JPS61129737A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS61129737A JPS61129737A JP25019384A JP25019384A JPS61129737A JP S61129737 A JPS61129737 A JP S61129737A JP 25019384 A JP25019384 A JP 25019384A JP 25019384 A JP25019384 A JP 25019384A JP S61129737 A JPS61129737 A JP S61129737A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- magnetic
- disk
- film layer
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、垂直磁気記録用の磁気記録媒体、特に磁気デ
ィスクの製造方法に関する。
ィスクの製造方法に関する。
従来技術
垂直磁気記録方式は、従来の面内磁気記録方式に比べて
、記録密度を１０〜１００倍程度も高くとることができ
、高密度磁気記録方式として注目を集めている。垂直磁
気記録用の磁気記録媒体と１−、＋ｌ↓ ｌｒｉ ；
＋７憤りｌｉ！Ｊ＋−ψ−；半−λＬ−１ト唐朴甘ル１
の上に、高透磁率層となる水平磁化膜層２を形成すると
共に、この水平磁化膜層２の上に磁気記録層となる垂直
磁化膜層３を積層した２層膜構造のものが知られている
。前記水平磁化膜層２はＮｉ−Ｆｅ−Ｍｏ系スーバマロ
イまたは旧−Ｆｅ系パーマロイ等で構成され、垂直磁化
膜層３はＣｏ−Ｃｒの組成で構成される。
、記録密度を１０〜１００倍程度も高くとることができ
、高密度磁気記録方式として注目を集めている。垂直磁
気記録用の磁気記録媒体と１−、＋ｌ↓ ｌｒｉ ；
＋７憤りｌｉ！Ｊ＋−ψ−；半−λＬ−１ト唐朴甘ル１
の上に、高透磁率層となる水平磁化膜層２を形成すると
共に、この水平磁化膜層２の上に磁気記録層となる垂直
磁化膜層３を積層した２層膜構造のものが知られている
。前記水平磁化膜層２はＮｉ−Ｆｅ−Ｍｏ系スーバマロ
イまたは旧−Ｆｅ系パーマロイ等で構成され、垂直磁化
膜層３はＣｏ−Ｃｒの組成で構成される。
上記の２層膜構造の磁気記録媒体において、磁気記録を
行なうに当り、例えば第４図に示すように、磁気記録媒
体の垂直磁化膜層２に対向して主磁極４を配置し、背面
側に補助磁極５を配置した場合、補助磁極５からの磁束
は、高透磁率層である水平磁化膜層２を水平方向に流れ
て主磁極４に集中し、主磁１ｆ４４の部分で垂直磁化膜
層３を垂直磁化する。このため、２層膜構造の磁気記録
媒体では、補助磁極５を垂直磁化膜層３に極めて接近さ
せたと等価の状態で高密度磁気記録を行なうことができ
る。また、水平磁化膜層２の存在によって、組直磁化膜
層３の垂直磁化に対して馬蹄形磁化モードが形成され、
減磁作用が小さくなること、記録密度特性を損なうこと
なく、垂直ヘッドにおける記録再生の感度を１０倍以上
に向上させることができること、更に、記録の保存性を
高めることができること等の利点も得られる。
行なうに当り、例えば第４図に示すように、磁気記録媒
体の垂直磁化膜層２に対向して主磁極４を配置し、背面
側に補助磁極５を配置した場合、補助磁極５からの磁束
は、高透磁率層である水平磁化膜層２を水平方向に流れ
て主磁極４に集中し、主磁１ｆ４４の部分で垂直磁化膜
層３を垂直磁化する。このため、２層膜構造の磁気記録
媒体では、補助磁極５を垂直磁化膜層３に極めて接近さ
せたと等価の状態で高密度磁気記録を行なうことができ
る。また、水平磁化膜層２の存在によって、組直磁化膜
層３の垂直磁化に対して馬蹄形磁化モードが形成され、
減磁作用が小さくなること、記録密度特性を損なうこと
なく、垂直ヘッドにおける記録再生の感度を１０倍以上
に向上させることができること、更に、記録の保存性を
高めることができること等の利点も得られる。
上述の垂直磁気記録用の磁気記録媒体の工業的製造方法
としては、スパッタ成膜方法が採用される。第５図はマ
グネトロンスパッタ装置を概略的に示す図である０図に
