JPS61134615A - Measuring device for thickness of thin layer - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、被測対象の支持部材としてのテーブル装置と
、１次Ｘ線の絞り装置と、被測対象から放射されｔＸ線
の計数管と、Ｘ線発生器とを有し、駆動装置によってテ
ーブル装置を放射Ｘ線の方向へ絞り装置に対して少くと
も垂直に駆動する形式の、螢Ｘ：Ｘ線方式による薄ｌの
厚さを測定する装置に関する。Detailed Description of the Invention [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a table device as a support member for an object to be measured, a diaphragm device for primary X-rays, and a counter for tX-rays emitted from the object to be measured. , an X-ray generator, and a drive device drives the table device in the direction of the emitted X-rays at least perpendicularly to the aperture device. related to a device for

〔従来技術〕[Prior art]

この種の装置は、例えば、***公開第３２３９．３７９
号から公知でるる。この公知の装置では、ガラス製絞り
装置４９Ｔｈ使用する。例えば、Ｘ線の幾何学的軸線３
２が、ミラー４６によって幾何学的軸線３２に合致され
る光軸８７０部分と一致しなくなると、この絞り装置に
、破損しなくても、使用不能となる。更に、上記公開公
報に記載の貫通ボア５８．５９．６１．６２．６３が、
幾何学的縦軸線３２に平行でなくなつ交堝合も、問題が
生ずる。頁に、ガラスボデー４９に掻き傷かつい友場合
も、問題が生ずる。何故ならば、例えば、光源９４によ
って照明され友範囲が見え難くなるからでるる。Devices of this type are known, for example, from West German Publication No. 3239.379.
Publicly known from the issue. This known device uses a glass diaphragm 49Th. For example, the x-ray geometric axis 3
2 no longer coincides with the portion of the optical axis 870 that is aligned with the geometrical axis 32 by the mirror 46, the diaphragm device is rendered unusable even if it is not damaged. Furthermore, the through bore 58.59.61.62.63 described in the above publication is
Cross-joints that are no longer parallel to the longitudinal geometric axis 32 also create problems. Problems also arise if the pages are scratched or scratched on the glass body 49. This is because, for example, the friend range is illuminated by the light source 94 and becomes difficult to see.

この公知の装置の場合、貫通ボア２２には層９３　　　
　　　［が被せてるり、従って、被測対象がガラスボデ
ー４９に接触することはないので、ガラスボデー４９が
損傷されることはない。In the case of this known device, the throughbore 22 has a layer 93.
Since the object to be measured does not come into contact with the glass body 49, the glass body 49 will not be damaged.

被測対象を重力の作用でま九は可塑性材料でテーブル上
面に保持する形式のこの種の測定装置も公知でめる。こ
の場合、被測対象をテーブル上に載せた後、被測対象が
、ガラスボデー４９の下方の正しい位置に来るまで、ハ
ウジング内で上記テーブルを上昇する。この種の測定装
置は、***公開第３，２３９，３７９号とは全く逆でる
る。この場合、長い区間にわ友って可動な部材は、被測
対象全戦せたテーブルでるる。テーブル上に載せた被測
対象の高さは任意でるる。高い被測対象を測定する場合
は、偏平な被測対象の場合よりも、ガラスボデー４９か
らエフ離れｔ個所でテーブルを停止する必要がるる。This type of measuring device is also known, in which the object to be measured is held on the top surface of a table using a plastic material under the action of gravity. In this case, after placing the object to be measured on the table, the table is raised within the housing until the object to be measured is in the correct position below the glass body 49. This type of measuring device is completely opposite to that of West German Publication No. 3,239,379. In this case, the movable parts over a long distance are placed on a table that covers all the targets to be measured. The height of the object placed on the table is arbitrary. When measuring a tall object, it is necessary to stop the table at a distance t from the glass body 49 than when measuring a flat object.

この種の多くの測定装置と同様、この場合も、テーブル
は、手操作で駆動せず、ソフトウェアで制御して動力で
駆動する。As with many measuring devices of this type, here too the table is not manually driven, but powered by software control.

しかしながら、顕微鏡と同様、微調は、眼で監視しなか
ら手操作で行わなければならない。被測対象の寸法に多
様でめり（例えば、厚さが１０分の数ｍｍのフィルムか
らメガネの縁まで）、重量も多様である。この技術分野
では、例えば、ｌＦよりも重い対象は重いとみなされる
。However, like with a microscope, fine adjustments must be made manually rather than visually monitored. The size of the object to be measured varies (for example, from a film with a thickness of several tenths of a millimeter to the rim of a pair of glasses), and the weight also varies. In this technical field, for example, objects heavier than IF are considered heavy.

