JPS6112016U - 格子干渉型変位検出装置 - Google Patents
格子干渉型変位検出装置Info
- Publication number
- JPS6112016U JPS6112016U JP9650484U JP9650484U JPS6112016U JP S6112016 U JPS6112016 U JP S6112016U JP 9650484 U JP9650484 U JP 9650484U JP 9650484 U JP9650484 U JP 9650484U JP S6112016 U JPS6112016 U JP S6112016U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- interference type
- order
- type displacement
- diffraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、本考案に係る格子干渉型変位検出装置の第1
実施例の構成を示す、一部ブロック線図を含む線図、第
2図は、同じく、第2実施例の要部構成を示す線図、第
3図は、従来の格子干渉型変位検出装置の原理構成を示
す線図である。 10,40・・・・・・回折格子、12・曲・光源、1
4・・・・・・零次回折波、16・・・・・・1次回折
波、1B・・一・・・零次反射ミラー、20,42・・
・・・・1次反射ミラー、22・・・・・・受光器、0
・・・・・・回折点。
実施例の構成を示す、一部ブロック線図を含む線図、第
2図は、同じく、第2実施例の要部構成を示す線図、第
3図は、従来の格子干渉型変位検出装置の原理構成を示
す線図である。 10,40・・・・・・回折格子、12・曲・光源、1
4・・・・・・零次回折波、16・・・・・・1次回折
波、1B・・一・・・零次反射ミラー、20,42・・
・・・・1次反射ミラー、22・・・・・・受光器、0
・・・・・・回折点。
Claims (2)
- (1) 回折格子を有するスケールと、該スケールに
対して相対移動可能とされた、前記回折格子に光を照射
する光源、前記回折格子による零次及び1次回折波を各
々回折点に反射する零次及び1次反射ミラー、及び、干
渉縞を検出する受光暮を有する検出器とを備え、前記ス
テールと検出器の相対移動による干渉縞の移動からスケ
ールの相対変位量を検出する格子干渉型変位検出装置に
おいて、 前記1次反射ミラーが、前記回折点を曲率中心とする凹
面鏡とされていることを特徴とする格子干渉型変位検出
装置。 - (2)前記光源が、半導体レーザである実用新案登録請
求の範囲第1項記載の格子干渉型変位検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9650484U JPS6112016U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 格子干渉型変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9650484U JPS6112016U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 格子干渉型変位検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6112016U true JPS6112016U (ja) | 1986-01-24 |
JPH044974Y2 JPH044974Y2 (ja) | 1992-02-13 |
Family
ID=30655996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9650484U Granted JPS6112016U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 格子干渉型変位検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6112016U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0278126U (ja) * | 1988-12-03 | 1990-06-15 | ||
JP2019515320A (ja) * | 2016-05-03 | 2019-06-06 | アルゲス ゲーエムベーハー | 光学回転角測定システム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5165958A (ja) * | 1974-10-31 | 1976-06-08 | Leitz Ernst Gmbh |
-
1984
- 1984-06-27 JP JP9650484U patent/JPS6112016U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5165958A (ja) * | 1974-10-31 | 1976-06-08 | Leitz Ernst Gmbh |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0278126U (ja) * | 1988-12-03 | 1990-06-15 | ||
JPH0443165Y2 (ja) * | 1988-12-03 | 1992-10-13 | ||
JP2019515320A (ja) * | 2016-05-03 | 2019-06-06 | アルゲス ゲーエムベーハー | 光学回転角測定システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH044974Y2 (ja) | 1992-02-13 |
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