JPS61145403A - 光学的検出装置 - Google Patents

光学的検出装置

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JPS61145403A
JPS61145403A JP59267877A JP26787784A JPS61145403A JP S61145403 A JPS61145403 A JP S61145403A JP 59267877 A JP59267877 A JP 59267877A JP 26787784 A JP26787784 A JP 26787784A JP S61145403 A JPS61145403 A JP S61145403A
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optical
pressure
optical fibers
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貢 中原
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    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/268Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、光学的に圧力、温度の物理量を検出する光学
的検出装置に関する。
〔発明の背景〕
電気的手段による圧力あるいは温度測定装置は、その測
定信号を電気的な信号に変換して遠隔地へ伝送すること
が一般的である。そのため、この測定信号を伝送する途
中において、電気的な誘導雑音を受ける可能性が高い。
この点、光学的手段を用いた圧力あるいは温度測定装置
は、伝送路に光ファイバを用いることで遠隔測定が可能
となシ、耐雑音性のある信号伝送が実現できる。
光学的手段として利用する光の性質には、光の強度、位
相、周波数および偏光がある。特に、光の強度変化を測
定する装置は、取シ扱いが比較的簡単であり、また信号
処理が容易である点から、種々多数の測定方法および測
定装置に利用されている。しかしながら、一般に、光の
強度変化金利用する測定装置においては、圧力あるいは
温度の検出部以外での光量変化、例えば光ファイバを光
の伝送路とした場合の伝送損失変化による光量変化が測
定誤差の要因となる。この伝送損失変化が発生する原因
として、光ファイバの曲がシによって臨界角よシ犬なる
反射角を持つ伝送光の発生、あるいは光フアイバ全体の
振動によるマイクロベンドの発生等があシ、これらは光
ファイバの伝送損失を変化させる。
このようなことから、光ファイバを利用して光の強度変
化により圧力あるいは温度を測定する装置では、測定精
度を高めるために、伝送損失変化を小さくするか、伝送
損失変化を補償する必要がある。この光ファイバの伝送
損失変化の補償方式については、@26回自動制御連合
講演会、昭和58年11月、p、435に1光フアイバ
センサの基準パス検出法の改良と光圧力計の応用”と題
する文献において論じられている。前記の文献の中で述
べられている伝送損失補償方式の光圧力センナの補償回
路への適用例を第9図に示す。
第9図において、圧力センナ部は、送光ファイバ3.6
と受光ファイバ8,9と、これら4本の光ファイバ3,
6.8および9の端面と対向して配置された反射板を兼
ねるダイアフラム22と、これらの位置関係を固定する
ハウジング23から構成される。圧力セ/を部における
送光ファイバ3.6からの光は、光ファイバとダイアフ
ラム22との距離、すなわち圧力信号に対応した光量が
受光ファイバ8.9によりそれぞれ受光される。
発光ダイオード1.4は、演算制御回路20により制御
される駆動回路7.10によって駆動され、同一波長の
光2.5を発生する。受光ダイオード15.16が接続
され九光電変換回路17.18は、受光ファイバ8.9
からの圧力信号11゜12.13および14を受光電圧
信号に変換する。
演算処理回路19は、これらの受光電圧信号に対し後述
の演算をする。その演算結果は、演算制御回路20で補
正され圧力表示回路21にて表示される。
次に、この補償方式の原理について説明する。
発光ダイオード1が発光したときの光電変換回路17.
