JPS6111714A - 顕微鏡の自動焦点調整装置 - Google Patents
顕微鏡の自動焦点調整装置Info
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- JPS6111714A JPS6111714A JP13135984A JP13135984A JPS6111714A JP S6111714 A JPS6111714 A JP S6111714A JP 13135984 A JP13135984 A JP 13135984A JP 13135984 A JP13135984 A JP 13135984A JP S6111714 A JPS6111714 A JP S6111714A
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- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/244—Devices for focusing using image analysis techniques
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気ヘッドのトラック幅や、蒸着パターン等
のような微小線幅を撮像装置を有する顕微鏡において自
動測定や表面状態を観察する場合の自動焦点調整装置に
関するものである。
のような微小線幅を撮像装置を有する顕微鏡において自
動測定や表面状態を観察する場合の自動焦点調整装置に
関するものである。
従来例の構成とその問題点
ご般に磁気ヘッドのトラック幅や蒸着パターン等のよう
々微小線幅は光学系装置により１００倍乃至１０００倍
に拡大され、線幅の映像信号は第１図（１ａはボケ信号
）のようになりエツジ部は光学系の解像度により傾斜が
見られ、合焦位で前記傾斜が最大とカる特性がある。こ
の映像信号１を利用して線幅測定を行なう場合は、毎回
、正確な映像信号を得る必要があし、焦点位置精度につ
いてはレンズ系の焦点深度が浅いことからサブミクロン
の精度が要求されるのである。従来、映像信号１の１箇
所のスライスレベ／ｖ１ｂの長さ情報２のみを利用して
焦点検出を行なっている自動焦点調整装置は、第２図（
光学系の焦点方向移動による長さ情報２の変化グラフ）
に示すように、Ｗに長さ情報２をとυ、２を光学系の焦
点方向の移動とすると、変化曲線３となることから、焦
点調整範囲は４〜５の範囲であり、狭い。また焦点範囲
全ストロークを微小ピッチで送り、現状のポイントでの
映像信号１の長さ情報２をＡとし、次に送ったポイント
での映像信号１の長さ情報２をＢとし、人〈Ｂになった
ところで停止させていたため、＝振動等の影響で起こる
異常ポイント６のところで合焦位置となり正確な合焦位
置が得られず測定における精度が悪いばかりか、全スト
ロークを微小ピッチで動作しているため焦点調整時間が
長く、生産性も向上しないという欠点を有していた。
々微小線幅は光学系装置により１００倍乃至１０００倍
に拡大され、線幅の映像信号は第１図（１ａはボケ信号
）のようになりエツジ部は光学系の解像度により傾斜が
見られ、合焦位で前記傾斜が最大とカる特性がある。こ
の映像信号１を利用して線幅測定を行なう場合は、毎回
、正確な映像信号を得る必要があし、焦点位置精度につ
いてはレンズ系の焦点深度が浅いことからサブミクロン
の精度が要求されるのである。従来、映像信号１の１箇
所のスライスレベ／ｖ１ｂの長さ情報２のみを利用して
焦点検出を行なっている自動焦点調整装置は、第２図（
光学系の焦点方向移動による長さ情報２の変化グラフ）
に示すように、Ｗに長さ情報２をとυ、２を光学系の焦
点方向の移動とすると、変化曲線３となることから、焦
点調整範囲は４〜５の範囲であり、狭い。また焦点範囲
全ストロークを微小ピッチで送り、現状のポイントでの
映像信号１の長さ情報２をＡとし、次に送ったポイント
での映像信号１の長さ情報２をＢとし、人〈Ｂになった
ところで停止させていたため、＝振動等の影響で起こる
異常ポイント６のところで合焦位置となり正確な合焦位
置が得られず測定における精度が悪いばかりか、全スト
ロークを微小ピッチで動作しているため焦点調整時間が
長く、生産性も向上しないという欠点を有していた。
発明の目的
