JPS61121251A - Recording and reproducing method for electron beam image information - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To enable the record reproduction of high brightness by recording an electron beam image after its penetration through a sample, on an accumulative fluorescent sheet having an accumulative fluorescent sheet having an accumulative fluorescent layer of specified thickness for its emission of fluorescent light and reproduction by photoelectric conversion. CONSTITUTION:At the lower part of the bodytube 1a of an electron microscope, an accumulative fluorescent sheet 10 with an accumulative fluorescent layer of 10-150mum thickness is placed on an endless belt set to rollers 101 and 102, so that it will belong to the same vacuum system as the formation surface of a penetrating electron beam image. And a read-out part 1b with a condensing device 14 for condensing luminous light emitted from the said sheet 10 is provided to form the reproducing device 1 of the electron beam image information record. The image of a sample 8 is formed and recorded on the sheet 10 and then laser is irradiated for the detection of light emitted from the sheet and the recorded image is reproduced by a recorder 18. It is possible, therefore, to limit the thickness of the accumulative fluorescent layer and to balance the sensitivity of the recorder with its brightness properly.

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、電子線像情報の記録再生方法に関するもので
ある。更に詳しくは本発明は、試料の透過電子線像また
は反射電子線像を、高感度かつ高精度にて記録再生する
ことが回走な電子線像情報の記録再生方法に関するもの
である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of the Invention] The present invention relates to a method for recording and reproducing electron beam image information. More specifically, the present invention relates to a method for recording and reproducing electron beam image information, which allows for recording and reproducing transmitted electron beam images or reflected electron beam images of a sample with high sensitivity and high accuracy.

［発明の前景］ 真空下にて電子線を試料に照射し、その透過電子線像あ
るいは反射電子線像を得る電子ｌＩｉ微鏡装置や電子線
回折装置は以前より知られている。電子顕微鏡装置では
、試料を透過した電子線により対物レンズの後熱平面に
試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び干渉
して試料の拡大像が形成されるようになっている。従っ
て投影レンズにより上記の拡大像を投影すれば試料の拡
大像（散乱像）が観察され、また上記後熱平面を投影す
れば拡大された試料の回折パターンが観察される。なお
対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズを配置して
おけば、この中間レンズの焦点距離を７１４ｍすること
により、上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターン
が随意に得られる。また電子線回折装置では試料表面に
電子線を照射して反射してくる回折線を記録して回折パ
ターンを得るもの（反射法）と試料を透過してくる回折
線を記録して回折パターンを得るもの（透過法）とがあ
名。[Foreground of the Invention] Electron IIi microscopic devices and electron beam diffraction devices that irradiate a sample with an electron beam under vacuum to obtain a transmitted electron beam image or a reflected electron beam image have been known for some time. In an electron microscope device, a diffraction pattern of the sample is formed on the post-thermal plane of the objective lens by an electron beam transmitted through the sample, and the diffraction rays interfere again to form an enlarged image of the sample. Therefore, if the above-mentioned enlarged image is projected by the projection lens, an enlarged image (scattered image) of the sample will be observed, and if the above-mentioned post-thermal plane is projected, the enlarged diffraction pattern of the sample will be observed. Note that if an intermediate lens is disposed between the objective lens and the projection lens, the above-mentioned enlarged image (scattered image) or diffraction pattern can be obtained at will by setting the focal length of this intermediate lens to 714 m. In addition, with electron beam diffraction devices, one obtains a diffraction pattern by irradiating the sample surface with an electron beam and recording the reflected diffraction rays (reflection method), and the other obtains a diffraction pattern by recording the diffraction rays that pass through the sample. What you get (transmission method) is the name.

北述の拡大像あるいは回折パターン（以ト、これらを電
子線像という）を可視画像とするための手段として一般
に、結像面に写真フィルムを置いて、これに電子線像を
記録したり、あるいはイメージインテンシファイアを配
して電子線像を増幅投影する方法が利用されている。し
かし写真フィルムは電子線に対して感度が低い土に、現
像処理が面倒であるという欠点を有し、一方イメージイ
ンテンシファイアを用いる場合、画像の鮮鋭度が低い上
１画像に歪みが生じやすいという問題がある。Generally speaking, as a means to make Kitajo's enlarged image or diffraction pattern (hereinafter referred to as an electron beam image) into a visible image, a photographic film is placed on the imaging plane and the electron beam image is recorded on it. Alternatively, a method is used in which an image intensifier is arranged to amplify and project the electron beam image. However, photographic film has the drawbacks of low sensitivity to electron beams and the troublesome developing process.On the other hand, when using an image intensifier, the sharpness of the image is low and distortion is likely to occur in each image. There is a problem.

さらに上記のようにして記録された電子線像に対しては
、その画像を見易くする等の目的で階調処理、周波数強
調処理、濃度処理、減算処理、加算処理等の画像処理や
、フーリエ解析法による三次元像の再構成１画像の二値
化および粒子径測定等のための画像解析、さらには回折
パターンの処理（結晶情報の解析、格子定数、転移、格
子欠陥の解明等）等の処理が施されることが多い、この
ような処理は、従来では写真フィルムを現像して得た可
視画像をミクロフォトメータで読み取って、これを電気
信号に変換し、この電気信号を例えばＡ／Ｄ変換してか
らコンピュータを用いて処理するというような煩雑な作
業によって行なっていた。Furthermore, the electron beam image recorded as described above is subjected to image processing such as gradation processing, frequency emphasis processing, density processing, subtraction processing, and addition processing, as well as Fourier analysis, for the purpose of making the image easier to see. Reconstruction of three-dimensional images by the method, binarization of one image, image analysis for particle size measurement, etc., and processing of diffraction patterns (analysis of crystal information, lattice constant, dislocation, clarification of lattice defects, etc.) In conventional processing, a visible image obtained by developing photographic film is read with a microphotometer, converted into an electrical signal, and this electrical signal is transmitted to, for example, an A/ This was done through complicated operations such as D conversion and then processing using a computer.

［発明の目的］ 本発明は、電子線像もしくは該電子線像に対応する各種
の情報（以下、これらを電子線像情報という）を高感度
かつ高精度にて記録再生することを可能にし、しかも該
電子線像情報に対して各種の処理を容易に施すことがで
きるような電子線像情報の記録再生方法を提供すること
を目的とするものである。[Object of the Invention] The present invention makes it possible to record and reproduce an electron beam image or various types of information corresponding to the electron beam image (hereinafter referred to as electron beam image information) with high sensitivity and high precision. Moreover, it is an object of the present invention to provide a method for recording and reproducing electron beam image information that allows various types of processing to be easily performed on the electron beam image information.

［発明の要旨］ 本発明は、電子ｗＩＪ微ｍ装置内または電子線回折装置
内にて形成された試料の電子線像を厚さが１０−１５０
延ｍの蓄積性蛍光体層を有する蓄積性蛍光体シート、ｈ
に電子性エネルギー潜像とじて記録し、次いで該蓄積性
蛍光体シートに蓄積された電子線エネルギーの少なくと
も一部を該蓄積性蛍光体シートに電磁波を照射すること
により蛍光として放出させ、この蛍光を検知したのち、
検知された蛍光に光電処理を施すことによって該試料の
電子線像情報を得ることからなる電子線像情報の記録再
生方法からなるものである。[Summary of the Invention] The present invention provides an electron beam image of a sample formed in an electron wIJ micrometer device or an electron beam diffraction device with a thickness of 10-150 mm.
A stimulable phosphor sheet having a stimulable phosphor layer of m length, h
is recorded as an electronic energy latent image, and then at least a part of the electron beam energy stored in the stimulable phosphor sheet is emitted as fluorescence by irradiating the stimulable phosphor sheet with electromagnetic waves. After detecting
This method consists of a method for recording and reproducing electron beam image information, which involves obtaining electron beam image information of the sample by photoelectrically processing the detected fluorescence.

なお、本発明において用いられる電子線像情報との用語
は、電子線像そのものと、電子線像を数値の組合わせな
どの記号として表わしたデジタル情報などを含む意味で
用いられている。Note that the term "electron beam image information" used in the present invention is used to include the electron beam image itself and digital information representing the electron beam image as a symbol such as a combination of numerical values.

［発明の詳細な記述］ 本発明は、電子顕微鏡装置や電子線回折装置において形
成された試料の電子線像の記録再生媒体として、特定の
厚さの蓄積性蛍光体層を有する蓄積性蛍光体シートを用
いることを特徴とするものである。　蓄積性蛍光体シー
トは、基本構造として、支持体と、その片面に設けられ
た少なくとも一層の蛍光体層とからなるもので、このノ
、（本構造は既に公知である。蛍光体層は、輝尽性蛍光
体とこの輝尽性蛍光体を分散状態で含有支持する結合剤
からなる。この蛍光体層の支持体とは反対側の表面（支
持体°に面していない側の表面）には一般に、透明な保
ｍ膜が設・けられていて、蛍光体層を化学的な変質ある
いは物理的な衝撃から保護している。[Detailed Description of the Invention] The present invention provides a stimulable phosphor having a stimulable phosphor layer with a specific thickness, which is used as a recording and reproducing medium for an electron beam image of a sample formed in an electron microscope device or an electron beam diffraction device. It is characterized by using a sheet. The basic structure of a stimulable phosphor sheet is a support and at least one phosphor layer provided on one side of the support. Consists of a stimulable phosphor and a binder that contains and supports the stimulable phosphor in a dispersed state.The surface of this phosphor layer opposite to the support (the surface not facing the support) Generally, a transparent insulation film is provided to protect the phosphor layer from chemical deterioration or physical impact.

上記の構成を有する蓄積性蛍光体シートは、たとえば、
まず粒子状輝尽性蛍光体と結合剤とをアルコール、ケト
ン、エーテルなどの適当な溶剤に加え、これを充分に混
合して、結合剤溶液中に輝尽性蛍光体が均一に分散した
Ｐ！ｉ布液をｒＩＲｌｉｌｌ、、これを支持体に塗布し
たのち、乾燥する方法により形成することができる。The stimulable phosphor sheet having the above configuration is, for example,
First, a particulate stimulable phosphor and a binder are added to an appropriate solvent such as alcohol, ketone, or ether, and the mixture is thoroughly mixed. ! It can be formed by applying the i-fabric solution to a support and then drying it.