何等かのミスでテーブルを上昇しすぎた場合、被測対象
が、ガラスボデーの形の絞り装置に接触して掻き傷を作
るか、絞り装置に押圧されて装置を変形するか破壊する
ことになる。If the table is raised too high due to some mistake, the object to be measured may come into contact with the glass body-shaped diaphragm and cause scratches, or be pressed by the diaphragm and deform or destroy the device. Become.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明の目的は、安価でろり、絞り装置上確実に保護し
、測定結果に全く影響を与えずめるいに予想外の影響金
与えず、従来と同様に操作できるよう測定装置を改造す
ることなく組込むことができる安全装置上提供すること
にめる。The purpose of the present invention is to modify the measuring device so that it can be operated in the same way as before, without affecting the measurement results at all, without causing any unexpected influence, and by providing reliable protection on the diaphragm device at low cost. Safety devices that can be incorporated without having to provide the above.

この目的は、本発明にもとづき、絞り装置の下方に、絞
り装置から安全距離だけ離して且つＸ１ｍに対してほぼ
垂直に、支持装置によって周期的に駆動できるロッドを
設けることによって達成される。This object is achieved according to the invention by providing a rod below the diaphragm device, at a safe distance from the diaphragm device and approximately perpendicular to X1m, which can be driven periodically by a support device.

テーブル装置の運動速度に関する周期性は、もちろん大
きい被測対象が十分に軽量でるる場合は、被測対象がテ
ーブル装ｆから払落されるだけである。テーブル自体は
、マイクロスイッチの信号にもとづき制動できる。マイ
クロスイッチは簡単でめるので、この限りでに、テーブ
ルの形状も被測対象の形状も変更する必要はない。絞り
装置に危険が生ずるよりも、被測対象がテーブル装置か
ら払落される方が本質的に有利でるる。例えば、被測対
象が、端面の層を測定すべき径０．５ｍｍ以下の円筒形
針の形である場合、絞ｐ板と僅かに接触しても、面圧が
大きい九め、絞り板が破壊されることになる。The periodicity with respect to the speed of movement of the table arrangement is such that, of course, if the large object to be measured is sufficiently light, the object to be measured will only be knocked off the table arrangement f. The table itself can be braked based on microswitch signals. Since the microswitch is easy to install, there is no need to change the shape of the table or the shape of the object to be measured. It is essentially advantageous if the object to be measured is thrown out of the table arrangement rather than endangering the diaphragm device. For example, if the object to be measured is a cylindrical needle with a diameter of 0.5 mm or less whose end layer is to be measured, even if it makes slight contact with the diaphragm plate, the diaphragm plate has a large surface pressure. It will be destroyed.

ロッドの運１１ＩＪをモニタし、ロッドが少くとも一時
的に停止し次際には信号を発生する評価装置を設ければ
、多くの被測対象について、テーブルからの払落しが起
きることなく、テーブル装置全停止できる。これは、被
測対象が、極めて重く、ロッドを完全に停止するか、ま
ず、ロッドと接触しｔ際にロッドを一時的に停止するよ
うな事例のための解決法でめる。この種の状態は、重い
被測対象の場合またはテーブル装置に可塑性パテで固定
した軽い被測対象の場合に現れる。If you install an evaluation device that monitors the movement of the rod, stops the rod at least temporarily, and generates a signal the next time, you can prevent the rod from falling off the table for many objects to be measured. The device can be completely stopped. This is a solution for cases where the object to be measured is very heavy and either stops the rod completely or temporarily stops the rod when it first comes into contact with the rod. This type of situation occurs in the case of heavy objects or in the case of light objects fixed with plastic putty to the table arrangement.

ロッドを、原子番号の小さい材料から構成すれば、ロッ
ドの放出する２次Ｘ線が、測定結果に誤差を与えること
はない。しかも、ソフトウェアにおいて、ロッドがＸ線
内を通過する時間自体を電子的に短縮することができる
。If the rod is made of a material with a small atomic number, the secondary X-rays emitted by the rod will not cause errors in the measurement results. Furthermore, the time it takes for the rod to pass through the X-ray can be electronically shortened using software.

