JPS61163314A - 走査顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ないが、放射性試料、すなわち放射性物質を取扱うため
に使用する走査顕微鏡に関する。

本発明の一面によれば、走査形顕微暁は、コヒーレント
な電磁放射源、視検すべき物体を支持する装置、放射源
から電磁放射の平行ビームを受けて放射を物体上に収束
するようにした装置、物体の像を形成するため物体から
の放射に応答する装置、及び物体を走査するため収束装
置と支持装置との間の相対運動を行なう装置を包含する
。

放射は物体から反射してもよいし、又物体を透過しても
よい。

本発明の装置の一実施態様によれば、支持装置は移動し
てフレーム走査を生じ、収束する装置は移動してライン
走査を生じる。

ｘｉ放射は収束される前に偏光していてもよく、異なる
画像形成シードを得るため、たとえば偏光面を回転させ
る装置を具備してもよい。

上記相対移動に応答して移動する可視の表示素子があっ
て、かかる素子の強度が物体から発する放射の強度に依
存して変化するようにしてもよい。

このようにして、物体の拡大画像が、上記相対移動の起
きるにつれて、表示素子の一つ一つによって順に描出さ
れることになる。

検知装置は、上記ライン走査に応答して値が変化する静
電容量を有するものであってもよい。

上記応答装置は、上記平行ビームが通過するビームスグ
リツタ、物体で反射された放射を上記ビームスグリツタ
から受けるフォトダイオード、及び物体の画像を表示す
るため７オトダイオート９に接続された目視可能な表示
装置を包含する。

本発明は撞々の仕方で実施可能であるが、１δ正して実
行する可能性をもった、特定の一犬廁例全例として、添
付図面を参照しつつ以下に本発明を説明する。

第１図において、Ｌｌは低出力レーデであり、これから
出たビーム１０はビームエクスノぐ／ダ０１を通り幅の
広いビームに変換されて単色光のビーム１１となる。

ビーム１１．は走査アーム０５の端に配設されたレンズ
Ｌ２によって収束されて小さなスポット（たとえば７４
ｍ）を生じる。このスポットは試料Ｓ　の表面に形成さ
れるっレンズＬ２が試料表而を横切って前後に移動する
と、ビーム１１のうちの別の区域がレンズＬ２によって
収束されて小さなスポット（たとえば７４ｍ）を生じる
。上記走査レン）ｅＬ２の実線で示す位置と破線で示す
位置とは、このレンズの走査範囲の限界を示す。試料で
反射された光線は入射した光路と同じ光路を逆方向に進
んだ後レンズＬ２を通過し、ついでビームスプリッタ０
３によシ反射されてビーム１１ａとなシ、収“束レンズ
０４を通ってフォトダイオードｄ＋に入射し、フォトダ
イオードの出力信号は増巾器６９を経て表示装置１０に
達する。フォトダイオードｄ１はアナログ出力信号を発
生し、との出力信号は目視可能な表示装置に入力される
。

この表示装置は走査レンズと試料支持台との相対運動に
応答して移動する可視の表示素子を有し、この素子の強
度はフォトダイオードの出力信号によって変化する。

走査装置の一形態を第３図に示す。走査レンズＬ２は構
造体５２に固着のねじシ棒５１に固定したアーム０５の
一端に載設されている。アーム０５の他端は２１！ｌの
電磁石５３と５４との間に快投されているが、上記電磁
石は嵐力増巾器５５によって選択的に付勢可能なもので
あって、アーム５１全その両振動限界の間でたとえば２
００サイクル毎秒の自己振動数で撮動させる。従って、
走査レンズＬ２は試料表面に平行な平面内で円弧を描く
ことになる（明瞭に見得るようにするため、試料はその
支持装置６１から離して示しである）。

試料台、すなわち試料支持装置６１は、モーター６２に
よって、Ｙ方向に（たとえば７秒の周期で）往復運動を
行ない、トランスジューサ６３がこのＹ方向の移動に応
答した信号を発生する。走査レンズＬ２のＸ方向の移動
と試料のＹ方向の移動とは共に光軸６４に対して直角な
方向にある。