輝尽性蛍光体は、電子線を照射した後、電磁波（励起光
）を照射すると輝尽発光を示す蛍光体であるが、実用的
な面からは波長が４００〜９００ｎｍの範囲にある励起
光によって３００〜５００ｎｍの波長範囲の輝尽発光を
示す蛍光体であることが望ましい、蓄積性蛍光体シート
に用いられる輝尽性蛍光体の例としては。Stimulable phosphors are phosphors that exhibit stimulated luminescence when irradiated with electron beams and then electromagnetic waves (excitation light), but from a practical standpoint, excitation light with a wavelength in the range of 400 to 900 nm is recommended. An example of a stimulable phosphor used in a stimulable phosphor sheet is a phosphor that exhibits stimulated luminescence in a wavelength range of 300 to 500 nm.

（１）米国特許第３，８５９，５２７号明細古に記載さ
れているＳｒＳ：Ｃｅ、Ｓｍ、ＳｒＳ：Ｅｕ、Ｓｍ、Ｔ
ｈ０２：Ｅｒ、およびＬａ２０２３：Ｅｕ、Ｓｍ。(1) SrS:Ce, Sm, SrS:Eu, Sm, T described in US Patent No. 3,859,527
h02: Er, and La2023: Eu, Sm.

（２）特開昭５５−１２１４２号公報に記載されている
ＺｎＳ：Ｃｕ、Ｐｂ、ＢａＯ＊ｘＡｌ２Ｏ３：Ｅｕ（た
だし、０．８≦Ｘ≦ＩＯ）、および、Ｍ”０−ｘｓｉ０
２：Ａ（ただし、ＭｌｌはＭｇ、Ｃａ、Ｓ　ｒ、　Ｚｎ
、Ｃｄ、またはＢａであり、ＡはＣｅ、Ｔｂ、Ｅｕ、Ｔ
ｍ、Ｐｂ、Ｔｌ、Ｂｉ、またはＭｌｌであり、Ｘは、０
．５≦Ｘ≦２．５である）、 （３）特開昭５５−１２１４３号公報に記載されてし゛
る（Ｂ　ａｌ−Ｘ−３’　、Ｍｇｚ　、Ｃａｙ）ＦＸ：
ａＥｕ”（ただし、又は０文およびＢｒのうちの少なく
とも一つであり、Ｘおよびｙは、０くＸ＋７≦０．６．
かつｘｙ＃ｏであり、ａは、ｉｏ−”≦ａ≦５ＸＩＯ４
である）、 （４）特開昭５５−１２１４４号公報に記載されている
ＬｎＯＸ：ｘＡ（ただし、ＬｎはＬａ、Ｙ、Ｇｄ、およ
びＬｕのうちの少なくとも一つ、ＸはＣ１およびＢｒの
うちの少なくとも一つ、ＡはＣｅおよびＴｂのうちの少
なくとも一つ、そして、Ｘは、０＜ｘ＜０．１である）
、 （５）特開昭５５−１２１４５号公報に記載されている
（Ｂ　ａ　ｌ−Ｘ　、　Ｍ”Ｘ）　ＦＸ　：　ｙ　Ａ　
（ただし　Ｍ２−はＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｚｎ、およびＣ
ｄのうちの少なくとも一つ、ＸはＣ１、Ｂｒ、および工
のうちの少なくとも一つ、ＡはＥｕ、”ｒｂ、Ｃｅ、Ｔ
ｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈａ、Ｎｄ、Ｙｂ、およびＥｒのうち
の少なくとも一つ、そしてＸは、Ｏ≦Ｘ≦０−６、ｙは
、Ｏ≦ｙ≦０．２−ｃある）、 （６）特開昭５５−１６００７８号公報に記載されてい
るＭ”ＦＸｅｘＡ：　ｙＬｎ　［ただし、Ｍ！はＢａ、
Ｃａ、Ｓ　ｒ、Ｍｇ、Ｚｎ、およびＣｄのうちの少なく
とも一種、ＡはＢｅＯ，ＭｇＯ，Ｃａｂ、Ｓ　ｒｏ、Ｂ
ａｄ、ＺｎＯ，ＡｆＬｚｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、
Ｉ　ｎ２０３、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ□、ＧｅＯ
２，５ｎ０２、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔ　ａ　２０５、およびＴ
　ｈ　Ｏ２（７）うちの少なくとも一種、ＬｎはＥｕ、
　Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、　　Ｄ　ｙ、　　Ｐｒ、　　Ｎｏ
、　　Ｎｄ、　　Ｙｂ、　　Ｅｒ、Ｓ　ｍ　、およびＧ
ｄのうちの少なくとも一種、ＸはＣ１、Ｂｒ、およびＩ
のうちの少なくとも一種であり、Ｘおよびｙはそれぞれ
５ＸｌＯ’≦ｘく０．５、およびｏ＜ｙ≦０．２である
］の組成式で表わされる蛍光体、 （７）特開昭５６−１１６７７７号公報に記載されてい
る（Ｂａｓ−ｘ＋Ｍ”ｘ）Ｆｚ”ａＢａ　　Ｘ２：ｙＥ
ｕ、ｚＡ［ただし、Ｍ重はベリリウム、マクネシウム、
カルシウム、スカンジウム、亜鉛、およびカドミウムの
うちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素の
うちの少なくとも一種、Ａはジルコニウムおよびスカン
ジウムのうちの少なくとも一種であり、ａ、ｘ、ｙ、お
よび２は七れぞれ０．５≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ≦１．
１０−≦ｙ≦２　Ｘ　Ｉ　Ｏ−’、および０＜ｚ≦ｌＯ
４である］の組成式で表わされる蛍光体、（８）特開昭
５７−２３６７３号公報に記載されている（Ｂ　ａｔ−
Ｘ　、　Ｍ”Ｘ）　Ｆ２　ｅ　ａＢ　ａＸ２：ｙＥｕ、
ｚＢ［ただし、Ｍ璽はベリリウム、マグネシウム、カル
シウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのう
ちの少なくとも一種。(2) ZnS:Cu, Pb, BaO*xAl2O3:Eu (0.8≦X≦IO) and M"0-xsi0 described in JP-A-55-12142
2:A (However, Mll is Mg, Ca, S r, Zn
, Cd, or Ba, and A is Ce, Tb, Eu, T
m, Pb, Tl, Bi, or Mll, and X is 0
．． 5≦X≦2.5), (3) FX (B al-X-3', Mgz, Cay) described in JP-A-55-12143:
aEu” (or at least one of 0 and Br, and X and y are 0 and X+7≦0.6.
and xy#o, and a is io-”≦a≦5XIO4
(4) LnOX:xA described in JP-A-55-12144 (where Ln is at least one of La, Y, Gd, and Lu, and X is at least one of C1 and Br); A is at least one of Ce and Tb, and X is 0<x<0.1)
, (5) (B a l-X , M"X) FX : y A described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-12145
(However, M2- is Mg, Ca, Sr, Zn, and C
d, X is at least one of C1, Br, and Technique, A is Eu, "rb, Ce, T
at least one of m, Dy, Pr, Ha, Nd, Yb, and Er; ) M”FXexA described in JP-A-55-160078: yLn [However, M! is Ba,
At least one of Ca, Sr, Mg, Zn, and Cd, A is BeO, MgO, Cab, Sro, B
ad, ZnO, AfLzo3, Y2O3, La2O3,
In203, SiO2, TiO2, ZrO□, GeO
2,5n02, Nb2O5, T a 205, and T
h At least one of O2 (7), Ln is Eu,
Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, No
, Nd, Yb, Er, S m , and G
at least one of d, X is C1, Br, and I
(7) JP-A-1983-1999- (Bas-x+M”x)Fz”aBa X2:yE described in No. 116777
u, zA [However, M weight is beryllium, magnesium,
at least one of calcium, scandium, zinc, and cadmium, X is at least one of chlorine, bromine, and iodine, A is at least one of zirconium and scandium, and a, x, y, and 2 are 7 each 0.5≦a≦1.25.0≦X≦1.
10-≦y≦2 X I O-', and 0<z≦lO
(8) A phosphor represented by the composition formula (B at-
X, M”X) F2 e aB aX2:yEu,
zB [However, M is at least one of beryllium, magnesium, calcium, strontium, zinc, and cadmium.

Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なくとも一種で
あり、ａ、ｘ、ｙ、および２はそれぞれ０．５≦ａ≦１
．２５．０≦Ｘ≦１，１０４≦ｙ≦２　Ｘ　１０　＝、
および０＜Ｚ≦２ＸｌＯ−”−１’ある］の組成式で表
わされる蛍光体、 （９）特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている
（Ｂ　ａｔ−Ｘ　、　Ｍ”ｚ）　Ｆｚ　ａ　ａＢ　ＩＬ
Ｘ２：ｙＥｕ、ｚＡ［ただし、Ｍ”はベリリウム。X is at least one of chlorine, bromine, and iodine, and a, x, y, and 2 are each 0.5≦a≦1
．． 25.0≦X≦1,104≦y≦2 X 10 =,
and 0<Z≦2XlO-"-1'], (9) (B at-X , M"z) Fz a described in JP-A-57-23675. aBIL
X2: yEu, zA [where M'' is beryllium.

マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、お
よびカドミウムのうちの少なくとも一種。At least one of magnesium, calcium, strontium, zinc, and cadmium.

Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なくとも一種、
Ａは砒素および硅素のうちの少なくとも一種であり、ａ
、ｘ、ｙ、および２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５．
０≦Ｘ≦１．１０−≦ｙ≦２　Ｘ　ｌ　Ｏ−”、および
０＜ｚ≦５ＸｌＯ−”である］の組成式で表わされる蛍
光体、 （ｌＯ）特開昭５８−２０６６７８号公報に記・１花さ
れているＢ　ａ　Ｉ−ｚ　Ｍ　Ｘ　／２　Ｌ　ｘ　ｙｘ
　Ｆ　Ｘ　：、　８４％　［ただし、ＭはＬｔ、Ｎａ、
に、Ｒｂ。X is at least one of chlorine, bromine, and iodine;
A is at least one of arsenic and silicon;
, x, y, and 2 are each 0.5≦a≦1.25.
0≦X≦1.10-≦y≦2 Note: 1 Flowered B a I-z M X /2 L x yx
F X:, 84% [However, M is Lt, Na,
In, Rb.

