JPS61163548A - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPS61163548A JPS61163548A JP311685A JP311685A JPS61163548A JP S61163548 A JPS61163548 A JP S61163548A JP 311685 A JP311685 A JP 311685A JP 311685 A JP311685 A JP 311685A JP S61163548 A JPS61163548 A JP S61163548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- signal
- circuit
- scanning signal
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は陰li線管等に試料の走査像に重畳して任意の
位置にマークを表示し、スポットモードに切換えて電子
線をマークに対応した試料上の位置に照射して試料を分
析する電子線装置に関する。
位置にマークを表示し、スポットモードに切換えて電子
線をマークに対応した試料上の位置に照射して試料を分
析する電子線装置に関する。
[従来の技術1
第3図は従来装置を説明するためのもので、図中1は水
平走査信号発生回路であり、この回路1よりの水平走査
信号は第1の切換回路2の端子aを介して倍率切換回路
3に供給されていると共に、増幅器4を介して陰極線管
5の水平走査コイル5Xに供給されている。倍率設定回
路6よりの信号に基づいて倍率切換回路3により所定の
増幅率で増幅された走査信号は、増幅器7を介してX方
向偏向コイル8xに送られている。EBは細く絞られた
電子線を表わしており、電子IEBは偏向コイル8Xに
よって偏向され試料10上に照射される。9は水平走査
信号発生回路1に制御信号を送り回路1より発生する水
平走査信号の振幅を例えば3段階に切換えるための振幅
切換回路である。
平走査信号発生回路であり、この回路1よりの水平走査
信号は第1の切換回路2の端子aを介して倍率切換回路
3に供給されていると共に、増幅器4を介して陰極線管
5の水平走査コイル5Xに供給されている。倍率設定回
路6よりの信号に基づいて倍率切換回路3により所定の
増幅率で増幅された走査信号は、増幅器7を介してX方
向偏向コイル8xに送られている。EBは細く絞られた
電子線を表わしており、電子IEBは偏向コイル8Xに
よって偏向され試料10上に照射される。9は水平走査
信号発生回路1に制御信号を送り回路1より発生する水
平走査信号の振幅を例えば3段階に切換えるための振幅
切換回路である。
この振幅切換回路9は回路1より発生する走査信号の振
幅を小さくすることにより、きめの細かい像を観察する
際に使用される。11は電子線EBの照射によって試料
10より発生した二次電子を検出するための二次電子検
出器であり、二次電子検出器11よりの信号は増幅器1
2.加算回路13を介して陰極線管5のグリッド5gに
送られている。14は試料10より発生したX線を検出
するだめのX線検出器であり、X線検出器14よりの信
号は信号処理回路15を介して記録計16に送られてい
る。17は水平方向用可変直流信号発生回路であり、回
路17よりの直流信号は増幅器18を介して第1の切換
回路2の端子すに送られていると共に、第2の切換回路
19の端子aを介して比較器20に送られている。この
比較器20の他方の入力端には前記水平走査信号発生回
路1よりの走査信号も送られている。比較器20の出力
信号は加詐回路13に送られている。21は第1、第2
の切換回路2.19に切換信号を送るためのモード切換
回路であり、22は走査速度を設定するための設定信号
を前記水平走査信号発生回路1に送るための走査速度設
定回路である。尚、図示していないが、垂直走査信号発
生回路や垂直方向用の可変直流信号発生回路等も水平方
向と全く対称的に備えられている。
幅を小さくすることにより、きめの細かい像を観察する
際に使用される。11は電子線EBの照射によって試料
10より発生した二次電子を検出するための二次電子検
出器であり、二次電子検出器11よりの信号は増幅器1
2.加算回路13を介して陰極線管5のグリッド5gに
送られている。14は試料10より発生したX線を検出
するだめのX線検出器であり、X線検出器14よりの信
号は信号処理回路15を介して記録計16に送られてい
る。17は水平方向用可変直流信号発生回路であり、回
路17よりの直流信号は増幅器18を介して第1の切換
回路2の端子すに送られていると共に、第2の切換回路
19の端子aを介して比較器20に送られている。この
比較器20の他方の入力端には前記水平走査信号発生回
路1よりの走査信号も送られている。比較器20の出力
信号は加詐回路13に送られている。21は第1、第2
の切換回路2.19に切換信号を送るためのモード切換
回路であり、22は走査速度を設定するための設定信号
を前記水平走査信号発生回路1に送るための走査速度設