本発明は、上記従来の欠点を解消するものであり、実像
面に撮像装置を有する顕微鏡で、微小線幅を有する被検
体を測定する場合に簡単な構成でしかも、短時間で精度
良く広範囲に渡っての焦点調整ができうる自動焦点調整
装置を提供することにある。
面に撮像装置を有する顕微鏡で、微小線幅を有する被検
体を測定する場合に簡単な構成でしかも、短時間で精度
良く広範囲に渡っての焦点調整ができうる自動焦点調整
装置を提供することにある。
発明の構成
本発明の装置は、微小線幅を有する被検体を測定する場
合、実像面に撮像装置を有する顕微鏡において、前記撮
像装置より得られる線幅の映像信号のエツジ信号が合焦
位置で傾斜が最大となる特性に基づき、前記映像信号を
長さ方向に複数のビットに分割し、明るさ方向に濃淡像
としてビット分割して記憶するフレームメモリーと、前
記顕微鏡の光学系位置を焦点方向に制御駆動する端面カ
ムとパルスモータ−からなる駆動機構と、前記フレーム
メモリーの明るさ方向の上部で合焦時の映像信号ピーク
値が１０％以上、上になる位置に上スライスレベルを設
定し、上スライスレベルより下方に、下スライスレベル
を設定し、前記下スライスレベルにおける映像信号の長
さ方向のビット数が０より多くなる第１の区間まで光学
系を合焦位置方向に後述する第２の区間より短いピッチ
で動作させ、前記上スライスレベルにおける映像信号の
ビット数が０より多く、前記上スライスレベルにおける
映像信号のビット数と、前記下スライスレベルにおける
映像信号のビット数の差が、あらかじめ光学系位置が合
焦位置より数μｍ手前になるよう設定された値になる第
２の区間まで、前記駆動機構を光学系位置が第２区間終
了位置と合焦位置までの距離より短いピッチで駆動させ
、その位置より合焦位置を通り過ぎるようあらかじめ設
定された第３の区間をレンズ系焦点深度以下の微小ピッ
チで前記駆動機構を駆動させ、前記区間をアドレス記憶
と、そのアドレスに対応する、前記上、下スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数の差とを記憶し、前記区
間の駆動終了後、前記ビット数の差が一番小さいアドレ
スに駆動機構を制御駆動させる、マイクロプロセッサ−
等で構成される制御部とからなり、上下のスライスレベ
ルにより有効に映像信号の状態を判断していることから
、広範囲の自動焦点調整が行なえる。また、焦点情報は
合焦付近の少しのデータのみ必要とし、微小法シも前記
合焦付近のみでよいことから、単時間で精度良く自動焦
点が行なえ、映像信号の簡単な処理と端面カムとパルス
モータ−からなる簡単な駆動機構で、自動焦点調整装置
が効果的に提供できるものである。
合、実像面に撮像装置を有する顕微鏡において、前記撮
像装置より得られる線幅の映像信号のエツジ信号が合焦
位置で傾斜が最大となる特性に基づき、前記映像信号を
長さ方向に複数のビットに分割し、明るさ方向に濃淡像
としてビット分割して記憶するフレームメモリーと、前
記顕微鏡の光学系位置を焦点方向に制御駆動する端面カ
ムとパルスモータ−からなる駆動機構と、前記フレーム
メモリーの明るさ方向の上部で合焦時の映像信号ピーク
値が１０％以上、上になる位置に上スライスレベルを設
定し、上スライスレベルより下方に、下スライスレベル
を設定し、前記下スライスレベルにおける映像信号の長
さ方向のビット数が０より多くなる第１の区間まで光学
系を合焦位置方向に後述する第２の区間より短いピッチ
で動作させ、前記上スライスレベルにおける映像信号の
ビット数が０より多く、前記上スライスレベルにおける
映像信号のビット数と、前記下スライスレベルにおける
映像信号のビット数の差が、あらかじめ光学系位置が合
焦位置より数μｍ手前になるよう設定された値になる第
２の区間まで、前記駆動機構を光学系位置が第２区間終
了位置と合焦位置までの距離より短いピッチで駆動させ
、その位置より合焦位置を通り過ぎるようあらかじめ設
定された第３の区間をレンズ系焦点深度以下の微小ピッ
チで前記駆動機構を駆動させ、前記区間をアドレス記憶
と、そのアドレスに対応する、前記上、下スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数の差とを記憶し、前記区
間の駆動終了後、前記ビット数の差が一番小さいアドレ
