JPS6112026A - Vertical type heating furnace - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To cope with the maintenance of a device in a manufacturing process, an unexpected earthquake, etc. by forming projecting sections to upper and lower end surfaces sections in a basket holder and holding a clearance between the basket holder and a heating pipe. CONSTITUTION:A projecting section 14 connected to an operating cable 22 is formed to an upper section and a projecting section 15 to a lower section respectively in the upper end section 12 and lower end section 13 of a basket holder 11 inserted into a vessel 1, both projecting sections are each inserted into a hole section 17 in a detachable upper spacer 16 and a hole 19 in a lower spacer 18 to fix the basket holder, and earthquake-proofing against vibrations from the outside are given. According to the holding method of the basket holder for such a vertical type heating furnace operation is enabled stably as a production unit while the heating furnace can cope with even the unexpected situation such as earthquakes without damaging the production unit and wafers.

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）　　発明の技術分野 本発明は、縦型加熱炉の構造に係り、特に耐震性のウェ
ハ用バスケットの保持と移動装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Technical Field of the Invention The present invention relates to the structure of a vertical heating furnace, and more particularly to an earthquake-resistant wafer basket holding and moving device.

山）技術の背景 近年、半導体基板の大型化、無塵化や自動化の傾向に伴
い、従来使用されてきた横型炉では、石英の容器とウェ
ハを搭載した石英製のウェハバスケットが摺動するため
、石英の微粒子が発生して、これをウニハブ歩留りの低
下の原因となる。ことや、又縦型炉は自動化が容易であ
り、設備の占有スペースが小になる等多くの利点がある
ため、次第に縦型加熱炉が使用されている゛が、通常縦
型炉の場合には加熱される容器の内部に挿入されるバス
ケット某ルダが、一方の端部で支持されているため、例
えば地震の如き外部から大きな振動がある場合には、バ
スケットホルダが転倒とか傾斜をして加熱炉とバスケッ
トホルダを損傷する懸念があり、従来の構造では耐震性
の点で改善が要求されている。Background of the technology In recent years, with the trend toward larger semiconductor substrates, dust-free technology, and automation, the quartz container and quartz wafer basket holding the wafers slide in the horizontal furnaces that have been used in the past. , fine quartz particles are generated, which causes a decrease in the yield of sea urchin hubs. In addition, vertical furnaces have many advantages such as being easy to automate and occupying less space, so vertical furnaces are increasingly being used. Because the basket holder inserted into the heated container is supported at one end, if there is a large vibration from the outside, such as an earthquake, the basket holder may fall or tilt. There is a concern that the heating furnace and basket holder may be damaged, and conventional structures are required to be improved in terms of earthquake resistance.

（Ｃ１従来技術と問題点 半導体基板の酸化膜を形成する場合とか、半導体基板に
不純物をドープして拡散する場合には、これらの半導体
基板を適当な雰囲気ガスの中で高温に加熱することで行
われ、通常この場合の加熱炉は１０００℃程度の温度条
件で成される。　　　　゛第１図は従来構造の縦型加熱
炉であり、図において１は石英製の管状の炉芯部であり
、この内側にバスケットホルダ２が挿入されるが、この
内部にはウエハバスケ・フト３が多段に積み上げされて
いて、これらは、炉芯部周囲に配設された発熱体４で加
熱されている。(C1 Prior Art and Problems When forming an oxide film on a semiconductor substrate or doping and diffusing impurities into a semiconductor substrate, these semiconductor substrates are heated to a high temperature in an appropriate atmospheric gas. Usually, the heating furnace in this case is made at a temperature of about 1000°C. ゛Figure 1 shows a vertical heating furnace with a conventional structure, and in the figure, 1 is a tubular furnace core made of quartz. A basket holder 2 is inserted inside this, and wafer basket feet 3 are stacked in multiple stages inside this, and these are heated by a heating element 4 disposed around the furnace core.