２次ＸＩ！Ｊ？できる限り少なくする比め、原子番号６
の炭素からロッド全作製できるが、この種のロッドは、
作製し翔く、壊れ爲＜、強度金得るため、厚くしなけれ
ばならない。原子番号１２のマグネジツムも適している
が、入手の容易さから云って、アルミニウムが最善であ
る。2nd XI! J? Atomic number 6 compared to minimizing as much as possible
The entire rod can be made from carbon, but this kind of rod is
To make it fly, break, and obtain strength, it must be thick. Magnesium with atomic number 12 is also suitable, but aluminum is best because of its availability.

ロッドとしてアルミニウム製編み棒を用いれば、それが
大量生産品でろるので、安価でるり、しかも、径が多様
でるり、はぼ所要の長さを有し、加工の必要はない。編
み棒は、仮９に曲っても、真直ぐな状態に容易に修正す
ることができる。家庭用のアルミニウム製編み棒は、ア
ルマイト層によ　　　　　　］って表面が保護してろる
ので、この限りでは、後処理の必要になく、アルマイト
層は、酸素とアルミニウムとの化合物でろるので、この
層範囲の吸収性（螢光性）はアルミニウムよりも低い。If an aluminum knitted rod is used as the rod, it can be mass-produced and is therefore inexpensive, has various diameters, and has the required length, and does not require processing. Even if the knitting rod is bent to a 9-degree angle, it can be easily corrected to a straight state. Household aluminum knitting rods have an alumite layer that protects the surface, so there is no need for post-treatment, and the alumite layer is a compound of oxygen and aluminum. The absorption (fluorescence) of the range is lower than that of aluminum.

この種のロッド、特に、編み棒ｔｊ、３６０°の円状の
掃過面積のうち極く小さな範囲を占めるにすぎないので
、測定精度に影響を与え々い。軽いロッドは、比較的大
きな回転数で回転でき、しかも、アンバランスの問題が
生ずることはない。This type of rod, especially the knitted rod tj, occupies only a very small area of the 360° circular sweeping area, so it does not affect the measurement accuracy. Light rods can be rotated at relatively high rotational speeds without causing unbalance problems.

ロッドは、絞り装置の下方で並進運動させることもでき
る。この場合、往復運動する受けにロッド全取付けなけ
ればならない。しかしながら、ロッドをシャフトに回転
自在に取付ければ、必然的に、周期性が得られ、更に、
支持方式が簡単となる。絞り装置自体は、Ｘ線に対して
垂直でろるので、叉持装置を絞り装置に対してほぼ垂直
なシャフトを含むようにすれば一様な近接防止性が得ら
れる。The rod can also be moved in translation below the throttle device. In this case, the entire rod must be attached to a reciprocating receiver. However, if the rod is rotatably mounted on the shaft, periodicity is necessarily obtained;
The support method becomes simple. Since the diaphragm itself is perpendicular to the X-rays, uniform access prevention can be achieved if the diaphragm includes a shaft substantially perpendicular to the diaphragm.

ロッド全、はぼその中心で、シャフトに結合すれば、監
視頻度を倍増でき、アンバランス問題を罹災に排除でき
る。If the entire rod is connected to the shaft at its center, the frequency of monitoring can be doubled and unbalance problems can be eliminated.

シャツトラ、絞Ｔ）装置から見て計数管の逆の側に設け
るようにすれば壊われ次薄い窓から散乱されるＸ線を受
ける計数管を保護することもできる。If the counter tube is installed on the opposite side of the counter tube as viewed from the apparatus, the counter tube can be protected from X-rays that are broken and then scattered from the thin window.

従って、計数管も絞り装置も保護される。Both the counter tube and the throttle device are thus protected.

ロッドが、絞り装置のフレームの下方の空間も掃過する
ように丁れば、ロッドは、より大きい半径を掃過するが
、この友めに必要なロッド蔦長部は、７レームの保護を
行う。何故ならば、例えばフレームが変形し之場合、絞
り装置に、破壊されることなく、位置を変えるだけだか
らでるる。If the rod is arranged so that it also sweeps the space below the frame of the diaphragm, the rod will sweep a larger radius, but the length of the rod required for this companion will provide 7 frames of protection. conduct. This is because, for example, if the frame is deformed, it will not be destroyed by the aperture device, but will only change its position.