およびＣｓからなる群より選ばれる少なくとも一種のア
ルカリ金属を表わし；Ｌは、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ
ｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｇｄ。and Cs; L represents Sc, Y, La, Ce, P
r, Nd, Pm, Sm, Gd.

Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈａ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａ文、Ｇ
ａ、Ｉｎ、およびＴＲからなる群より選ばれる少なくと
も一種の二価金属を表わし；Ｘは、Ｃ１，Ｂｒ、および
Ｉからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを
表わし：そして、Ｘは１０′≦Ｘ≦ｏ、ｓ、ｙはｏ＜ｙ
≦０．１−ｅある］の組成式で表わされる蛍光体、 （１１）特開昭５９−２７９８０号公報に記載されてい
るＢａＦＸ＊ｘＡ：ｙＥｕ”　［ただし、Ｘは、Ｃ１，
Ｂｒ、およびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種
のハロゲンであり；Ａは、テトラフルオロホウ酸化合物
の焼成物であり；そして、Ｘはｉｏ−’≦Ｘ≦ｏ、ｔ、
ｙはＯ＜７≦Ｏ０ｌである］の組成式で表わされる蛍光
体、（１２）特開昭５９−４７２８９号公報に記載され
ているＢａＦＸ＠ｘＡ：　ｙＥｕ”　［ただし、Ｘは、
０文、Ｂｒ、および工からなる群より選ばれる少なくと
も一種のハロゲンでありｚＡは、ヘキサフルオロケイ酸
、ヘキサフルオロチタン酸およびヘキサフルオロジルコ
ニウム酸の一価もしくは二価金属の塩からなるヘキサフ
ルオロ化合物群より選ばれる少なくとも一種の化合物の
焼成物であり；そして、Ｘは１０′≦Ｘ≦ｏ、ｔ、ｙは
０くｙ≦Ｏ０ｌである］の組成式で表わされる蛍光体。Tb, Dy, Ha, Er, Tm, Yb, Lu, A sentence, G
represents at least one divalent metal selected from the group consisting of a, In, and TR; X represents at least one halogen selected from the group consisting of C1, Br, and I; and X represents 10'≦ X≦o, s, y is o<y
≦0.1-e], (11) BaFX*xA:yEu” described in JP-A-59-27980 [where X is
Br, and at least one halogen selected from the group consisting of I; A is a fired product of a tetrafluoroboric acid compound; and X is io-'≦X≦o, t,
y is O<7≦O0l], (12) BaFX@xA described in JP-A-59-47289: yEu'' [where X is
At least one halogen selected from the group consisting of 0, Br, and 0, and zA is a hexafluoro compound consisting of a monovalent or divalent metal salt of hexafluorosilicic acid, hexafluorotitanic acid, and hexafluorozirconic acid. A phosphor which is a fired product of at least one compound selected from the group;

（１３）特開昭５９−５６４７９号公報に記載されてい
るＢａＦＸ＊ｘＮａ、Ｘ’：ａＥｕ”　［ただし、Ｘお
よびＸ′は、それぞれＣ１、Ｂｒ、およびＩのうちの少
なくとも一種であり、ＸおよびａはそれぞれＯ＜ｘ≦２
．および０＜ａ≦０．２である］の組成式で表わされる
蛍光体、 （１４゛）特開昭５９−５６４８０号公報に記載されて
いるＭ”　ＦＸ　ｅ　ｘＮａＸ’：ｙＥ　ｕ”　：　ｚ
　Ａ［ただし、Ｍｌｆは、Ｂａ、Ｓｒ、およびＣａから
なる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属
であり；ＸおよびＸ′は、それぞれＣ１、Ｂｒ、および
■からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンで
ありｚＡは、Ｖ、Ｃｒ。(13) BaFX*xNa, and a are respectively O<x≦2
．． and 0<a≦0.2], (14゛) M” FX e xNaX′:yE u” : z described in JP-A-59-56480.
A[However, Mlf is at least one kind of alkaline earth metal selected from the group consisting of Ba, Sr, and Ca; X and X' are each at least one kind selected from the group consisting of C1, Br, and ■ is a halogen and zA is V, Cr.

Ｍｎ、Ｆｅ、Ｇｏ、およびＮｉより選ばれる少なくとも
一種の遷移金属であり：そしてＸは０＜ｘ≦２、ｙはｏ
＜ｙ≦０．２、およびＺは０＜ｚ≦１０４である］の組
成式で表わされる蛍光体、（１５）特開昭５９−７５２
００号公報に記載サレテイるＭ　”　Ｆ　Ｘ　ａ　ａ　
Ｍ　！Ｘ　’　争ｂ　Ｍ　’罵Ｘ”２・ＣＭＩＩｌｘ”
’　、　＊　Ｘ　Ａ　：　ｙ　Ｅ　ｕ　訃［ただし、Ｍ
１″はＢａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選ばれる
少なくとも一種のアルカリ土類金属であり、　Ｍ　Ｘは
Ｌｉ、Ｎａ、に、Ｒｈ、およびＣｓからなる群より選ば
れる少な−くとも一種のアルカリ金属であり：Ｍ゛電は
ＢｅおよびＭｇからなる群より選ばれる少なくとも一種
の二価金属であり；Ｍ厘はＡ！Ｌ、Ｇａ、Ｉｎ、および
Ｔｌからなる群より選ばれる少なくとも一種の二価金属
でありｚＡは金属酸化物であり：Ｘは０文、Ｂｒ、およ
び工からなる群より選ばれる少なくとも一種のｌ＼ロゲ
ンであり；Ｘ’、Ｘ”、およびＸ″°は、Ｆ、０文、Ｂ
ｒ、およびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種の
ハロゲンであり；そして、ａは０≦ａ≦２、ｂはＯ≦ｂ
≦ｔｏ４、Ｃは０≦Ｃ≦１０””、かつａ＋ｂ＋Ｃ≧１
０４であり：Ｘは０＜ｘ≦０．５．、ｙはｏ＜ｙ≦０．
２−１’ある］の組成式で表わされる蛍光体、および （１６）特願昭５８−１９３１６１号明細書に記載され
たＭ”Ｘ２　ｅ　ａＭ”Ｘ’　ｚ　：　ｘＥｕ　［ただ
し、Ｍ！はＢａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選ば
れる少なくとも一種のアルカリ土類金属テアリ；　ｘｓ
よびＸ′は、Ｃ１、Ｂｒ、オヨびＩからなる群より選ば
れる少なくとも一種のｌ＼ロゲンであって、かつＸζＸ
′であり：そして、ａは０．１≦ａ≦１Ｏ１０の範囲の
数値であり、Ｘは０＜ｘ≦０．２の範囲の数値である１
なる組成式で表わされる蛍光体、 などを挙げることができる。is at least one transition metal selected from Mn, Fe, Go, and Ni: and X is 0<x≦2, y is o
<y≦0.2, and Z is 0<z≦104], (15) JP-A-59-752
Described in Publication No. 00 M” F X a a
M! X' war b M 'abuse X"2・CMIIlx"
', *X A: y E u deceased [However, M
1'' is at least one kind of alkaline earth metal selected from the group consisting of Ba, Sr, and Ca, and M X is at least one kind selected from the group consisting of Li, Na, Rh, and Cs. M is an alkali metal: M is at least one divalent metal selected from the group consisting of Be and Mg; M is at least one divalent metal selected from the group consisting of A, L, Ga, In, and Tl. zA is a metal oxide; 0 sentences, B
r, and at least one kind of halogen selected from the group consisting of I; and a is 0≦a≦2, and b is O≦b.
≦to4, C is 0≦C≦10””, and a+b+C≧1
04: X is 0<x≦0.5. , y is o<y≦0.
(16) M"X2 e aM"X' z : xEu [However, M! is at least one alkaline earth metal selected from the group consisting of Ba, Sr, and Ca; xs
and
': and a is a numerical value in the range of 0.1≦a≦1O10, and X is a numerical value in the range of 0<x≦0.21
Examples include a phosphor represented by the composition formula:

上記の輝尽性蛍光体のうちで、二価ユーロピウム賦活ア
ルカリ土類金属ハロゲン化物系蛍光体［（３）、（５）
〜（１６）］および希土類元素賦活希土類オキシハロゲ
ン化物系蛍光体（４）は高輝度の輝尽発光を示すので特
に好ましい、ただし、本発明に用いられる輝尽性蛍光体
は上述の蛍、光体に限られるものではなく、電子線を照
射したのちに励起光を照射した場合に、ｍ原発光を示す
蛍光体であればいかなるものであってもよい。Among the above-mentioned stimulable phosphors, divalent europium-activated alkaline earth metal halide phosphors [(3), (5)
- (16)] and the rare earth element-activated rare earth oxyhalide phosphor (4) are particularly preferred because they exhibit high-brightness stimulated luminescence. However, the stimulable phosphor used in the present invention is The fluorescent material is not limited to a body, and may be any fluorescent material that emits m-primary light when irradiated with an electron beam and then irradiated with excitation light.

