JPS6114520A - Detecting device of number or revolution, speed etc. - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To enable to perform a measurement having high reliability even under electromagnetic noise by detecting the movement of magnetic flux generating part provided on a substance and by mudulating the light intensiy with the output thereof. CONSTITUTION:A permanent magnet 11 is buried on the peripheral side of a circular disk 10 and when the circular disk 10 is rotated a voltage is caused on a coil 30 and the voltage thereof is impressed on between electrodes 31, 32 after being rectified by a diode 33. A Mach-Zehnder type light wave guide 25 is consisted of light wave guide path part 23 for input, two branched light wave guide path parts 21, 22 and light wave guide path part for output 24, and the light of which intensity is modulated according to the voltage impressed on between electrodes 31, 32 is converted into electric signal by a photoelectric converting elements 43. The electric signal thereof is inputted into a counter 46 via a low pass filter 44 and discriminator circuit 45, and the electric signal showing the number of revolutions of the circular disk 10 obtd. from the counter 46.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 〔発明の技術分野〕 この発明は、回転体の回転数、回転速度、角銘 速度、角度位置、定まった経Ｉ上を周期的に移動する物
体の速度、周期、位置、その他の物体の速度などを光信
号を利用して検出する装置に関する。[Detailed Description of the Invention] Background of the Invention [Technical Field of the Invention] This invention relates to the number of rotations, rotational speed, angular velocity, angular position of a rotating body, and the velocity of an object that periodically moves on a fixed axis I. , relates to a device that detects the period, position, speed of other objects, etc. using optical signals.

〔従来技術の説明〕[Description of prior art]

光伝送は電磁気雑音の影響を受けないというすぐれた特
長をもっているので、電磁気雑音の多い環境下でのデー
タの伝送に適している。光ファイバを用いると低損失の
光データ伝送が可能であるから、比較的長距離のデータ
伝送も行なえる。光伝送されるべきデータが何らかの測
定データ、たとえば回転数などの場合には、光の形態で
測定または、検出を行ない、そのまま光ファイバを通し
て測定データを光伝送することが好ましい。ここに、光
センサ、光ファイバ・センサといわれるものの利用価値
がある。光センサによる検出と光フアイバ伝送とを組合
せることにより、電磁気雑音の多い環境下であって能 も信頼性の高い測定と長距離伝送とが可ｒとなり、光を
利用した遠隔計測システムができあがる。Optical transmission has the excellent feature of not being affected by electromagnetic noise, so it is suitable for data transmission in environments with a lot of electromagnetic noise. Since optical fibers allow optical data transmission with low loss, data transmission over relatively long distances can also be performed. When the data to be optically transmitted is some kind of measurement data, such as the number of rotations, it is preferable to measure or detect the data in the form of light and then optically transmit the measurement data as it is through an optical fiber. This is where the use of optical sensors and optical fiber sensors comes into play. By combining detection by optical sensors and optical fiber transmission, highly reliable measurement and long-distance transmission are possible even in environments with a lot of electromagnetic noise, creating a remote measurement system that uses light. .

さて、回転数、回転速度、角速度等を測定するための代
表的な光センサに、不透明回転板の周辺の一部に穴をあ
けておき、この穴を両側からのぞむ位置に１対の光ファ
イバを対向させたものがある。光源からの光が一方の光
ファイバから出射され、他方の光ファイバに入射する。Now, in a typical optical sensor for measuring rotational speed, rotational speed, angular velocity, etc., a hole is drilled in a part of the periphery of the opaque rotary plate, and a pair of optical fibers are inserted into the hole from both sides. There is something that is opposite. Light from a light source is emitted from one optical fiber and enters the other optical fiber.

回転板が回転することにより穴が光ファイバの位置に至
ると光がこの穴を通過し、その他の部分が光ファイバと
対向しているとき番こは光は遮断される。したがって、
上記他方の光ファイバには回転板の回転に応じたオン／
オフ光信号が得られる。As the rotating plate rotates, when the hole reaches the position of the optical fiber, light passes through this hole, and when the other portion faces the optical fiber, the light is blocked. therefore,
The other optical fiber is turned on/off according to the rotation of the rotating plate.
An off-light signal is obtained.

しかしながら、このような光センサにおいては、上記一
方の光ファイバから出射される光は広がりをもっている
のでそのほんの一部のみが上記他方の光ファイバに入射
するにすぎず、得られる光検出信号の強度が低いという
欠点がある。この欠点を解消するため（こは、上記一方
の光ファイバから出射される光をレンズを用いて収束さ
せることが必要となる。レンズが必要であるからその分
だけ構成が複雑となり、また厳密な光軸合わせが必要と
なる。その上に、振動等によって光軸のずれが発生する
可能性が太きい。However, in such an optical sensor, since the light emitted from one of the optical fibers is spread out, only a small portion of the light enters the other optical fiber, and the intensity of the resulting photodetection signal decreases. It has the disadvantage of being low. In order to eliminate this drawback, it is necessary to use a lens to converge the light emitted from one of the optical fibers. Since the lens is required, the configuration becomes complicated and strict It is necessary to align the optical axis.In addition, there is a high possibility that the optical axis will shift due to vibration or the like.

発明の概要 〔発明の目的〕 この発明は、電磁気雑音下であっても信頼性の高い測定
と低損失長距離伝送が可能である乏・いう光利用測定の
特長をそのまま活かし、しかも光軸合せというめんどう
な作業が不要おあり、光軸ずれ【こよる測定不能という
事態が発生することのない回転数、速度等の検出装置を
提供することを目的とする。Summary of the Invention [Object of the Invention] The present invention utilizes the advantages of optical measurement, which enables highly reliable measurement and low-loss long-distance transmission even under electromagnetic noise, and also achieves optical axis alignment. The purpose of the present invention is to provide a device for detecting rotational speed, speed, etc., which eliminates the need for such troublesome work, and which does not cause a situation in which measurement is impossible due to optical axis deviation.

〔発明の構成、作用および効果〕[Structure, operation, and effects of the invention]

この発明による回転数、速度等の検出装置は、相対的に
移動する一方の物体たとえば回転体に設けられた磁束発
生部、たとえば永久磁石、他方の物体たとえば固定部付
番こ固定され、磁束発生部が相対的にその近傍を通過す
ることにより起電力を発生する素子、たとえばコイル、
起電力発生素子の両端子間に接続された整流素子、たと
えばダイオード、整流素子の出力電圧が印加され、この
電圧印加によって光源から導かれた光の強度を変調する
素子、および変調された光強度の変化から移動物体の移
動に関する情報たとえば回転数、速度データなどを作成
する手段を備えていることを特徴とする。The device for detecting rotational speed, speed, etc. according to the present invention is such that one object that moves relatively, for example, a magnetic flux generating section provided on a rotating body, such as a permanent magnet, and the other object, such as a fixed section, are fixed, and a magnetic flux generating section is fixed. An element that generates an electromotive force when a part passes relatively near it, such as a coil,
A rectifying element, such as a diode, connected between both terminals of the electromotive force generating element, an element to which the output voltage of the rectifying element is applied, and modulating the intensity of light guided from the light source by applying this voltage, and the modulated light intensity. The present invention is characterized in that it includes means for creating information regarding the movement of a moving object, such as rotation speed and speed data, from changes in the movement of the moving object.