シャフトが、電動機の回転シャフトでろれば、シャフト
の駆動が簡単となり、ロッドの停止までま九ニ被測対象
がテーブル装置から払落されるまで、力を簡単に得るこ
とができる。更に、制動時ないし停止時の電動機の消費
電流の増７ＦＯ七信号として利用できる。If the shaft is a rotating shaft of an electric motor, the shaft can be easily driven and the force can be easily obtained until the rod stops and the object to be measured is thrown off from the table device. Furthermore, it can be used as a signal to increase the current consumption of the motor during braking or stopping.

運動エネルギが、ロッドがテーブル装置上の対象に工っ
て完全にま友ニ殆んど停止されることのないようなレベ
ルにるるようにすれば、電ｗＪ磯の消費電流の評価回路
は、正確な閾値を必要としない。何故ならば、実際に、
駆動装置は、時間の経過につれて劣化しｔ際にも、エフ
多量の電流を消費すると考えられるからでるる。更に、
市販のタイプの電動機は高速でろるので、減速装置を使
用する必要がめる。５０〜６０Ｈｚの回転数も高ずぎる
。何故ならば、軽い被測対象は、空気の渦動によっても
、真上るからでるる。テーブル装置に、微調のため、低
速で駆動するので、ロッドの周期に比較的低い。If the kinetic energy is at such a level that the rod is completely bound to the object on the table device and almost never stops, the evaluation circuit for the current consumption of the electric wJ iso is as follows: Does not require precise thresholds. Because actually,
This is because the drive device deteriorates over time and consumes a large amount of current. Furthermore,
Commercially available types of electric motors slow down at high speeds, making it necessary to use a reduction gear. The rotation speed of 50-60Hz is also too high. This is because the light object to be measured is lifted directly upward by the vortices of the air. The table device is driven at low speed for fine adjustment, so the period of the rod is relatively low.

ロッドによって掃過されない範囲には、カバープレート
を設ければ、テーブル装置から払落され友被測対象に、
装置内部にに落下せず、被覆面上に捕集される。If a cover plate is provided in the area that is not swept by the rod, it will be swept away from the table device and be exposed to the target being measured.
It does not fall inside the device and is collected on the coated surface.

〔実施例〕〔Example〕

本発明の好ましい実施例を以下に説明する。 Preferred embodiments of the invention are described below.

理解し易いよう、***公開第３，２３９．３７９号に記
載の、機能および配置が同一で、同一の役割を果す部分
（即ち、幾何学的軸線３２．Ｘ線管球３３゜玉橙４１　
、ミラー４６．ガラスボデー４９．光軸８７、比例計数
管９７）には、同一の参照数字金附した。上記公開公報
に記載の光源９４は、本発明の場合も設けてるるが、図
示してない。For ease of understanding, parts having the same function and arrangement and playing the same role (i.e., geometrical axis 32, X-ray tube 33°, ball orange 41
, mirror 46. Glass body 49. The optical axis 87 and proportional counter tube 97) are given the same reference numerals. The light source 94 described in the above publication is also provided in the present invention, but is not shown.

ハウジング１１は、閉じてるるか、操作側の装入用蓋を
外して開けることができる。被測対象１３は、操作側か
ら、下部位置にあるテーブル１４上に置くことができる
。テーブル１４の上面１６は、平坦で水平でめる。テー
ブル１４に、駆動装置（図示してない）によって、正負
の２方向（矢印１７　）　、正負ＯＸ方向（矢印１第１
３ＣＮ）お！び正負のＹ方向（矢印１９．第３図）へ走
行させるＣとができる。被測対象１３は、側方から見て
、シンプルの形状を有する。幾何学的縦軸線３２は被測
対象を通る。The housing 11 can be closed or opened by removing the loading lid on the operating side. The object to be measured 13 can be placed on the table 14 at the lower position from the operating side. The top surface 16 of the table 14 is flat and horizontal. The table 14 is driven by a drive device (not shown) in two directions, positive and negative (arrow 17), and in a positive and negative OX direction (arrow 1 first).
3CN) Oh! and C to run in the positive and negative Y directions (arrow 19, Fig. 3). The measured object 13 has a simple shape when viewed from the side. A geometric longitudinal axis 32 passes through the object to be measured.