蛍光体層の結合剤の例としては、ゼラチン等の蛋白質、
デキストラン等のポリサッカライド、またはアラビアゴ
ムのような天然高分子物質：および、ポリビニルブチラ
ール、ポリ酢酸ビニル、ニトロセルロース、エチルセル
ロース、塩化ビニリデン・塩化ビニルコポリマー、ポリ
アルキル（メタ）７クリレート、塩化ビニル°・酢酸ビ
ニルコポリマー、ポリウレタン、セルロースアセテート
ブチレート、ポリビニルアルコール、線状ポリエステル
などような合成高分子物質などにより代表される結合剤
を挙げることができる。このような結合剤のなかで特に
好ましいものは、ニトロセルロース、線状ポリエステル
、ポリアルキル（メタ）アクリレート、ニトロセルロー
スと線状ポリエステルとの混合物およびニトロセルロー
スとポリアルキル（メタ）アクリレートとの混合物であ
る。Examples of binders for the phosphor layer include proteins such as gelatin,
Polysaccharides such as dextran, or natural polymeric substances such as gum arabic: and polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, nitrocellulose, ethylcellulose, vinylidene chloride/vinyl chloride copolymer, polyalkyl (meth)7 acrylate, vinyl chloride. Binders typified by synthetic polymeric materials such as vinyl acetate copolymers, polyurethanes, cellulose acetate butyrate, polyvinyl alcohol, linear polyesters, etc. may be mentioned. Particularly preferred among such binders are nitrocellulose, linear polyesters, polyalkyl (meth)acrylates, mixtures of nitrocellulose and linear polyesters, and mixtures of nitrocellulose and polyalkyl (meth)acrylates. be.

なお、これらの結合剤は架橋剤によって架橋されたもの
であってもよい。Note that these binders may be crosslinked with a crosslinking agent.

結合剤と輝尽性蛍光体との混合比は、目的とする蓄積性
蛍光体シートの特性、蛍光体の種類などによって異なる
が、一般には結合剤と蛍光体との混合比は、ｌ：１乃至
１：１００（重量比）の範囲から選ばれ、そして特にｌ
：８乃至・ｌ：４０（改蚤比）の範囲から選ぶことが好
ましい。The mixing ratio of the binder and the stimulable phosphor varies depending on the characteristics of the desired stimulable phosphor sheet, the type of phosphor, etc., but in general, the mixing ratio of the binder and the stimulable phosphor is 1:1. to 1:100 (weight ratio), and especially l
It is preferable to select from the range of :8 to l:40 (modification ratio).

支持体としては、従来の電子線写真法における増感紙（
または増感用スクリーン）の支持体として用いられてい
る各種の材料、あるいは？ｆｉｌＩｉ性蛍光体シートの
支持体として公知の材料から任意に選ぶことができる。As a support, an intensifying screen (
or various materials used as supports for sensitizing screens), or ? Any material can be selected from known materials as a support for a filIi phosphor sheet.

そのような材料の例としては、セルロースアセテート、
ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミ
ド、ポリイミド、トリアセテート、ポリカーボネートな
どのプラスチック物質のフィルム、アルミニウム箔、ア
ルミニウム合金箔などの金属シート、通常の紙。Examples of such materials include cellulose acetate,
Films of plastic materials such as polyester, polyethylene terephthalate, polyamide, polyimide, triacetate, polycarbonate, metal sheets such as aluminum foil, aluminum alloy foil, and ordinary paper.

バライタ紙、レジンコート紙、二酸化チタンなどの顔料
を含有するピグメント紙、ポリビニルアルコールなどを
サイジングしだ紙などを挙げることができる。Examples include baryta paper, resin coated paper, pigment paper containing pigments such as titanium dioxide, and paper sized with polyvinyl alcohol.

ただし、蓄積性蛍光体シートの情報記録材料としての特
性および取扱いなどを考慮した場合、本発明において特
に好ましい支持体の材料はプラスチックフィルムである
。このプラスチックフィルムにはカーボンブラックなど
の光吸収性物質が練り込まれていてもよく、あるいは二
酸化チタンなどの光反射性物質が練り込まれていてもよ
い。However, when considering the characteristics and handling of the stimulable phosphor sheet as an information recording material, a particularly preferred material for the support in the present invention is a plastic film. This plastic film may be kneaded with a light-absorbing substance such as carbon black, or may be kneaded with a light-reflecting substance such as titanium dioxide.

公知の蓄積性蛍光体シートにおいて、支持体と蛍光体層
の結合を強化するため、あるいはａ積性蛍光体シートと
しての感度もしくは画質（ｇ親爪１粒状性）を向上させ
るために、蛍光体層が設けられる側の支持体表面にゼラ
チンなどの高分子・物質を塗布して接着性付与層とした
り、あるいは二酸化チタンなどの光反射性物質からなる
光反射層、もしくはカーボンブラックなどの光吸収性物
質からなる光吸収層などを設けることが知られている。In known stimulable phosphor sheets, phosphors are added in order to strengthen the bond between the support and the phosphor layer, or to improve the sensitivity or image quality (g parent nail 1 graininess) of the a-laminated phosphor sheet. A polymer/substance such as gelatin may be applied to the surface of the support on the side where the layer is provided to form an adhesion-imparting layer, or a light-reflecting layer made of a light-reflecting material such as titanium dioxide, or a light-absorbing material such as carbon black. It is known to provide a light absorption layer made of a chemical substance.

木発゛明において用いられる蓄積性蛍光体シートの支持
体についても、これらの各種の層を設けることができ、
それらの構成は所望の蓄積性蛍光体シートの目的、用途
などに応じて任意に選択することができる。The support for the stimulable phosphor sheet used in wood invention can also be provided with these various layers.
Their configuration can be arbitrarily selected depending on the desired purpose, use, etc. of the stimulable phosphor sheet.

更に１本出願人による特開昭５８−２００２００号公報
に記載されているように、得られる画像の′鮮鋭度を向
上させる目的で、支持体の蛍光体層側の表面（支持体の
蛍光体層側の表面に接着性付与層、光反射゛暮あるいは
光吸収層などが設けられている場合には、その表面を意
味する）には微小の凹凸が形成されていてもよい。Furthermore, as described in Japanese Unexamined Patent Publication No. 58-200200 by the present applicant, in order to improve the sharpness of the obtained image, the surface of the support on the phosphor layer side (the phosphor layer of the support When an adhesion-imparting layer, a light-reflecting layer, a light-absorbing layer, etc. are provided on the surface of the layer, minute irregularities may be formed on the surface.

本発明の電子線像情報の記録再生方法において用いられ
る蓄積性蛍光体シートに備えられた蛍光体層の層厚は１
０〜１５０ＩＬｍどすることが必要である。すなわち、
蓄積性蛍光体シートを用いる公知の放射線像変換方法に
おいては一般に層厚が２００　ｐｍ程度の蛍光体層を用
いでいる。しかしながら、本発明者の研究によると、こ
のような層厚２００ルｍ程度の蛍光体層を備えた蓄積性
蛍光体シートを電子線像の画像記録手段として用いた場
合、得られる画像の鮮鋭度が必ずしも満足できるレベル
に達しないことが判明した。The layer thickness of the phosphor layer provided in the stimulable phosphor sheet used in the recording and reproducing method of electron beam image information of the present invention is 1
It is necessary to set the range from 0 to 150 ILm. That is,
In a known radiation image conversion method using a stimulable phosphor sheet, a phosphor layer having a layer thickness of about 200 pm is generally used. However, according to the research of the present inventor, when a stimulable phosphor sheet having such a phosphor layer with a layer thickness of about 200 lumen is used as an image recording means for an electron beam image, the sharpness of the obtained image is It was found that the results did not necessarily reach a satisfactory level.

本発明はその理由を更に研究した結果、電子顕微鏡や電
子線回折に用いられる波長の短い電子線はＸ線に比較し
て輝尽性蛍光体に吸収されやすく、このため蛍光体層に
照射された電子線の大部分は蛍光体層の表面に近い部分
に存在している蛍光体に吸収され、従って蛍光体層の下
側部分に存在している蛍光体は感度向上に殆ど寄与せず
、一方レーザ光などの電磁波を用いて行なう励起・輝尽
工程において電磁波が下側の蛍光体により散乱されやす
いとの現象を見出した。すなわち１表面から一定の深さ
以上の位置にある蛍光体は感度上昇には余り寄与せず、
むしろその蓄積性蛍光体シートを用いて得られる画像の
鮮鋭度を低下させる作用が強いことが判明した。As a result of further research into the reason for this, the present invention found that short-wavelength electron beams used in electron microscopes and electron diffraction are more easily absorbed by the stimulable phosphor than X-rays, and therefore the phosphor layer is not irradiated with the electron beam. Most of the electron beams are absorbed by the phosphor existing near the surface of the phosphor layer, and therefore the phosphor existing below the phosphor layer hardly contributes to improving sensitivity. On the other hand, we discovered that in the excitation/stimulation process using electromagnetic waves such as laser light, the electromagnetic waves are easily scattered by the lower phosphor. In other words, phosphors located at a certain depth or more from the surface do not contribute much to increasing sensitivity;
In fact, it has been found that the stimulable phosphor sheet has a strong effect of reducing the sharpness of images obtained using the stimulable phosphor sheet.

本発明は上記の現象の発見に基づき、゛電子線像の画像
記録手段として蓄積性蛍光体シートを用いる際、実用的
に最も望ましいレベルで感度と鮮鋭度が均衡した蛍光体
層の厚さについて更に探究した結果、該蛍光体層の層厚
を１０−１５０４ｍの範囲内層することが、上記の望ま
しい均衡を達成するためには最も適当であることを見出
した。なお該蛍晃体層の層厚は３０〜１１００ＩＬとす
るのが更に好ましく、また特に３０〜８０ｇ、ｍとする
のが好ましい。The present invention is based on the discovery of the above phenomenon, and is based on the following: ``When using a stimulable phosphor sheet as an image recording means for an electron beam image, the thickness of the phosphor layer is determined to balance sensitivity and sharpness at the most practically desirable level. As a result of further investigation, it was found that the thickness of the phosphor layer within the range of 10-1504 m is most suitable for achieving the above-mentioned desired balance. The thickness of the phosphor layer is more preferably 30 to 1100 IL, and particularly preferably 30 to 80 gm.

なお、蓄積性蛍光体シートの製造に際して輝尽性蛍光体
層は、必ずしも上記のように支持体上に塗布液を直接塗
布して形成する必要はなく、たとえば、別に、ガラス板
、金−板、プラスチックシートなどのシート上に塗布液
−を塗布し乾燥することにより蛍光体層を形成したあち
、゛これを、支持体りに押圧するか、あるいは接着剤を
用いるなどして支持体と蛍光体層とを接合してもよい。Note that when manufacturing a stimulable phosphor sheet, the stimulable phosphor layer does not necessarily need to be formed by directly applying a coating liquid onto the support as described above; A phosphor layer is formed by applying a coating liquid onto a sheet such as a plastic sheet and drying it. This is then pressed onto a support or attached to the support using an adhesive. It may also be bonded to a phosphor layer.