おいて、７はＡｒガス等を導入して１０ Ｔａｒｔ程度
に圧力設定した真空槽、８はターゲット、９はこのター
ゲット８の背面′側に配置されたマグネットである。１
０は矢印ａ方向に走行する非磁性基体、１１は非磁性基
体１０を供給する供給ロール、１２は巻取ロール、１３
は冷却ドラムである。
としては、スパッタ成膜方法が採用される。第５図はマ
グネトロンスパッタ装置を概略的に示す図である０図に
おいて、７はＡｒガス等を導入して１０ Ｔａｒｔ程度
に圧力設定した真空槽、８はターゲット、９はこのター
ゲット８の背面′側に配置されたマグネットである。１
０は矢印ａ方向に走行する非磁性基体、１１は非磁性基
体１０を供給する供給ロール、１２は巻取ロール、１３
は冷却ドラムである。
前記ターゲット８は、水平磁化膜層２を形成する場合に
は、旧−Ｆｅ−Ｎｏ系スーパマロイまたはＮｉ−Ｆｅ系
パーマロイ等で構成され、垂直磁化ＩＩＩ層３を形成す
る場合にはＧｏ−Ｃｒ系材料によって構成される。この
ターゲット８は、工業的量産性を向上させるため、第６
図に示すように、非磁性基体１００幅Ｗ１をカバーでき
る幅Ｗ２を有する矩形状に形成し、その背面側に、外形
に沿う矩形リング状の外側コア９１及び中脚コア９２を
有するマグネット９を配置した構造となっている。
は、旧−Ｆｅ−Ｎｏ系スーパマロイまたはＮｉ−Ｆｅ系
パーマロイ等で構成され、垂直磁化ＩＩＩ層３を形成す
る場合にはＧｏ−Ｃｒ系材料によって構成される。この
ターゲット８は、工業的量産性を向上させるため、第６
図に示すように、非磁性基体１００幅Ｗ１をカバーでき
る幅Ｗ２を有する矩形状に形成し、その背面側に、外形
に沿う矩形リング状の外側コア９１及び中脚コア９２を
有するマグネット９を配置した構造となっている。
上記の装置において、冷却ドラム１３とターゲット８と
の間に、ターゲット８側を負とする４００〜５（ＩＯＶ
の高電圧を印加すると、真空槽７内でプラズマ放電が発
生し、Ａｒがターゲット８の負電位に引かれてその表面
に衝突し、ターゲット表面の金属原子が叩き出される。
の間に、ターゲット８側を負とする４００〜５（ＩＯＶ
の高電圧を印加すると、真空槽７内でプラズマ放電が発
生し、Ａｒがターゲット８の負電位に引かれてその表面
に衝突し、ターゲット表面の金属原子が叩き出される。
叩き出された金属原子は、ターゲット８に対向させた非
磁性基体１０の表面に析出する。ターゲット８の表面に
おける金属原子の放出跡（イ）は、第６図に示すように
、ターゲット８の背面に配置されたマグネット９の形状
に応じて、矩形リング状となる。
磁性基体１０の表面に析出する。ターゲット８の表面に
おける金属原子の放出跡（イ）は、第６図に示すように
、ターゲット８の背面に配置されたマグネット９の形状
に応じて、矩形リング状となる。
従来技術の欠点
り
ところが、従来は、スパッ７歳膜方法によって磁化膜層
を形成する場合、第６図に示すように、矩形状ターゲッ
ト８を使用していたため、金属原子がマグネット９の形
状に応じて矩形リング状に叩き出され、金属原子が非磁
性基体１０に対してその幅Ｗ１の方向Ｙに沿って析出す
る。このため、金属原子の析出方向となる幅方向Ｙを磁
化容易方向とし、これと直交する長さ方向Ｘを磁化困難
方向とする磁気異方性が発生し、磁気ディスクとした場
合の再生比カモシュレージオンが大きくなってしまうと
言う問題点があった。第７図は、水平磁化膜層２を磁歪
零の組成とし、上述のスパッタ成膜法によって得られた
磁気記録媒体を、円形状に打抜いて得られた磁気ディス
ク（フロッピディスク）を１円周３８０”に亘ってトレ
ースして得られた再生出力特性図であり、明確な再生出
力モジュレーションが見られる。再生出力モジュレーシ
ョンは磁化困難方向となる長さ方向Ｘで大きく、磁化容
易方向となる幅方向Ｙで小さくなるように現われる。
を形成する場合、第６図に示すように、矩形状ターゲッ
ト８を使用していたため、金属原子がマグネット９の形
状に応じて矩形リング状に叩き出され、金属原子が非磁
性基体１０に対してその幅Ｗ１の方向Ｙに沿って析出す
る。このため、金属原子の析出方向となる幅方向Ｙを磁
化容易方向とし、これと直交する長さ方向Ｘを磁化困難
方向とする磁気異方性が発生し、磁気ディスクとした場