ライン走査の場合、試料は高い周波数で移動しないため
、さもないと要求される、高価で大出力の２イン走査用
駆動装置は必要でない。

アーム０５の位置は、Ｘ方向では位置センサ５６と５７
で、又Ｙ方向についてはトランスジュ−サ６３で計測さ
れるが、かかるセンナは必要に応じてアナログ出力をも
つことも、又デジタル出力をもつこともできる。たとえ
ば、トランスジューサはグレーティングデージ（ｇｒａ
ｔ　ｉｎｇ　ｇａｕｇｅ　）を含むものとすることがで
きる。又、位置センサ５６と５７は、中央極板５８と共
にそれぞれコンデンサを形成する２つの極板として、５
６と５８の間の容量変化と、５７と５８との間の容量変
化とを検知し、接続された電荷増巾器を介してＸ方向の
移動を表わす出力信号を発生する。画像形成装置を設け
てＸ方向とＹ方向の直交性からのずれが補正されるよう
に構成することもできる。出力信号は、表示装置ＴＯに
供給されて、支持装置と走査レンズの相対移動に応じて
、スポットをＸ方向と、Ｙ方向とに移動させる。このス
ポットの強度は試料Ｓｔからの反射光に従って修正され
、この修正された強度がフォトダイオードｄｌで検出さ
れる。表示装置７０のスクリーン上の表示は、永久画像
として残すため、たとえば写真撮影される。露光の継続
時間は／フレームをＹ方向に走査するに要する時間に会
わせて設定しであるため、画像が生成され、画像をネガ
にして保存する。信号を映像蓄積管に供給し、蓄積され
た表示を蓄積管上で見ることができる。レーデ光収束レ
ンズＬ２に適当なものを選択すれば、ヘリウム−ネオン
レーデを使用して、０ｇ５ｍもの小さいスポットを得る
ことが期待される。更に高い分解能ｔ−得るため、紫外
可視域にある光を放出するニッケルーカドミウムレーデ
やＸ線源を使用することも可能である。

［高調波走査形顕微鏡（ｈａｒｍｏｎｉｃｓ　ｓｃａｎ
ｎｉｎｇｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ　）Ｊを使用することも
できる。

これを走査形光学顕微′１ＩＩ１．ｆ−適用すれば、照
明光によって限定されている代゛表的な限界を超えた分
解能を達成することが可能である。その動作は、成る糧
の結晶には、対称中心を欠いているため光の高調波成分
を高強度で発生するという性質があるといりことに基づ
いている。基本周波数で試料から反射された光は、フィ
ルタ回路によｐ濾過されて消滅し、光の高調波成分だけ
によって試料の像が通常の様式で生成される。

レンズＬ２を設は丸目的は光の平行ビームを単に収束さ
せるためにすぎない。そのような訳であるから、レンズ
に高度な収差補正を施す必要はない。レンズＬ２は回折
格子で置換えることができるし、又走査アームは、その
寸法を縮減したシ、二枚重ねの圧電素子小片で置換える
ことができる。

こうしてできた複合装置は従来よりもずっと高い周波数
で撮動可能になシ、従って第１図に示す配置よシも高い
フレーム周波数で画像が形成される。

また、走査アーム０５の一端に曲げモーメントを加えて
光軸６４に平行な方向にそってレンズＬ２の位置を変え
てレンズＬ２に収束作用を行なわせる装置を設けること
が可能であって、たとえば、それは走査子Ｔ３の上方又
は下方に配設され丸、′ＲＬ磁石のポールピースＴ２を
使用して行う。