さらに、塗布液には１画像の鮮鋭度を向上させるｌ］的
で、輝尽性蛍光体の励起光波長領域におけ菰平均反射率
が、輝尽性蛍光体の輝尽発光波長領域における平均反射
率よりも小さいような反射特性を有する着色剤が含有さ
れていてもよい、そのような着色剤としては、たとえば
、特開昭５５−１６３５００号公報および特開昭５７−
９６３００号公報に開示されているような着色剤を挙げ
ることができる。あるいは、同じく画像の鮮鋭度を向上
させる目的で、塗布液には特開昭５５−１４６４４７号
公報に記載されているような白色粉体が含有されていて
もよい、なお蓄積性蛍光体シートの形状はエンドレスベ
ルト状、ロール状、一枚毎に切りはなされた形状等のい
ずれであってもよい。Furthermore, the coating liquid has a property that improves the sharpness of one image, and the average reflectance in the excitation light wavelength region of the stimulable phosphor is lower than the average reflectance in the stimulated emission wavelength region of the stimulable phosphor. Examples of such a colorant that may contain a colorant having a reflection characteristic smaller than the reflectance include those disclosed in JP-A-55-163500 and JP-A-57-
Colorants such as those disclosed in Japanese Patent No. 96300 can be mentioned. Alternatively, for the purpose of improving the sharpness of the image, the coating liquid may also contain a white powder as described in JP-A-55-146447. The shape may be an endless belt, a roll, or a shape in which each sheet is cut out.

蛍光体層の上には公知技術に従って透明保護膜を設けて
もよい、しかしながら、本発明で用いるＭａ性蛍光体シ
ートでは透明保護膜は必ずしも設けなくともよい、すな
わち、ｘ！！撮影撮影用いられる蓄積性蛍光体シートは
大気中で処理され、かつ種々の搬送系により移動される
場合が多く、このため蛍光体層の物理的あるいは化学的
が発生しやすい。従って従来の蓄積性蛍光体シートは殆
ど保護膜を付設した形態にて利用されてきた。しかしな
がら、電子顕微鏡や電子線回折の撮影系にて用いるＪａ
性蛍光体シートについては、少なくとも電子線像記録操
作は真空系内で実施され、また記録画像の読出しも真空
系内で行なわれることが多く、ざらに蓄積性蛍光体シー
トの搬送系も比較的単純な系となることが多いから、蛍
光体層の物理的あるいは化学的が劣化が発生しにくい、
一方、保護膜を過度に厚＜讐ると、照射される電子線が
保護膜を透過しにくくなり、従って蛍光体層に到達する
電子線量が低下することになる。従って、本発明で用い
る蓄積性蛍光体シートでは保護膜を設けないか、あるい
は設けるとしたら膜厚５μｍ以下程度の薄い透明保護膜
を用いることが好ましい。A transparent protective film may be provided on the phosphor layer according to a known technique. However, the transparent protective film may not necessarily be provided in the Ma-based phosphor sheet used in the present invention, that is, x! ! The stimulable phosphor sheet used for photography is often processed in the atmosphere and moved by various conveyance systems, and therefore physical or chemical damage to the phosphor layer is likely to occur. Therefore, most conventional stimulable phosphor sheets have been used with a protective film attached thereto. However, Ja
Regarding stimulable phosphor sheets, at least the electron beam image recording operation is performed in a vacuum system, and the readout of the recorded image is also often performed in a vacuum system, and the transport system for stimulable phosphor sheets is also relatively simple. Because the system is often simple, physical or chemical deterioration of the phosphor layer is less likely to occur.
On the other hand, if the protective film is too thick, it becomes difficult for the irradiated electron beam to pass through the protective film, resulting in a decrease in the amount of electron beam that reaches the phosphor layer. Therefore, in the stimulable phosphor sheet used in the present invention, it is preferable that no protective film is provided, or if provided, a thin transparent protective film with a thickness of about 5 μm or less is used.

透明保！！Ｉは、たとえば、酢酸セルロース、ニトロセ
ルロースなどのセルロース誘導体；あるいはポリメチル
メタクリレート、ポリビニルブチラール、ポリビニルホ
ルマール、ポリカーボネート、ポリ酢酸ビニル、塩化ビ
ニル・酢酸ビニルコポリマーなどの合成高分子物質のよ
うな透明な高分子物質を適当な溶媒に溶解して調製した
溶液を蛍光体層の表゛面に塗布する方法により形成する
ことができる。あるいは、ポリエチレンテレフタレート
、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン′トイリアミドな
どから別に形成した透明なり１ｇを蛍光体層の表面に適
当な接着剤を用いて接着するなどの方法によっても形成
することができる。Transparency! ! I is, for example, a transparent polymer such as a cellulose derivative such as cellulose acetate or nitrocellulose; or a synthetic polymer material such as polymethyl methacrylate, polyvinyl butyral, polyvinyl formal, polycarbonate, polyvinyl acetate, or vinyl chloride/vinyl acetate copolymer. It can be formed by coating the surface of the phosphor layer with a solution prepared by dissolving a molecular substance in a suitable solvent. Alternatively, it can also be formed by a method such as adhering 1 g of a transparent layer separately formed from polyethylene terephthalate, polyethylene, polyvinylidene chloride, toyryamide, etc. to the surface of the phosphor layer using a suitable adhesive.

すなわち、と記のような方法によって本発明で用いる゛
蓄積性蛍光体シートを製造することができる。That is, the stimulable phosphor sheet used in the present invention can be manufactured by the method described below.

次に、本発明の電子線像情報の記録再生方法の各操作の
例を、電子顕微鏡装置を例にして詳しく説明する。Next, examples of each operation of the method for recording and reproducing electron beam image information of the present invention will be explained in detail using an electron microscope apparatus as an example.

第１図は本発明の記録再生方法の実施に際して使用する
のに好ましい電子顕微鏡画像情報記録再生装置の大略を
示すものである。FIG. 1 schematically shows an electron microscope image information recording and reproducing apparatus preferably used in carrying out the recording and reproducing method of the present invention.

この電子顕微鏡画像情報記録再生装置ｆは、通常の電子
顕微鏡の鏡体部ｌ＆の下部に、少なくとも電子顕微鏡画
像情報の記録時は透過電子線像の結像面と同一の真空系
に属するように配置された蓄積性蛍光体シー）１０．蓄
積性蛍光体シート１０を真空状態に置いたままで励起光
で走査する励起手段および蓄積性蛍光体シー）１０放出
される輝尽発光を光電的に検出する検出手段からなる読
取部ｔｂを設けてなるものである。この鏡体部ｌａ及び
読取部１ｂの一部（図中ハツチングで示した枠の内部）
は、電子ｍｅ鏡のＲ勤中１周知の手段によって真空状態
に維持される。This electron microscope image information recording and reproducing device f is installed at the lower part of the mirror body l& of an ordinary electron microscope so that at least when recording electron microscope image information, it belongs to the same vacuum system as the imaging plane of the transmission electron beam image. Arranged stimulable phosphor sheet) 10. A reading section tb is provided, which includes an excitation means for scanning the stimulable phosphor sheet 10 with excitation light while the stimulable phosphor sheet 10 is placed in a vacuum state, and a detection means for photoelectrically detecting the stimulated luminescence emitted from the stimulable phosphor sheet 10. It is what it is. Part of the mirror body la and reading unit 1b (inside the hatched frame in the figure)
is maintained in a vacuum by well-known means during the R shift of the electronic mirror.

鏡体部１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃
３、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズと静電レン
ズ等からなる少なくとも一個の集束レンズ４、試料台５
、集束レンズ４と同様の対物レンズ６、そして投影レン
ズ７から構成される。試料台５上に載置された試料８を
透過した電Ｆ線２は対物レンズ６により屈折され、試料
８の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大散乱像８ａは
投影レンズ７により、結像面９に結像投影される（図中
の８ｂ）。The mirror body 1a includes an electron gun 3 that emits an electron beam 2 at a uniform velocity, at least one focusing lens 4 consisting of a magnetic lens, an electrostatic lens, etc. that focuses the electron beam 2 onto a sample surface, and a sample stage 5.
, an objective lens 6 similar to the focusing lens 4, and a projection lens 7. The electric F rays 2 that have passed through the sample 8 placed on the sample stage 5 are refracted by the objective lens 6 to form an enlarged scattered image 8a of the sample 8. This enlarged scattered image 8a is projected onto the imaging plane 9 by the projection lens 7 (8b in the figure).

読取部１ｂは、円筒形の駆動ローラ１０１と同じく円筒
形の従動ローラ１０２に掛けわたされたエンドレスベル
トに固定載置された複数個の蓄積性蛍光体シー）１０．
Ｈｅ−Ｎｅレーザ管等の励起光［１１と励起光源１１か
ら放出される励起光ビーム１１′＆をシー）１０の幅方
向に偏向させるガルバノメータミラー等の光偏向器１２
とからなる励起手段、および励起光の照射によってシー
ト１０から放出される輝尽発光を集光する集光体１４の
射出端面に設けられ、前記輝尽光を光電変化して電気信
号に変えるフォトマル等の光電変換器１５からなる検出
手段を有している。エンドレスベルトは、駆動装置（図
示せず）によって回転される駆動口−ラｌｏｔにより矢
印入方向に適宜回転移動される。The reading unit 1b includes a plurality of stimulable phosphor sheets fixedly mounted on an endless belt that is passed around a cylindrical driving roller 101 and a cylindrical driven roller 102.10.
An optical deflector 12 such as a galvanometer mirror that deflects the excitation light [11 from a He-Ne laser tube and the excitation light beam 11' emitted from the excitation light source 11] 10 in the width direction.
an excitation means consisting of; and a photoconductor provided on the exit end surface of the condenser 14 that collects stimulated luminescence emitted from the sheet 10 by irradiation with excitation light, and photoelectrically converts the stimulated luminescence into an electrical signal. It has a detection means consisting of a photoelectric converter 15 such as a photoelectric converter. The endless belt is appropriately rotated in the direction of the arrow by a drive port rotated by a drive device (not shown).