又管状の加熱管には、雰囲気ガスの供給孔５と排出孔６
があって、密封製の上蓋７ａと下蓋７ｂがあり、バスケ
ットホルダは、操作索条８によって駆動部９で駆動され
るが、加熱処理されたバスケットホルダは、密封製の上
蓋を取り除き、操作索条８によって外部にとりだされる
。In addition, the tubular heating tube has an atmospheric gas supply hole 5 and a discharge hole 6.
There is a sealed upper lid 7a and a lower lid 7b, and the basket holder is driven by a drive unit 9 by an operating cable 8. However, the heat-treated basket holder can be operated by removing the sealed upper lid. It is taken out to the outside by the cable 8.

この場合に、バスケットホルダは操作索条８が共スケッ
トホルダの上端部のみで懸垂されているため、バスケッ
トホルダ２が外部からの振動で振動すると、炉芯管の直
径とウェハバスケット間には間隙が僅かではあるが存在
するため、ウェハバスケットが振動して炉芯管と接触し
て、双方が破壊するおそれがあり、これの改善が要望さ
れている。In this case, since the basket holder is suspended only at the upper end of the basket holder with the operating cable 8, when the basket holder 2 vibrates due to external vibration, there is a gap between the diameter of the furnace core tube and the wafer basket. Since there is a slight amount of , there is a risk that the wafer basket may vibrate and come into contact with the furnace core tube, causing both to be destroyed, and there is a need for an improvement in this problem.

（ｄｌ　　発明の目的 本発明は、上記従来の欠点に鑑み、加熱炉に使用される
バスケットホルダの昇降機構を安定に保持、移動される
製造装置を提供することを目的とする。(dl) Purpose of the Invention In view of the above-mentioned conventional drawbacks, an object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus that stably holds and moves an elevating mechanism for a basket holder used in a heating furnace.

（ｅ）　　発明の構成 この目的は、本発明によれば、縦長の管体をほぼ垂直に
配置してなる容器と、該容器の両端部に設けられた蓋部
と、該容器を加熱する加熱部を具備した縦型加熱炉にお
いて、該容器内に配置されたウェハバスケットの上下の
両端面部に突起部が設けられ、該突起部が該管体の両端
部に設けられたスペーサの孔に嵌入されて固定されるこ
とを特徴とする縦型加熱炉を提供することによって達成
できる。(e) Structure of the Invention According to the present invention, the object is to provide a container formed by vertically arranging elongated tubes, a lid provided at both ends of the container, and a heater for heating the container. In a vertical heating furnace equipped with a tube, projections are provided on both upper and lower end surfaces of a wafer basket placed in the container, and the projections fit into holes in spacers provided at both ends of the tube. This can be achieved by providing a vertical heating furnace which is characterized by being fixed in place.

（ｆｌ　　発明の実施例 一般に加熱炉の炉芯部の内径は、加熱効率が高く、又加
熱炉内の温度の均一性を得るために、被加熱体の寸法に
比較して必要最小限の内径に設定されるものであり、特
にバスケットホルダーの場合には、その間隙がせいぜい
数ｌ乃至数１０ｍｍ程度であるので、例えばバスケット
ホルダーが左右に振動する際には、その振動の振幅が少
なくとも其の範囲内で許容されるなけれはならない。(fl Embodiments of the Invention In general, the inner diameter of the furnace core of a heating furnace is the minimum necessary inner diameter compared to the dimensions of the object to be heated, in order to achieve high heating efficiency and uniformity of temperature within the heating furnace. Especially in the case of a basket holder, the gap is at most several liters to several tens of millimeters, so for example, when the basket holder vibrates from side to side, the amplitude of the vibration is at least as large as that. Must be allowed within the range.

