discharged.
したがって、本実施例によれば、エアシリンダのロッド
カバー8からリークしたエアに含まれる塵芥等の汚染物
質によりクリーンルーム内が汚染されることを確実に防
止することができる。Therefore, according to this embodiment, it is possible to reliably prevent the inside of the clean room from being contaminated by contaminants such as dust contained in the air leaked from the rod cover 8 of the air cylinder.
〔実施例2〕
第2図は本発明の他の実施例によるエアシリンダを示す
半断面図である。[Embodiment 2] FIG. 2 is a half sectional view showing an air cylinder according to another embodiment of the present invention.
本実施例2においても、エアシリンダの通常の標準型ロ
ッドカバー8の外端側には、防塵アダプタ12かねじ1
3により着脱自在に取り付けられている。In the second embodiment as well, a dustproof adapter 12 or a screw 1 is attached to the outer end of the standard rod cover 8 of the air cylinder.
3, it is detachably attached.
したがって、本実施例2でも、エアシリンダのロッドカ
バー8外にリークするエアは防塵アダプタ12の排気ポ
ート15に螺入接続される排気管(図示せず)を介して
クリーンルーム外に導かれて排出され、クリーンルーム
内を汚染することを防止できる。Therefore, in the second embodiment as well, the air leaking outside the rod cover 8 of the air cylinder is led to the outside of the clean room and discharged through the exhaust pipe (not shown) that is screwed into the exhaust port 15 of the dustproof adapter 12. This prevents contamination of the clean room.
〔実施例3〕 シリンダの半断面図である。[Example 3] It is a half sectional view of a cylinder.
本実施例3においても、エアシリンダのロッドカバー8
の外端(第3図では左端)には、防塵アダプタ12かね
じ13で着脱可能に取り付けられ、口7ドカバ−8の外
方にリークするエアを該防塵アダプタ12の排気ポート
15からクリーンルーム外に排出できるようになってい
る。Also in the third embodiment, the rod cover 8 of the air cylinder
A dust-proof adapter 12 or a screw 13 is removably attached to the outer end (the left end in FIG. 3) of the dust-proof adapter 12 to direct air leaking outward from the cover 8 from the exhaust port 15 of the dust-proof adapter 12 to the outside of the clean room. It is designed to be able to be discharged.
〔実施例4〕
第4図は本発明の他の実施例であるエアシリンダの断面
図である。[Embodiment 4] FIG. 4 is a sectional view of an air cylinder which is another embodiment of the present invention.
本実施例4においては、防塵アダプタ12は外端部の外
周にねじ部17を有する通常の標準型ロッドカバー8の
該ねじ部17に螺合方式で着脱可能に取り付けられてい
る点が前記実施例とは異なるが、この防塵アダプタ12
により、ロッドカバー8の外方にリークするエアをクリ
ーンルーム内に持ち込むことなく外部に導いて排出でき
る。In the present embodiment 4, the dustproof adapter 12 is removably attached to the threaded part 17 of an ordinary standard type rod cover 8, which has a threaded part 17 on the outer periphery of the outer end, by a screwing method. Although different from the example, this dustproof adapter 12
As a result, air leaking outward from the rod cover 8 can be led to the outside and discharged without bringing it into the clean room.
なお、符号18はロッドカバー8と防塵アダプタ12と
の間からのエアのリークを防止するガスケットである。Note that reference numeral 18 is a gasket that prevents air from leaking between the rod cover 8 and the dustproof adapter 12.
〔実施例5〕
第5図は本発明によるさらに他の実施例であるハイドロ
チェッカの断面図である。[Embodiment 5] FIG. 5 is a sectional view of a hydro checker which is still another embodiment of the present invention.
本実施例5では、流体圧作動機器の他の一例としてのハ
イドロチェッカは、外筒20と、制動油21を内蔵した
内筒22と、該内筒22内で摺動するピストン23と、
該ピストン23の端部から延在するロッド24と、チェ
ック弁25と、調整弁26と、調節ノブ27と、外筒2
0とロッド24に連続された伸縮可能なダイヤフラム2
8と、ダイヤフラムガイド29と、エア室30と、エア
ポート31と、ばね32と、ロッドカバー(軸受)33
と、ダストシール34とを備えている。なお、コンド2
4等は半分が突出状態、半分が後退位置で示されている
。In the fifth embodiment, a hydro checker as another example of a fluid pressure operated device includes an outer cylinder 20, an inner cylinder 22 containing brake oil 21, and a piston 23 that slides within the inner cylinder 22.