鏡体部１ａと読取部ｔｂの間に設けられているシャッタ
ー（図示なし）を開くと、記録位置（すなわち結像面９
）に配置された蓄積性蛍光体シートｌＯに、試料８を透
過した電子線が照射され、試料の拡大散乱像８ｂに対応
する電子線エネルギー像（ＷＪ像）が記録蓄積される０
次いで、この蓄積性蛍光体シートｌＯは駆動ローラの回
転により読取箇所へ移動される。第１図の装置では、外
部に配置されたレーザ光源等の励起光ｍ１ｌｌとガルバ
ノメータミラー等の光偏向器１２により蓄積性蛍光体シ
ー）１０の幅方向を走査する励起光ビームｌｌａを、鉛
ガラス等の透光性の壁部材１９ａを通してこのシー）１
０に入射させる一方、このシー）１０を駆動ローラ１０
１によって幅方向とは直角の方向（矢印Ａ方向）へ移動
させることにより、このシートｌＯ上の画像蓄積部分を
走査する。この励起光によって蓄積性蛍光体シートｌＯ
から発生する輝尽発光は、集光体１４の入射端面（シー
ト１０に向けられた端面）から集光体１４内に入射し、
この中を全反射によって案内されながら射出端面に接続
された光電子増倍管（フォトマルチプライヤ）１５で連
続的に受光され、そこで輝尽発光の光量が光電的に逐次
検知される。When the shutter (not shown) provided between the mirror unit 1a and the reading unit tb is opened, the recording position (i.e., the imaging plane 9
) is irradiated with the electron beam that has passed through the sample 8, and an electron beam energy image (WJ image) corresponding to the enlarged scattering image 8b of the sample is recorded and accumulated.
Next, this stimulable phosphor sheet IO is moved to a reading location by rotation of a drive roller. In the apparatus shown in FIG. 1, an excitation light beam (lla) scanning in the width direction of a stimulable phosphor sheet (10) is transmitted to a lead glass by an excitation light (m1ll) from an external laser light source and an optical deflector (12) such as a galvanometer mirror. (1) through the translucent wall member 19a such as
0, while this sea) 10 is input to the drive roller 10.
1 in a direction perpendicular to the width direction (in the direction of arrow A), the image accumulation portion on this sheet IO is scanned. This excitation light causes a stimulable phosphor sheet lO
The stimulated luminescence generated from the light enters the light collector 14 from the incident end face (the end face facing the sheet 10) of the light collector 14,
While being guided by total reflection, the light is continuously received by a photomultiplier 15 connected to the exit end face, and the amount of stimulated luminescence is sequentially detected photoelectrically there.

光電子増倍管１５によって読み取られた電気信号は１画
像処理回路１６に伝えられ、必要な画像処理が施された
上、必要な画像再生装置へ送られる。この再生装置は、
ＣＲＴ等のディスプレイ１７でもよいし、写真フィルム
に光走査記録を行なう記録装置でもよいし、あるいは一
旦磁気テープ等の記憶装置１８に記録するものでもよい
。The electrical signal read by the photomultiplier tube 15 is transmitted to an image processing circuit 16, subjected to necessary image processing, and then sent to a necessary image reproduction device. This playback device is
It may be a display 17 such as a CRT, a recording device that performs optical scanning recording on photographic film, or a device that temporarily records on a storage device 18 such as a magnetic tape.

読取りが終了した後、蓄積性蛍光体シート１０はベルト
にｔＮされたまま消去ゾーン２０に送られる。この消去
ゾーン２０では、真空系外に設けられた蛍光灯等の消去
用光源２１から放出される消去光が透光性の壁部材１９
ｂを通して前記シートｌＯに照射される。この消去用光
源２１は蓄積性蛍光体シート１０に、該蛍光体の励起波
長領域に含まれる光を照射することにより、この蓄積性
蛍光体シートｌＯの蛍光体層に蓄積されている残像や、
センナの原料中に含まれている放射性元素によるノイズ
を放出させるものであり、この消去用光源としては、例
えば特開昭５６−１１３９２号公報に示されているよう
なタングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ
、あるいはレーザ光源等が任意に選択使用され得る。After the reading is completed, the stimulable phosphor sheet 10 is sent to the erasing zone 20 while being attached to the belt. In this erasing zone 20, erasing light emitted from an erasing light source 21 such as a fluorescent lamp provided outside the vacuum system is transmitted to a transparent wall member 19.
The sheet IO is irradiated through b. This erasing light source 21 irradiates the stimulable phosphor sheet 10 with light included in the excitation wavelength range of the phosphor, thereby erasing the afterimage accumulated in the phosphor layer of the stimulable phosphor sheet 10.
This is to emit noise due to radioactive elements contained in the raw material of senna, and light sources for erasing this include, for example, a tungsten lamp, a halogen lamp, and an infrared lamp as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11392/1982. A lamp, a laser light source, or the like may be used as desired.

以上では透過拡大電子線による試料８の拡大散乱像を記
録再生する例について説明したが、本発明は前述した試
料の回折パターンを記録再生するために適用することも
できる。第２図は試料４８の回折パターン４８ｃを記録
する様子を示すものである。この例において、電子顕微
鏡４１は、対物レンズ４６と投影レンズ４７との間に中
間レンズ４０を備えたものが使用され、対物レンズ４６
の後熱平面に形成された試料４８の回折パターン４８ｃ
は、上記後熱平面に焦点を合わせた中間レンズ４０およ
び投影レンズ４７により、結像面４９に拡大投影される
。この場合にも上記結像面４９に蓄積性蛍光体シート１
０（５０）を配置すれば、該シート１０（５０）に透過
拡大電子線４２によると記回折パターン４８ｃの拡大像
（潜像）が記録される。この記録された回折パターン４
８ｃは、前記第１図で説明したのと全く同様にして読取
りＩＩ）能であり、その読取り像はＣＲＴに表示したり
、あるいはハードコピーとして再生したりすることがで
きる。Although the example in which an enlarged scattering image of the sample 8 is recorded and reproduced using a transmitted enlarged electron beam has been described above, the present invention can also be applied to record and reproduce the diffraction pattern of the sample described above. FIG. 2 shows how a diffraction pattern 48c of a sample 48 is recorded. In this example, the electron microscope 41 is equipped with an intermediate lens 40 between an objective lens 46 and a projection lens 47.
Diffraction pattern 48c of sample 48 formed on post-heating plane
is enlarged and projected onto the imaging plane 49 by the intermediate lens 40 and the projection lens 47, which are focused on the rear thermal plane. In this case as well, the stimulable phosphor sheet 1 is placed on the image forming surface 49.
0 (50), an enlarged image (latent image) of the diffraction pattern 48c is recorded on the sheet 10 (50) by the transmitted enlarged electron beam 42. This recorded diffraction pattern 4
8c can be read in exactly the same manner as described in FIG. 1 above, and the read image can be displayed on a CRT or reproduced as a hard copy.

更に記録条件の変動による影響をなくし、あるいは観察
性の優れた電子顕微鏡画像を得るためには、蓄積性蛍光
体シー）１０（５０）に記録蓄積された透過拡大潜像（
拡大散乱像あるいは拡大回折パターン）の記録状態、試
料の性状、あるいは記録方法等によって決定される記録
パターンを試料観察のための可視像の出力に先立って把
握し、この把握した蓄積記録情報に基づいて読取ゲイン
を適当な値に調節し、あるいは適当な信号処理を施すこ
とが好ましい。Furthermore, in order to eliminate the influence of fluctuations in recording conditions or to obtain electron microscope images with excellent observability, it is necessary to use a transmission magnified latent image (
The recording pattern, which is determined by the recording state of the enlarged scattering image or enlarged diffraction pattern), the properties of the sample, or the recording method, etc., is grasped before outputting a visible image for sample observation, and this grasped accumulated recorded information is used. Based on this, it is preferable to adjust the reading gain to an appropriate value or perform appropriate signal processing.

また、記録パターンのコントラストに応じて分解能が最
適化されるように収録スケールファクターを決定するこ
とが、観察性のすぐれた再生画像を得るために要求され
る。Furthermore, in order to obtain a reproduced image with excellent observability, it is required to determine the recording scale factor so that the resolution is optimized according to the contrast of the recorded pattern.

このように可視像の出力に先立って？Ｉ積性蛍光体シー
ト１０（５０）の蓄積情報を把握する方法として、例え
ば特開昭５８−８９２４５号公報に示されているような
方法が使用可能である。すなわち試料４８の観察のため
の可視像を得る読取り操作（本読み）の際に照射すべき
励起光のエネルギーよりも低いエネルギーの励起光を用
いて、前記本読みに先立って予めＪ積性蛍光体シート１
０（５０）に記録されている情報を把握するための読取
り操作（先読み）を行ない、シート１０（５０）の蓄積
記録情報を把握し、しかる後に本読みを行なって、前記
先読み情報に基づいて読取ゲインを適当に調節し、或い
は信号処理を流子ことにより、実現することができる。Thus prior to the output of a visible image? As a method of grasping the accumulated information of the multilayer phosphor sheet 10 (50), for example, a method such as that disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 58-89245 can be used. That is, prior to the main reading, the J-product phosphor is preliminarily irradiated with excitation light having an energy lower than that of the excitation light that should be irradiated during the reading operation (main reading) to obtain a visible image for observation of the sample 48. sheet 1
Perform a reading operation (read ahead) to grasp the information recorded on sheet 0 (50), grasp the accumulated record information of sheet 10 (50), then perform main reading and read based on the above read information. This can be achieved by appropriately adjusting the gain or by performing signal processing.