磁束発生部が起電力発生素子の近傍を通過するごとに、
光源から導かれた光の強度が変調される。たとえば強度
が増大または減少させられる。したがって、一定時間に
おける光強度変調回数を計数することにより、または２
つの光強度変調間の時間間隔を計時すること１こより、
移動物体の回転数や速度のデータを得ることができる。Every time the magnetic flux generator passes near the electromotive force generating element,
The intensity of the light directed from the light source is modulated. For example, the intensity can be increased or decreased. Therefore, by counting the number of light intensity modulations in a certain period of time, or
By measuring the time interval between two light intensity modulations,
Data on the rotation speed and speed of moving objects can be obtained.

光源からの光は光ファイバにより光強度変調素子に導か
れ、この素子の出力光（強度変調された光）は光ファイ
バにより情報作成手段に送られる。光ファイバと光強度
変調素子とは公知の光コネクタ等により容易に接続され
るから、従来のようにレンズを用いた光軸合わせ等は不
要であり、もちろん光軸がずれるという心配もない。Light from a light source is guided to a light intensity modulating element through an optical fiber, and output light (intensity modulated light) from this element is sent to an information generating means through an optical fiber. Since the optical fiber and the light intensity modulation element are easily connected by a known optical connector or the like, there is no need to align the optical axis using a lens as in the past, and there is of course no fear that the optical axis will shift.

起電力発生素子からは正および負の起電力が発生する。Positive and negative electromotive forces are generated from the electromotive force generating element.

整流素子によって正、負電圧の一方をカットしているの
で、光強度変調素子には正、負電圧の他方しか印加され
ない。したがって、光強度変調された光の強度波形も比
較的単純となり、情報作成手段の処理が簡略化される。Since one of the positive and negative voltages is cut off by the rectifying element, only the other of the positive and negative voltages is applied to the light intensity modulation element. Therefore, the intensity waveform of the light intensity-modulated light is also relatively simple, and the processing of the information creation means is simplified.

従来の磁気応用回転数センサには、永久磁石が周辺に固
定された回転板、またはそれ自体の周辺部が着磁された
回転板を有するも・のがある。Some conventional magnetic rotation speed sensors include a rotary plate around which a permanent magnet is fixed, or a rotary plate whose periphery is magnetized.

この回転数センサは、回転板の磁気に応答する磁電変換
素子を用いて回転数を表わす電気的な信号を取出すもの
である。この発明（こよると、このような従来の磁気応
用回転数センサの回転板をそのまま利用して光ファイバ
を用いた光測定、伝送システムに容易に改造することが
できる。This rotational speed sensor uses a magnetoelectric conversion element that responds to the magnetism of a rotating plate to extract an electrical signal representing the rotational speed. According to this invention, the rotary plate of such a conventional magnetic rotation speed sensor can be used as is and easily modified into an optical measurement and transmission system using an optical fiber.

実施例の説明 〔回転数検出装置の構成〕 第１図ｔこおいて、回転数を検出すべき軸、たとえばモ
ータの出力軸またはそれに連結された軸（図示略）ｌこ
円盤（１（＋１がその中心において固定され、円盤０ｏ
）はこの軸と一体に回転する。この勾 円盤α■の周辺【こは１つの永久磁石ｄｌｌが埋込まれ
ている。円盤０ωの回転にともなって円運動する磁石α
１）の軌跡上の任意の点におい、て、この点に至った磁
石（鎖Ｍ（ｌｌ＆）で示す）にその近傍で対向するよう
番こコイル（至）が配置され、かつ適当な固定部材ｌこ
よりその位置ｌζ固定・されている。DESCRIPTION OF EMBODIMENTS [Structure of rotational speed detection device] FIG. is fixed at its center, and the disk 0o
) rotates together with this axis. A permanent magnet dll is embedded around this magnifying disk α■. Magnet α that moves circularly as the disk rotates at 0ω
At any point on the trajectory of 1), a guard coil (to) is placed so as to face the magnet (indicated by chain M(ll&)) that has reached this point in the vicinity, and a suitable fixing member is placed. Therefore, the position lζ is fixed.

磁石α１）は円盤ＱＯＩの局面に設けることも可能であ
る。この場合にも、コイル（至）はこの磁石Ｑｌ＋から
発生する磁束とできるだけ多く鎖交するような配置で固
定される。永久磁石αＤを円板α０１１こ設ける代わり
に、円盤ａ１１それ自体を強磁性体で形成しまたは円盤
αＧの周囲に強磁性リングをはめ込み、この強磁性体に
着磁するようにしてもよい。The magnet α1) can also be provided on the surface of the disk QOI. In this case as well, the coil (to) is fixed in such a manner that it interlinks as much as possible with the magnetic flux generated from this magnet Ql+. Instead of providing the permanent magnet αD on the disk α011, the disk a11 itself may be made of a ferromagnetic material, or a ferromagnetic ring may be fitted around the disk αG, and the ferromagnetic material may be magnetized.

光強度変調素子は、電気光学効果を有する結晶、たとえ
ばＬ　ｉ　Ｎ　ｂ　Ｏ３結晶基板（イ）上に形成された
マツハツエンダ型光導波路（ハ）を含んでいる。このマ
ツハツエンダ型光導波路（２５）は、入力用光導波路部
分の、この光導波路部分（至）から等しい角度で分岐し
た２つの分岐光導波路部分（２１）■およびこれらの先
導波路部分（２１＋　＠が合流する出力用光導波路部分
（財）から構成されている。分岐光導波路部分子２１１
　（２’ａ上にそれらの一部がそれぞれかかるように１
対の電極ｃ＋１１国が基板（社）上に形成されている。The light intensity modulation element includes a Matsuhatsu Enda type optical waveguide (c) formed on a crystal having an electro-optic effect, for example, a L i N b O3 crystal substrate (a). This Matsuhatsu Enda type optical waveguide (25) consists of two branched optical waveguide parts (21) (21) which are branched at equal angles from this optical waveguide part (end) of the input optical waveguide part, and these leading waveguide parts (21+@). It is composed of output optical waveguide parts (goods) that merge together. Branch optical waveguide part molecule 211
(1 so that each part of them falls on 2'a)
A pair of electrodes C+11 is formed on the substrate.