A rod 24 extending from the end of the piston 23, a check valve 25, an adjustment valve 26, an adjustment knob 27, and an outer cylinder 2.
0 and a retractable diaphragm 2 connected to the rod 24
8, diaphragm guide 29, air chamber 30, air port 31, spring 32, rod cover (bearing) 33
and a dust seal 34. In addition, condo 2
The fourth class is shown half in the extended position and half in the retracted position.
本実施例5においても、図示しない配管を通ってエアポ
ート31からエア室30に供給されるエアがロッドカバ
ー33の外方にリークしてクリ−1t ++、 r
l−1−I?−よ洗ナツサL ?−熟、L十フJ−俵
いドカバ−33の外端には防塵アダプタ12がねじ13
で着脱可能に取り付けられている。Also in the fifth embodiment, the air supplied from the air port 31 to the air chamber 30 through the unillustrated piping leaks to the outside of the rod cover 33.
l-1-I? -Yo Arai Natsusa L? -Ripe, L tenfu J-Bale
A dustproof adapter 12 is attached to the outer end of the cover 33 with a screw 13.
It is removably attached.
したがって、エア室30からロッドカバー23外にリー
クするエアは防塵アダプタ12の排気ポート15から排
気管(図示せず)を介してクリーンルーム外に導いて排
出できる。Therefore, air leaking from the air chamber 30 to the outside of the rod cover 23 can be guided and discharged from the exhaust port 15 of the dustproof adapter 12 to the outside of the clean room via an exhaust pipe (not shown).
〔実施例6〕
第6図は本発明のさらに他の実施例である緩衝器の断面
図である。[Embodiment 6] FIG. 6 is a sectional view of a shock absorber which is still another embodiment of the present invention.
本実施例6においては、流体圧作動機器のさらに他の一
例としての緩衝器は、シリンダチューブ40と、遊動ピ
ストン41と、固定ピストン42と、該固定ピストン4
2の端部から延在するピストンロッド43と、固定ピス
トン42の両側の制動油室44.45と、チェック弁4
6と、封止ねじ47と、止めボール48と、遊動ピスト
ン41のリターン用のエアを入れるエア室49と、エア
ポート50と、このエアポート50を形成されたロッド
カバー51とを備えている。In the sixth embodiment, a shock absorber as yet another example of a fluid pressure operated device includes a cylinder tube 40, a floating piston 41, a fixed piston 42, and the fixed piston 4.
A piston rod 43 extending from the end of the fixed piston 42, brake oil chambers 44, 45 on both sides of the fixed piston 42, and a check valve 4.
6, a sealing screw 47, a stop ball 48, an air chamber 49 for storing return air for the floating piston 41, an air port 50, and a rod cover 51 in which the air port 50 is formed.
この実施例6においても、ロッドカバー51の外端には
、防塵アダプタ12がねじ13で着脱可能に取り付けら
れ、この防塵アダプタ12の軸方向中心開口部をピスト
ンロッド43が摺動可能に貫通している。In this sixth embodiment as well, a dustproof adapter 12 is removably attached to the outer end of the rod cover 51 with a screw 13, and a piston rod 43 slidably passes through the axial center opening of this dustproof adapter 12. ing.
したがって、本実施例においても、エア室49からロフ
トカバー51外にリークするエアは防塵アダプタ12の
排気ポート15からクリーンルーム(図示せず)の外部
に導かれるので、リークエアに含まれる塵芥等の汚染物
質によってクリーンルーム内が汚染されることを防止し
、クリーン度を良好に保つことができる。Therefore, in this embodiment as well, the air leaking from the air chamber 49 to the outside of the loft cover 51 is guided to the outside of the clean room (not shown) through the exhaust port 15 of the dustproof adapter 12, so that the air leaking from the air chamber 49 to the outside of the clean room (not shown) is contaminated by dust and other particles contained in the leaked air. It is possible to prevent the interior of the clean room from being contaminated by substances and maintain a good level of cleanliness.
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
他の様々な変形が可能である。Note that the present invention is not limited to the above embodiments,
Various other variations are possible.