スに駆動機構を制御駆動させる、マイクロプロセッサ−
等で構成される制御部とからなり、上下のスライスレベ
ルにより有効に映像信号の状態を判断していることから
、広範囲の自動焦点調整が行なえる。また、焦点情報は
合焦付近の少しのデータのみ必要とし、微小法シも前記
合焦付近のみでよいことから、単時間で精度良く自動焦
点が行なえ、映像信号の簡単な処理と端面カムとパルス
モータ−からなる簡単な駆動機構で、自動焦点調整装置
が効果的に提供できるものである。
実施例の説明
以下に、本発明の一実施例を第３図〜第６図にもとづい
て説明する。第３図は本発明の一実施例を示すブロック
構成図である。了は試料台、８は試料台７上に置かれた
線幅を有する被検体、９は被検体８を拡大する対物レン
ズ、１０は対物レンズ９等を有する光学系の鏡筒、１１
は対物レンズ９により拡大された被検体８の像を、拡大
する中間レンズ、１２はリニヤ−イメージセンサ−１１
３は被検体８の拡大された像を、映像信号として出力す
るリニヤ−イメージセンサ−１２を有する撮像装置、１
４は鏡筒１ｏを支持し、上下（光学系の焦点方向）方向
に摺動可能なガイド部、１５は端面カム、１６は端面カ
ムを回転させるパルスモータ−１１６！Ｌはパルスモー
タ１６の回転軸に取り付いた外周の一部にスリットの入
った原点板１７は鏡筒１ｏを上下させる、端面カム１５
ト、パルスモータ−１６と、原点板１６１Ｌからなる駆
動部、１８はパルスモータ−の原点を検出する、原点板
１６１Ｌのスリットを光ビームが通過するよう配置され
たホトセンサー、１９は被検体８を置埴た試料台７と、
対物レンズ９．中間１１等を有する鏡筒１０と、鏡筒１
０に接続されたリニヤ−イメージセンサ−１２を有する
撮像装置１３とガイド部１４と、端面カム１５．原点板
１６！Ｌの取シ付いたパルスモータ−１６とからなる駆
動部１７と、ホトセンサー１８を配置する載物台、２０
は撮像装置１３より得られる映像信号を記憶するフレー
ムメモリー、２１はパルスモータ−１６の駆動回路、２
２は映像信号を処理し、光学系の焦点が被検体８との位
置関係において合焦位置となるようパルスモータ−１６
を、駆動回路に指令を与えコントロールする制御部であ
る。第４図は被検体８と、対物レンズ９の自動焦点調整
スタート時における位置関係図で、２３は光学系の焦点
位置、２４はワークディスタンス、第４図では、被検体
８が焦点位置２３の外に設定されるようになっているが
、ワークディスタンス２４内に設定する場合は、光学系
の送シ方向を、第４図では上から下へ移動させるが、下
から上へ移動するよう、駆動部１７の端面カムの原点を
、原点板１６ａをずらして設定する必要がある。第６図
は撮像装置１３より得られる映像信号の図で、縦に明る
さ、横に線幅の長さを示す。２６は合焦位置での映像信
号で、２６はボケ映像信号Ｃ１２７はボケ映像信号Ｄ（
自動焦点調整方法説明にて後述）、この映像信号が明る
さ方向、長さ方向共デジタル的にビット分割されフレー
ムメモリー２０に記憶される。２８は下スライスレベル
、２９は合焦時の映像信号が明るさ方向に１０％以上は
上になるよう設定された上スライスレベル、Ｗｌは下ス
ライスレベ１ｖ２８での線幅長さの量、Ｗｌは上スライ
スレペ）Ｖ２９での線幅長さの量である。第６図は、縦
にｗ、 −ｗ２の量Ｗ３、横に光学系の移動Ｚを示した
。ｗ、−ｗ２の量ＷＳの変化グラフであし、自動焦点調
整方法を説明できることから以下、第６図により自動焦
点調整方法を説明する。Ｚｏ は原点、ｚｌは第１の判
断終了ポイント、ｚ２は第２の判断終了ポイント、ｚ３
は光学系行限、Ｚ４は合焦位置、３０は光学系移動の第
１の区間、３１は光学系移動の第２の区間、３２は光学
系移動の第３の区間であし、光学系移動の第１の区間は
、光学系移動の第２の区間より短いピッチで送り、第５
図で示す下スライスレベ）ｖ２８に映像信号が達したか
の第１の判断をする。第５図のボケ映像信号０２６の状
態は、第１の判断終了ポイントＺ１の状態である。次に
光学系移動は第２の区間に入り、第６図で示す、上スラ
イスレベ１Ｖ２９に映像信号が達し、Ｗｌ−ｗ２が第６
図のＷ４の値になるまで、第２の判断終了ポイン） Ｚ
２から合焦位置Ｚａ １での長さ３３より短いピッチで
移動する。
て説明する。第３図は本発明の一実施例を示すブロック