いま説明し友装置と同じ機構を使用して、７回の走査が
行なわれている間、レンズＬ２の収束位置をそのままに
維持することが可能である。

第１図と第３図を参照して説明する。走査子のアーム０
５の一端に配設された。４ｉ量の軟鉄−一ルピースγ２
に極く近接して、電磁石Ｔ１が支持装置６１に装着され
ている。電磁石Ｔ１のコイルに電流を流すと、走査子Ｔ
３は２方向にそって上方に引寄せられる。ビームの自動
収束は、四分円の方向（入射ビームに対して直角方向）
に配設されたフォトダイオード検出器ｄ！　（第Ｓ図）
により次に述べるようにして行なわれる。ビームスグリ
ツタ０３によって既に分割されて試料に入射し、試料で
反射されて戻るビームはビームスグリツタ０６で又分割
され、このビームスプリッタ０６とフォトダイオードｄ
！との間に挿入された小曲率の円筒レンズＯＴを通過し
て上記フォトダイオードｄ、に入射する。この過程で導
入された非点収差の全体によって戻りビームは非対称な
外囲形状を帯びることになるが、この非対称な外囲形状
は電磁石の励磁コイルに流すべき（走査子７３の位置）
制＃信号の向きを定めるために使用される。

走査形顕微鏡は本質的には遠隔操作すべきものであって
、遮蔽室内の放射性試料の検査に特に適している。第２
図の制−ノやネル２ｏと遮蔽室２１内に配置しである諸
部品とを接続する唯一のものは、制御ケーブル２２の束
にすぎない。通常の顕微鏡の像を遮蔽室から外に取出す
ために使用した光路延長管はもはや必要としない。１顕
微鏡の出方は電気信号の形をしていて、自動計測、画像
解析、画像処理などを行なうためインタフェースを介し
てコンピュータに容易に接続可能である。従来装置に比
して、本装置はずっと小さく、ずっとコンノ々クトでア
ク、従って遮蔽室によって左右されることがない。従来
の「遮蔽室内で使用する（ｉｎｃｅｌｌ）Ｊ顕微鏡とは
相違して、本発明の顕微鏡は、必要に応じて、接続ケー
ブルを外したり、遮蔽室内を移動させたシ、交換したシ
、除去したシすることが可能である。

第２図は本発明の顕微鏡の遮蔽室内における様子を描い
たものである。操作員は試料が顕微鏡に載置されている
短い時間だけ遮蔽室の前に居ればよい。図には、低強度
放射能区域８ｏ、中間強度放射能区域８１、高強度放射
能区域８２、及びし−デ放射源Ｌ１を有する光学部品収
納キャビネット８３が示しである。

走査形光学頭微鏡はレーデ光源を使用する。レーデ光源
の出力レベルは広い範囲から選択可能であるが、従来形
顕微鏡用照明ラングよシも明るい程度の大きさにする（
ＩＩに対する損傷を考慮して従来形ｇ微鏡の照明には高
出力レーデを使用しない）。光は全部下方に収束されて
直径が／Ｉ１ｍ程度のスーットを形成するので、性能の
劣った反射鏡で反射された信号でろってさえも本発明の
タイプ以外の顕微鏡の場合と比べれば充分な大きさを有
している。

このため、以下に記すようなレーデ走査形碩穢鏡のコつ
の利点が得られる。

（尋　検出器に接続の増巾器に小さな利得をもたせれば
よいので、画像のＳ／Ｎ比が高い。

（ｂ）　　顕微鏡の対物レンズは放射に暴露しておくと
通常黒化を生じ、最終的には画像の強度が減少して対物
レンズの交換を必要とするようなレベルにまで達する。

本発明の走査形顕微鏡の場合、これは問題にならない。

それは１．ｆ４微鏡の有効寿命の全期間を通じて一定の
強度が維持されるように顕微鏡を自動的に調節するに充
分な光量を得ることができるからである。

走査形顕微鏡の上述の性質は、偏光を使用して試料が直
交ニコル（暗視野）の状態で観察される時に特に重要と
なる。

この状態では、像の強度が通常の場合の強度よ）も何桁
の程度も小さい大きさになることは決して珍らしくなく
、通常の顕微鏡の性能が厳しく制限されることはごく頻
繁に起きることである。

従来の顕微鏡とは相違して、本発明の顕微鏡３０は放射
性−質を取扱う場合にレンズ交換による調節を行なう必
要がない。遮蔽室２１内に配設されている顕微鏡３ｏの
諸部品は低価格のもので、しかも小さいものであるが、
この特徴は非核使用の場合にもそのまま当てはまる。そ
れ故に、第２図に示す例では、予備の顕微＊３１を遮蔽
室内で常時待機状態にしである。これは顕微鏡が何時で
も使用可能であるということを意味する。