また蓄積性蛍光体シー）１０（５０）から放出された輝
尽発光を読み取る光電読取手段としては、前述のような
光電子増倍管１５を用いる他に、光導電体およびフォト
ダイオードなどの固体光電変化素子を用いることもでき
る（特願昭５８−８６２２６号、°特願昭５８−８６２
２７号、特願昭５８−２１９３１３号および特願昭５８
−２１９３１４号の各明細書、および特開昭５８−１２
１８７４号公報参照）、この場合には、多数の固体光電
変換素子がシート１０（５０）全表面を覆うように構成
され、シート１０（５０）と一体化されていてもよいし
、あるいはシート１０（５０）に近接した状態で配置さ
れていてもよい、また、光電読取手段は複数の光電変化
素子が線状に連なったラインセンナであってもよいし、
あるいは一画素に対応する一個の固体光電変化素子が蓄
積性蛍光体シート１０（５０）の全表面にわたって走査
移動されるように構成されてもよい。In addition to using the photomultiplier tube 15 as described above, as a photoelectric reading means for reading the stimulated luminescence emitted from the stimulable phosphor sheet 10 (50), solid-state photoelectric reading means such as a photoconductor and a photodiode can be used. A variable element can also be used (Japanese Patent Application No. 58-86226, °Japanese Patent Application No. 58-862)
No. 27, Japanese Patent Application No. 1983-219313 and Japanese Patent Application No. 1983
Specifications of No.-219314 and JP-A-58-12
1874), in this case, a large number of solid-state photoelectric conversion elements may be configured to cover the entire surface of the sheet 10 (50) and may be integrated with the sheet 10 (50), or may be integrated with the sheet 10 (50). (50), the photoelectric reading means may be a line sensor in which a plurality of photoelectric change elements are connected in a line,
Alternatively, one solid-state photoelectric change element corresponding to one pixel may be configured to be scanned over the entire surface of the stimulable phosphor sheet 10 (50).

上記の場合の読取光源としては、レーザ等のような点光
源のほかに１発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ
等を列状に連ねてなるアレイなどの線光源であってもよ
い、このような装置を用いて読取りを行なうことにより
、蓄積性蛍光体シート１０（５０）から放出される輝尽
発光の読取り効率を高める同時に、受光立体角を大きく
してＳ／Ｎを高めることができる。また、得られる電気
信号は励起光の時系列的な照射によってではなく、光検
出器の電気的な処理により時系列化されるために、読出
し速度を速くすることが可ス七である。In addition to a point light source such as a laser, the reading light source in the above case may be a line light source such as an array of light emitting diodes (LEDs) or semiconductor lasers arranged in a row. By performing reading using the device, it is possible to increase the reading efficiency of stimulated luminescence emitted from the stimulable phosphor sheet 10 (50), and at the same time, increase the solid angle of light reception and increase the S/N. Furthermore, since the obtained electrical signals are converted into time series by electrical processing of the photodetector rather than by time series irradiation with excitation light, it is possible to increase the readout speed.

と記のおいては蓄積性蛍光体シートに記録された透過拡
大電子線像（潜像）等の電子線像の読出し操作は、該シ
ートを真空系に置いたまま実施しているが、この読出し
操作は該シートを真空系外に取り出して行なうこともで
きることは勿論である。In the above, the reading operation of electron beam images such as transmitted enlarged electron beam images (latent images) recorded on the stimulable phosphor sheet is carried out while the sheet is placed in a vacuum system. Of course, the reading operation can also be performed by taking the sheet out of the vacuum system.

また、蓄積性蛍光体シートに記録された電子線像を読み
出し、再生するに際しては、その像を可視画像として再
生する以外にも、たとえば、画像を数値などの記号とし
て表示することもできる。Further, when reading and reproducing the electron beam image recorded on the stimulable phosphor sheet, in addition to reproducing the image as a visible image, the image can also be displayed as a symbol such as a numerical value.

［発明の効果］ 未発明によれば、感度と鮮鋭度との均衡がとれた蓄積性
蛍光体シートに電子線像を記録するようにしたため、電
子線像情報を高精度にて再生することが可使になり、し
たがって電子線露光量を低減でき、試料の損傷を少なく
することができる。[Effect of the invention] According to the invention, since the electron beam image is recorded on a stimulable phosphor sheet that has a balance between sensitivity and sharpness, it is possible to reproduce the electron beam image information with high precision. Therefore, the amount of electron beam exposure can be reduced, and damage to the sample can be reduced.

また再生画像を高精度にて即時に像をＣＲＴ等に表示す
ることができるので、この再生画像を電子顕微鏡や電子
線回折のフォーカス調整用モニタ画像として利用すれば
明瞭なモニタ画像が得られ。Furthermore, since the reproduced image can be displayed immediately with high precision on a CRT or the like, a clear monitor image can be obtained if the reproduced image is used as a monitor image for focus adjustment of an electron microscope or electron beam diffraction.

従来不可能であった低電子線露光量でのフォーカス′Ｊ
Ａ整が可能になる。Focusing with low electron beam exposure, which was previously impossible
A adjustment becomes possible.

しかも本発明においては電子線像情報が電気信号として
読取られるから、電子線像情報に階調処理、周波数強調
処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり、また
前述したような回折パターンの処理や、三次元像の再構
成１画像の二値化等の画像解析も、上記電気信号をコン
ピュータに入力することにより、従来に比べ極めて簡単
かつ迅速に行なえるようになる。Moreover, in the present invention, since the electron beam image information is read as an electrical signal, it is extremely easy to perform image processing such as gradation processing and frequency emphasis processing on the electron beam image information. Image analysis such as processing, reconstruction of a three-dimensional image, and binarization of a single image can be performed much more easily and quickly than in the past by inputting the above-mentioned electrical signals to a computer.

さらに、電子！！ｌ像情報を蓄積記録する蓄積性蛍光体
シートは、光照射加熱等の処理を施すことにより繰返し
の使用が可能であるから本発明によれば従来の銀塩写真
システムを採用する場合等に比べ、高精度であるのみな
らず、より経済的に電子線像情報を再生できる。Furthermore, electronic! ! The stimulable phosphor sheet that accumulates and records image information can be used repeatedly by applying treatments such as light irradiation and heating. , it is possible to reproduce electron beam image information not only with high accuracy but also more economically.

次に本発明の実施例を記載する。Next, examples of the present invention will be described.

［実施例１］ ′１゛　　　蛍−シー　の製苛 蛍光体（Ｂ　ａ　Ｆ　Ｂ　ｒ　：　０．０Ｏ０５Ｅ　ｕ
”）の粒子と線状ポリエステル樹脂との混合物にメチル
エチルケトンを添加し、さらに硝化度１１．５％のニト
ロセルロースを添加して蛍光体粒子を分散状態で含有す
る分散液を調製した０次に、この分散液に燐酸トリクレ
ジル、ｎ−ブタノール、そしてメチルエチルケトンを添
加した後、プロペラミキ（サーを用い充分に攪拌混合し
て、蛍光体が均一に分散し、かつ結合剤と蛍光体との混
合比が１：１０、粘度が２５〜３５ＰＳ　（２５℃）の
塗布液を調製した。[Example 1] '1゛ Fluorescent material produced by Fluorescent Sea (B a F Br : 0.0O05E u
A dispersion containing phosphor particles in a dispersed state was prepared by adding methyl ethyl ketone to a mixture of particles of ``) and linear polyester resin, and further adding nitrocellulose with a degree of nitrification of 11.5%. After adding tricresyl phosphate, n-butanol, and methyl ethyl ketone to this dispersion, they were sufficiently stirred and mixed using a propeller mixer to ensure that the phosphor was uniformly dispersed and that the mixing ratio of the binder and the phosphor was adjusted. A coating liquid having a ratio of 1:10 and a viscosity of 25 to 35 PS (at 25°C) was prepared.

次に、ガラス板上に水平に置いた二酸化チタン練り込゛
み゛ポーリエチレンテレフタレートシート（支持体、厚
み：２５０ｘｍ）の上に上記塗布液をドクターブレード
を用いて均一に塗布した。そして塗布後に、塗膜が形成
された支持体を乾燥器内に入れ、この乾燥器の内部温度
を２５℃から１００℃に徐々に上昇させて、塗膜の乾燥
を行なった。Next, the above coating solution was uniformly applied using a doctor blade onto a polyethylene terephthalate sheet (support material, thickness: 250 x m) into which titanium dioxide had been kneaded, which was placed horizontally on a glass plate. After coating, the support on which the coating film was formed was placed in a dryer, and the internal temperature of the dryer was gradually raised from 25° C. to 100° C. to dry the coating film.

このようにして、支持体上に種々の層厚（３２〜１６０
μｍ＝３２．５０．８０．１１２．１６０ｘｍ）の蛍光
体層を形成した。In this way, various layer thicknesses (32 to 160
A phosphor layer with a diameter of 32.50.80.112.160xm) was formed.

そして、この蛍光体層の上にポリエチレンテレフタレー
トの透明フィルム（厚み：　’６　ｐ−ｍ、ポリエステ
ル系接着剤が付与されているもの）を接着剤層側を下に
向けて置いて接着することにより、透明保護膜を形成し
、支持体、蛍光体層、および透明保護膜から構成された
蓄積性蛍光体シートを得た。Then, by placing a transparent polyethylene terephthalate film (thickness: 6 pm, coated with a polyester adhesive) on top of this phosphor layer with the adhesive layer side facing down, and adhering it. , a transparent protective film was formed to obtain a stimulable phosphor sheet composed of a support, a phosphor layer, and a transparent protective film.

の−ノ （１）電子顕微鏡 日本電子１１１４１ＪＩノＭ子１１１１１１　（Ｊ　Ｅ
Ｍ−１００ＣＸ）を用い下記の電子線照射条件にて測定
を行なった。(1) Electron microscope JEOL 11141 JI no M child 111111 (J E
Measurements were carried out under the following electron beam irradiation conditions.