定回路である。尚、図示していないが、垂直走査信号発
生回路や垂直方向用の可変直流信号発生回路等も水平方
向と全く対称的に備えられている。
次にこのような従来装置の動作を説明するが、垂直方向
に対しても全く同様のため、水平方向についてのみ説明
する。
に対しても全く同様のため、水平方向についてのみ説明
する。
まず、モード設定回路21を操作して、第1゜第2の切
換回路が端子a側に接続されるようにした後、走査速度
設定回路22を操作して走査速度を低速走査に設定する
。その結果、水平走査信号発生回路1より第4図(a)
の実線イで示す如き水平走査信号が発生する。この水平
走査信号は第4図(a>の点線口で示すように殆ど位相
遅れのない信号として偏向コイル8xを流れ、同様に第
4図(a)の一点鎖線へで示す如き信号として偏向コイ
ル5xを流れる。その結果、電子線EBの走査に伴う検
出器11よりの信号が陰極線管5に送られるため、陰極
線管5には第5図(a)に示すような試料像が表示され
る。そこで、直流信号発生回路17を操作して第4図(
a)においてRで示す如き直流信号を発生させれば、比
較器2゜より第4図(b)に示す如き一致パルスが発生
し、加算回路13を介してグリッド5qに送られるため
、陰極線管5の画面には第5図(b)に示すように試料
像に重畳して分析点を示す輝点Pが表示される。そこで
、モード設定回路21を操作して、モードをスポットモ
ードに切換えれば、第1.第2の切換回路2.19がb
端子側に接続され、直流信号発生回路17よりの信号が
偏向コイル8xに送られると共に陰極線管5の偏向コイ
ル5Xに送られ、陰極線管画面上にスポット照射点を示
す第5図(d)に示す如き輝点P′が表示されると共に
、P′に対応した試料10上の点に電子線EBが固定し
て照射される。そこで、この電子線の照射に基づいて試
料10より発生した特性X線をX線検出!1lt14に
より検出し、その検出信号を信号処理回路15により処
理し、その処理信号に基づいてX線スペクトルを記録計
16に表示すれば、輝点Pに対応した分析点のxm分析
結果を得ることができる。
換回路が端子a側に接続されるようにした後、走査速度
設定回路22を操作して走査速度を低速走査に設定する
。その結果、水平走査信号発生回路1より第4図(a)
の実線イで示す如き水平走査信号が発生する。この水平
走査信号は第4図(a>の点線口で示すように殆ど位相
遅れのない信号として偏向コイル8xを流れ、同様に第
4図(a)の一点鎖線へで示す如き信号として偏向コイ
ル5xを流れる。その結果、電子線EBの走査に伴う検
出器11よりの信号が陰極線管5に送られるため、陰極
線管5には第5図(a)に示すような試料像が表示され
る。そこで、直流信号発生回路17を操作して第4図(
a)においてRで示す如き直流信号を発生させれば、比
較器2゜より第4図(b)に示す如き一致パルスが発生
し、加算回路13を介してグリッド5qに送られるため
、陰極線管5の画面には第5図(b)に示すように試料
像に重畳して分析点を示す輝点Pが表示される。そこで
、モード設定回路21を操作して、モードをスポットモ
ードに切換えれば、第1.第2の切換回路2.19がb
端子側に接続され、直流信号発生回路17よりの信号が
偏向コイル8xに送られると共に陰極線管5の偏向コイ
ル5Xに送られ、陰極線管画面上にスポット照射点を示
す第5図(d)に示す如き輝点P′が表示されると共に
、P′に対応した試料10上の点に電子線EBが固定し
て照射される。そこで、この電子線の照射に基づいて試
料10より発生した特性X線をX線検出!1lt14に
より検出し、その検出信号を信号処理回路15により処
理し、その処理信号に基づいてX線スペクトルを記録計
16に表示すれば、輝点Pに対応した分析点のxm分析
結果を得ることができる。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、分析点を設定するための段階において、
走査速度設定回路22を操作して、走査速度を^速の例
えばSrに切換えると、水平走査信号発生回路1より発
生する水平走査信号が第4図(C)の実線イで示すよう
に変化するが、この変化に伴い偏向コイル8xに流れる
電流は同図において点線口に示すようにレベルVaに対
応した位相遅れを生じると共に、偏向コイル5xに流れ
る電流は同図において一点鎖線へで示すようにレベルv
bに対応した位相遅れを生じる。コイル8X側での遅れ
が大きいのは、偏向コイル5xには増幅器4のみを介し
て走査信号が供給されるのに対して、偏向コイル8xに
は倍率切換回路3や増幅器7等の多くの回路を介して走
査信号が供給されるため、コイル自身の応答の遅れに各
回路での遅れが追加されるためである。尚、第4図にお
いてKは非ブランキング期間を示している。その結果、
第5図(C)に示すように陰極線管5における輝点Pの
表示位置がスポットモードにした際のスポット照射位置
とレベルvbに対応しただけ水平方向にずれると共に、
Va −Vbに対応しただけ表示される試料の領域が水
平方向にずれ、輝点Pが正確に分析点を表示できなくな
る。
