JPS61155803A - 幅測定装置 - Google Patents

幅測定装置

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JPS61155803A
JPS61155803A JP27618384A JP27618384A JPS61155803A JP S61155803 A JPS61155803 A JP S61155803A JP 27618384 A JP27618384 A JP 27618384A JP 27618384 A JP27618384 A JP 27618384A JP S61155803 A JPS61155803 A JP S61155803A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
edge
detector
movement
signal
Prior art date
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Pending
Application number
JP27618384A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Kawase
川瀬 彰
Kenji Arai
健治 新井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP27618384A priority Critical patent/JPS61155803A/ja
Publication of JPS61155803A publication Critical patent/JPS61155803A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/04Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving
    • G01B11/046Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving for measuring width

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、光源部及び受光部から構成され本エツジ検出
器を被測定物の夫々の端部位置に追従させて被測定物の
幅を測定する幅測定装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来の幅測定装置は、被測定物の上方に固定配置された
棒状蛍光灯光源と、被測定物の下方に移動可能に配置さ
れた2つの半導体光電センナと、この光電センナを夫々
被測定物の端部に追従させるサーブ駆動部と、このサー
ブ駆動部により移動する光電センサの移動量を電気信号
に変換し出力する移動量検出部とから構成され【いる。
この光電センナが被測定物の端部位置を検出したときの
その移動量を検出することにより被測定物の幅を求める
ことができる。
しかしながら、光源が棒状蛍光灯光源であるため、被測
定物の上下動することにより幾何学的誤差を生じやすく
、また、サーブ駆動部の追従誤差が直接幅測定誤差とな
るためサー?駆動部の性能が装置の性能を左右するなど
の問題がある。
〔発明の目的〕
本発明は、上記問題点に対処して成されたもので、被測
定物の上下動による誤差が生じることがなく、かつサー
ブ駆動部の追従誤差を補正可能にした幅測定装置を提供
しようとするものである。
〔発明の概要〕
本発明は、エツジ検出器を平行光線を照射する光源部と
、この光源部からの光線を受光しその位置信号を出力す
る光検知器を有する受光部とから構成し、このエツジ検
出器をサーブ駆動部により被測定物の端部へ追従させる
とともにその移動量を検出器で検出し、その移動量信号
と前記光検知器からのエッジ位置信号とから被測定物の
幅を測定するように構成したものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例につき、第1図及び第2図を参
照して説明する。
この一実施例は、第2図に示すように被測定物10の両
端部に夫々移動可能に配置されたエツジ検出器20 、
20’と、このエツジ検出器20 、20’を被測定物
IQの端部に夫々追従させるサーブ駆動部30.30’
と、エツジ検出器Z O、20’の移動量を検出する検
出部40.40’と、この検出部40 、40’からの
移動量信号及び前記エツジ検出器20 、20’からの
エツジ信号から被測定物100幅を算出する演算部5Q
とから構成されている。
このエツジ検出器20は第1図に示すよ5に構成されて
いる。すなわち、このエツジ検出器20は、被測定物1
0をその対向端に介在させるように構成された断面C形
のフレーム21を有している。このフレーム21の下信
端忙は、光源部22が配置されている。この光源部22
は、光源23とレンズ24とから成り、前記被測定物1
0の端部に平行光線を照射するように構成されている。
また、前記フレーム21の上側端忙は、受光部25が配
置されている。この受光部25は、前記光源部22から
照射され前記被測定物10VCgぎられず照射された平
行光線を受光するもので、2つのレンズ26.27及び
光検知器となるCCD素子28から構成されている。
このように構成されたエツジ検出器20は、サーメ駆動
部30により被測定物10の端部位置に追従するように
構成され【いる。すなわち、このサーブ駆動部30は、
前記フレーム21に連結された送りねじ31を有し、前
記エツジ検出器20のCCD素子28がその光学系の視
野内に被測定物10の端部が到来したことを検出するま
でエツジ検出器20を移動させる。このCCD素子28
からのエツジ到来信号は、サー?アンプ32を介してサ
ー&ffi動部30に供給され、この信号を受けた後サ