加速電圧：１００ＫＶ 電流密度：　１　、４Ｘ　１０”Ａ／　ｃｒｎ’照射時
間：１秒 （２）感度の測定 蓄積性蛍光体シートに管電圧８０ＫＶｐのＸ線を照射し
た後Ｈｅ−Ｎｅレーザー光で励起して、該シートの感度
（輝尽発光輝度）を測定した。各蓄積性蛍光体シートに
ついて測定された感度（輝度）を１層厚１６０ルｍの蛍
光体層を備えたシートで測定された感度を１００とする
相対感度（相対輝度）で得て、これらをグラフとして第
３図に示した。Accelerating voltage: 100KV Current density: 1, 4X 10"A/crn' Irradiation time: 1 second (2) Sensitivity measurement After irradiating the stimulable phosphor sheet with X-rays with a tube voltage of 80KVp, excitation with He-Ne laser light The sensitivity (stimulated luminance) of the sheet was measured. Relative sensitivities (relative brightness) were obtained with sensitivity as 100, and these are shown as a graph in FIG.

（３）画像鮮鋭度の測定 同一の線幅を有する三木の黒色線が横方向に同一間隔で
並べられた一組の被測定線単位が複数個、線幅と線間隔
とが順次変えられて並列されてなる画一鮮鋭度測定用チ
ャー）（（１５０ライン・ペア／ｍｍ〜５．ＯＯライン
・ペア／ｍｍ）を蓄躊性門光体シートの上に戦ンと記の
条件にて電子線照射を行なった０次いで、該シートをＨ
ｅ−Ｎｅ　レーザ光（波長：６３２．８ｎｍ）で走査し
て蛍光体を励起し、１ｉ光体層から放射される輝尽発光
を受光器（分光感度Ｓ−５の光電子倍増管）で受光して
電気信号に変換し、これを画像再生装置によって写真フ
ィルム上に可視画像として再生して、画像鮮鋭度測定用
チャート像を得た。(3) Measurement of image sharpness A set of Miki's black lines with the same line width are arranged at the same interval in the horizontal direction. Charts arranged in parallel for uniform sharpness measurement ((150 line pairs/mm to 5.00 line pairs/mm) were electronically placed on a capacitive phosphor sheet under the conditions described above. The sheet was then irradiated with H
The e-Ne laser beam (wavelength: 632.8 nm) is scanned to excite the phosphor, and the stimulated luminescence emitted from the 1i light layer is received by a light receiver (photomultiplier tube with spectral sensitivity S-5). This was converted into an electrical signal using an image reproducing device and reproduced as a visible image on a photographic film to obtain a chart image for measuring image sharpness.

このチャート像の濃度分布をミクロフォトメータで読み
取り、０．５０ライン・ペア／　ｍ　ｍに相当するチャ
ーｉｔの出力板＠＊ｓ、ｏｏライン・ペア／　ｍ　ｍに
相当するチャート像の出力振幅で除した値を鮮鋭度値と
した。すなわち、この鮮鋭度値が大きければ大きい程、
画像鮮鋭度が高いことを意味する。The density distribution of this chart image was read with a microphotometer, and the output amplitude of the chart image was determined by the output plate @*s of the chart corresponding to 0.50 line pairs/mm, and the output amplitude of the chart image corresponding to 0.50 line pairs/mm. The divided value was taken as the sharpness value. In other words, the larger this sharpness value, the
This means that the image sharpness is high.

蛍光体層の層厚が異なった各蓄積性蛍光体シートについ
て上記の鮮鋭度測定試験を行ない、各試験において得ら
れた鮮鋭度値をグラフとして第３図に示す。The sharpness measurement test described above was carried out for each stimulable phosphor sheet having a different thickness of the phosphor layer, and the sharpness values obtained in each test are shown in a graph in FIG.

第３図に示した結果から、蛍光体層の層厚が１１０−１
５０ＪＬの蓄積性蛍光体シートは、電子線像の記録再生
において感度と鮮鋭度が均衡し。From the results shown in Figure 3, the layer thickness of the phosphor layer is 110-1
The 50JL stimulable phosphor sheet has a balance between sensitivity and sharpness when recording and reproducing electron beam images.

実用的に優れた記録再生手段として有用であることがわ
かる。It can be seen that it is useful as a practically excellent recording and reproducing means.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は、本発明の電子線像情報の記録再生方法の実施
に用いることのできる電子顕微鏡像記録再生装置の例を
示す模式図であり、そして第２図は、同様の記録再生装
置の他の構成例を示す模式第３図は、蛍光体層の層圧を
種々変化させた蓄植性蛍光体シートを用いた電子線像情
報の記録再生方法の実施により測定された各蓄積性蛍光
体シートの感度と鮮鋭度との関係の例を層厚を横軸にし
て表示したグラフである。 １・・・電子線像情報記録再生装置（電子顕微鏡）、２
・・・電子線、９・・・電子顕微鏡の結像面、ｌＯ・・
・蓄積性蛍光体シート、１１・・・励起光源、１１ａ・
・・励起光ビーム、１２・・・光偏光器、１４・・・集
光体 特許出願人　富士写真フィルム株式会社弁　　理　　士
　　代理人　　　柳　　川　　泰　　男第１図 １＝＝　　＋−＋　　　＋　　−ｙ　　Ｊ第３図 ５０　　　１０Ｑ　　　１５０ を１！ヅＣ、イＭ’　Ｊ−′：！　　（、ｕ　ｍ　）手
糸売ネ市正−書 昭和５９年１２月１１０ 昭和５９年　特許願　第２４０４５８号２、発明の名称 電子線像情報の記録再生方法 ３、補正をする者 ＃件との関係　　　　　特許出願人 名　称　　（５２０）富士写真フィルム株式会社４、代
理人 住　所　　東京都新宿区四谷２−１４ミツヤ四谷ビル８
階６、補正により増加する発明の数　　な　し■、下記
のように明細書の「発明の詳細な説明」の欄を油ＩＦ致
します。 記 一一捕正前−−−一進正隻−− （１）　３２頁１行［］　　光光電変化素子　　　−光
電変検素−ｆ（２）　３２頁３行目　　光電変化素子　
　　　−光電変換素子から同頁４折目 以しFIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an electron microscope image recording and reproducing apparatus that can be used to implement the electron beam image information recording and reproducing method of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a similar recording and reproducing apparatus. FIG. 3 is a schematic diagram showing another example of the structure. 2 is a graph showing an example of the relationship between sensitivity and sharpness of a body sheet, with layer thickness as the horizontal axis. 1...Electron beam image information recording and reproducing device (electron microscope), 2
...electron beam, 9...imaging plane of electron microscope, lO...
・Stormable phosphor sheet, 11...excitation light source, 11a・
... Excitation light beam, 12 ... Light polarizer, 14 ... Concentrator Patent applicant: Fuji Photo Film Co., Ltd. Patent attorney Agent: Yasushi Yanagawa Figure 1 1 == +-+ + -y JFigure 3 50 10Q 150 1! ㅅC、IM'J-′：! (, um) Teitouri Ne Ichimasa - December 1980 110 1988 Patent Application No. 240458 2 Title of the invention Method for recording and reproducing electron beam image information 3 Person making the amendment Related Patent applicant name (520) Fuji Photo Film Co., Ltd. 4, agent address Mitsuya Yotsuya Building 8, 2-14 Yotsuya, Shinjuku-ku, Tokyo
Floor 6: The number of inventions will increase due to the amendment None■, we will IF the "Detailed Description of the Invention" column of the specification as shown below. Before the 11th arrest --- Isshin Seibun -- (1) Page 32, line 1 [] Photophotoelectric change element - Photoelectric change sensor - f (2) Page 32, line 3 Photoelectric change element
-From the photoelectric conversion element to the 4th fold of the same page

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １、試料を透過した、または試料から反射した電子線像
を厚さが１０〜１５０μｍの蓄積性蛍光体層を有する蓄
積性蛍光体シート上に電子性エネルギー潜像として記録
し、次いで該蓄積性蛍光体シートに蓄積された電子線エ
ネルギーの少なくとも一部を、該蓄積性蛍光体シートに
電磁波を照射することにより蛍光として放出させ、この
蛍光を検知したのち、検知された蛍光に光電処理を施す
ことによって該試料の電子線像情報を得ることからなる
電子線像情報の記録再生方法。 ２、上記蓄積性蛍光体シートの蓄積性蛍光体層の厚さが
３０〜１２０μｍの範囲にあることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の記録再生方法。 ３、上記蓄積性蛍光体シートの蓄積性蛍光体層の厚さが
３０〜１００μｍの範囲にあることを特徴とする特許請
求の範囲第２項記載の記録再生方法。 ４、上記蓄積性蛍光体シートの蓄積性蛍光体層の表面に
厚さが５μｍ以下の保護膜が備えられていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の記録再生方法。 ５、上記蓄積性蛍光体シートの蓄積性蛍光体層の表面が
露出していることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の記録再生方法。 ６、上記蓄積性蛍光体シートの蓄積性蛍光体層が、結合
剤に分散された二価ユーロピウム賦活アルカリ土類金属
ハロゲン化物系蛍光体もしくは希土類元素賦活希土類オ
キシハロゲン化物系蛍光体であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項乃至第５項のいずれかの項記載の記録
再生方法。[Claims] 1. An electron beam image transmitted through a sample or reflected from a sample is recorded as an electronic energy latent image on a stimulable phosphor sheet having a stimulable phosphor layer with a thickness of 10 to 150 μm. Then, at least a part of the electron beam energy accumulated in the stimulable phosphor sheet is emitted as fluorescence by irradiating the stimulable phosphor sheet with electromagnetic waves, and after detecting this fluorescence, A method for recording and reproducing electron beam image information, which comprises obtaining electron beam image information of the sample by subjecting fluorescence to photoelectric processing. 2. The recording and reproducing method according to claim 1, wherein the thickness of the stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet is in the range of 30 to 120 μm. 3. The recording and reproducing method according to claim 2, wherein the thickness of the stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet is in the range of 30 to 100 μm. 4. The recording and reproducing method according to claim 1, wherein a protective film having a thickness of 5 μm or less is provided on the surface of the stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet. 5. The recording and reproducing method according to claim 1, wherein the surface of the stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet is exposed. 6. The stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet is a divalent europium-activated alkaline earth metal halide phosphor or a rare earth element-activated rare earth oxyhalide phosphor dispersed in a binder. A recording/reproducing method according to any one of claims 1 to 5.