コイル（至）の両端には抵抗（至）を介してダイオード
（ト）が接続され、ダイオード時の両端がこれらの電極
＃３１１Ｃ＠ｌこそれぞれ接続されている。コイル（至
）に誘起された電圧はダイオード国で整流され、この整
流された電圧がこれらの電極Ｃ１１ｌｌ　（１２１間（
こ印加される。抵抗（財）は必ずしもなくてもよい。光
導波路（２５）はたとえば基板■内にＴｉを熱波するこ
と１こより形成され、電極Ｃ１１ｌ（支）はＡＩ！を蒸
着することによりつくられる。A diode (t) is connected to both ends of the coil (to) via a resistor (to), and both ends of the diode are connected to these electrodes #311C@l, respectively. The voltage induced in the coil (to) is rectified by the diode, and this rectified voltage is applied between these electrodes C11ll (121).
This is applied. Resistance (goods) does not necessarily have to exist. The optical waveguide (25) is formed, for example, by heating Ti in the substrate 1, and the electrode C11l (support) is made of AI! It is made by vapor-depositing.

図示しない光源からの光が光ファイバ［４１１を通して
送られ、適当な光結合器を介してマンハツエンダ型光導
波路因）の入力用光導波路部分（２３）に導かれる。出
力用光導波路部分（２４）から出力される一般に強度変
調された光は同じように適当な光結合器を介して光ファ
イバ（４渇に導かれる。光ファイバＴ４２の光信号は光
電変換素子ｆ４３＋　ｌこよって電気信号番こ変換され
る。この電気信号ｔａｌは低域通過フィルタ（４４）を
経て、レベル弁別回路（４５）に送られ（信号＋ｂ））
　、さらにパルスないしは方形波乙 信号（０）％Ｉ、てカウンタ１４８１　Ｒ：入力する。Light from a light source (not shown) is sent through an optical fiber [411] and guided to the input optical waveguide portion (23) of the Mannha-Zender type optical waveguide via a suitable optical coupler. In general, intensity-modulated light output from the output optical waveguide section (24) is similarly guided to an optical fiber (4) via a suitable optical coupler.The optical signal of the optical fiber T42 is transmitted to the photoelectric conversion element f43+. The electric signal tal is thus converted into a number. This electric signal tal is sent to the level discrimination circuit (45) through a low-pass filter (44) (signal +b)).
, and a pulse or square wave signal (0) %I is input to the counter 1481 R:.

カウンタ（４６１からは円盤（ＩＩＭの回転数を表わす
検出信号が得られる。A detection signal representing the number of rotations of the disk (IIM) is obtained from the counter (461).

〔永久磁石とコイルとの関係〕[Relationship between permanent magnet and coil]

円盤［１０）が１回転すると磁石（１１１はコイル■の
近傍を１回通過する。このとき、磁石（１１）から発生
する磁束はコイル（３０）と鎖交し、かつ鎖交する磁束
数（密度）は時間とともに変化するので、電磁誘導作用
番こよりコイル圓（こは起電力Ｖが発生する。この起電
力Ｖは次式で与えられる。When the disk [10] rotates once, the magnet (111) passes near the coil (■) once. At this time, the magnetic flux generated from the magnet (11) interlinks with the coil (30), and the number of interlinked magnetic fluxes ( Since the density (density) changes with time, an electromotive force V is generated in the coil circle due to the electromagnetic induction action. This electromotive force V is given by the following equation.

ｄ　Φ Ｖ−−ＩＩ　−□　　　　　　　　　　　　　　　　　
　拳・・　ｔｌ、１０ｄ　も ここでｎ、はコイルの巻回数、Φはコイルと鎖交する磁
束数である。d Φ V--II -□
Fist... tl, 10d Here, n is the number of turns of the coil, and Φ is the number of magnetic fluxes interlinking with the coil.

第２図および第３図に磁石＋１１］とコイル■の大きさ
の関係が示されている。これらの図番こおいては磁石α
Ｄのコイル■と対向する面（以下、磁石の面という）お
よびコイル■がともに円形で示されているが、これらが
方形その他の形状の場合ｌこも以下の議論は同じようｔ
こあてはまる。第２図（人）は磁石（１１１の面の径が
コイル嬢の径よりも小さい場合、第２図（Ｂｌは磁石０
１）の面の径がコイル嬢の径よりも大きい場合を示して
いる。第３図は磁石０１）の面の径とコイル艶の径とが
ほぼ等しい場合である。FIGS. 2 and 3 show the relationship between the size of the magnet +11 and the coil (2). In these figures, magnet α
The surface facing the coil ■ of D (hereinafter referred to as the magnet surface) and the coil ■ are both shown as circular, but if these are rectangular or other shapes, the following discussion will be the same.
This applies. Figure 2 (person) is a magnet (111) when the diameter of the surface is smaller than the diameter of the coil.
1) shows the case where the diameter of the surface is larger than the diameter of the coil. FIG. 3 shows a case where the diameter of the surface of the magnet 01) and the diameter of the coil polish are approximately equal.

第４図は、磁石０１１の面の径とコイルＣ３０）の径と
が大巾に異なる場合（第２図）ｌこおけるコイル１こ鎖
交する磁束数Φ、その時間変化十も、コイルｔ３Ｂｔこ
発生する起電力Ｖ、およびダイオード国の両端子電圧Ｖ
ｄを示している。磁石（１１）とコイル（至）が接近す
るときおよび遠ざかるときｌこ鎖交磁束数Φが変化し、
磁石０１）がコイル嬢の面内に含まれている間（第２図
（Ａ））およびコイル測が磁石０１）の面内に含まれて
いる間（第２図（Ｂ））には、鎖交磁束数Φはほぼ一定
に保たれる。したがって、コイル田１こは、両者が接近
するときおよび遠さかるときの２回、正、負の起電力Ｖ
が時間的にいくらか離れた位置で発生する。これらの正
、負の起電力のうちの一方、たとえば負の起電力はダイ
オード圀）によってカットされるので、ダイオード説）
の両端間には正の電圧Ｖｄのみが現われる。Fig. 4 shows that when the diameter of the surface of the magnet 011 and the diameter of the coil C30 are greatly different (Fig. 2), the number of magnetic fluxes Φ interlinking with one coil in l, and its time change, are also determined by the coil t3Bt. The electromotive force V generated by this, and the voltage V at both terminals of the diode
d is shown. When the magnet (11) and the coil (to) approach and move away from each other, the flux linkage number Φ changes,
While the magnet 01) is included in the plane of the coil (Fig. 2 (A)) and while the coil measurement is included in the plane of the magnet 01) (Fig. 2 (B)), The flux linkage number Φ is kept approximately constant. Therefore, the coil field generates a positive and negative electromotive force V twice, when they approach each other and when they move away from each other.
occur at some distance in time. One of these positive and negative electromotive forces (for example, negative electromotive force) is cut by a diode (diode theory).
Only a positive voltage Vd appears across the .