18の受光電圧信号は、次式で表わされる。
Vl、 = K、、・Pt+=に+γ・Ls  ・Ls
−9・L9・P2・・・・・・・・・(1) V+z=に+s °P12=KIS IL3 @Ls 
−s @Ls°P2・・・・・・・・・(2) また、発光ダイオード4が発光したときの受光電圧信号
は、同様にして次式で表わされる。
Vl5=Kty  ”  PI3=KI7  ”  L
s  ・ Lg−s  ”  L9  ・ Ps・・・
・・・・・・(8) Vsi=に+s ・P+4=Kts−Ls ・Ls−1
Ls ・Ps・・・・・・・・・(4) ただし、Vll :圧力信号iによる受光電圧信号Kj
 ;光電変換回路jの変換係数 P+  H圧力信号光iの光量 LL、光ファイバtの伝送効率 Lm−軌j光ファイバm、  n間の結合効率Pri発
光ダイオード1.4の光rの光量 演算処理回路19は、第(1)式、第(2)式、第(3
)式および第(4)式の受光電圧信号をそれぞれ記憶し
た後、次の演算を行う。
第(5)式の演算結果は、送光ファイバ3,6あるいは
受光ファイバ8,9の伝送損失の項を含まず、送光ファ
イバ3,6と受光ファイバ8,9との光の結合係数の関
数すなわち圧力のみの関数となる。
また、第(5)式が定数とならないためには、送光ファ
イバ3,6と受光ファイバ8,9との光の結合係数が異
なる必要があるが、光ファイバ3,6゜8および9を例
えば第10図に示すように検出端面を対称配置すること
で第11図の関係を得ることができ、第11図の例えば
Z+−Zzの範囲(直線部分)を圧力センサとして利用
することにより正確な検出を行いうる。しかしながら、
以上の補償方式は、送受光ファイバとして4本の光ファ
イバを必要とするため、圧力センナ部の構造が複雑とな
る。
〔発明の目的〕
本発明は、光ファイバを利用して光の強度変化によシ圧
力や温度等の物理量を測定する場合において、使用する
光ファイバの本数を減らすとともに、装置構造を簡略化
しうる光学的検出装置を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
上記目的を達成するため、本発明は送光に用いる光ファ
イバと受光に用いる光ファイバの種類を異ならせ、送光
ファイバと受光ファイバとの間の光の結合効率を光の進
行方向に応じて変えることによシ光ファイバの伝送損失
の変化を補償するようにした点に特徴を有する。
すなわち、本発明は、時分割的に駆動される第1の発光
源および第2の発光源と、 被測定物理量の変化に応じて後述する光ファイバの端面
との相対距離が変化する反射板を有する測定部と、 前記第1および第2の発光源と測定部との間に配され、
互に異なる光特性を有する第1.第2の光ファイバと、 前記第2の光源からの光であって第2の光ファイバを介
して伝送され測定部で反射されたのち第1の光ファイバ
を介して伝送された第2の光を受光して電気信号に変換
する第1の光電変換部および前記第1の光源からの光で
あって第1の光ファイバを介して伝送され測定部で反射
されたのち第2の光ファイバを介して伝送され九第1の
光を受光して電気信号に変換する第2の光電変換部と、
前記第1の光源からの光を第1の光ファイバに導入し、
かつ第2の光源からの反射光を前記第1光電変換部に導
く第1の光分岐器および前記第2の光源からの光を第2
の光ファイバに導入し、かつ第1の光源からの反射光を
前記第2光電変換部に導く第2の光分岐器と、 前記第1の光電変換器と第2の光電変換器からの電気信
号の比を演算して前記被測定物理量を求める演算部と、
を備えた点に特徴を有する。
この場合において、−第1.第2の光フアイバは、コア
径、コア内部の屈折率分布または開口数のうち、少なく
ともいずれか一つを各党ファイバで異ならせることによ
シ光特性を異ならせた点に特徴を有する。
〔発明の実施例〕
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
第1実施例 第1図は、本発明による光学的検出装置を光圧力センサ