走査速度設定回路22を操作して、走査速度を^速の例
えばSrに切換えると、水平走査信号発生回路1より発
生する水平走査信号が第4図(C)の実線イで示すよう
に変化するが、この変化に伴い偏向コイル8xに流れる
電流は同図において点線口に示すようにレベルVaに対
応した位相遅れを生じると共に、偏向コイル5xに流れ
る電流は同図において一点鎖線へで示すようにレベルv
bに対応した位相遅れを生じる。コイル8X側での遅れ
が大きいのは、偏向コイル5xには増幅器4のみを介し
て走査信号が供給されるのに対して、偏向コイル8xに
は倍率切換回路3や増幅器7等の多くの回路を介して走
査信号が供給されるため、コイル自身の応答の遅れに各
回路での遅れが追加されるためである。尚、第4図にお
いてKは非ブランキング期間を示している。その結果、
第5図(C)に示すように陰極線管5における輝点Pの
表示位置がスポットモードにした際のスポット照射位置
とレベルvbに対応しただけ水平方向にずれると共に、
Va −Vbに対応しただけ表示される試料の領域が水
平方向にずれ、輝点Pが正確に分析点を表示できなくな
る。
本発明は、このような従来の欠点を解決し、走査速度を
高速に切換えても正確に分析点を表示することのできる
電子線装置を捏供することを目的としている。
高速に切換えても正確に分析点を表示することのできる
電子線装置を捏供することを目的としている。
[問題点を解決するための手段]
このような目的を達成するため、本発明は細く絞られた
電子線を偏向するための偏向コイルと、該電子線を試料
上において走査するための走査信号を発生する走査信号
発生回路と、該走査信号発生回路をat御し走査速度を
切換えるための手段と、該走査信号に塁づいて走査され
該電子線の走査に基づく検出信号の供給に基づいて試料
像を表示するための陰極線管と、電子線を試料上の点に
固定して照射するための可変直流信号を発生する直流信
号発生手段と、該直流信号発生手段よりの信号に基づい
て該直流信号に対応した該表示手段の画面位置に該試料
像に重畳してマークを表示する手段と、該偏向コイルに
該走査信号と該直流信号を切換えて供給する手段とを備
えた装置において、走査速度を速くした際に該偏向コイ
ルを流れる走査信号の位相dれを自動的に補正するため
該偏向コイル側に送られる走査信号のレベルを補正する
第1の補正手段と、走査速度を速くした際に該陰極線管
を流れる走査信号の位相遅れを自動的に補正するため該
陰極線管側に送られる走査信号のレベルを補正する第2
の補正手段を備えていることを特徴としている。
電子線を偏向するための偏向コイルと、該電子線を試料
上において走査するための走査信号を発生する走査信号
発生回路と、該走査信号発生回路をat御し走査速度を
切換えるための手段と、該走査信号に塁づいて走査され
該電子線の走査に基づく検出信号の供給に基づいて試料
像を表示するための陰極線管と、電子線を試料上の点に
固定して照射するための可変直流信号を発生する直流信
号発生手段と、該直流信号発生手段よりの信号に基づい
て該直流信号に対応した該表示手段の画面位置に該試料
像に重畳してマークを表示する手段と、該偏向コイルに
該走査信号と該直流信号を切換えて供給する手段とを備
えた装置において、走査速度を速くした際に該偏向コイ
ルを流れる走査信号の位相dれを自動的に補正するため
該偏向コイル側に送られる走査信号のレベルを補正する
第1の補正手段と、走査速度を速くした際に該陰極線管
を流れる走査信号の位相遅れを自動的に補正するため該
陰極線管側に送られる走査信号のレベルを補正する第2
の補正手段を備えていることを特徴としている。
[実施例]
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第1図は本発明の一実施例を示すもので、第1図におい
ては、第3図と同一の構成要素に対しては同一番号を付
している。第1図において、23は第1の補正信号発生
回路であり、この補正信号発生回路23には走査速度設
定回路22より走査速度Sを表わす信号が供給されてい
ると共に、振幅切換回路9より水平走査信号の振幅Aを
表わす信号が供給されている。第1の補正信号発生回路
はこれら両信号に基づいてその絶対値が走査速度Sと振
幅Aの増加に伴って増加する負の直流補正信号Vl
(S、A)を発生する。振幅Aが最大の際に、走査速度
として前記Stが選択された場合には、この補正信号は
丁度−Vaに一致するようになっている。この補正信号
発生回路23よりの補正信号は加陣回路24に送られて
いる。第1の切換四路2よりの信号は直接倍率切換回路
3に送られず、加詐回路24を介して倍率切換回路3に
送られている。25は第2の補正信号発生回路であり、
補正信号発生回路25にも走査速度設定回路22より走
査速度Sを表わす信号が供給されていると共に、振幅切
換回路9より水平走査信号−の振幅へを表わす信号が供
給されている。第2の補正信号発生回路もこれら両信号
に基づいてその絶対値が走査速isと振幅Aの各々の増
加に伴って増加する負の直流補正信号V2 (S、A