第５図は、磁石（１１１の面の径とコイル圓の径とがほ
ぼ等しい場合（第３図）ｌこおける鎖交磁束ｄ　Φ 数Φ、その時間変化−ｄｔ　　’起電力Ｖおよびダイオ
ード（３３）の端子間電圧Ｖｄを示している。この場合
ζこは、磁石（１１１とコイル嬢とは接近するとただち
に離れていってしまうから、鎖交磁束のが一定である時
間はほぼ零であり、コイル測には正、負の起電力Ｖが時
間的に続けて発生する。Fig. 5 shows the interlinkage magnetic flux d Φ number Φ in the case where the diameter of the surface of the magnet (111) and the diameter of the coil circle are almost equal (Fig. 33). In this case, ζ indicates the voltage Vd between the terminals of the magnet (111) and the coil because they immediately separate when they approach each other, so the time during which the interlinkage magnetic flux is constant is almost zero. , positive and negative electromotive forces V are generated sequentially in the coil measurement.

この場合にも、負の電圧はダイオード（３３）によりカ
ットされるので、電圧Ｖｄとしては正の電圧のみが残る
。Also in this case, since the negative voltage is cut off by the diode (33), only the positive voltage remains as the voltage Vd.

このように、コイル（７）および磁石（１１）の大きさ
形状に関係なくダイオード關の両端には同じような電圧
Ｖｄが得られるが、以下の説明（たとえば第８図〜第１
Ｏ図）では、第３図に示されるように磁石αＤの面の径
とコイル■の径とがほぼ等しいということを前提として
話を進める。In this way, regardless of the size and shape of the coil (7) and magnet (11), a similar voltage Vd can be obtained across the diode.
In Figure O), the discussion will proceed on the premise that the diameter of the surface of the magnet αD and the diameter of the coil ■ are approximately equal, as shown in Figure 3.

もちろんこの発明は、第２図、第３図のいずれの場合に
も適用可能である。Of course, the present invention is applicable to either the case of FIG. 2 or FIG. 3.

〔光強度変調素子における印加電圧と光強度との関係〕[Relationship between applied voltage and light intensity in the light intensity modulation element]

第１図において、マツハツエンダ型光導波路（ハ）の入
力用先導波路部分（ハ）を云播する光は２つの分岐光導
波路部分（２１１Ｆ２２に等しく分波してこれらの先導
波路部分（２１１■を進み、出方用光導波路部分（財）
において合波される。２つの分岐光導波路部分（２１）
（支）の長さｒｌ、Ｉ！２（破線で示すように分岐的か
ら合流点までの長さ）が等しい場合には、分岐光導波路
部分（２１＋　（２２）を云播する２つの光は、１つの
光から分波されたものであるがら、出力用先導波路部分
（財）で合波するときに位相が一致している。したがっ
て、伝播損失を考慮しなければ、出力用光導波路部分（
財）で得られる光の強度は入力用光導波路部分（ハ）に
おけるそれＥこ等しい。一般的にいうと、分岐先導波路
部分２１＋（社）を伝播してきた２つの光が出方用光導
波路部分（２３）で合波するときにそれらの位相差が２
ｍπ（ｍは０および整数）であれば、出力用光導波路■
からはマツハツエンダ型先導波路（２５）Ｉこ入力した
光と同じ強度（これを最大強度Ｉｍａｘ　　という）の
光が得られる。２つの光の位相差が２ｍπということを
、分岐光導波路部分（２１＋　＠の長さの差Δ１＝１１
−７２で表わすと、次のよう（こ表現される。In Fig. 1, the light propagating through the input leading waveguide portion (c) of the Matsuhatsu Enda type optical waveguide (c) is split equally into two branching optical waveguide portions (211F22) and these leading waveguide portions (211■). Optical waveguide section for forward and exit directions (foundation)
The waves are combined at Two branch optical waveguide sections (21)
(branch) length rl, I! 2 (the length from the branch point to the confluence point as shown by the broken line) is equal, the two lights propagating the branch optical waveguide section (21+ (22) are separated from one light. However, the phases match when they are combined in the output leading waveguide section. Therefore, unless propagation loss is taken into account, the output optical waveguide section (
The intensity of the light obtained at the input optical waveguide section (c) is equal to that at the input optical waveguide section (c). Generally speaking, when two lights propagating through the branch leading waveguide section 21+ are combined at the output optical waveguide section (23), their phase difference is 2.
If mπ (m is 0 or an integer), output optical waveguide ■
Light having the same intensity (this is referred to as maximum intensity Imax) as the light input to the Matsuhatsu Enda type leading waveguide (25) I is obtained from the Matsuhatsu Enda type leading waveguide (25). The phase difference between the two lights is 2mπ, which means that the length difference Δ1=11
When expressed as -72, it is expressed as follows.

ΔＩ！にｍ・□　　　　　　　　　　・・・（２）ここ
でｎは光導波路の屈折率、λ０　は真空中での光の波長
である。ΔI! m·□ (2) where n is the refractive index of the optical waveguide, and λ0 is the wavelength of light in vacuum.

分岐光導波路部分（２υ■の長さの差Δｌが次の関係に
ある場合には、これらの先導波路部分２１１器を伝播し
てきた光は出力用先導波路部分（財）で合 玲波するときにその位相差が（２ｍ＋１）　πとなる。When the length difference Δl of the branched optical waveguide portions (2υ■) has the following relationship, the light propagating through these leading waveguide portions 211 is combined at the output leading waveguide portion. The phase difference is (2m+1)π.

この場合には、逆位相の２つの光が重ね合わされること
になるから、出力用光導波路（財）に得られる光の強度
は０になる。In this case, since two lights of opposite phases are superimposed, the intensity of the light obtained in the output optical waveguide becomes 0.

さてＬ　ｉ　Ｎ　ｂ　Ｏ３は電気光学効果をもつ結晶で
あるから、電界が印加されるとその屈折率が変化する。Since L i N b O3 is a crystal with an electro-optic effect, its refractive index changes when an electric field is applied.

たとえば、２カツ）　Ｌ　ｉ　Ｎ　ｂ　Ｏｓ　　の場合
には、電極０１）（至）への電圧印加によって光導波路
部分（２１＋　Ｅの屈折率は次のように変化する。For example, in the case of L i N b Os, the refractive index of the optical waveguide portion (21+E) changes as follows by applying a voltage to the electrode 01).

１　　　３゜ η１まＩＩ８十−η。　　γ３３・Ｅ２・・・（４； ここで、　ＥＺ　　はＺ方向の電界の強さ、１］。は異
常光線屈折率、γ３３は電気光学定数である。1 3゜η1 ma II80−η. γ33·E2...(4; Here, EZ is the strength of the electric field in the Z direction, 1] is the extraordinary ray refractive index, and γ33 is the electro-optical constant.