たとえば、防塵アダプタの構造およびその着脱可能な取
付方式等は前記実施例以外のものを用いてもよい。For example, the structure of the dustproof adapter and its detachable attachment method may be other than those of the above embodiments.
また、防塵アダプタを取り付ける流体圧作動機器は前記
したエアシリンダ、ハイドロチェッカ、緩衝器以外のも
のも含むものである。Further, the fluid pressure operated devices to which the dustproof adapter is attached include devices other than the above-mentioned air cylinder, hydro checker, and shock absorber.
の開口部に連通ずる排気ポートを備えてなる防塵アダプ
タを提供することにより、この防塵アダプタを通常の標
準型ロッドカバーに取り付けるだけで流体圧作動機器の
ニアリークに起因する発塵を防止することができる。By providing a dustproof adapter equipped with an exhaust port that communicates with the opening of the rod cover, it is possible to prevent dust generation due to near leaks from fluid pressure operated equipment by simply attaching this dustproof adapter to a standard rod cover. can.
(2)、前記(1)により、流体圧作動機器からの発塵
によるクリーンルーム等のクリーンスペースの汚染を防
止することができる。(2) According to (1) above, it is possible to prevent contamination of a clean space such as a clean room due to dust generated from fluid pressure operated equipment.
(3)、ロッドカバーとして通常の標準型のものを利用
でき、互換性を持たせることができるので、特別な専用
ロッドカバーを製作、保管する必要がなく、特別なロッ
ドカバー加工が不要となり、また特別な金型が不要とな
る。(3) Since a regular standard type rod cover can be used and made compatible, there is no need to manufacture and store a special dedicated rod cover, and no special rod cover processing is required. Also, no special mold is required.
(4)、特別な真空排気システムを要することなく、簡
単な構造により低コストで発塵防止を実現することがで
きる。(4) Dust generation prevention can be achieved at low cost with a simple structure without requiring a special evacuation system.
(5)、防塵アダプタに防塵用の真空排気力を作用させ
ないので、防塵アダプタを樹脂の如き安価な材料で作る
こともできる。(5) Since no dust-proof vacuum evacuation force is applied to the dust-proof adapter, the dust-proof adapter can be made of an inexpensive material such as resin.
(6)、ロッドカバー自体に排気ポートを設けないので
、高価なロッドカバー材料の無駄がなくなる。(6) Since no exhaust port is provided on the rod cover itself, there is no waste of expensive rod cover material.
第1図は本発明による一実施例である防塵アダプタを取
り付けたエアシリンダの一例を示す半断面図、第2図は
本発明の他の実施例によるエアシリンダを示す半断面図
、第3図は本発明のさらに他の実施例によるエアシリン
ダの半断面図、第4図は本発明の他の実施例であるエア
シリンダの断面図、第5図は本発明によるさらに他の実
施例であるハイドロチェッカの断面図、第6図は本発明
のさらに他の実施例である緩衝器の断面図である。
1・・・シリンダ本体(シリンダチューブ)、2.3・
・・エア流入ポート、4・・・ピストン、5・・・ピス
トンロッド、6・・・ヘンドカバー、7・・・ガスケッ
ト、8・・・ロッドカバー、9・・・シール、10.1
1・・・ガスケット、12・・・防塵アダプタ、13・
・・ねじ、14・・・シール、15・・・排気ポート、
16・・・二11玖 17.、、妬1’:aR−I
Il+ ・ ・ ・ガスか・ノド−20・・・外筒
、21・・・制動油、22・・・内筒、23・・・ピス
トン、24・・・ロッド、25・・・チェック弁、26
・・・調整弁、27・・・調節ノブ、28・・・ダイヤ
フラム、29・・・ダイヤフラムガイド、30・・・エ
ア室、31・・・エアポート、32・・・ばね、33・
・・ロッドカバー(軸受)、34・・・ダストシール、
40・・・シリンダチューブ、41・・・遊動ピストン
、42・・・固定ピストン、43・・・ピストンロッド
、44.45・・・制動油室、46・・・チェック弁、
47・・・封止ねじ、48・・・止めポール、49・・
・エア室、50・・・エアポート、51・・・ロッドカ
バー。
特許出願人 株式会社 小金井製作所代理人 弁理士
筒 井 大 和
手続主甫正書帽発)
1.事件の表示
昭和60年 特許願 第3104号
2、発明の名称
防塵アダプタおよびそれを用いた
流体圧作動機器
3、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住 所 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号名 称
株式会社 小金井製作所
代表者 安岡静長
4、代理人 〒160
住 所 東京都新宿区西新宿7丁目18番18号新宿
税理士ビル別館412号FIG. 1 is a half-sectional view showing an example of an air cylinder equipped with a dustproof adapter according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a half-sectional view showing an air cylinder according to another embodiment of the present invention, and FIG. is a half-sectional view of an air cylinder according to yet another embodiment of the present invention, FIG. 4 is a cross-sectional view of an air cylinder according to another embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view of a hydro checker, and FIG. 6 is a cross-sectional view of a shock absorber according to still another embodiment of the present invention. 1... Cylinder body (cylinder tube), 2.3.