>を発生する。振幅へが最大の際に、走査速度として前
記S[が選択された場合には、この補正信号は丁度−v
bに一致するようになっている。補正信号発生回路25
よりの補正信号は加算回路26に送られている。第1の
切換回路2よりの信号は加算回路26によって補正回路
25よりの信号と加算されて編向コイル5xに送られて
いる。
ては、第3図と同一の構成要素に対しては同一番号を付
している。第1図において、23は第1の補正信号発生
回路であり、この補正信号発生回路23には走査速度設
定回路22より走査速度Sを表わす信号が供給されてい
ると共に、振幅切換回路9より水平走査信号の振幅Aを
表わす信号が供給されている。第1の補正信号発生回路
はこれら両信号に基づいてその絶対値が走査速度Sと振
幅Aの増加に伴って増加する負の直流補正信号Vl
(S、A)を発生する。振幅Aが最大の際に、走査速度
として前記Stが選択された場合には、この補正信号は
丁度−Vaに一致するようになっている。この補正信号
発生回路23よりの補正信号は加陣回路24に送られて
いる。第1の切換四路2よりの信号は直接倍率切換回路
3に送られず、加詐回路24を介して倍率切換回路3に
送られている。25は第2の補正信号発生回路であり、
補正信号発生回路25にも走査速度設定回路22より走
査速度Sを表わす信号が供給されていると共に、振幅切
換回路9より水平走査信号−の振幅へを表わす信号が供
給されている。第2の補正信号発生回路もこれら両信号
に基づいてその絶対値が走査速isと振幅Aの各々の増
加に伴って増加する負の直流補正信号V2 (S、A
>を発生する。振幅へが最大の際に、走査速度として前
記S[が選択された場合には、この補正信号は丁度−v
bに一致するようになっている。補正信号発生回路25
よりの補正信号は加算回路26に送られている。第1の
切換回路2よりの信号は加算回路26によって補正回路
25よりの信号と加算されて編向コイル5xに送られて
いる。
このような構成において、振幅Aが最大に選ばれている
状態において、モード設定回路21よりの信号に基づい
て第1.第2の切換回路2.19をa端子に接続して走
査像モードを設定した後、直流信号発生回路17を操作
して、陰極線管5の画面に第5図(b)に示すように分
析点を示す輝点Pを試料像と重畳表示する。そこで、走
査速度設定回路22を操作して走査速度を^速のSfに
切換えると、第1.第2の補正信号発生回路23゜25
より発生する補正信号Vl (S、A)、V2(S、
A)は、各々第2図(a)の実線a、bに示すようなレ
ベル−Va 、−Vbを有するものとなる。そのため、
水平走査信号発生回路1より発生する走査信号が第2図
(b)において実線イで示す場合に、加算回路24を介
して倍率切換回路3に送られる走査信号は同図において
実線イ′で示すものになり、又、増幅器4に送られる走
査信号は同図において実線イ“で示すものとなる。その
結果、偏向コイル8Xと陰極線管5の偏向コイル5xに
流れる走査信号は実線イで示す水平走査信号と一致した
ものとなる。そのため、走査速度を変化さ眩ても陰極線
管5における輝点Pの表示位置がスポットモードにした
際のスポット照射位置とずれないだけでなく、表示され
る試料の領域もずれないため、輝点Pにより正確に分析
点を表示できる。
状態において、モード設定回路21よりの信号に基づい
て第1.第2の切換回路2.19をa端子に接続して走
査像モードを設定した後、直流信号発生回路17を操作
して、陰極線管5の画面に第5図(b)に示すように分
析点を示す輝点Pを試料像と重畳表示する。そこで、走
査速度設定回路22を操作して走査速度を^速のSfに
切換えると、第1.第2の補正信号発生回路23゜25
より発生する補正信号Vl (S、A)、V2(S、
A)は、各々第2図(a)の実線a、bに示すようなレ
ベル−Va 、−Vbを有するものとなる。そのため、
水平走査信号発生回路1より発生する走査信号が第2図
(b)において実線イで示す場合に、加算回路24を介
して倍率切換回路3に送られる走査信号は同図において
実線イ′で示すものになり、又、増幅器4に送られる走
査信号は同図において実線イ“で示すものとなる。その
結果、偏向コイル8Xと陰極線管5の偏向コイル5xに
流れる走査信号は実線イで示す水平走査信号と一致した
ものとなる。そのため、走査速度を変化さ眩ても陰極線
管5における輝点Pの表示位置がスポットモードにした
際のスポット照射位置とずれないだけでなく、表示され
る試料の領域もずれないため、輝点Pにより正確に分析
点を表示できる。
尚、振幅切換回路9を操作して走査信号の振幅を例えば
1/2にすれば、補正信号発生回路23゜25より発生
する補正信号のレベルも1/2になるため、補正信号が
過大になることはなく、最適な補正を行なうことができ
る。
1/2にすれば、補正信号発生回路23゜25より発生
する補正信号のレベルも1/2になるため、補正信号が
過大になることはなく、最適な補正を行なうことができ
る。
本発明は、上述した実施例に限定されることなく幾多の
変形が可能である。
変形が可能である。