に適用した場合の一実施例である。発光ダイオード1,
4は、駆動制御回路34によシ制御される駆動回路7,
10により駆動され、同一波長の出射光30.32を発
生する。発光ダイオード1からの出射光30は、第1の
光分岐器24およびロッドレンズ26を介して第1の光
ファイバ28に入射後、圧力センナ部へ伝送される。
圧力センナ部は、第1の光ファイバ28と第2の光ファ
イバ29と、これらの光ファイバ28゜29の検出端面
に対向して配置された反射板を兼ねるダイアフラム22
と、これらの位置関係を固定するハウジング23とから
構成される。
圧力センナ部における第1の光ファイバ28からの投射
光は、光ファイバ28.29とダイアフラム22との距
離、すなわち圧力信号に対応した光量が第2の光ファイ
バ29により受光される。
第2の光ファイバ29で受光された光は再び伝送され、
第2のロッドレンズ27を通過後筒2の光分岐器25で
光の進行方向が変えられ、第1の受光ダイオード161
に圧力信号光31として照射され、第1の光電変換回路
181により受光電圧信号に変換される。同様にして、
発光ダイオード4からの出射光32は、発光ダイオード
1の出射光30と逆の経路を経て第1の光分岐器24に
よシ光の進行方向を変えられ、第2の受光ダイオード1
51に圧力検出信号33として照射され、第2の光電変
換回路171により受光電圧信号に変換される。これら
の受光電圧信号は、演算処理回路35に入力される。
演算処理回路35では、後述の演算処理が実行され、マ
イクロコンビエータ36によシその演算結果は補正され
る。マイクロコンピュータ36は、駆動制御回路34へ
の制御信号を出力し、間接的に駆動回路7,10を制御
する。マイクロコンピュータ36で補正された演算結果
は、圧力表示回路37にて表示される。
次に、演算処理回路35の演算処理について説明する。
発光ダイオード1が発光した時、第1の光電変換回路1
81の受光電圧信号は次式で表わされる。
Vs+=Ktat 8Ps+=に+st @Lts ′
L(ss−xs)aLss 1Ps。
・・・・・・・・・(6) また、発光ダイオード4が発光した時、第2の光電変換
回路171の受光電圧信号は、同様に次式で表わされる
Vms=KryビPm5=Ktyt +Ln +L(w
e−vs) ” L!1111Psz・・・・・・・・
・(7) ただし Vt1圧力圧力量による受光電圧信号KJ ;
光電変換回路」の変換係数 Pl ;圧力信号光iの光量 LL;光ファイバLの伝送効率 L(−−−) ?光が光ファイバmからnへ進行すると
きの結合効率 Pso;光ファイバ28への入射光30の光量 P3!;光ファイバ29への入射光32の光量 演算処理回路35は、第(6)式および第(7)式の受
光電圧信号をそれぞれ記憶したのち、次の演算を行う。
・・・・・・・・・(8) ここで 第(8)式の演算結果は、第1の光ファイバ2Bの伝送
損失および第2の光ファイバ29の伝送損失の項を含ま
ず、第1の光ファイバ2Bと第2の光ファイバ29との
間の結合効率の関数、すなわち圧力のみの関数となる。
また、第(8)式が定数とならないためには、光の進行
方向に応じて光ファイバ28.29間の結合効率L (
u −29)*  L (28−雪s)が異なる必要が
ある。この条件を満足するだめには、例えばコア径、コ
ア内部の屈折率分布あるいは開口数が異なる2株類の光
ファイバを第1の光ファイバ28、第2の光ファイバ2
9として使用すればよい。
圧力センサ部におけるこれらの種類が異なる光ファイバ
28.29から、反射板を兼ねたダイアフラム22への
それぞれの出射光強度分布II。
11は、例えば第2図のようになる。すなわち、第1の
光ファイバ28と第2の光ファイバ29との種類を異な
らせることによりダイアフラム22における出射光強度
分布Is、Itが異なってくる。その結果、光の進行方
向に応じ、ダイアフラム22の反射を介した光フアイバ
28,29e=I%i)の間の結合効率L(雪8−雪s
)、  L(!e−zs)が異なシ、必要とする結合効