合の再生比カモシュレージオンが大きくなってしまうと
言う問題点があった。第７図は、水平磁化膜層２を磁歪
零の組成とし、上述のスパッタ成膜法によって得られた
磁気記録媒体を、円形状に打抜いて得られた磁気ディス
ク（フロッピディスク）を１円周３８０”に亘ってトレ
ースして得られた再生出力特性図であり、明確な再生出
力モジュレーションが見られる。再生出力モジュレーシ
ョンは磁化困難方向となる長さ方向Ｘで大きく、磁化容
易方向となる幅方向Ｙで小さくなるように現われる。
本発明の目的
本発明は上述する従来からの問題点を解決し、磁気記録
面内で磁気異方性を持たず、磁気特性が竺−＃ ― や
ｉＫ 井中 七、；、ｊ； −１／ −、ソ
− ソめ７１１ 代 し）愚直磁気記録用の磁気記録
媒体を製造する方法を提供することを目的とする。
面内で磁気異方性を持たず、磁気特性が竺−＃ ― や
ｉＫ 井中 七、；、ｊ； −１／ −、ソ
− ソめ７１１ 代 し）愚直磁気記録用の磁気記録
媒体を製造する方法を提供することを目的とする。
本発明の構成
上記目的を達成するため、本発明は、非磁性基体の表面
に水平磁化膜層及び垂直磁化膜層を順次スパッタ成膜し
て磁気記録媒体を製造する方法において、１個または複
数個の円形状のターゲットを用いて前記水平磁化膜層の
スパッタ成膜を行なうことを特徴とする。
に水平磁化膜層及び垂直磁化膜層を順次スパッタ成膜し
て磁気記録媒体を製造する方法において、１個または複
数個の円形状のターゲットを用いて前記水平磁化膜層の
スパッタ成膜を行なうことを特徴とする。
即ち、第５図に示したようなスパー２夕装置によってス
パッタ成膜を行なう場合に、第１図に示すように、非磁
性基体１０の幅方向Ｙに沿って。
パッタ成膜を行なう場合に、第１図に示すように、非磁
性基体１０の幅方向Ｙに沿って。
１個または複数個の円形状のターゲット８を配置し、こ
のターゲット８を使用して水平磁化膜層２のスパッタ成
膜を行なうのである。ターゲット８のそれぞれの背面側
には、第２図にも示すように、円環状の外側コア９１と
中心コア９２を有するマグネット９を配置しである。
のターゲット８を使用して水平磁化膜層２のスパッタ成
膜を行なうのである。ターゲット８のそれぞれの背面側
には、第２図にも示すように、円環状の外側コア９１と
中心コア９２を有するマグネット９を配置しである。
このスパッタ成膜方法によれば、非磁性基体ｌにおける
金属原子の析出（ロ）が円形状ターゲット８の形状に沿
う円形状となり、長さ方向Ｘ及び幅方向Ｙでの析出方向
性がなくなる。このため、磁気ディスク等のような円形
状の磁気記録媒体においては、磁気記録面内での磁気特
性が等方的となり、再生出力モジュレーションが小さく
なる。
金属原子の析出（ロ）が円形状ターゲット８の形状に沿
う円形状となり、長さ方向Ｘ及び幅方向Ｙでの析出方向
性がなくなる。このため、磁気ディスク等のような円形
状の磁気記録媒体においては、磁気記録面内での磁気特
性が等方的となり、再生出力モジュレーションが小さく
なる。
なお、垂直磁化膜層３のスパッタ成膜に当っても、円形
状ターゲットを用いることができる。
状ターゲットを用いることができる。
第８図は本発明に係る円形構磁気ディスクの再生出力特
性図であり、モジュレーシ・−ヨンが殆ど見られない。
性図であり、モジュレーシ・−ヨンが殆ど見られない。
本発明の効果
以上述べたように、本発明は、非磁性基体の表面に水平
磁化膜層及び垂直磁化膜層を順次スパッタ成膜して磁気
記録媒体を製造する方法において、１個または複数個の
円形状のターゲットを用いて前記水平磁化膜層のスパッ
タ成膜を行なうことを特徴とするから、磁気記録面内で
磁気異方性を持たず、磁気特性が等方的で、再生出力モ
ジュレーションの小さい垂直磁気記録用の磁気記録媒体
を製造することができる。
磁化膜層及び垂直磁化膜層を順次スパッタ成膜して磁気
記録媒体を製造する方法において、１個または複数個の
円形状のターゲットを用いて前記水平磁化膜層のスパッ
タ成膜を行なうことを特徴とするから、磁気記録面内で
磁気異方性を持たず、磁気特性が等方的で、再生出力モ
ジュレーションの小さい垂直磁気記録用の磁気記録媒体
を製造することができる。