従来の顕微鏡を使用する場合、操作員は接眼境で視る像
を限定された条件で調節できるにすぎない。倍率を変更
しようと思えば、操作員にＭ眼レンズと対物レンズのど
ちらかを交換しなければならない。遮蔽壁の背後に配設
しである顕微鏡に対して、頻繁に倍率を上げ下げしなけ
ればならないとすれば、これは時間のかかる操作である
。これに対して、走査形光学顕微鏡の場合は、倍率はレ
ンズの焦点距離の関数ではなくて、制御パネル２ａ上で
位置計測トランスゾューサの感度を変えることによって
迅速かつ容易に調節可能である。

こうすることによって映像信号がスクリーン上の大きな
区域、又は小さな区域に表示される。

第６図に示す配置は、偏光を利用して行なう操作に特に
適している。偏光を放射するレーデＬ１（第１図）は偏
光ビーム′スゲリッタ０３が最大量の光を透過させる面
と一致するような向きに配設されている。可変位相遅延
素子（ノクビネ・ソレイユ補償板）０２は入射するビー
ムの偏光面を角度θだけ回転して透過させる。ビームは
試料で反射後に遅延素子０２をもう一度通過するので偏
光面は又角変θだけ回転する。−〇＝９０°となると、
試料からの反射光は全てビームスプリッタ０３によって
反射されてフォトダイオードｄ、に入射する。＝θ＝／
ｇＯＰとなると、試料の構造によって９０６回転させら
れた光だけがダイオードによって集められる（光の大き
な部分は試料によって反射させられ、ビームスプリッタ
を通過後レーデに戻され、減衰させられる。）。表面構
造を示すように偏光面が回転可能な試料については、上
述の条件を使用してかかる試料の像を得ることができる
。

従って、位相遅延素子０２を回転させつつ、試料によっ
て調光面の回転を受けている光のビームを検出器ｄＬで
受けることによってかかる試料の構造分析が可能になる
。

成る場合、たとえば、透明な生物試料の場合、透過放射
を受ける位置にフォトダイオードを配置して、反射光を
検出するのではなくて試料を透過した後の放射を検出す
ることによってかかる試料の内部＋ｇ造の知見を得るこ
とが可能になる。

ＭＩＩ図は頑ｅ鏡で得られた画像・清報をコンピュータ
に入力して処理する装置の詳細を示す。走査方式を変換
して正弦波状走査入力をラスク形成走査入力にするため
、Ｘ軸方向の立置に関する走査情報を与える画像信号９
１はライン走査情報緩衝記憶装［９Ｇ中に蓄積される。

Ｙ軸方向の位置に関する走査情報を与える鋸歯状の画像
官号９２も、上に述べたと同様に、そのままで入力とは
しないで、フィードバック制御してテスク形成鋸歯状信
号波形を取るようにきせる。記憶装装置に蓄積された情
報は連続して取出され、高速ディジタルアナログ変換器
９３を経て、７０００本の走査線の画家モニタ９４に供
給される。同時に、外部からの情報の入力／外部への情
報の出力という操作全行なうことによって、画家が記憶
装置中に形成されつつある間にかかる情報を画像モニタ
上で観察することが可能になる。これはビームの収束状
態を点検するのに有用であって、こうすれば走査の途中
で試料を移動させることが可能である。スロースキャン
による原画像は、フレーム走査を（’７００Ｈｚの）発
振器のライン走査と同期させる写真記録用電子回路９５
を使用して表示装置７０のスクリーン上に表示される。

こうすれば、同じ画像モニタを、そのスクリーンを写真
撮影することによって、写真記録モジュールとして使用
することが可能になる。キーが一ド９６は、コンピュー
タ９９を介して、コンピュータ画像処理装置の制御を行
なう。