率が得られる。したがって、これらの種類が異なる第1
の光ファイバ28と第2の光ファイバ29を用いること
により、第3図の特性を有する光圧力センナを得ること
ができる。
との光圧力センサにおいて、ダイアフラム22に圧力が
加わると光ファイバ28,29とダイアフラム22との
距離が変化し、光ファイバ28゜29間の光の結合効率
が変化する。この結合効率の変化は、第(6)式および
第(7)式に示されるように受光電圧信号Vst t 
Vssの変化となる。受光電圧信号VsI、Vssは、
圧力および光ファイバ28゜29の伝送損失の関数であ
るが、演算処理回路35の演算結果である第(8)式は
、発光ダイオード1.4の出射光が一定の場合、圧力変
化があるときのみ(Vs1/ Vsa )は変化する。
したがって、第3図の例えばz3〜z4の範囲を圧力セ
ンサの圧力検出範囲として利用する。マイクロコンピュ
〒り36は、演算処理回路35の第(8)式の演算結果
から、第3図の圧力と(V31/ Vss )との関係
に基づいて圧力を決定する。
以上のように、光ファイバを利用し、光の強度変化によ
シ圧力を測定する光応用センナにおいて、光ファイバの
伝送損失変化に影響されることなく高精度な圧力の測定
が種類の異なる2本の光ファイバを用いることで実現で
き、これに伴って圧力センサ部の構造の簡単化が図れる
。また光ファイバの伝送損失変化は、光ファイバと光フ
ァイバとを接続する場合に使用する光コネクタの接続損
失をも含むと考えることができる。このため、光フアイ
バを長距離にわたって敷設する場合は、圧力セ/す部と
発光ダイオード、受光ダイオードおよび光ファイバを含
む信号処理部とを分離することができ、信号処理部の光
フアイバと圧力センサ部の光ファイバとを必要に応じて
光コネクタを用いて接続することが可能となる。したが
って、この光コネクタによる接続点数も2点と少なくて
済み、光フアイバの取扱いが簡単となる。
第2の実施例 次に、本発明の第2の実施例を第4図に示す。
この実施例において、圧力センサ部は、第1の光ファイ
バ28、第2の光ファイバ29、圧力が加わることによ
シ変化するダイアフラム220、ダイアフラム220に
取付けられた光の遮断板221およびこれらの位置関係
を固定するハウジング230とから構成される。このよ
うな構成において、遮断板221の移動量すなわち圧力
に対する光電変換回路171,181から出力される受
光電圧信号の変化は、第5図のような特性になる。
この特性上、例えば、zs−Z@の範囲を圧力センナの
圧力検出範囲として利用する。
発光ダイオード1,4の駆動回路7,10は、駆動制御
回路34によシ発光ダイオード1,4が時分割的に駆動
されるように制御される。発光ダイオード1,4を時分
割駆動とすることで、光分岐器24.25とロッドレン
ズ26,27との間の多重反射光、あるいは光分岐器2
4.25と空気との間の屈折率の違いによシ発生する反
射光が受光ダイオード151,161に照射され、圧力
信号による受光電圧信号に対する誤差信号となることを
防止できる。すなわち、例えば発光ダイオード1を駆動
した場合、多重反射光等が受光ダイオード151に照射
されるが、この多重反射光は圧力センサ信号ではないた
め使用せず、受光ダイオード161に照射される圧力信
号光31を使用し、多重反射光の影響を避ける。
第3の実施例 また、発光ダイオード1,4の出射光量の変動は、第(
8)式に示されるように圧力信号が変化しない場合にお
いても受光電圧信号の比(Vst / Vss )が変
動することとなυ、圧力信号に対する測定誤差となる。
そこで、第6図に示すように第3の受光ダイオード40
および第3の光電変換回路41を設け、この光電変換回
路41からの受光電圧信号を検出することで、発光ダイ
オード1,4の出射光量の変動による測定誤差の影響を
補償することができる。以下、第6図における受光電圧
信号の処理方法を考慮した第3の実施例について説明す
る。
発光ダイオード1が発光したとき、第3の光電変換回路