... Air inflow port, 4... Piston, 5... Piston rod, 6... Hend cover, 7... Gasket, 8... Rod cover, 9... Seal, 10.1
1...Gasket, 12...Dustproof adapter, 13.
...Screw, 14...Seal, 15...Exhaust port,
16...211ku 17. ,,Envy 1':aR-I
Il+ ・ ・ ・Gas/nod 20... Outer cylinder, 21... Braking oil, 22... Inner cylinder, 23... Piston, 24... Rod, 25... Check valve, 26
... Adjustment valve, 27 ... Adjustment knob, 28 ... Diaphragm, 29 ... Diaphragm guide, 30 ... Air chamber, 31 ... Air port, 32 ... Spring, 33 ...
...Rod cover (bearing), 34...Dust seal,
40... Cylinder tube, 41... Floating piston, 42... Fixed piston, 43... Piston rod, 44.45... Braking oil chamber, 46... Check valve,
47...Sealing screw, 48...Stopping pole, 49...
・Air chamber, 50...Air port, 51...Rod cover. Patent applicant: Koganei Seisakusho Co., Ltd. Agent, Patent attorney: Yamato Tsutsui (Procedure chief, Hosho Seisho) 1. Indication of the case 1985 Patent Application No. 3104 2 Name of the invention Dust-proof adapter and fluid pressure operated device using the same 3 Person making the amendment Relationship to the case Patent applicant Address 3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Number 3 Name Koganei Seisakusho Co., Ltd. Representative Shizunaga Yasuoka 4, Agent 160 Address 412 Shinjuku Tax Accountant Building Annex, 7-18-18 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo
Claims (2)
開口部に連通する排気ポートを備えてなる防塵アダプタ
。(1) A dustproof adapter that has an opening that opens toward the surface to which it is attached, and an exhaust port that communicates with the opening.
動するロッドを有する流体圧作動機器であって、この流
体圧作動機器の前記ロッドカバーの取付面側に開口する
開口部を有しかつこの開口部に連通する排気ポートを備
えてなる防塵アダプタを前記ロッドカバーの前記取付面
に着脱可能に取り付け、前記ロッドが前記防塵アダプタ
の前記開口部を貫通するよう構成した流体圧作動機器。(2) A fluid pressure operated device having a rod that moves in the axial direction with respect to a rod cover by fluid pressure, the fluid pressure operated device having an opening opening on the mounting surface side of the rod cover; A fluid pressure operated device, wherein a dustproof adapter including an exhaust port communicating with the opening is removably attached to the mounting surface of the rod cover, and the rod passes through the opening of the dustproof adapter.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP310485A JPS61165005A (en) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | Dust-free adapter and fluid pressure operating equipment utilizing it |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP310485A JPS61165005A (en) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | Dust-free adapter and fluid pressure operating equipment utilizing it |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61165005A true JPS61165005A (en) | 1986-07-25 |
Family
ID=11548039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP310485A Pending JPS61165005A (en) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | Dust-free adapter and fluid pressure operating equipment utilizing it |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61165005A (en) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5353839U (en) * | 1976-10-09 | 1978-05-09 | ||
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JPS59164407A (en) * | 1983-03-09 | 1984-09-17 | Tourishiya:Kk | Cylinder device having vacuum chamber |
-
1985
- 1985-01-11 JP JP310485A patent/JPS61165005A/en active Pending
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