画像清報は、フレーム情報記録装置９８の所に行ったシ
この記録装置９８の所から戻ったシする磁気ディスクメ
そり９Ｔに蓄積され、必要に応じてコピーが画像モニタ
／写真記録装置９４から得られる。

レンズ収差 走査形光学装置の多くはレンズを使用し、ついでこのレ
ンズを二次元の像として走査することによって物体の像
を得るという従来の方針にそって作動する。上述の装置
がこの従来装置と相違する点は、中間の段階が排除され
ていること、及びデータがディジタル記憶装置に入力さ
れるまでは画像の形成されることはないということであ
る。これは、平行ビームを使用すること、及び走査を光
軸に対して垂直な方向で行なうことによって達成される
。その場合、対物レンズＬ２は平行ビームを収束させて
回折効果によシその大きさか制限されているスポットと
して形成すると共に、反射光を集合させる。それ故に、
このレンズはレンズが二次元の物体の画家を形成したと
すれば当然存在しているはずの非点収差やコマ収差を示
すことがない。加えて、レーデの発する単一の線スペク
トルを使用しているため、色収差に起因する誤差も存在
しない。その結果、問題となる唯一の収差は大幅に補正
可能な球面収差である。同じ理由で、レンズは回折効果
によって制限される性能を限度いっばいに保持しつつ最
大炎の焦点距離が得られるように計算して設計すること
が可能である。実際に、使用のレンズは試料Ｓｔとレン
ズ上２間の隙間が３Ｈであるのに対して、通常の高性能
対物レンズで得られる隙間は１ｍである。この結果、走
査形顕微鏡は、突出部分があるため通常の顕微鏡を使用
しては充分な隙間を確保すること力【できない場合に、
かかる突出部分を有する破＠面の画像を得るために使用
するのが適当でるる。

写真記録については既に述べた。写真フィルムから計測
するという方法はどんなものでも誤差を生じることが免
かれないが、それはプ２ウン管、カメラ及びフィルムの
特性か誤差の主要原因であって、たとえば、かかる誤差
は数−に達することもある。走査形顧４ＩＬ鏡装置の利
点は、計測や操作がコンピュータの記憶装置などのディ
ジタル記憶装置に蓄えておいた画像データに基いて行な
われるものとすれば、充分に達成されるはずである。

かかるコンピュータ装置は０７％の精度を達成するよう
に設計することが可能である。画像精度の限界は次に記
すλつのパラメータによって定まる。

ａ空間直線性と空間分解能 す、グレイスケールの直線性と分解能 本発明の配置では、光学像を形成させないことと、平行
ビームを使用することとによって、光学像の収差の多く
が回避される。ビデオカメラ、又はテレビジョンカメラ
などの、−次元検出器及び二次元検出器に付随した直線
性誤差は単一の点状検出器を使用することによって回避
される。かくして、空間直線性は、位置計測装置の特性
にもっばら依存することになる。多数の位置計測装置が
顕微鏡に対して適用可能である。位置計測装置４の使用
時には以下に記す諸要求条件を考慮に入れなければなら
ない。

ａ　最大強度 ｂ　最大分解能 Ｃ高速走査（Ｘ方向走査の場合、Ｊ　Ｏ（７ｋＨｚ　）
ｄ　走査子の性能に悪影響を及ぼすことがないようにす
る非接触性又は＠置注。

位置計測装置は、インタ゛フェースに関する要求条件に
応じて、アナログ方式とすることもできるし、ディジタ
ル方式とすることもできる。さらに、別の位置計測装置
は、走査子からの、Ｘ軸方向の位置に関する情報を推測
可能でろって、かかる走査情報は正弦波であると仮定す
る。又、Ｙ軸方向の位置に関する走査情報は鋸歯状波で
あると仮定する。このようにして、恐らくは直線性の良
さとの妥協を図って、高Ｓ／Ｎ比を得ることが可能であ
る。以下に記すタイプの諸装置は、位置計測に対する上
記の要求条件を充足するものと思われる。

光学的装置−干渉計 一回折格子 一偏向反射鏡装置 磁気的装置−イ／ダクタンス方式検出器−渦電流方式検
出器 一ホール効果検出器 電子式装置−加速度計 一ストレインｒ−ジ ー容量式検出器。