第（４）式からも明らかなように、電極Ｃ１ｌ＋（至）
間に電圧が印加されると、分岐光導波路部分（２１１ｔ
２２の一方で屈折率が増大し、他方で屈折率が減少する
。屈折率が変化すると、光導波路部分（２１Ｊ＠を云播
する光の速度が変化するから、これらの光が出力用光導
波路部分（財）で合波されるときの位相差が変化する。As is clear from equation (4), the electrode C1l+ (to)
When a voltage is applied between them, the branch optical waveguide portion (211t
22, the refractive index increases on the one hand, and the refractive index decreases on the other hand. When the refractive index changes, the speed of light propagating through the optical waveguide section (21J@) changes, so the phase difference when these lights are combined in the output optical waveguide section changes.

たとえば、分岐光導波路部分（２１）■の長さが第（２
）式を満足する場合には、分岐光導波路部分（２１１（
２２１を云播する光が合波するときの位相差は、電極Ｃ
３１１（至）に電圧が印加されていなければ２ｍπであ
って強度１．ｍａｘ　　の光が光導波路部分０４）ｌこ
得られるが、電極相■への電圧印加によって、もしこれ
らの光の位相差が（２ｍ＋１）π（こなったとすれば、
光導波路部分（財）に得られる光の強度は０となる。分
岐光導波路部分（２１）＠を伝播する２つの光の位相差
をπだけ変化させるの（こ要する電圧を半波長電圧Ｖπ
　という。For example, the length of the branched optical waveguide portion (21)
), the branched optical waveguide portion (211(
The phase difference when the light propagating 221 is combined is determined by the electrode C
If no voltage is applied to 311 (to), it is 2mπ and the intensity is 1. max light is obtained from the optical waveguide portion 04)l, but if the phase difference of these lights becomes (2m+1)π(increased) by applying a voltage to the electrode phase (2), then
The intensity of the light obtained at the optical waveguide portion (goods) becomes 0. The phase difference between the two lights propagating through the branched optical waveguide section (21) @ is changed by π (the required voltage is the half-wavelength voltage Vπ
That's what it means.

第６図は、分岐光導波路部分０１１＠の長さの差Δｌが
第（２）式を満たす場合における電極０１）　［３２）
間への印加電圧と出力用光導波路（２４＋　＋こ得られ
る光の強度との関係を示している。印加電圧が±２ｍＶ
π　のときに最大強度Ｉｍａ　ｘ　　の光が得られ、印
加電圧が士（２ｍ＋１）Ｖπ　のとき光の強度はＯとな
る。FIG. 6 shows the electrode 01 when the length difference Δl of the branched optical waveguide portion 011@ satisfies formula (2)) [32]
The figure shows the relationship between the voltage applied between the output optical waveguide (24+ +
When the voltage is π, light with the maximum intensity Imax is obtained, and when the applied voltage is 2m+1Vπ, the light intensity is O.

第７図は、分岐光導波路部分（２１）　（２２）の長さ
の差Δｌが第（３）式を満足する場合における電極＋３
１１　ｆ３２１間への印加電圧と出力用光導波路（２）
に得られる光の強度との関係を示している。印加電圧が
±（２ｍ＋１）Ｖπ　のときに最大強度Ｉｍａｘ　　の
光が得られ、印加電圧が±２ｍＶπ　のとき番こ光の強
度は０となる。FIG. 7 shows the electrode +3 in the case where the difference Δl between the lengths of the branched optical waveguide portions (21) and (22) satisfies equation (3).
11 Applied voltage between f321 and output optical waveguide (2)
shows the relationship between the intensity of light obtained and the intensity of light obtained. When the applied voltage is ±(2m+1)Vπ, light with the maximum intensity Imax is obtained, and when the applied voltage is ±2mVπ, the intensity of the light becomes 0.

この実施例では、上述のように負の電圧はダイオード＋
３３＋　ｉこよりカットされ、電極［３１）　（３２）
間には印加されないので、第６図および第７図では負の
印加電圧に対する光強度曲線は鎖線で示されている。In this example, the negative voltage is connected to the diode + as described above.
33+ I Cut from this, electrode [31) (32)
In FIGS. 6 and 7, the light intensity curves for negative applied voltages are shown as dashed lines.

第１図のコイル（３０）に発生する電圧Ｖは、第は）式
からも分るように、磁石０１）の発生磁束数（磁石（１
１）の強さ）、コイル嬢の巻回数ｕｃ、および調度（回
転数）に応じて変化する。鎖交磁束数Φおよび巻回数ｎ
ｃを一定とすれば、電圧Ｖは回転速度１こよって変化し
、回転速度が速いほど高Ｇ）電圧が発生する。The voltage V generated in the coil (30) in FIG.
1), the number of turns uc of the coil, and the preparation (rotation speed). Interlinkage flux number Φ and number of turns n
If c is constant, the voltage V varies depending on the rotational speed 1, and the higher the rotational speed, the higher the voltage G) generated.

また、分岐光導波路部分０１）□□□を伝播する光の位
相差は、電界が印加される光導波路部分の長さすなわち
電極（３１）■の長さによっても変わる。Further, the phase difference of the light propagating through the branched optical waveguide portion 01)□□□ also changes depending on the length of the optical waveguide portion to which the electric field is applied, that is, the length of the electrode (31)■.

第８図および第９図は、第１図の構成において円盤（１
０が回転し磁石０１）がコイル渕の近傍を通過するとき
に出力用光導波路部分（至）に得られる光の強度を時間
軸に関して示したものである。Figures 8 and 9 show the disk (1) in the configuration of Figure 1.
0 rotates and magnet 01) passes near the edge of the coil, the intensity of light obtained at the output optical waveguide portion (toward) is shown on the time axis.

第８図は、電極（３１１（３２１間への印加電圧Ｏのと
き１こ２つの分岐光導波路部分ｏｉ＋　（２ｚを伝播す
る光が合波するときの位相差が２ｍπとなる構成（第（
２）式、第６図に対応）、第９図は電極Ｇｌ）　（３２
１間への印加電圧０のときに上記２つの光の位相差が（
２ｍ　＋１　）πとなる構成（第（３）式、第７図に対
応）の場合である。これらの図番こおいて、電極０１）
　（３２）間（こ負の電圧が印加された場合の光強度曲
線が参考のために鎖線で示されている。第８図の波形は
、第９図の波形を光強度ＯとＩｍａｘ　　との間で反転
したものと同形であるから、第９図についてのみ説明す
る。FIG. 8 shows a configuration in which when the voltage applied between the electrodes (311 (321) is O, the phase difference between the two branched optical waveguide parts oi+ (2z) is 2mπ when the light propagating through the multiplexing is 2mπ.
2), corresponding to Fig. 6), Fig. 9 is the electrode Gl) (32
When the voltage applied between 1 and 1 is 0, the phase difference between the two lights is (
2m +1 )π (corresponding to equation (3) and FIG. 7). Referring to these drawing numbers, electrode 01)
(32) The light intensity curve when a negative voltage is applied is shown as a chain line for reference. Since the shape is the same as that reversed between the two, only FIG. 9 will be explained.