ハウジング１１には、更に、ハウジング１１お工びテー
ブル１４に関して固定の主要部２１が設けてめる。主要
部２１にに、電気回路、駆動装置など（図示してない）
が設けてるる。主要部２１の下面には、Ｘ線管球３３、
上記公開公報の貫通ボア３４の役割を果丁遮蔽用鉛管２
２、縦軸線３２１に同軸の玉＆４Ｌ４５°ミラー４６お
よびガラスボデー４９を含む７レーム２３が固定してろ
る。The housing 11 is further provided with a main part 21 which is fixed with respect to the housing 11 and the table 14. The main part 21 includes electric circuits, drive devices, etc. (not shown)
is set up. On the lower surface of the main part 21, an X-ray tube 33,
The role of the through bore 34 in the above publication is
2. Seven frames 23 including a coaxial ball & 4L 45° mirror 46 and a glass body 49 are fixed to the vertical axis 321.

ガラスボデー４９は、もちろん、先行技術の場合と同様
、必要に応じて、駆動して各貫通ボアと合致させること
ができる。コンパクトなブロック（第２図）には、被測
対象１３から散乱された２次Ｘ線を窓２４で最大限に捕
獲できるよう、比例計数管９７が密着させて取付けてる
る。しかしながら、比例計数管９７の下部頂点２６は、
ガラスボデー４９の下面２７ｊりも僅かに高く位置して
いる。ガラスボデー４９は、複数の貫通ボアを有する。The glass body 49 can, of course, be driven to match each through-bore as required, as in the prior art. A proportional counter tube 97 is closely attached to the compact block (FIG. 2) so that the window 24 can capture as much of the secondary X-rays scattered from the object 13 as possible. However, the lower apex 26 of the proportional counter 97 is
The lower surface 27j of the glass body 49 is also located slightly higher. Glass body 49 has a plurality of through bores.

第２図では、このうち貫通孔６１が、幾何学的縦軸線３
２と同軸をなしている。In FIG. 2, the through hole 61 is located along the geometrical vertical axis 3.
It is coaxial with 2.

主要部２１の下面には、比例計数管９Ｔの右側に、幾何
学的軸線２９を有する電動機２８が剛に固定してめる（
第２囚）。電動機と一体の変速装置３１の従動シャフト
３４の幾何学的縦軸＠３６は、下面２７に対して垂直で
めり、従って、テーブル１４の上面に対しても垂直であ
る。ソフトウェアにＬつてま７ｔｌ’１手操作で潮干３
８．３９に運転電圧ＵＢ　ｋ印加すると、電動機２８お
工び従動シャフト３４が矢印４２の方向へ回転する。こ
の場合、回転数はヘルツ範囲にるる。従動シャフト３４
の下端には、クランプディスク４３が縦軸線３６に対し
て垂直に剛に固定してるる。上記ディスクには、下方へ
開放した把持ミゾ４４が設けてろる。この把持ミゾ４４
の底面４７は、縦軸線３６に対して垂直でるり、即ち、
ガラスボデー４９の下面２Ｔに平行でめる。把持ミゾ４
４は、断面が円形の編み棒４８を把持する。編み棒の端
部は、通常の編み棒と同様、快我全防止するよう鋭利で
ない円すい形先端に移行している。案内ミゾ４４に浅い
ので、編み棒４８の下部頂点部分５１は、クランプディ
スク４３の下面５２から下方へ突出する。把持ミゾ４４
の両側のネジ袋穴には、サラ頭ネジ５３が下からネジ込
んでろる。サラ頭ネジ５３の頭の日子い形下面は、編み
棒４８を把持ミゾ４４内に保持し、頂部５１の上方で編
み棒４８に接するので、サラ頭ネジ５３０頭の端面も、
頂部５１によって決まる平面の上方にるる（第４図几上
面１６のレベルには、テーブル１４とともに上下動する
水平なカバープレート５４（第１図に模式的に示した）
が設けてるる。主要部２１の下面には、カバープレート
５４と共働し、例えば、被測対象１３が設けてない状態
で、カバープレート５４が正の２方向へ過度に上昇され
ｆｃ＃ｈ合に作勤するマイクロスイッチ５６が取付けて
るる。An electric motor 28 having a geometrical axis 29 is rigidly fixed to the lower surface of the main part 21 on the right side of the proportional counter tube 9T.
2nd prisoner). The geometrical longitudinal axis @36 of the driven shaft 34 of the transmission 31 integral with the electric motor is perpendicular to the lower surface 27 and therefore also perpendicular to the upper surface of the table 14. In the software, 7tl' 1 manual operation 3
When the operating voltage UBk is applied at 8.39, the motor 28 and the driven shaft 34 rotate in the direction of the arrow 42. In this case, the rotational speed will be in the Hertz range. Driven shaft 34
A clamping disc 43 is rigidly fixed perpendicularly to the longitudinal axis 36 at the lower end. The disk is provided with a grip groove 44 that is open downward. This grip groove 44
The bottom surface 47 of is perpendicular to the longitudinal axis 36, i.e.
It is placed parallel to the lower surface 2T of the glass body 49. Grip groove 4
4 grips a knitting rod 48 having a circular cross section. The end of the knitting rod, like a regular knitting rod, transitions to a blunt conical tip to prevent discomfort. Since the guide groove 44 is shallow, the lower vertex portion 51 of the braided rod 48 projects downwardly from the lower surface 52 of the clamp disc 43. Grip groove 44
Insert flat head screws 53 from below into the screw bag holes on both sides of the . The lower surface of the head of the countersunk head screw 53 holds the knitting rod 48 in the grip groove 44 and contacts the knitting rod 48 above the top 51, so the end surface of the countersunk head screw 530 also
A horizontal cover plate 54 (schematically shown in FIG. 1) that moves up and down together with the table 14 is located above the plane determined by the top 51 (see FIG. 4).
is set up. On the lower surface of the main part 21, it works together with a cover plate 54, and for example, when the target 13 to be measured is not provided, the cover plate 54 is raised excessively in the positive two directions and becomes active when fc#h. Micro switch 56 is installed.