例えば、上述した実施例においては、走査速度に応じて
レベルの変化する補正信号を発生させるようにしたが、
走査速度が速い時のみ像の移動が顕著になるため、走査
速度が一定基準値より速くなった際のみ、一定レベルの
補正信号を走査信号に加算するようにしても良い。
レベルの変化する補正信号を発生させるようにしたが、
走査速度が速い時のみ像の移動が顕著になるため、走査
速度が一定基準値より速くなった際のみ、一定レベルの
補正信号を走査信号に加算するようにしても良い。
又、上述した実施例においては、分析位置を示すための
マークとし′cH点を表示するようにしたが、輝点に限
らずクロスマーク等でも良い。
マークとし′cH点を表示するようにしたが、輝点に限
らずクロスマーク等でも良い。
[発明の効果]
上述した説明から明らかなように、走査速度を速くした
際の試料走査コイルにおける位相遅れと、陰極線管の走
査遅れを供給する走査信号のレベルを変えることにより
補正するようにしたため、陰極線管における輝点Pの表
示位置とスポットモードにした際のスポット照射位置と
のずれ及び、走査像として表示される試料領域のずれを
共に解消でき、輝点Pにより正確に分析点を表示できる
。
際の試料走査コイルにおける位相遅れと、陰極線管の走
査遅れを供給する走査信号のレベルを変えることにより
補正するようにしたため、陰極線管における輝点Pの表
示位置とスポットモードにした際のスポット照射位置と
のずれ及び、走査像として表示される試料領域のずれを
共に解消でき、輝点Pにより正確に分析点を表示できる
。
第1図は本発明の一実施例を示すための図、第2図は第
1図に示した一実施例装置の動作を説明するための信号
波形を示すための図、第3図は従来装置を説明するため
の図、第4図は従来装置の動作を説明するための信号波
形を示すための図、第5図は従来の欠点を説明するため
の図である。 1:水平走査信号発生回路 2.19:切換回路 3:倍率切換回路4.7,12,
18:増幅器 5:陰極IIA管 6:倍率設定回路8x:偏向
コイル 9:振幅切換回路10:試料 11
:二次電子検出器13.24.26:加算回路 14 : X1il検出器 15:信号処理回路16
:記録計 17:直流信号発生回路20:比較器
21:モード設定回路22:走査速度設定回路 23.25:補正信号発生回路 EB:電子線
1図に示した一実施例装置の動作を説明するための信号
波形を示すための図、第3図は従来装置を説明するため
の図、第4図は従来装置の動作を説明するための信号波
形を示すための図、第5図は従来の欠点を説明するため
の図である。 1:水平走査信号発生回路 2.19:切換回路 3:倍率切換回路4.7,12,
18:増幅器 5:陰極IIA管 6:倍率設定回路8x:偏向
コイル 9:振幅切換回路10:試料 11
:二次電子検出器13.24.26:加算回路 14 : X1il検出器 15:信号処理回路16
:記録計 17:直流信号発生回路20:比較器
21:モード設定回路22:走査速度設定回路 23.25:補正信号発生回路 EB:電子線
Claims (2)
- (1)細く絞られた電子線を偏向するための偏向コイル
と、該電子線を試料上において走査するための走査信号
を発生する走査信号発生回路と、該走査信号発生回路を
制御し走査速度を切換えるための手段と、該走査信号に
基づいて走査され該電子線の走査に基づく検出信号の供
給に基づいて試料像を表示するための陰極線管と、電子
線を試料上の点に固定して照射するための可変直流信号
を発生する直流信号発生手段と、該直流信号発生手段よ
りの信号に基づいて該直流信号に対応した該表示手段の
画面位置に該試料像に重畳してマークを表示する手段と
、該偏向コイルに該走査信号と該直流信号を切換えて供
給する手段とを備えた装置において、走査速度を速くし
た際に該偏向コイルを流れる走査信号の位相遅れを自動
的に補正するため該偏向コイル側に送られる走査信号の
レベルを補正する第1の補正手段と、走査速度を速くし
た際に該陰極線管を流れる走査信号の位相遅れを自動的
に補正するため該陰極線管側に送られる走査信号のレベ
ルを補正する第2の補正手段を備えていることを特徴と
する電子線装置。 - (2)該走査信号発生回路より発生する走査信号の振幅
を切換える手段を具備しており、該手段による振幅切換
えに応じて該第1及び第2の補正手段によるレベル補正
量を自動的に切換える手段を備えている特許請求の範囲
第1項記載の電子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP311685A JPS61163548A (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP311685A JPS61163548A (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | 電子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61163548A true JPS61163548A (ja) | 1986-07-24 |