上述のように磁石０１）がコイル（３０）の近傍を通過
するときζこ、コイル＋３０）ｌこは正、負の電圧が発
生し、負の電圧がダイオード（３３）によりカットされ
、正の電圧Ｖｄ　　のみが電極（３１）　（３２）間に
印加される。As mentioned above, when the magnet 01) passes near the coil (30), positive and negative voltages are generated on the coil +30), the negative voltage is cut by the diode (33), and the positive voltage is Only voltage Vd is applied between the electrodes (31) (32).

第７図ｆこ示されているように、印加電圧Ｖｄ　　がＶ
π　のとき光強度は最大値を示す。したがって、電圧Ｖ
ｄ　　がＶπ　未満の場合には、光強度のピーク値は最
大強度Ｉｍａｘ　　には達しない（第９図（Ａｌ、実線
）。そして、電圧ｖｔｍ≠がＶπ　のときに、光強度の
ピーク値は最大強度工ｍａｘ　　となる（第９図ｔＡｌ
、破線）。As shown in FIG. 7f, the applied voltage Vd is V
When π, the light intensity shows the maximum value. Therefore, the voltage V
When d is less than Vπ, the peak value of the light intensity does not reach the maximum intensity Imax (Fig. 9 (Al, solid line). When the voltage vtm≠ Vπ, the peak value of the light intensity does not reach the maximum intensity Imax (Fig. 9 (Al, solid line). The strength is max (Fig. 9 tAl
, dashed line).

電圧Ｖｄ　　がＶπ　を超えると、光強度波形のピーク
部分にへこみが生じる（第９図（Ｂ））。これは電極ｃ
ｉｌｌ（支）への印加電圧Ｖｄ　　がＶπ　を超えると
光強度はＩｍａｘ　　より小さくなるからである（第７
図参照）。When the voltage Vd exceeds Vπ, a dent occurs in the peak portion of the light intensity waveform (FIG. 9(B)). This is electrode c
This is because when the voltage Vd applied to the ill (support) exceeds Vπ, the light intensity becomes smaller than Imax (7th
(see figure).

電圧Ｖｄ　が２Ｖπ　番こなると、上述のへこみは強度
０まで下降するので、光強度波形には実質的に２つのピ
ークが生じる（第９図（Ｃ））。When the voltage Vd increases to 2Vπ, the intensity of the above-mentioned depression decreases to 0, so that the light intensity waveform substantially has two peaks (FIG. 9(C)).

〔回転数検出装置の作用および効果〕[Function and effect of rotation speed detection device]

第１０図は、光電変換素子＋４３１の出方信号（＆）、
低域通過フィルタ（４（イ）の出方信号（ｂｌおよびレ
ベル弁別回路（４！９の出力信号（（１）を示している
。同図（Ａ）は円盤叫の回転数が小さい場合、同図（Ｂ
ｌは同図ｉＡ）よりも＠転数が大きい場合、同図＋Ｃ’
）は回転数がさらに大きい場合である。これらの図はい
ずれも、マツハツエンダ型光導波路（２５）の分岐光導
波路部分（２１）（２）の長さの差が第（３）式を満足
する条件下ｔこおけるものである（第７図、第９図１こ
対応）。FIG. 10 shows the output signal (&) of the photoelectric conversion element +431,
The output signal (bl) of the low-pass filter (4 (A)) and the output signal (1) of the level discrimination circuit (4!9) are shown. In the same figure (A), when the rotation speed of the disk scream is small, The same figure (B
If l is larger than iA) in the same figure, then +C' in the same figure.
) is the case where the rotational speed is even higher. These figures are all under the condition t that the difference in length between the branched optical waveguide portions (21) and (2) of the Matsuhatsu Enda type optical waveguide (25) satisfies Equation (3) (7th (corresponding to Figure 9, Figure 1).

光電変換素子＋４３１の出力信号ｆａｌの波形は、マツ
ハツエンダ型先導波路（２５）の出方用先導波路部分（
財）に得られる光の強度と同形である。よく知られてい
るように、素子（４３１の構成によっては信号波形が反
転する場合もある。上述したように、磁石（１１１の発
生磁束、コイルＣ３０１の巻回数り。を一定とすれば、
コイル■に発生する電圧は円盤（１０１の回転数Ｇこ依
存し、回転数が大きくなれば電圧も高くなる。第１０図
ｔＡｌは発生電圧■の絶対値（電圧Ｖｄ　）が■π　よ
りも低い場合、同図ｔＢｌはＶπｉｒ　ｉｔ　＋よ、３
．い６合、。図（。Ｎ、、、２Ｖ、Ｉｃ　ｌｉ　？よ３
．′い場合に対応している（第９図参照）。The waveform of the output signal fal of the photoelectric conversion element +431 is based on the output leading waveguide portion (
is isomorphic to the intensity of light obtained in As is well known, the signal waveform may be reversed depending on the configuration of the element (431).As mentioned above, if the magnetic flux generated by the magnet (111) and the number of turns of the coil C301 are constant, then
The voltage generated in the coil ■ depends on the rotation speed G of the disk (101), and the higher the rotation speed, the higher the voltage. In Figure 10 tAl, the absolute value of the generated voltage ■ (voltage Vd) is lower than ■π In this case, tBl in the same figure is Vπir it +, 3
．． 6 go. Figure (.N,,,2V,Ic li?Yo3
．． (See Figure 9).

第１Ｏ図（Ａｌ−（Ｃ１の信号（ａｌを比較しても分る
ように、円盤ａαの回転数が大きくなると、磁石ａｖが
コイル（至）の近傍を通過する時間Ｔが短くなるととも
に、１回の通過において発生するパルス状成分の数が多
くなる。したがって、回転数が名 大きくなるほど信号１Ｂ）には高次のｔ周波酸分がより
多く含まれるよう番こなる。As can be seen by comparing the signal (al) of FIG. The number of pulse-like components generated in one pass increases. Therefore, the higher the rotational speed, the more high-order t-frequency acid components are included in the signal 1B).

低域通過フィルタ（４４１は、この検出装置における回
転数検知範囲内の最も低い回転数に対応する信号＋ａ）
ζこ含まれる信号成分を通過させる程度にその通過帯域
が定められている。したがって、回転数がいかなる値の
場合にも、信号ｆｂｌ中には円盤ａαの１回転ｌρ対し
て１個のパルス状成分が現われるようｌこなる。Low pass filter (441 is a signal +a corresponding to the lowest rotation speed within the rotation speed detection range of this detection device)
The pass band is determined to an extent that allows the signal components included in the signal to pass. Therefore, no matter what value the rotational speed is, one pulse-like component appears in the signal fbl for one rotation lρ of the disk aα.