ーブ駆動部3Qは前記エツジ検出器20の移動を停止さ
せる。
また、このエツジ検出器20の移動量は、検出部40に
より検出されている。この検出部40は、前記エツジ検
出器20のフレーム21の下端に取着された位置検出用
ヘッド41及びこのへ、ド41Vc対向配置されたマグ
ネスケール42から構成されている。
また、この検出部40からの移動量信号及び前記CCD
素子からのエツジ位置信号は、演算部50に供給されて
いる。すなわち、この演算部50)cは、前記エツジ検
出器20がエツジの到来を検出した後停止するまでのサ
ーブ駆動部の追従誤差によるエツジ位置信号WIIが供
給されている。このエッジ位置信号W1はCCD素子2
8の受光しているビット数を数えることにより得られる
。また、このエツジ位置信号wMは、光学系のセンタL
から被測定物10の端部までの距離WA ic比例して
おり、この両者の関係は受光部250倍率がmとすると WA w mWl で表わされる。
また、前記検出器40からは、被測定物10のセンタC
から前記光学系のセンタLまでの距離に相当する移動量
信号−が供給されている。
このよ5に移動量信号W蓋及びエッジ位置信号W1が供
給された演算部50は、被測定物10のセンタCからそ
の端部までの距離W!を次のよ5にして求める。
WT m WM  −mWB  ! WM −WAすな
わち、距離W!は、エツジ検出器20の移動量WMから
サーボ駆動部50の追従誤差分WA ic相当する信号
mWBを減算することにより求められる。そして、この
距離WTK、被測定物10の他端位置に追従するエツジ
検出器20′及び検出器40′からの信号wM’ 、 
W、’から得られる距離w?’を加えることにより被測
定物100幅が測定される。
このようにエツジ検出器;t o 、 i o’が被測
定物10の端部を検出した後停止しするまでの追従誤差
分Wムを検出し、エツジ検出器2o、io’の移動量信
号を補正するようにしたので、被測定物10の正確な幅
を測定することができる。
また、平行光線を用いているため被測定物10の上下動
化よる幾何学的誤差も極めて少なく押えることができる
。また、被測定物10の夫々の端部に別々構成され別々
に移動されるエツジ検出器20 、 Z O’を配置し
たので、幅の異なる被測定物10の測定にも適用できる
なお、エツジ検出器2o、t’o’の移動量検出器40
 、40’として位置検出用ヘオド41及びマグネスケ
ール42を用いて説明したが、移動量を電気信号に変換
し位置信号として出力するものとしては、他に、光学式
リニアスケール。
リニア4テンショメータ、ゲールねじなどの送りねじの
回転数を検出するシャフトエンコーダあるいはビニオン
の回転数を検出するシャフトエンコーダ等を用いても良
い。
また、第3図に示すように1つのC形フレーム60に被
測定物1.′00両端に追従する1対のエツジ検出器を
内蔵、シて構成しても良い。この場合、各端を検出する
検出部61.61’及び光源部62.62’を夫々別々
のサー?駆動部63゜63’、63.63’により移動
させるように構成するとともに各部61161’、62
.62’にその移動量検出部64.64’、64.64
’を設け、移動量を検出する。検出部61.61’及び
光源部62.62’の各構成は前述の一実施例と同様の
構成である。このように構成することkより、両光学系
の位置合せ等の調整が設置する以前に可能となり、また
保守性が向上する。
また、この実施例同様1つのC形フレームyOK、1対
のエツジ検出器を内蔵させ、夫々の受光部11.71’
と光源部12.72’とを夫々1つのサーボ駆動部7 
J 、 7 j’により移動させても良い。なお、図中
74.74.74’、74’は送りねじ、75.75’
は連結軸、16.16’はギャゲックス及び7F、77
.77’、77/は移動量検出部である。このように構
成することにより前述の他の実施例に比し両光学系の位
置精度を向上させることができる。
〔発明の効果〕
本発明は、このように構成したので、被測定物の上下動
変化による幾何学的誤差の発生を押えることができ、ま
たサー?追従誤差の影響をなくすことができ、よって正
確な幅を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明の一実施例を説明するための
もので、第1図は要部の構成図、第2図は全体の構成図
、第3図及び第4図は別々の他の実施例を示す構成図で
ある。 10・・・被測定物、20・・・エツジ検出器、22・
・・光源部、25・・・受光部、28・・・CCD素子
、3り・・・サーボ駆動部、40・・・検出器、50・
・・演算部。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦第2図 第3図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光源部及び受光部から構成されるエッジ検出器を被測定
    物の夫々の端部位置に追従させて被測定物の幅を測定す
    る幅測定装置において、被測定物に平行光線を照射する
    光源部及びこの光源部からの平行光線を受光するように
    対向配置され、複数の光検出素子を直線上に配置した光
    検知器を備えた受光部からなるエッジ検出器と、このエ
    ッジ検出器を被測定物の各端部位置に追従させるサーボ
    駆動部と、このサーボ駆動部により移動されるエッジ検
    出器の移動量を検出する検出器と、この検出器からの移
    動量信号及び前記光検知器からのエッジ位置信号を受け
    被測定物の幅を算出する演算部とから構成したことを特
    徴とする幅測定装置。
JP27618384A 1984-12-28 1984-12-28 幅測定装置 Pending JPS61155803A (ja)

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