空間直線性に関する議論は上に述べたが、他方空間分解
能は、最終的には、走査スデットの大きさによって制限
される。本発明の装置の場合、空間分解能は７μｍであ
る。走査範囲、従って達成可能な最小倍率は、位置計測
装置のダイナミックレンジによって限定される。もつと
も、低めの分解能を許容できれば、走査子の走査限界ま
でに達する、もつと大きな走査ＷＲＩｌｉを達成するこ
とが可能である。

グレイスケールの特性は、光検出器／映隊増中器／７’
イジイタイデのノイズ特性によって定まる。

浚近の光検出器は、Ｓ／Ｎ比が１ｐＯｄＢ以上でダイナ
ミックレンジが３桁程度の大きさを超えるという良好な
性能を有している。上に記載の配置は、可視光を試料か
ら反射させてフォトダイオードに入射させるようにしで
あるので、フォトダイオードは室内光の条件で作動可能
であシ、シかもフォトダイオードは点状の検出器である
ことから、レーデビームが収束されている場所以外の点
から発した強い光の多くは排除される。映像増巾器のバ
ント幅は、装置がスロースキャンの条件で使用すること
から、僅かにＪ　００　ｋＨｚであシ、従ってたとえば
ダｍＨｚのバンド幅を有するテレビジョンカメラのもつ
ノイズに比べればバンド幅に比例して小さいノイズ特性
を有する。

本発明の走査形顕微鏡は電子信号の形の信号を出力とし
て生じることから、かかる信号は多数のＲ察者が視察で
きるようにブラウン管上に表示可能であるのみならず、
上記信号は以下に記す種々の機能を果すためインタフェ
ースを介してコンピュータに入力可能である。

ｌ　ディジタルメモリの形でメモリ保管所に貯蔵。

ユ　写真撮影よりも短い時間でハードコピーをつくる。

、３．　　画像の像質向上などの電子回路的処理。

弱　粒子計数などの自動操作。

（ａ）　　本発明の走査形ｇｏ鏡の場合、放射性試料を
取扱う際に操作員に対する放射線量を減するなどのため
に画像の遠隔視検の要求があシ、又ただ一つの制御室で
集中操作を行うことが可能。

（ｂ）　　インタフェースを介して本発明の顕微鏡を他
のハードウェアに接続して以下の諸機能を果させる。

（１）　　コンピュータによる画像の像質向上、＠　コ
ンピュータのメモリの大形のメモリ保管所での貯蔵、 ■　写真撮影に代えて、映像出力プリンタでハードコピ
ーの生産、 件）　ソフトウェアプログラムを用いて画像パラメータ
の計測、自動粒子計数などを実行。

本発明の顕微鏡で得られた分解能は約λμｍであって、
これは照明光の波長によって制限される分解能の極限に
ごく近い値である。この値は、従来装置で得られる数値
を上廻らないとしても、その数値に匹敵するものである
。

本発明の走立形、鋼微債で得られた画像は、試料の金属
学的膚特質を従来の叫微鏡とは異なる味式で詳細に示し
たものである。この顕微鏡は従来装置を使用してこれま
で視察が困難であった物体の画像を得るのに有用である
（酸化物層など）。

本発明の装置は放射がレレズの表面に及ぼす諸影響に起
因して生じる画像の像質劣化を招くことがない。レーデ
によって得られる高い強度のためレンズに生じる黒化は
何れも補償可能である。

レーデによって得られる高い強度のため、表示画像の電
気的ノイズが少ないという、従来装置に比して貞の高い
画■が得られるが、これは偏光を使用して暗視野で一視
する場合などのように画像の強度が低い時には特にその
通シである。

顕微鏡を遮蔽室などの困難な環境で使用するときは、保
守費用が安くてすむというメリットか生じる。本発明の
顕微鏡の「室内使用」諸部品のコストは、この４ｉ微鏡
の全コストの７０チ金上廻ることはない。