41の受光電圧信号は次式となる。
Vsa = K41 ・Pss        −”・
・(9)また、発光ダイオード4が発光したとき、第3
の光電変換回路41の受光電圧信号は、同様に次式とな
る。
Vs會= K41 働Ps*      ・・・・・・
・・・αO第(6)式、第(7)式、第(6)式および
第61式から次の関係が得られる。
ただし、Vss:第1の光分岐器24からの分岐光38
による受光電圧信号 v39:第2の光分岐器25からの分岐光39による受
光電圧信号 に41 :第3の光電変換回路の変換係数P38;光分
岐器24からの分岐光3Bの光量 Ps*+光分岐器25からの分岐光39の光量 第αυ式において、(Pso/Pss )の項は第1の
光分岐器24の分岐比であり、(Psi/ Pss )
の項は第2光分岐器25の分岐比であることからそれぞ
れ定数となる。したがって、第αυ式は発光ダイオード
1,4の出射光量の変動の影響を受けない。
第αυ式の演算の具体的処理の構成を第6図にて説明す
る。発光ダイオード1を発光したとき、第1の光電変換
回路181および第3の光電変換回路41からのそれぞ
れの受光電圧信号Vale v、。
は除算回路42に入力される。また発光ダイオード4を
発光したとき、第2の光電変換回路171および第3の
光電変換回路41からのそれぞれの受光電圧信号Vss
、 VBは除算回路43に入力される。発光ダイオード
1,4は時分割的に駆動するため、除算回路42.43
の出力も時分割的に得られることから、除算回路42.
43の出力はサンプルホールド回路44.45にそれぞ
れ保持される。マイクロコンピュータ47は発光ダイオ
ード1.4の駆動制御回路34に時分割駆動のための信
号を出力するほか、サンプルホールド回路44.45の
セット信号、リセット信号を出力し、除算回路42.4
3からの出力が得られた時点で除算回路46にサンプル
ホールド回路44.45からの信号が出力されるよう制
御する。除算回路46からの出力は、第αυ式の演算結
果であシ、マイクロコンピュータはこの演算結果から、
第3図の関係に基づいてダイアフラム22に加わってい
る圧力を決定し、圧力表示回路48にて表示する。
第4の実施例 次に、第tの光ファイバ28と第2の光ファイバ29と
の間の光の結合のみならず、発光ダイオード1を駆動し
た場合の圧力センサ部からの戻シ光311.発光ダイオ
ード4を、駆動した場合の圧力センサ部からの戻9光3
31を利用して補償する第4の実施例について、第7図
によシ説明する。
発光ダイオード1が発光したとき得られる受光電圧信号
は、次式となる。
V311=Kl?1−PS11=KI71 ・Lム°L
ss−ss−Ps。
・・・・・・・・・a2 v3I:′に11IHP3にもに+g+ ′Lzs e
L(u−we ) 1lLz*°ps。
・・・・・・・・・(6) また同様に発光ダイオード4が発光したとき得られる受
光電圧信号は、次式となる。
Vss+=に+st ′P3st=に+sヒLee°L
B−B・p:+z・・・・・・・・・α騰 Vss=KIy+ °Pss°に+yヒL29 eL 
(e−3m ) 0L21°P32・・・・・・・・・
(7) 演算処理回路35は、第(6)式、第(7)式、第(1
2式および第α国式の受光電圧信号をそれぞれ記憶した
のち、次の演算をする。
・・・・・・・・・Q4 第α荀式は、第1の光ファイバ28および第2の光ファ
イバ29の伝送損失の項を含まず、圧力のみの関数であ
る。また、第1の光ファイバ28と第2の光ファイバ2
9との間の光の結合係数は光の進行方向にかかわらず同
じであってもよく、例えばこの場合の各受光電圧信号は
第8図のようになシ、例えば(Zy 、  Za  )
の範囲を圧力センナの圧力測定範囲に利用する。したが
って、演算処理回路35の第(14)式の演算結果から
、第8図の圧力と(Vs+−Vss ) / (Vss
+−V 5st)との関係に基づいて圧力を決定し、圧
力表示回路37にて表示する。
以上の実施例では、本発明を光圧力センサに適用した例