信号（ｂｌのこのパルス状成分は、レベル弁別回路（ａ
に設定されたしきい値１８１　ｉｎよってレベル弁別さ
れ、波形整形される（信号（Ｃ））。This pulsed component of the signal (bl) is passed through the level discrimination circuit (a
Level discrimination is performed using a threshold value 181 in set at 181 in, and the waveform is shaped (signal (C)).

カウンタ（銀は、信号［Ｃ１に含まれるパルスの間隔（
パルス間隔ｐｔ）を計時、または一定時間Ｃｔ内におけ
るパルス数を計数するものである。これらの計１結果ま
たは計数結果は円盤αωの回転数、回転速度または角速
度を表わしている。The counter (Silver is the interval of pulses contained in the signal [C1
The pulse interval pt) is measured, or the number of pulses within a certain period of time Ct is counted. These total results or counting results represent the rotational speed, rotational speed, or angular velocity of the disk αω.

上述したように、コイル（至）の正、負の発生電圧のう
ちの負の電圧がダイオード（至）によりカットされてい
るので、磁石（１１１がコイル■近傍を１回通過すると
きには１つの光強度ピークしか生じない（Ｖｄ（Ｖπ　
の場合、第９図（Ａｌ参照）。As mentioned above, the negative voltage of the positive and negative voltages generated by the coil (to) is cut by the diode (to), so when the magnet (111) passes near the coil once, one light beam is emitted. Only intensity peaks occur (Vd(Vπ
In the case of FIG. 9 (see Al).

もしダイオード国が無いとすれば光強度ピークが２つ発
生する（第９図（Ａｌ鎖線参照）。低域通過フィルタ（
４４）にこのような２つのピークをも一つ信号を入力し
、第１０図に信号（ｂｌで示すような１つのピークの信
号に変換しようとすれば（〔１ピーク（１パルス）〕、
／（１回転〕の信号を得るためｆこ）、このフィルタ（
４４）の通過帯域としてより低い周波数帯域を設定しな
ければならない。この通過帯域をあまり低くすると、も
し円盤０αが高速回転しこの高速回転の周波数（回転数
７秒）が低く設定された通過帯域の周波数を超えた場合
には計測不能に陥ってしまう。この発明では、信号（ａ
ｌには１回転当り１個のピークしか現われないから、フ
ィルタ（４４１の通過帯域をそれほど低くしなくてすみ
、回転数検知範囲を広くすることが可能である。If there is no diode, two light intensity peaks will occur (see Figure 9 (Al chain line)).Low pass filter (
44), and try to convert it into a signal with one peak as shown in Fig. 10 (1 peak (1 pulse)),
/(1 rotation) To obtain a signal of f), this filter (
44), a lower frequency band must be set as the pass band. If this pass band is made too low, if the disk 0α rotates at high speed and the frequency of this high speed rotation (rotation speed of 7 seconds) exceeds the frequency of the pass band set low, measurement will become impossible. In this invention, the signal (a
Since only one peak appears per revolution in l, the pass band of the filter (441) does not have to be so low, and the rotation speed detection range can be widened.

〔変形例〕[Modified example]

第１１図はこの発明の変形例を示している。 FIG. 11 shows a modification of the invention.

ダイオード關に代えてツェナーダイオード（ト）が接続
されている。このツェナーダイオード（ト）の発生電圧
が高くても電極Ｃ（１）　（３２）間には最大限Ｖ２′
（′：■π　）の電圧しか印加されない。したがって、
出力光の光強度ピークは常ｆこ１回転当り１回しか現わ
れなくなり（第９図ＦＢｌ（Ｃ１のような波形は生じな
い）、低域通過フィルタ（４４）を省略することができ
ゑとともに、回転数検知範囲を一層広くとることが可能
となる。A Zener diode (T) is connected instead of the diode. Even if the voltage generated by this Zener diode (T) is high, there is a maximum voltage of V2' between electrodes C(1) and (32).
Only a voltage of (′: ■π) is applied. therefore,
The light intensity peak of the output light usually appears only once per rotation (a waveform like FB1 (C1 in FIG. 9) does not occur), and the low-pass filter (44) can be omitted. It becomes possible to further widen the rotation speed detection range.

クリップ回路（クリッパ）としてはツェナーダイオード
以外に種々の公知の回路を用いることができるのはいう
までもない。It goes without saying that various known circuits other than Zener diodes can be used as the clipping circuit (clipper).

上記実施例では、円盤（１０）に１個の永久磁石（１１
）が設けられているが、複数個の永久磁石を等角度間隔
で設けるようにすると、回転速度、角速度検出の精度が
高まる。また、円盤００）の特定の角度位置を検出する
場合には、複数個の永久磁石を等角度間隔ではなく、配
置状態が検出信号（たとえばレベル弁別回路（４５）の
出力信号（Ｃ））に現われるような特定の配置状態とす
る。また、特定の磁石の強さを他の磁石よりも強くして
おいて、光電変換素子（４３）の出力信号ｔａ）に現わ
れる波形の相違によって特定の角度位置を検出するよう
にしてもよい。In the above embodiment, one permanent magnet (11
), but if a plurality of permanent magnets are provided at equal angular intervals, the accuracy of rotational speed and angular velocity detection will be increased. In addition, when detecting a specific angular position of the disk 00), it is necessary to arrange the plurality of permanent magnets not at equal angular intervals, but to adjust the arrangement state to the detection signal (for example, the output signal (C) of the level discrimination circuit (45)). A specific arrangement state in which it appears. Alternatively, the strength of a specific magnet may be made stronger than other magnets, and a specific angular position may be detected based on a difference in the waveform appearing in the output signal ta) of the photoelectric conversion element (43).

基板（２０）は電界の印加によってその屈折率が変化す
る電気光学効果をもつものであればいかなるものでもよ
い。したがって、光導波路もＴｉの熱拡散以外の基板の
種類に応じた種々の技術、材料により作製できる。電極
ｆ３１）　ｔ３２１は電圧印加によって光導波路部分の
屈折率を変化させるものであるから、基板の性質に応じ
て種々の形状、配置状態をとりうる。たとえば、電極ｃ
１１１＠を一方の分岐光導波路部分を挾むように配置し
てもよい。また、電極の一方をアースすることも可能で
ある。電極はＡＩ！以外にたとえばＴｉ等の材料で実現
できる。The substrate (20) may be any material as long as it has an electro-optical effect in which its refractive index changes upon application of an electric field. Therefore, the optical waveguide can also be fabricated using various techniques and materials depending on the type of substrate other than thermal diffusion of Ti. Since the electrode f31) t321 changes the refractive index of the optical waveguide portion by applying a voltage, it can take various shapes and arrangements depending on the properties of the substrate. For example, electrode c
111@ may be arranged to sandwich one branched optical waveguide portion. It is also possible to ground one of the electrodes. The electrode is AI! For example, it can be realized using other materials such as Ti.