運転時、編み棒４８は円を描く。編み棒が被測対象にぶ
つかると、前置抵抗器５Ｔの電流が増加する。前置抵抗
器５Ｔに並列にコンパレータ５８が設けである。前置抵
抗器５７の極めて小さい電流変化を利用する場合に、こ
のコンパレータは、相互に近い多数の閾値を有していな
ければならない。実施例の如く減速装ｆｊＩＬを使用し
た場合、例えば、すべての歯車が必ずしも円滑に回転し
ないことに工って、この種の電流変化が現れるＯどもめ
る。工業的に妥当な方策によってはコンパレータ５８で
処理できないこの感度範囲では、編み棒４８が、被測対
象１３を上面３７カ為ら払落し、被測対象は、場合によ
っては、カバーグレート５４上に載ることになる。During operation, the knitting rod 48 draws a circle. When the knitting rod hits the object to be measured, the current in the front resistor 5T increases. A comparator 58 is provided in parallel with the pre-resistor 5T. If the very small current changes of the preresistor 57 are to be exploited, this comparator must have a number of threshold values that are close to each other. When the reduction gear fjIL is used as in the embodiment, for example, this type of current change may occur due to the fact that all the gears do not necessarily rotate smoothly. In this sensitivity range, which cannot be handled by the comparator 58 by industrially reasonable measures, the knitting rod 48 sweeps the object 13 off the top surface 37, and the object 13 rests on the cover grating 54, as the case may be. It turns out.

被測対象１３が重い場合、編み棒４８に、短時間、被測
対象１３と摩擦する。摩擦度は、テーブル１４の位置が
高ければ高い程、大きい。この場合は、前置抵抗器５７
に、市販のコンパレータ５８でも処理できる電圧変化が
現れる。編み棒４８が完全に停止し交際に前置抵抗器５
Ｔに現れる電圧ジャンプも、もちろん、市販のコンパレ
ータで処理できる。If the object 13 to be measured is heavy, the knitting rod 48 will rub against the object 13 for a short time. The higher the position of the table 14, the greater the degree of friction. In this case, the pre-resistor 57
, a voltage change appears that can be processed even by a commercially available comparator 58. The knitting rod 48 is completely stopped and the pre-resistor 5 is connected.
Of course, the voltage jump appearing at T can also be handled by a commercially available comparator.

コンパレータ５８は、評価可能な電圧ジャンプが前置抵
抗器５７に現れ交際、電路６２を介してＯＲゲート６３
に出力信号を送る。この出力信号は、電路６４を介して
、マイクロプロセッサお孟びスイッチ装ｆｆ６６に送ら
れる。次いで、マイクロプロセッサが、電路６７’に介
して、対応する信号？スイッチ装置６６に送り、かくし
て、電路６８には、正負のＸ軸方向、正負のＹ軸方向お
よび正の２軸方同の停止信号が現れる。Comparator 58 connects an estimable voltage jump across resistor 57 to OR gate 63 via electrical path 62.
send the output signal to. This output signal is sent via electrical line 64 to microprocessor and switch device ff66. The microprocessor then sends a corresponding signal ? via line 67'. The signal is sent to the switch device 66, and thus, the same stop signals appear on the electric line 68 in the positive and negative X-axis directions, the positive and negative Y-axis directions, and the positive two-axis directions.