第２図は本発明の模式図であふが、容器１の内部に、バ
スケットホルダ１１が挿入されるが、このバスケットホ
ルダーの上端部１２と下端部１３にそれぞれ上部に操作
索条２２と接続された突起部１４と、下部に突起部１５
を設け、この双方の突起部と着脱自在の上部スペーサ１
６の孔部１７と下部スペーサ１８の孔１９とに、それぞ
れ嵌入されて、バスケットホルダを固定し外部からの振
動に対して耐震性をもたせるものである。FIG. 2 is a schematic diagram of the present invention. A basket holder 11 is inserted into the container 1, and an operating cable 22 is connected to the upper end 12 and lower end 13 of the basket holder, respectively. a protrusion 14 and a protrusion 15 at the bottom.
are provided, and both protrusions and a removable upper spacer 1 are provided.
6 and the hole 19 of the lower spacer 18, respectively, to fix the basket holder and provide earthquake resistance against external vibrations.

上記バスケットホルダの両端面の突起部の嵌入孔は、必
ずしも着脱自在のスペーサを使用する必要がなく、開閉
自在の蓋２０．２１に新たに嵌入孔を設けてバスケット
ホルダを固定してもよい。It is not necessarily necessary to use removable spacers for the insertion holes of the protrusions on both end faces of the basket holder, and the basket holder may be fixed by newly providing insertion holes in the openable and closable lids 20 and 21.

このような縦型加熱炉のバスケットホルダーの保持方法
により、製造装置として安定に操作が可能になると共に
、地震のごとき不測の事態にも製造装置やウェハを破損
することなく対処が出来う造装置やウェハを破損するこ
となく対処が出来うるという効果がある。This method of holding the basket holder of a vertical heating furnace allows stable operation of the manufacturing equipment, and also allows the manufacturing equipment to handle unexpected situations such as earthquakes without damaging the manufacturing equipment or wafers. This has the advantage that it can be dealt with without damaging the wafer or the wafer.

（荀　発明の効果 以上詳細に説明したように、本発明のバスケットホルダ
ーの上下の端面部に突起部を設けて、加熱管との間隙を
保持されることにより、製造工程における装置の保守や
不測の地震等の対処し得るという効果大なるものがある
。(Effects of the Invention As explained in detail above, the basket holder of the present invention is provided with protrusions on the upper and lower end surfaces to maintain a gap with the heating tube, thereby making it easier to maintain the equipment during the manufacturing process. It has a great effect of being able to deal with earthquakes, etc.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は従来の加熱炉の模式断面図、 第２図は本発明の加熱炉の模式断面図である。 図において、 １１はバスケットホルダ、 １２はバスケットホルダーの上端面、 １３はバスケットホルダの下端面、 １４．１５は突起部、　　−１６，１８はスペーサ、１
７．１９は孔部、　　　２０．２１は蓋、をそれぞれ示
す。 第１図 第２図FIG. 1 is a schematic sectional view of a conventional heating furnace, and FIG. 2 is a schematic sectional view of the heating furnace of the present invention. In the figure, 11 is a basket holder, 12 is an upper end surface of the basket holder, 13 is a lower end surface of the basket holder, 14.15 is a protrusion, -16 and 18 are spacers, 1
7.19 indicates the hole, and 20.21 indicates the lid. Figure 1 Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 縦長の管体をほぼ垂直に配置してなる容器と、該容器の
両端部に設けられた蓋部と、該容器を加熱する加熱部を
具備した縦型加熱炉において、該容器内に配置されたウ
ェハバスケットの上下の両端面部に突起部が設けられ、
該突起部が該管体の両端部に設けられたスペーサの孔に
嵌入されて固定されることを特徴とする縦型加熱炉。In a vertical heating furnace equipped with a container formed by vertically arranging elongated tubes, lids provided at both ends of the container, and a heating section for heating the container, Protrusions are provided on both the upper and lower end surfaces of the wafer basket,
A vertical heating furnace characterized in that the protrusions are fitted into holes in spacers provided at both ends of the tubular body and fixed.