JPS6112016U - 格子干渉型変位検出装置 - Google Patents

格子干渉型変位検出装置

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JPS6112016U
JPS6112016U JP9650484U JP9650484U JPS6112016U JP S6112016 U JPS6112016 U JP S6112016U JP 9650484 U JP9650484 U JP 9650484U JP 9650484 U JP9650484 U JP 9650484U JP S6112016 U JPS6112016 U JP S6112016U
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JP
Japan
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grating
interference type
order
type displacement
diffraction
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JP9650484U
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JPH044974Y2 (ja
Inventor
博雅 土井
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株式会社ミツトヨ
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案に係る格子干渉型変位検出装置の第１
実施例の構成を示す、一部ブロック線図を含む線図、第
２図は、同じく、第２実施例の要部構成を示す線図、第
３図は、従来の格子干渉型変位検出装置の原理構成を示
す線図である。 １０，４０・・・・・・回折格子、１２・曲・光源、１
４・・・・・・零次回折波、１６・・・・・・１次回折
波、１Ｂ・・一・・・零次反射ミラー、２０，４２・・
・・・・１次反射ミラー、２２・・・・・・受光器、０
・・・・・・回折点。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１） 回折格子を有するスケールと、該スケールに
    対して相対移動可能とされた、前記回折格子に光を照射
    する光源、前記回折格子による零次及び１次回折波を各
    々回折点に反射する零次及び１次反射ミラー、及び、干
    渉縞を検出する受光暮を有する検出器とを備え、前記ス
    テールと検出器の相対移動による干渉縞の移動からスケ
    ールの相対変位量を検出する格子干渉型変位検出装置に
    おいて、 前記１次反射ミラーが、前記回折点を曲率中心とする凹
    面鏡とされていることを特徴とする格子干渉型変位検出
    装置。
  2. （２）前記光源が、半導体レーザである実用新案登録請
    求の範囲第１項記載の格子干渉型変位検出装置。
JP9650484U 1984-06-27 1984-06-27 格子干渉型変位検出装置 Granted JPS6112016U (ja)

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JP9650484U JPS6112016U (ja) 1984-06-27 1984-06-27 格子干渉型変位検出装置

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Publication Number Publication Date
JPS6112016U true JPS6112016U (ja) 1986-01-24
JPH044974Y2 JPH044974Y2 (ja) 1992-02-13

Family

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0278126U (ja) * 1988-12-03 1990-06-15
JP2019515320A (ja) * 2016-05-03 2019-06-06 アルゲス ゲーエムベーハー 光学回転角測定システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5165958A (ja) * 1974-10-31 1976-06-08 Leitz Ernst Gmbh

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5165958A (ja) * 1974-10-31 1976-06-08 Leitz Ernst Gmbh

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JPH0443165Y2 (ja) * 1988-12-03 1992-10-13
JP2019515320A (ja) * 2016-05-03 2019-06-06 アルゲス ゲーエムベーハー 光学回転角測定システム

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JPH044974Y2 (ja) 1992-02-13

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