負の２軸方向のみに自由でろるので、テーブル１４は、
なお下降できる。　　　　　　　　　　　　　　　　　
１０Ｒゲート６３には、カバープレート５４によって作
動されるマイクロスイッチ５６を設は九電路６９も接続
してるる。マイクロスイッチ５６の信号は、コンパレー
タ５８の出力信号と同一の作用をＯＲゲート６３に与え
るので、結果も同一でるる。Since the table 14 is free to move only in the negative two axis directions,
It is also possible to descend.
A microswitch 56 operated by a cover plate 54 is connected to the 10R gate 63, and a nine electric circuit 69 is also connected thereto. Since the signal from the microswitch 56 has the same effect on the OR gate 63 as the output signal from the comparator 58, the result is also the same.

螢光Ｘ線方式で薄層の厚さ全測定する場合、よく知られ
ているように、原子番号力＝２０以下の物質は測定でき
ない。即ち、ロッドは、上記物質（例、ｔば、マグネシ
ウム、アルミニウム）ま几に機械的に不安定な化合物（
例えば、無機ガラス、有ａｊｊラス）から構底できる。When measuring the entire thickness of a thin layer using the fluorescent X-ray method, as is well known, substances with an atomic number force of 20 or less cannot be measured. That is, the rod is made of the above-mentioned substances (e.g. aluminum, magnesium, aluminum) or other mechanically unstable compounds (
For example, the bottom structure can be made of inorganic glass or ajj glass.

ロッドの材質は、１次Ｘ線に関連する。被測対象１３か
ら放射される２次ＸＳａ、常に、ロッドの材料に関係な
くロッドに工って遮ぎられる。従って、遮蔽期間ができ
る限ｐ短いＬう、ロッドは細くなければならない。The material of the rod is related to the primary X-rays. The secondary XSa emitted from the object to be measured 13 is always blocked by the rod, regardless of the material of the rod. Therefore, the rod must be thin so that the shielding period is as short as possible.

この場合、測定誤差が１％以下になるようロッドの厚さ
全選択さればよい。何故ならば、この種の測定の場合、
測定結果は、統計関数で表わされるＩ２為らでるる。ア
ルミニウムワイヤ（例えば、編み棒）全便用アルば、上
記条件を容易に満足できる。In this case, all rod thicknesses may be selected so that the measurement error is 1% or less. This is because in this type of measurement,
The measurement result is I2 expressed by a statistical function. Aluminum wire (for example, knitted rod) can easily satisfy the above conditions.

更に、ロッドは、たるむことのないよう、即ち、中央部
が下降しないよう、十分に剛で々ければならない。更に
、ロッドは、小さい被測対象を上面３７から払落し得る
よう剛でなければならず、一方、重い被測対象にぶつか
つ次場合にに被測対象が残存する工う、弾性的まｆｃｔ
Ｉ′ｉ盟性的に湾曲できなければならない。Furthermore, the rod must be sufficiently rigid so that it does not sag, ie, the central part does not drop. Furthermore, the rod must be rigid so as to be able to dislodge small objects from the top surface 37, while being elastic so that the object remains if it hits a heavy object.
It must be able to bend flexibly.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は装置の横断面図、第２図はノ１ウジング全除去
した状態における装置の部分切欠拡大横断面図、第３図
は装置下面の斜視図、第４図はロッドの固定状態を示す
拡大部分図、第５図は安全信号の処理方式全説明する次
めの回路略図でるる。 １１・・・・ハウジング、１３Φ・・・被測対象、１４
・・・・テーブル、２１１１０・−主要部、３３・・・
・Ｘ線管球、４８・・・・ロッド、４９・・・・絞り装
置（ガラスポデー〕、９Ｔ・・・・比例計数管。 ％許出ｊ［人　　　へルムート・フィッシャー・ゲーエ
ムペーハー・ラント・コンバニ・インス ｆイテユート・７ユア・エレクトａ二 り骨ラント・メステクニクFigure 1 is a cross-sectional view of the device, Figure 2 is an enlarged partial cross-sectional view of the device with the nozzle completely removed, Figure 3 is a perspective view of the bottom of the device, and Figure 4 shows the rod fixed state. The enlarged partial view shown in FIG. 5 is the next circuit diagram which fully explains the safety signal processing method. 11...Housing, 13Φ...Object to be measured, 14
...Table, 21110--main part, 33...
・X-ray tube, 48...rod, 49...diaphragm device (glass pode), 9T...proportional counter tube. Convenience Ins f Itute Ut 7 Your Elect a Two Bone Runt Mess Technic