第１図は本発明に係る磁気記録媒体の製造方法を説明す
るためターゲット部分を拡大して示す平面図、第２図は
同じくターゲット部分の断面図、第３図は垂直磁気記録
用の磁気記録媒体の構造を示す図、第４図は同じくその
磁気記録方式を示す図、第５図は第３図及び第４図に示
した磁気記録媒体を製造するスパッタ装置の構成を概略
的に示す図、第６図はスパッタ装置におけるターゲット
、非磁性基体及びマグネットの関係を示す図、第７図は
従来の磁気記録媒体の再生出力特性図、第８図は本発明
に係る磁気記録媒体の再生出力特性図である。 １・・・非磁性基体 ２・・・水平磁化膜層３・す・垂
直磁化膜層 ８拳６＠ターゲツト 第２ノ 第３図 第４図 第５図 第６図 ｆイ）
るためターゲット部分を拡大して示す平面図、第２図は
同じくターゲット部分の断面図、第３図は垂直磁気記録
用の磁気記録媒体の構造を示す図、第４図は同じくその
磁気記録方式を示す図、第５図は第３図及び第４図に示
した磁気記録媒体を製造するスパッタ装置の構成を概略
的に示す図、第６図はスパッタ装置におけるターゲット
、非磁性基体及びマグネットの関係を示す図、第７図は
従来の磁気記録媒体の再生出力特性図、第８図は本発明
に係る磁気記録媒体の再生出力特性図である。 １・・・非磁性基体 ２・・・水平磁化膜層３・す・垂
直磁化膜層 ８拳６＠ターゲツト 第２ノ 第３図 第４図 第５図 第６図 ｆイ）
Claims (1)
- （１）非磁性基体の表面に水平磁化膜層及び垂直磁化膜
層を順次スパッタ成膜して磁気記録媒体を製造する方法
において、１個または複数個の円形状のターゲットを用
いて前記水平磁化膜層のスパッタ成膜を行なうことを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25019384A JPS61129737A (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25019384A JPS61129737A (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61129737A true JPS61129737A (ja) | 1986-06-17 |
| JPH0552568B2 JPH0552568B2 (ja) | 1993-08-05 |
Family
ID=17204197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25019384A Granted JPS61129737A (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61129737A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5451804A (en) * | 1977-09-30 | 1979-04-24 | Shiyunichi Iwasaki | Magnetic recording medium |
| JPS5994240A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 磁気記録媒体作製装置 |
-
1984
- 1984-11-26 JP JP25019384A patent/JPS61129737A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5451804A (en) * | 1977-09-30 | 1979-04-24 | Shiyunichi Iwasaki | Magnetic recording medium |
| JPS5994240A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 磁気記録媒体作製装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0552568B2 (ja) | 1993-08-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |