JPS61146541A - Apparatus for adhering identification ink - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To prevent the dripping of ink, by providing a suction apparatus for sucking excessive ink at the leading top part of an ink introducing pipe. CONSTITUTION:A suction pipe 10 is provided so as to extend along an ink introducing pipe 3 and attached in the vicinity of the leading end part of the ink introducing pipe 3 by a connection member 11. The opposite end part of the suction pipe 10 is connected to a suction apparatus such as vacuum pump and sucked. By providing the suction pipe 10 as mentioned above, the ink sump 7 generated at the leading end part of the ink introducing pipe 3 is sucked and the dripping of ink is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は識別インク付着装置、特に半導体ウェハ上の各
チップに識別マークを付すのに用いる識別インク付着装
置に関する。TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to an identification ink deposition apparatus, and more particularly to an identification ink deposition apparatus used for applying identification marks to each chip on a semiconductor wafer.

〔発明の技術的背景〕[Technical background of the invention]

半導体ウェハ上に形成された多数の半導体チップは、ダ
イソート工程において１つ１つ測定検査が行なわれる。A large number of semiconductor chips formed on a semiconductor wafer are individually measured and inspected in a die sorting process.

そして不良品があれば、これにマークを付し、ダイシン
グ工程後、このマーク付きのチップを取除くことになる
。このマーク付けは一般に識別インクをチップ表面に付
着することによって行なわれる。第４図に従来の識別イ
ンク付着問直を示す。支持部材１には識別インクを収容
するインクつは２が取付けられており、このインクつは
２の底部にはインク導入管３が取付けられている。イン
クはインクつは２からインク導入管３へ導かれる。イン
ク導入管３内にはマーク針４が挿入されており、このイ
ンク導入管内を長手方向に往復運動する。図ではインク
導入管３の先端部からマーク針４の先端部が突出した状
態が示されている。このマーク針４には一般にテグスが
用いられる。支持部材１にはソレノイド５が設けられて
おり、このソレノイド５に幅３Ｑｍｓ程度、電圧２４Ｖ
程度のパルスを加えることにより、マーク針４が瞬時に
往復運動し、目標物に識別インクを付着させる。第５図
は目標物としての半導体ウェハ６の表面に識別インクを
付着させる瞬間の状態を示す。If there is a defective product, a mark is attached to it, and after the dicing process, the chips with this mark are removed. This marking is generally done by applying identification ink to the chip surface. FIG. 4 shows a conventional identification ink adhesion test. An ink tube 2 for storing identification ink is attached to the support member 1, and an ink introduction tube 3 is attached to the bottom of the ink tube 2. The ink is guided from the ink tube 2 to the ink introduction tube 3. A marking needle 4 is inserted into the ink introduction tube 3 and reciprocates in the longitudinal direction within the ink introduction tube. The figure shows a state in which the tip of the mark needle 4 protrudes from the tip of the ink introduction tube 3. This marking needle 4 is generally made of a needle. The support member 1 is provided with a solenoid 5, which has a width of about 3Qms and a voltage of 24V.
By applying a certain amount of pulse, the mark needle 4 instantaneously moves back and forth, and the identification ink is deposited on the target object. FIG. 5 shows the state at the moment when the identification ink is applied to the surface of a semiconductor wafer 6 as a target object.

以上のようにして、半導体ウェハ検査時に不良品が発見
された場合に、ソレノイド５にパルスを加え、識別マー
クを付する操作が自動的に行なわれることになる。As described above, when a defective product is found during semiconductor wafer inspection, the operation of applying a pulse to the solenoid 5 and attaching an identification mark is automatically performed.

〔背景技術の問題点〕[Problems with background technology]

従来の識別インク付着装置には、インクのぼた落ちが生
ずるという欠点があった。即ち、第６図に示すようにイ
ンク導入管３の先端部にインク溜まり７が生じ、これが
半導体ウェハ６の表面へ落下するのである。一般に識別
インク付着装置の周囲には、第７図に示すような固定カ
ード８が設けられており、ぼた落ちしたインク９は半導
体ウェハ６が移動すると、第８図に示すようにこの固定
カード８に衝突し、半導体ウェハ６の表面上を更に広が
ることになる。このようにして汚れた半導体ウェハ６は
洗浄した後、再び測定検査を行なわなくてはならない。Conventional identification ink deposition devices suffer from ink dripping. That is, as shown in FIG. 6, an ink pool 7 is formed at the tip of the ink introduction tube 3 and falls onto the surface of the semiconductor wafer 6. Generally, a fixed card 8 as shown in FIG. 7 is provided around the identification ink deposition device, and when the semiconductor wafer 6 moves, the dripped ink 9 is removed from the fixed card 8 as shown in FIG. 8 and further spreads over the surface of the semiconductor wafer 6. After cleaning the semiconductor wafer 6 that has become contaminated in this way, it must be subjected to measurement and inspection again.

しかも、ぼた落ちの発見が遅れると、汚れは半導体ウェ
ハどうしの接触により、ロフト全体に広がる可能性があ
る。更に、固定カード８にも汚れが付着するので、以後
の工程を続けるためには固定カード８を取りはずして洗
浄しなくてはならない。このようにインクのぼた落ちが
発生すると、これに対処するために多大の労力、時間を
費すことになる。Moreover, if the drip is detected late, the dirt may spread throughout the loft due to contact between semiconductor wafers. Furthermore, since dirt adheres to the fixed card 8, the fixed card 8 must be removed and cleaned in order to continue the subsequent steps. When such dripping of ink occurs, a great deal of effort and time is required to deal with it.

（発明の目的〕 そこで本発明は、インクのぼた落ちが生ずることのない
識別インク付着装置を提供することを目的とする。(Objective of the Invention) Therefore, an object of the present invention is to provide an identification ink deposition device that does not cause ink dripping.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明の特徴は、識別インク付着装置において、インク
導入管の先端部の余分なインクを吸引するための吸引装
置を設け、インクのほた落ちを防止した点にある。A feature of the present invention is that the identification ink deposition device is provided with a suction device for suctioning excess ink at the tip of the ink introduction tube to prevent ink from dripping.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下本発明を図示する実施例に基づいて説明する。第１
図は本発明に係る識別インク付着装置の一実施例の説明
図である。ここで第４図に示した従来例と同一構成要素
については同一符号を付し、説明を省略する。本実施例
の特徴は、インク導入管３に沿うように吸引管１０を設
けた点である。The present invention will be described below based on illustrated embodiments. 1st
The figure is an explanatory view of one embodiment of the identification ink deposition device according to the present invention. Here, the same components as those of the conventional example shown in FIG. 4 are designated by the same reference numerals, and the explanation thereof will be omitted. A feature of this embodiment is that a suction tube 10 is provided along the ink introduction tube 3.

吸引管１０は接続部材１１によってインク導入管３の先
端部付近に取付けられる。吸引管１０の反対側の端は真
空ポンプ等の吸引装置（図には示されていない。）に接
続され管内が吸引される。このように吸引管１０を設け
たことにより、第２図に示すように、インク導入管３の
先端部に生じたインク溜まり７が吸引され、インクのぼ
た落ちが防止される。The suction tube 10 is attached near the tip of the ink introduction tube 3 by a connecting member 11. The opposite end of the suction tube 10 is connected to a suction device (not shown) such as a vacuum pump to suction the inside of the tube. By providing the suction tube 10 in this manner, as shown in FIG. 2, the ink pool 7 formed at the tip of the ink introduction tube 3 is suctioned, thereby preventing ink dripping.

なお第３図に示すように吸引管１０の途中にインク溜め
１２を設けるのが好ましい。吸引されたインクはこのイ
ンク溜め１２に溜まり、真空ポンプの内部に侵入するこ
とはない。As shown in FIG. 3, it is preferable to provide an ink reservoir 12 in the middle of the suction tube 10. The sucked ink accumulates in this ink reservoir 12 and does not enter the inside of the vacuum pump.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のとおり本発明によれば、識別インク付着装置にお
いて、インク導入管の先端部の余分なインクを吸引する
ための吸引装置を設けるようにしたため、インクのぼた
落ちを防止することができる。As described above, according to the present invention, the identification ink deposition device is provided with a suction device for suctioning excess ink at the tip of the ink introduction tube, so that dripping of ink can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明に係る識別インク付着装置の一実施例の
説明図、第２図は同実施例におけるインク吸引を示す説
明図、第３図は同実施例で用いるインク溜めの説明図、
第４図は従来の識別インク付着装置の一例を示す説明図
、第５図は同装置のインク付着時の状態を示す説明図、
第６図乃至第８図は同装置におけるインクのぼた落ちを
示す説明図である。 １・・・支持部材、２・・・インクつぼ、３・・・イン
ク導入管、４・・・マーク針、５・・・ソレノイド、６
・・・半導体ウェハ、７・・・インク溜まり、８・・・
固定カード、９・・・ぼた落ちしたインク、１０・・・
吸引管、１１・・・接続部材、１２・・・インク溜め。 出願人代理人　　猪　　股　　　　清 ５１　図 も　２　図 ら３　口FIG. 1 is an explanatory diagram of one embodiment of the identification ink deposition device according to the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram showing ink suction in the same embodiment, and FIG. 3 is an explanatory diagram of an ink reservoir used in the same embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of a conventional identification ink deposition device, FIG. 5 is an explanatory diagram showing the state of the same device when ink is deposited,
FIGS. 6 to 8 are explanatory diagrams showing ink dripping in the same apparatus. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Support member, 2... Ink fountain, 3... Ink introduction tube, 4... Mark needle, 5... Solenoid, 6
... Semiconductor wafer, 7... Ink reservoir, 8...
Fixed card, 9... Dropped ink, 10...
Suction tube, 11...connection member, 12...ink reservoir. Applicant's agent Kiyoshi Inomata 51 Figures 2 Figures 3 Mouth

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １、識別インクを収容するインクつぼと、このインクつ
ぼからインクを導入するインク導入管と、このインク導
入管内を管の長手方向に沿って運動し、目標物に識別イ
ンクを付するマーク針と、このマーク針を運動させる駆
動装置と、前記インク導入管の先端部の余分な識別イン
クを吸引するための吸引装置と、をそなえることを特徴
とする識別インク付着装置。 ２、マーク針が合成繊維製であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の識別インク付着装置。 ３、駆動装置がマーク針を動かすソレノイドと、このソ
レノイドに電圧パルスを供給するパルス供給装置と、か
ら成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項または第
２項記載の識別インク付着装置。 ４、吸引装置が、インク導入管に沿って設けられた吸引
管と、この吸引管の途中に設けられたインク溜めと、を
有することを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３
項のいずれかに記載の識別インク付着装置。[Scope of Claims] 1. An ink fountain that stores identification ink, an ink introduction tube that introduces ink from the ink fountain, and an ink introduction tube that moves along the longitudinal direction of the tube to inject the identification ink onto a target object. 1. An identification ink adhering device comprising: a marking needle for attaching a mark; a driving device for moving the marking needle; and a suction device for sucking excess identification ink from the tip of the ink introduction tube. 2. The identification ink deposition device according to claim 1, wherein the mark needle is made of synthetic fiber. 3. The identification ink deposition device according to claim 1 or 2, wherein the drive device comprises a solenoid that moves the mark needle, and a pulse supply device that supplies voltage pulses to the solenoid. 4. Claims 1 to 3, characterized in that the suction device has a suction tube provided along the ink introduction tube, and an ink reservoir provided in the middle of the suction tube.
The identification ink deposition device according to any one of paragraphs.