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）被測対象の支持部材としてのテーブル装置と、１
次Ｘ線の絞り装置と、被測対象から放射されたＸ線の計
数管と、Ｘ線発生器とを有し、駆動装置によつてテーブ
ル装置を放射Ｘ線の方向へ絞り装置に対して少くとも垂
直に駆動する形式の、螢光Ｘ線方式による薄層の厚さを
測定する装置において、絞り装置の下方には、絞り装置
から安全距離だけ離して且つＸ線に対してほぼ垂直に、
支持装置によつて周期的に駆動できるロッドが設けてあ
ることを特徴とする薄層の厚さ測定装置。(1) A table device as a support member for the object to be measured;
It has a diaphragm for X-rays, a counter for X-rays emitted from the object to be measured, and an X-ray generator, and a drive device moves the table device toward the diaphragm in the direction of the emitted X-rays. In an apparatus for measuring the thickness of thin layers by the fluorescent X-ray method, at least of the vertically driven type, there is a diaphragm located below the diaphragm at a safe distance from the diaphragm and approximately perpendicular to the X-rays. ,
Device for measuring the thickness of thin layers, characterized in that it is provided with a rod that can be driven periodically by a support device. （２）ロッドの運動をモニタし、ロッドが少くとも一時
的に停止した際には信号を発生する評価装置が設けてあ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置。2. The device according to claim 1, further comprising an evaluation device for monitoring the movement of the rod and for generating a signal when the rod has stopped at least temporarily. （３）ロッドが、原子番号の小さい材料から成ることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置。(3) The device according to claim 1, wherein the rod is made of a material with a low atomic number. （４）ロッドが、本質的に、アルミニウムから成ること
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の装置。4. Device according to claim 3, characterized in that the rod consists essentially of aluminum. （５）ロッドが、アルミニウム製編み棒であることを特
徴とする特許請求の範囲第４項記載の装置。(5) The device according to claim 4, wherein the rod is an aluminum knitted rod. （６）支持装置が、絞り装置に対してほぼ垂直なシャフ
トを含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
装置。6. The device of claim 1, wherein the support device includes a shaft substantially perpendicular to the throttle device. （７）ロッドが、ほぼその中心において、シャフトに結
合してあることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載
の装置。7. The device of claim 6, wherein the rod is connected to the shaft substantially at its center. （８）シャフトが、絞り装置から見て計数管の逆の側に
設けてあることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載
の装置。(8) The device according to claim 6, characterized in that the shaft is provided on the opposite side of the counter tube when viewed from the throttle device. （９）ロッドが、絞り装置のフレームの下方の空間も掃
過することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装
置。(9) The device according to claim 1, characterized in that the rod also sweeps the space below the frame of the diaphragm. （１０）シャフトが、電動機の回転シャフトであること
を特徴とする特許請求の範囲第６項記載の装置。(10) The device according to claim 6, wherein the shaft is a rotating shaft of an electric motor. （１１）運動エネルギが、ロッドがテーブル装置上の対
象によつて完全にまたは殆んど停止されることのないよ
うなレベルにあることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の装置。(11) The kinetic energy is at such a level that the rod is hardly or completely stopped by the object on the table device.
Apparatus described in section. （１２）ロッドによつて掃過されない範囲には、カバー
プレートが設けてあることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の装置。(12) The device according to claim 1, characterized in that a cover plate is provided in the area not swept by the rod. （１３）ロッドの厚さが、被掃過面に比して小さいこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置。(13) The device according to claim 1, wherein the thickness of the rod is smaller than the surface to be swept. （１４）ロッドの運動速度が、テーブル装置の運動速度
に比して大きいことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の装置。(14) The device according to claim 1, wherein the speed of movement of the rod is greater than the speed of movement of the table device.