構成図である。了は試料台、８は試料台７上に置かれた
線幅を有する被検体、９は被検体８を拡大する対物レン
ズ、１０は対物レンズ９等を有する光学系の鏡筒、１１
は対物レンズ９により拡大された被検体８の像を、拡大
する中間レンズ、１２はリニヤ−イメージセンサ−１１
３は被検体８の拡大された像を、映像信号として出力す
るリニヤ−イメージセンサ−１２を有する撮像装置、１
４は鏡筒１ｏを支持し、上下（光学系の焦点方向）方向
に摺動可能なガイド部、１５は端面カム、１６は端面カ
ムを回転させるパルスモータ−１１６！Ｌはパルスモー
タ１６の回転軸に取り付いた外周の一部にスリットの入
った原点板１７は鏡筒１ｏを上下させる、端面カム１５
ト、パルスモータ−１６と、原点板１６１Ｌからなる駆
動部、１８はパルスモータ−の原点を検出する、原点板
１６１Ｌのスリットを光ビームが通過するよう配置され
たホトセンサー、１９は被検体８を置埴た試料台７と、
対物レンズ９．中間１１等を有する鏡筒１０と、鏡筒１
０に接続されたリニヤ−イメージセンサ−１２を有する
撮像装置１３とガイド部１４と、端面カム１５．原点板
１６！Ｌの取シ付いたパルスモータ−１６とからなる駆
動部１７と、ホトセンサー１８を配置する載物台、２０
は撮像装置１３より得られる映像信号を記憶するフレー
ムメモリー、２１はパルスモータ−１６の駆動回路、２
２は映像信号を処理し、光学系の焦点が被検体８との位
置関係において合焦位置となるようパルスモータ−１６
を、駆動回路に指令を与えコントロールする制御部であ
る。第４図は被検体８と、対物レンズ９の自動焦点調整
スタート時における位置関係図で、２３は光学系の焦点
位置、２４はワークディスタンス、第４図では、被検体
８が焦点位置２３の外に設定されるようになっているが
、ワークディスタンス２４内に設定する場合は、光学系
の送シ方向を、第４図では上から下へ移動させるが、下
から上へ移動するよう、駆動部１７の端面カムの原点を
、原点板１６ａをずらして設定する必要がある。第６図
は撮像装置１３より得られる映像信号の図で、縦に明る
さ、横に線幅の長さを示す。２６は合焦位置での映像信
号で、２６はボケ映像信号Ｃ１２７はボケ映像信号Ｄ（
自動焦点調整方法説明にて後述）、この映像信号が明る
さ方向、長さ方向共デジタル的にビット分割されフレー
ムメモリー２０に記憶される。２８は下スライスレベル
、２９は合焦時の映像信号が明るさ方向に１０％以上は
上になるよう設定された上スライスレベル、Ｗｌは下ス
ライスレベ１ｖ２８での線幅長さの量、Ｗｌは上スライ
スレペ）Ｖ２９での線幅長さの量である。第６図は、縦
にｗ、 −ｗ２の量Ｗ３、横に光学系の移動Ｚを示した
。ｗ、−ｗ２の量ＷＳの変化グラフであし、自動焦点調
整方法を説明できることから以下、第６図により自動焦
点調整方法を説明する。Ｚｏ は原点、ｚｌは第１の判
断終了ポイント、ｚ２は第２の判断終了ポイント、ｚ３
は光学系行限、Ｚ４は合焦位置、３０は光学系移動の第
１の区間、３１は光学系移動の第２の区間、３２は光学
系移動の第３の区間であし、光学系移動の第１の区間は
、光学系移動の第２の区間より短いピッチで送り、第５
図で示す下スライスレベ）ｖ２８に映像信号が達したか
の第１の判断をする。第５図のボケ映像信号０２６の状
態は、第１の判断終了ポイントＺ１の状態である。次に
光学系移動は第２の区間に入り、第６図で示す、上スラ
イスレベ１Ｖ２９に映像信号が達し、Ｗｌ−ｗ２が第６
図のＷ４の値になるまで、第２の判断終了ポイン） Ｚ
２から合焦位置Ｚａ １での長さ３３より短いピッチで
移動する。
次に、光学系移動の第３区間に入り、レンズ系焦点深度
以下でピッチ送シを、合焦位置Ｚ４を通り過ぎるよう設
定された第３区間終了の光学系行限Ｚ３マで行ない、そ
の間のアドレスとＷｌ−Ｗｌの量Ｗ３をアドレスと合わ
せ記憶し、光学系行限にて前記アドレスとｗｌ−Ｗｌの
量Ｗ３の中から、Ｗｌ−Ｗｌ の量の極小値、いわゆる
合焦位置Ｚ４を選び光学系位置を合焦位置ｚ４に位置決
めする。このように合焦位置付近の映像信号から合焦位
置を選び出しており、精度良く自動焦点調整ができる他
、光学系移動の第３区間、第３区間は定量的であるが、
第１区間は映像信号が下スライスレベルに達するまで動
作できることから広い範囲が取れおのずと自動焦点調整
全範囲は広範囲に取れ、光学系移動の第１区間、第２区