電界が印加されることにより光強度を変調する素子とし
ては、上述のマツハツエンダ型先導波路を利用したもの
以外に、たとえば光導波路間の方向性結合器を利用した
もの、特願昭５７−８６１７８号（特開昭５８−２０２
４０６号公報）の導波形光ビーム・スプリッタを利用し
たものなどを挙げることができる。Elements that modulate light intensity by applying an electric field include, in addition to those using the above-mentioned Matsuhatsu Enda type leading waveguide, devices that use, for example, a directional coupler between optical waveguides, such as those using Japanese Patent Application No. 57-86178. (Unexamined Japanese Patent Publication No. 58-202
For example, a method using a waveguide optical beam splitter disclosed in Japanese Patent Publication No. 406 can be cited.

この発明は、回転体の回転に関する物理量のみならず、
定まった２次元または３次元経路上を周期的（こ往復動
する物体の移動に関する物理量の測定にも適用できる。This invention applies not only to physical quantities related to the rotation of a rotating body, but also to
It can also be applied to the measurement of physical quantities related to the movement of an object that periodically reciprocates on a fixed two-dimensional or three-dimensional path.

また、相対的に移動する一方の物体に２個の永久磁石を
設けておけば、この２個の磁石がコイル近傍を通過する
時間間隔を測定することにより、この物体が周期的に往
復動しなくても、その物体の速度を測定することができ
る。In addition, if two permanent magnets are installed on one object that moves relatively, the periodic reciprocating movement of this object can be determined by measuring the time interval during which these two magnets pass near the coil. You can measure the speed of an object without it.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は回転数検出装置の一例を示す構成図、第２図お
よび第３図は永久磁石とコイルの大きさ、形状を示す図
、第４図および第５図は、コイルと鎖交する磁束数、そ
の変化、コイルに発生する起電力およびダイオードの両
端の電圧を示すグラフであり、第４図は第２図に示され
た永久磁石とコイルによるもの、第５図は第３図番こ示
された永久磁石とコイルによるもの、第６図および第７
図はマツハツエンダ型光導波路に設け、られた電極への
印加電圧とこの光導波路から得られる出力光の光強度と
の関係を示すグラフであり、第６図は電圧印加が無い場
合に光強度が最大となるように設定された構造における
もの、第７図は印加電圧が無い場合に光強度が零となる
ように設定された構造におけるもの、第８図および第９
図は永久磁石がコイルの近傍を通過するときにマツハツ
エンダ型光導波路から得られる出力光の強度を種々の印
加電圧に応じて示す波形図であり、第８図は電圧印加が
無い場合に光強度が最大となるように設定された構造に
おけるもの、第９図は電圧印加が無い場合に光強度が零
となるように設定された構造（こおけるもの、第１０は
、第１図に示す各回路の出力信号波形を示す図であり、
同図ｔＡｌは回転数が比較的小さい場合、同図ｔＢｌは
回転数が中間程度の場合、同図１ｃＩは回転数が比較的
大きい場合を示し、第１１図は変形例を示す回路図であ
る。 ００）・・・円盤、Ｑｌｌ・・・永久磁石、■・・・電
気光　　　　　″半結晶基板（光強度変調素子）　、ｒ
２１Ｈ’２）・・・マツハツエンダ型先導波路の分岐先
導波路部分、□□□ｅ・・マツハツエンダ型光導波路、
■・・・コイル、ｏｎａ・・・電極、（ト）・・・ダイ
オード（整流素子）、［４ｉ−−−光電変換素子、（４
４１・・・低域通過フィルタ、（４５）・・・レベル弁
別回路、（４６）　＠・・カウンタ。 以　　上 外４名 第８図 第９図 ｒｒ３　　　　　　　　Ｄ（Ｊ １）　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　ｕ第
１０図 （Ｃ）Figure 1 is a configuration diagram showing an example of a rotation speed detection device, Figures 2 and 3 are diagrams showing the size and shape of the permanent magnet and coil, and Figures 4 and 5 are diagrams showing the size and shape of the permanent magnet and the coil. This is a graph showing the number of magnetic fluxes, their changes, the electromotive force generated in the coil, and the voltage across the diode. Figure 4 is a graph showing the permanent magnet and coil shown in Figure 2, and Figure 5 is the graph shown in Figure 3. With the permanent magnet and coil shown, Figures 6 and 7
The figure is a graph showing the relationship between the voltage applied to the electrodes provided in the Matsuhatsu Enda type optical waveguide and the light intensity of the output light obtained from this optical waveguide. Figure 6 shows the light intensity when no voltage is applied. Figure 7 shows the structure set so that the light intensity is at the maximum, and Figures 8 and 9 show the structure set so that the light intensity is zero when no applied voltage is applied.
The figure is a waveform diagram showing the intensity of the output light obtained from the Matsuhatsu Enda type optical waveguide when the permanent magnet passes near the coil, depending on various applied voltages, and Figure 8 shows the light intensity when no voltage is applied. Fig. 9 shows a structure in which the light intensity is set to be zero when no voltage is applied. It is a diagram showing the output signal waveform of the circuit,
tAl in the same figure shows a case where the rotational speed is relatively small, tBl in the same figure shows a case in which the rotational speed is about intermediate, 1cI in the same figure shows a case where the rotational speed is relatively large, and FIG. 11 is a circuit diagram showing a modified example. . 00)...Disk, Qll...Permanent magnet, ■...Electro-optical ``Semi-crystalline substrate (light intensity modulation element), r
21H'2)...Branch leading waveguide part of Matsuhatsu Enda type leading waveguide, □□□e...Matsuhatsu Enda type optical waveguide,
■... Coil, ona... Electrode, (G)... Diode (rectifier), [4i---Photoelectric conversion element, (4
41...Low pass filter, (45)...Level discrimination circuit, (46) @...Counter. Other 4 people Figure 8 Figure 9 rr3 D (J 1) nu Figure 10 (C)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 相対的に移動する物体の一方に設けられた磁束発生部、 他方の物体に設けられ、磁束発生部が相対的にその近傍
を通過することにより起電力を発生する素子、 起電力発生素子の両端子間に接続された整流素子、 整流素子の出力電圧が印加され、この電圧印加によつて
光強度を変調する素子、および 変調された光強度の変化から移動物体の移動に関する情
報を作成する手段、 を備えた回転数、速度等の検出装置。[Claims] A magnetic flux generating section provided on one of objects that move relatively; an element that generates an electromotive force when the magnetic flux generating section passes relatively close to the other object; A rectifying element connected between both terminals of the electromotive force generating element, an element to which the output voltage of the rectifying element is applied and modulating the light intensity by applying this voltage, and a movement of the moving object based on the change in the modulated light intensity. A detection device for detecting rotational speed, speed, etc., comprising means for creating information regarding the number of revolutions, speed, etc.