JPS61142867U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61142867U JPS61142867U JP2409385U JP2409385U JPS61142867U JP S61142867 U JPS61142867 U JP S61142867U JP 2409385 U JP2409385 U JP 2409385U JP 2409385 U JP2409385 U JP 2409385U JP S61142867 U JPS61142867 U JP S61142867U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating shaft
- shutter
- guide groove
- sputtering
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａは本考案に係るスパツタリング装置の
概略断面図、同図ｂは第２の回転軸に設けられる
突起部分の斜視図、第２図ａは成膜スパツタにお
ける場合の両シヤツタの位置関係、第２図ｂはプ
レスパツタ及びエツチングの場合の両シヤツタの
位置関係を示す説明図である。 ２０……基板、３０……ターゲツト材、４０…
…プレスパツタ用シヤツタ、４１……開口、４２
……第２の回転軸、４３……突起、５０……エツ
チング用シヤツタ、５１……開口、５２……第１
の回転軸、５３……案内溝。
概略断面図、同図ｂは第２の回転軸に設けられる
突起部分の斜視図、第２図ａは成膜スパツタにお
ける場合の両シヤツタの位置関係、第２図ｂはプ
レスパツタ及びエツチングの場合の両シヤツタの
位置関係を示す説明図である。 ２０……基板、３０……ターゲツト材、４０…
…プレスパツタ用シヤツタ、４１……開口、４２
……第２の回転軸、４３……突起、５０……エツ
チング用シヤツタ、５１……開口、５２……第１
の回転軸、５３……案内溝。
Claims (1)
- 開口を有するエツチング用シヤツタと、エツチ
ングシヤツタを回転するシリンダ状の第１の回転
軸と、開口を有するプレスパツタ用シヤツタと、
プレスパツタ用シヤツタを回転する第２の回転軸
と、第２の回転軸を回転駆動する駆動系とを具備
するスパツタリング装置であつて、前記第１の回
転軸と第２の回転軸を同軸状に配置すると共に、
第１の回転軸には所定長さの案内溝が周方向に沿
つて設けられ、第２の回転軸には前記案内溝に遊
嵌する突起が形成してあり、前記突起が前記案内
溝の一方の端縁に当接した場合に前記各シヤツタ
の両開口が重なり合わないようにすると共に、前
記突起が前記案内溝の他方の端縁に当接した場合
に前記両開口が対向するように構成したことを特
徴とするスパツタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409385U JPS61142867U (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409385U JPS61142867U (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61142867U true JPS61142867U (ja) | 1986-09-03 |
Family
ID=30517926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2409385U Pending JPS61142867U (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61142867U (ja) |
-
1985
- 1985-02-20 JP JP2409385U patent/JPS61142867U/ja active Pending
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