間は、比較的大きいピッチで送れることから高速の自動
焦点調整ができるのである。
以下でピッチ送シを、合焦位置Ｚ４を通り過ぎるよう設
定された第３区間終了の光学系行限Ｚ３マで行ない、そ
の間のアドレスとＷｌ−Ｗｌの量Ｗ３をアドレスと合わ
せ記憶し、光学系行限にて前記アドレスとｗｌ−Ｗｌの
量Ｗ３の中から、Ｗｌ−Ｗｌ の量の極小値、いわゆる
合焦位置Ｚ４を選び光学系位置を合焦位置ｚ４に位置決
めする。このように合焦位置付近の映像信号から合焦位
置を選び出しており、精度良く自動焦点調整ができる他
、光学系移動の第３区間、第３区間は定量的であるが、
第１区間は映像信号が下スライスレベルに達するまで動
作できることから広い範囲が取れおのずと自動焦点調整
全範囲は広範囲に取れ、光学系移動の第１区間、第２区
間は、比較的大きいピッチで送れることから高速の自動
焦点調整ができるのである。
発明の効果
以上、本発明では、微小線幅を有する被検体を測定する
場合、実像面に撮像装置を有する顕微鏡において、前記
撮像装置より得られる線幅の映像信号のエツジ信号が合
焦位置で傾斜が最大となる特性に基づき、前記映像信号
を長さ方向に複数のビットに分割し、明るさ方向に濃淡
像としてビット分割して、記憶するフレームメモリーと
、前記顕微鏡の光学系位置を焦点方向に制御駆動する端
面カムとパルスモータ−からなる駆動機構と、前記フレ
ームメモリーの明るさ方向の上部で合焦時の映像信号ピ
ーク値が１０％以上、上になる位置に上スライスレベル
を設定し、上スライスレベルより下方に、下ズライ、ス
レベルを設定し、前記下スライスレベルにおける□映像
信号の長さ方向のビット数が０より多くなる第１の区間
まで光学系を合焦位置方向に後述する第２の区間より短
いピッチで動作させ、前記上スライスレベルにおける映
像、信号のビット数が０より多く、前記上スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数と、前記下スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数の差があらかじめ光学系
位置が合焦位置より数μｍ手前になるよう設定された値
になる第２の区間まで、前記駆動機構を光学系位置が第
２区間終了位置と合焦位置までの距離より短いピッチで
駆動させ、その位置より合焦位置を通り過ぎるようあら
かじめ設定された第３の区間をレンズ系焦点深度以下の
微小ピッチで前記駆動機構を駆動させ、前記区間をアド
レス記憶と、そのアドレスに対応する、前記上、下スラ
イスレベルにおける映像信号のビット数の差とを記憶し
、前記区間の駆動終了後、前記ビット数の差が一番小さ
いアドレスに駆動機構を制御部によ多制御駆動させるも
のである。
場合、実像面に撮像装置を有する顕微鏡において、前記
撮像装置より得られる線幅の映像信号のエツジ信号が合
焦位置で傾斜が最大となる特性に基づき、前記映像信号
を長さ方向に複数のビットに分割し、明るさ方向に濃淡
像としてビット分割して、記憶するフレームメモリーと
、前記顕微鏡の光学系位置を焦点方向に制御駆動する端
面カムとパルスモータ−からなる駆動機構と、前記フレ
ームメモリーの明るさ方向の上部で合焦時の映像信号ピ
ーク値が１０％以上、上になる位置に上スライスレベル
を設定し、上スライスレベルより下方に、下ズライ、ス
レベルを設定し、前記下スライスレベルにおける□映像
信号の長さ方向のビット数が０より多くなる第１の区間
まで光学系を合焦位置方向に後述する第２の区間より短
いピッチで動作させ、前記上スライスレベルにおける映
像、信号のビット数が０より多く、前記上スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数と、前記下スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数の差があらかじめ光学系
位置が合焦位置より数μｍ手前になるよう設定された値
になる第２の区間まで、前記駆動機構を光学系位置が第
２区間終了位置と合焦位置までの距離より短いピッチで
駆動させ、その位置より合焦位置を通り過ぎるようあら
かじめ設定された第３の区間をレンズ系焦点深度以下の
微小ピッチで前記駆動機構を駆動させ、前記区間をアド