本発明の走資形準微鏡の考え得る変更としては、三色表
示系と走査範囲の大区域への拡張がある。

よシ短い時間で画像が得られるように走査周波数を高く
すれば、操作員は試料の周辺をよシ速く動き廻ることが
できる。他の画像表示モードとして考えられるものとし
て例を挙げる。マイクロフォン検出器を使用すれば、本
発明の顕微鏡は音４ＩＩ顕微鏡となシ、表面の微細構造
全検出できる可能性がるる。赤外反射光を検出すれば、
試料の導電率や比熱の画像による表示が可能になる。分
光器を平行ビーム１１（第１図）に挿入してラマン散乱
光を検出すれば試料中に含まれている分子の棟の知見が
得られよう。画像のＩｆ１度は位置計測装置によって変
化する。数多くの可能性がある中で、恐らくは精度が一
番高いものは干渉計タイプの装置であって、１μｍを上
廻る分解能を達成可能である。

本発明の装置は、コンピュータ利用による粒子計数など
の、高＃１度の自動計測に適している。

以上詳述した顕微鏡は、レーデ放射源、視検すべき物体
の支持台、放射源から発した放射を物体上に収束する装
置、支持台と収束装置との間の相対移動を行なう装置、
直交方向に移動可能な月決できる表示、及び上記相対移
動に応答して表示の直交方向の移動を行なう装置を包含
する。

以上に又記載した顕微鏡は、電磁放射源、視検すべき物
体の支持台、放射源から発した放射を物体上に収束する
装置、放射と支持台との間の相対移動を行なう装置、及
び物体からの放射に応答可能な表示を具備した、目視で
きる表示装置を包含する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の走査形光学頭微鏡を示す図、第２図は
放射性試料を取太う装置の略図、第３図は第２図の部分
拡大図、第ｑ図は画数形成装置、第Ｓ図は画］象形成装
置の一実施態様、第６図は別の実施態様である。 ０２　偏光面を回転させる装置 ０３　ビームスプリッタ １１　平行ビーム ５６．５７，５８　　可変容量検知器 ６１　物体を支持する装置 ７０　表示装置 Ｌｌ　電磁放射源 Ｌｌ　収束する装置 Ｓ　直　　　物体 ｄｌ　フオトダイオード 昭和　　年　　月　　日 ２１発明の名称　　　　走査Ｒｉ！に鏡３、？ｆｉ正を
する者 事件との関係　　　出願人 ４、代理人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、コヒーレントな電磁放射源、視検すべき物体を支持
   する装置、放射源から放射を受けて放射を物体上に指向
   するようにした装置、物体の画像を形成するため物体か
   らの放射に応答する装置、及び物体を走査するため放射
   と支持装置との間の相対運動を行なう装置から成る走査
   顕微鏡において、放射を受ける装置が放射の平行ビーム
   を受けてこのビームを物体上に収束するようにしたこと
   を特徴とする走査顕微鏡。 ２、放射が物体から反射される特許請求の範囲第１項に
   記載の顕微鏡。 ３、放射が物体を透過する特許請求の範囲第１項記載の
   顕微鏡。 ４、放射が偏光していて、偏光面を回転させる装置を具
   備する特許請求の範囲第１項、又は特許請求の範囲第２
   項に記載の顕微鏡。 ５、相対運動に応答して移動する表示素子を包含する特
   許請求の範囲前記各項のいずれかに記載の顕微鏡。 ６、表示の強度と物体からの放射とを相関させる装置を
   包含する特許請求の範囲第５項に記載の顕微鏡。 ７、収束する装置が移動してライン走査を生じ、支持装
   置が移動してフレーム走査を生じる特許請求の範囲前記
   各項の何れかに記載の顕微鏡。 ８、上記応答する装置は上記平行ビームが通過するビー
   ムスプリッタ、物体で反射した放射をビームスプリッタ
   から受けるフォトダイオード、及び物体の画像を表示す
   るためフォトダイオードに接続された目視可能の表示装
   置を包含する特許請求の範囲第２項に記載の顕微鏡。 ９、上記ライン走査に応答して変化する容量を有する検
   知装置を包含する特許請求の範囲第７項に記載の装置。