JPS61134882U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61134882U JPS61134882U JP1827085U JP1827085U JPS61134882U JP S61134882 U JPS61134882 U JP S61134882U JP 1827085 U JP1827085 U JP 1827085U JP 1827085 U JP1827085 U JP 1827085U JP S61134882 U JPS61134882 U JP S61134882U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- conduit
- vacuum chuck
- pin
- negative pressure
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の一実施例の縦断側面図、第2
図は第1図のものの動作説明図である。 1…導管、4…ピン、6…パツド、7…真空チ
ヤツク、8…物体、P…負圧。
図は第1図のものの動作説明図である。 1…導管、4…ピン、6…パツド、7…真空チ
ヤツク、8…物体、P…負圧。
Claims (1)
- 導管の先端にパツドが取付けられ、前記パツド
を物体に当接させた状態で前記導管に負圧を供給
して前記物体を前記パツドに吸着する真空チヤツ
クにおいて、前記物体が前記パツドに吸着された
状態では該物体によつて端部が押圧されるピンを
前記導管内に弾性的に支承したことを特徴とする
真空チヤツク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1827085U JPS61134882U (ja) | 1985-02-12 | 1985-02-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1827085U JPS61134882U (ja) | 1985-02-12 | 1985-02-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61134882U true JPS61134882U (ja) | 1986-08-22 |
Family
ID=30506747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1827085U Pending JPS61134882U (ja) | 1985-02-12 | 1985-02-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61134882U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193191A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Toshiba Corp | 吸着装置、電子部品の製造装置、及び、電子部品の製造方法 |
-
1985
- 1985-02-12 JP JP1827085U patent/JPS61134882U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193191A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Toshiba Corp | 吸着装置、電子部品の製造装置、及び、電子部品の製造方法 |