レス記憶と、そのアドレスに対応する、前記上、下スラ
イスレベルにおける映像信号のビット数の差とを記憶し
、前記区間の駆動終了後、前記ビット数の差が一番小さ
いアドレスに駆動機構を制御部によ多制御駆動させるも
のである。
したがって、本発明によれば、簡単な構成でしかも短時
間に精度良く調整を行ない得る自動焦点調整装置を提供
することができる。
間に精度良く調整を行ない得る自動焦点調整装置を提供
することができる。
第１図は従来例の映像信号処理方法の概念図、第２図は
顕微鏡の焦点方向移動に供々う線幅映像信号の幅変化グ
ラフ、第３図は本発明による一実施例のブロック構成図
、第４図は同実施例による被検体と、対物レンズの自動
焦点調整スタート時における位置関係図、第５図は撮像
装置より得られる映像信号の説明図、第６図はＷｌ−Ｗ
ｌの量Ｗ５ の変化のグラフである。 １．２５・・・・・・合焦位置での映像信号、７・・・
・・・試料台、８・・・・・・被検体、９・・・・・・
対物レンズ、１ｏ、・。 ・・・鏡筒、１１・・・・・・中間レンズ、１３・・・
・・・撮像装置、１４・・・・・・ガイド部、１７・・
・・・・駆動部、１８・・川・ホ） セフ−ＩＪ−−１
１９・・４・・・・載物台、２０−、、、フレームメモ
リー、２２・・・・・・制御部、２３・・・・・・光学
系の焦点位置、２４・・・・・・ワークディスタンス、
２６・川・・ボケ映像信号Ｃ１２７・・・・・・ボケ映
像信号Ｄ１２８・・・・・・下スライスレベル、２９・
・川・上スライスレベル、３０・・・・・・光学系移動
の第１区間、３１・・・・・・光学系移動の第２区間、
３２・・・・・・光学系移動の第３区間。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図
顕微鏡の焦点方向移動に供々う線幅映像信号の幅変化グ
ラフ、第３図は本発明による一実施例のブロック構成図
、第４図は同実施例による被検体と、対物レンズの自動
焦点調整スタート時における位置関係図、第５図は撮像
装置より得られる映像信号の説明図、第６図はＷｌ−Ｗ
ｌの量Ｗ５ の変化のグラフである。 １．２５・・・・・・合焦位置での映像信号、７・・・
・・・試料台、８・・・・・・被検体、９・・・・・・
対物レンズ、１ｏ、・。 ・・・鏡筒、１１・・・・・・中間レンズ、１３・・・
・・・撮像装置、１４・・・・・・ガイド部、１７・・
・・・・駆動部、１８・・川・ホ） セフ−ＩＪ−−１
１９・・４・・・・載物台、２０−、、、フレームメモ
リー、２２・・・・・・制御部、２３・・・・・・光学
系の焦点位置、２４・・・・・・ワークディスタンス、
２６・川・・ボケ映像信号Ｃ１２７・・・・・・ボケ映
像信号Ｄ１２８・・・・・・下スライスレベル、２９・
・川・上スライスレベル、３０・・・・・・光学系移動
の第１区間、３１・・・・・・光学系移動の第２区間、
３２・・・・・・光学系移動の第３区間。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図
Claims (1)
- 微小線幅を有する被検体を測定する場合、実像面に撮像
装置を有する顕微鏡において、前記撮像装置より得られ
る線幅の映像信号のエッジ信号が合焦位置で傾斜が最大
となる特性に基づき、前記映像信号を長さ方向に複数の
ビットに分割し、明るさ方向に濃淡像としてビット分割
して記憶するフレームメモリーと、前記顕微鏡の光学系
位置を焦点方向に制御駆動する端面カムとパルスモータ
ーからなる駆動機構と、前記フレームメモリーの明るさ
方向の上部で合焦時の映像信号ピーク値が１０％以上、
上になる位置に上スライスレベルを設定し、上スライス
レベルより下方に、下スライスレベルを設定し、前記下
スライスレベルにおける映像信号の長さ方向のビット数
が０より多くなる第１の区間まで光学系を合焦位置方向
に後述する第２の区間より短いピッチで動作させ、前記
上スライスレベルにおける映像信号のビット数が０より
多く、前記上スライスレベルにおける映像信号のビット
数と、前記下スライスレベルにおける映像信号のビット
数の差が、あらかじめ光学系位置が合焦位置より数μｍ
手前になるよう設定された値になる第２の区間まで、前
記駆動機構を光学系位置が第２区間終了位置と合焦位置
までの距離より短いピッチで駆動させ、その位置より合