JPH0332179B2 JPH0332179B2 (ja) | 1991-05-10 |
Family
ID=11548378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP311685A Granted JPS61163548A (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | 電子線装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61163548A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0642233A (ja) * | 1992-06-16 | 1994-02-15 | Asahi Steel Kogyo Kk | フエンス |
JPH0628130U (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-15 | 瀬戸内金網商工株式会社 | 胴縁付き二重金網 |
-
1985
- 1985-01-11 JP JP311685A patent/JPS61163548A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0642233A (ja) * | 1992-06-16 | 1994-02-15 | Asahi Steel Kogyo Kk | フエンス |
JPH0628130U (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-15 | 瀬戸内金網商工株式会社 | 胴縁付き二重金網 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0332179B2 (ja) | 1991-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4807159A (en) | Apparatus and method for controlling irradiation of an electron beam at a fixed position in an electron beam tester system | |
JPH0294345A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
US3748467A (en) | Scanning electron microscope | |
JPS61163548A (ja) | 電子線装置 | |
US4321468A (en) | Method and apparatus for correcting astigmatism in scanning electron microscopes and similar equipment | |
JPH0334184B2 (ja) | ||
US4752686A (en) | Method and apparatus for emphasizing a specimen surface region scanned by a scanning microscope primary beam | |
US4099054A (en) | Sem having d-c bias of video signal controlled by maximum and/or minimum of crt beam current | |
US4439681A (en) | Charged particle beam scanning device | |
JPH04112443A (ja) | 二次イオン質量分析装置 | |
JPH0343650Y2 (ja) | ||
JP3101089B2 (ja) | 走査電子顕微鏡における輝度補正方法 | |
JPS63119147A (ja) | 荷電粒子線の集束状態を検出する装置 | |
JPS5811073B2 (ja) | 粒子線による試料走査形試料像表示装置 | |
JPS6324617Y2 (ja) | ||
JP3407473B2 (ja) | 陰極線管制御装置 | |
JPS62154542A (ja) | X線分析装置 | |
JPH0228601Y2 (ja) | ||
JPS5942417B2 (ja) | 映像信号の自動コントラスト調整装置 | |
JPH0778585A (ja) | 荷電粒子ビーム顕微鏡 | |
JPH05290783A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
JPH01274050A (ja) | X線光電子分析装置 | |
JPH01186743A (ja) | 電界放射型走査電子顕微鏡 | |
JPS59153154A (ja) | 電子線分析方法及び装置 | |
JP2005252022A (ja) | 荷電粒子ビーム装置。 |