について説明したが、例えば圧力検出のだめのダイアフ
ラムを温度検出のためのパイメタルとすることで光温度
センサとすることができる。
また変位、歪み等の測定に本発明を適用できることは、
当業者にとっては明らかである。′〔発明の効果〕 本発明によれば、光ファイバを利用し光の強度変化によ
シ、圧力、温度および歪み等を測定する光応用センサに
おいて、光ファイバの間の光の結合効率が、光の進行方
向に応じて変わる2本の種類が異なる光ファイバを使用
することにより光ファイバの伝送損失の変化に対し圧力
、温度および歪み等の測定値が影響を受けないため、高
精度な測定が可能となる。また、圧力あるいは温度等の
センサ部に格別な構成を用いることが不要となシ、構成
を簡素化しうる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
本発明に用いる光ファイバの出射光強度分布を示した特
性図、第3図は第1図における受光電圧信号の変化を示
した特性図、K4図は本発明の第2の実施例を示すブロ
ック図、第5図は第4図の実施例における受光電圧信号
の変化を示した特性図、第6図は本発明の第3の実施例
を示すブロック図、第7図は本発明の第4の実施例を示
すブロック図、第8図は第7図の実施例における受光電
圧信号の変化を示した特性図、第9図は従来の光学的検
出装置の例を示すブロック図、第10図は従来のセンナ
部における光ファイバの配置例を示す図、第11図は第
9図における受光電圧信号の変化を示す特性図である。 1.4・・・発光ダイオード、3,6,8,9,28゜
29・・・光ファイバ、7.10・・・駆動回路、15
゜16.40・・・受光ダイオード、22,220・・
・ダイアフラム、17,18,171,181.41・
・・光電変換回路、20・・・演算制御回路、21゜3
7・・・圧力表示回路、24.25・・・光分岐器、3
4・・・駆動制御回路、35・・・演算制御回路、36
・・・マイクロコンビエータ、42,43,46・・・
除算回路、44.45・・・サンプルホールド回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、時分割的に駆動される第1の発光源および第2の発
    光源と、 被測定物理量の変化に応じて後述する光フアイバの端面
    との相対距離が変化する反射板を有する測定部と、 前記第1および第2の発光源と測定部との間に配され、
    互に異なる光特性を有する第1、第2の光フアイバと、 前記第2の光源からの光であつて第2の光フアイバを介
    して伝送され測定部で反射されたのち第1の光フアイバ
    を介して伝送された第2の光を受光して電気信号に変換
    する第1の光電変換部および前記第1の光源からの光で
    あつて第1の光フアイバを介して伝送され測定部で反射
    されたのち第2の光フアイバを介して伝送された第1の
    光を受光して電気信号に変換する第2の光電変換部と、
    前記第1の光源からの光を第1の光フアイバに導入し、
    かつ第2の光源からの反射光を前記第1光電変換部に導
    く第1の光分岐器および前記第2の光源からの光を第2
    の光フアイバに導入し、かつ第1の光源からの反射光を
    前記第2光電変換部に導く第2の光分岐器と、 前記第1の光電変換器と第2の光電変換器からの電気信
    号の比を演算して前記被測定物理量を求める演算部と、
    を備えたことを特徴とする光学的検出装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の装置において、第1、
    第2の光フアイバは、コア径、コア内部の屈折率分布ま
    たは開口数のうち、少なくともいずれか一つを各光フア
    イバで異ならせることにより光特性を異ならせたことを
    特徴とする光学的検出装置。
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