焦位置を通り過ぎるようあらかじめ設定された第３の区
間をレンズ系焦点深度以下の微小ピッチで前記駆動機構
を駆動させ、前記区間をアドレス記憶と、そのアドレス
に対応する、前記上、下スライスレベルにおける映像信
号のビット数の差とを記憶し、前記区間の駆動終了後、
前記ビット数の差が一番小さいアドレスに駆動機構を制
御駆動させる、マイクロプロセッサー等で構成される制
御部とからなる顕微鏡の自動焦点調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13135984A JPS6111714A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 顕微鏡の自動焦点調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13135984A JPS6111714A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 顕微鏡の自動焦点調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6111714A true JPS6111714A (ja) | 1986-01-20 |
| JPH0462046B2 JPH0462046B2 (ja) | 1992-10-05 |
Family
ID=15056079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13135984A Granted JPS6111714A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 顕微鏡の自動焦点調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6111714A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969273A (en) * | 1998-02-12 | 1999-10-19 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for critical dimension and tool resolution determination using edge width |
| WO2003077008A3 (en) * | 2002-03-13 | 2003-12-18 | Yeda Res & Dev | Auto-focusing method and device |
| JP2005202087A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Olympus Corp | 顕微鏡装置、顕微鏡装置の制御方法、及びプログラム |
| JP2007140087A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 合焦点方法及び合焦点装置並びにそれを使った測定装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55137784A (en) * | 1979-04-16 | 1980-10-27 | Omron Tateisi Electronics Co | Focus adjustment system in image pickup device using image sensor |
| JPS599613A (ja) * | 1982-07-08 | 1984-01-19 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 自動焦点調節方法 |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP13135984A patent/JPS6111714A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0462046B2 (ja) | 1992-10-05 |
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