JPS6111714A - 顕微鏡の自動焦点調整装置 - Google Patents
顕微鏡の自動焦点調整装置Info
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- JPS6111714A JPS6111714A JP13135984A JP13135984A JPS6111714A JP S6111714 A JPS6111714 A JP S6111714A JP 13135984 A JP13135984 A JP 13135984A JP 13135984 A JP13135984 A JP 13135984A JP S6111714 A JPS6111714 A JP S6111714A
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/244—Devices for focusing using image analysis techniques
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気ヘッドのトラック幅や、蒸着パターン等
のような微小線幅を撮像装置を有する顕微鏡において自
動測定や表面状態を観察する場合の自動焦点調整装置に
関するものである。
のような微小線幅を撮像装置を有する顕微鏡において自
動測定や表面状態を観察する場合の自動焦点調整装置に
関するものである。
従来例の構成とその問題点
ご般に磁気ヘッドのトラック幅や蒸着パターン等のよう
々微小線幅は光学系装置により100倍乃至1000倍
に拡大され、線幅の映像信号は第1図(1aはボケ信号
)のようになりエツジ部は光学系の解像度により傾斜が
見られ、合焦位で前記傾斜が最大とカる特性がある。こ
の映像信号1を利用して線幅測定を行なう場合は、毎回
、正確な映像信号を得る必要があし、焦点位置精度につ
いてはレンズ系の焦点深度が浅いことからサブミクロン
の精度が要求されるのである。従来、映像信号1の1箇
所のスライスレベ/v1bの長さ情報2のみを利用して
焦点検出を行なっている自動焦点調整装置は、第2図(
光学系の焦点方向移動による長さ情報2の変化グラフ)
に示すように、Wに長さ情報2をとυ、2を光学系の焦
点方向の移動とすると、変化曲線3となることから、焦
点調整範囲は4〜5の範囲であり、狭い。また焦点範囲
全ストロークを微小ピッチで送り、現状のポイントでの
映像信号1の長さ情報2をAとし、次に送ったポイント
での映像信号1の長さ情報2をBとし、人〈Bになった
ところで停止させていたため、=振動等の影響で起こる
異常ポイント6のところで合焦位置となり正確な合焦位
置が得られず測定における精度が悪いばかりか、全スト
ロークを微小ピッチで動作しているため焦点調整時間が
長く、生産性も向上しないという欠点を有していた。
々微小線幅は光学系装置により100倍乃至1000倍
に拡大され、線幅の映像信号は第1図(1aはボケ信号
)のようになりエツジ部は光学系の解像度により傾斜が
見られ、合焦位で前記傾斜が最大とカる特性がある。こ
の映像信号1を利用して線幅測定を行なう場合は、毎回
、正確な映像信号を得る必要があし、焦点位置精度につ
いてはレンズ系の焦点深度が浅いことからサブミクロン
の精度が要求されるのである。従来、映像信号1の1箇
所のスライスレベ/v1bの長さ情報2のみを利用して
焦点検出を行なっている自動焦点調整装置は、第2図(
光学系の焦点方向移動による長さ情報2の変化グラフ)
に示すように、Wに長さ情報2をとυ、2を光学系の焦
点方向の移動とすると、変化曲線3となることから、焦
点調整範囲は4〜5の範囲であり、狭い。また焦点範囲
全ストロークを微小ピッチで送り、現状のポイントでの
映像信号1の長さ情報2をAとし、次に送ったポイント
での映像信号1の長さ情報2をBとし、人〈Bになった
ところで停止させていたため、=振動等の影響で起こる
異常ポイント6のところで合焦位置となり正確な合焦位
置が得られず測定における精度が悪いばかりか、全スト
ロークを微小ピッチで動作しているため焦点調整時間が
長く、生産性も向上しないという欠点を有していた。
発明の目的
本発明は、上記従来の欠点を解消するものであり、実像
面に撮像装置を有する顕微鏡で、微小線幅を有する被検
体を測定する場合に簡単な構成でしかも、短時間で精度
良く広範囲に渡っての焦点調整ができうる自動焦点調整
装置を提供することにある。
面に撮像装置を有する顕微鏡で、微小線幅を有する被検
体を測定する場合に簡単な構成でしかも、短時間で精度
良く広範囲に渡っての焦点調整ができうる自動焦点調整
装置を提供することにある。
発明の構成
本発明の装置は、微小線幅を有する被検体を測定する場
合、実像面に撮像装置を有する顕微鏡において、前記撮
像装置より得られる線幅の映像信号のエツジ信号が合焦
位置で傾斜が最大となる特性に基づき、前記映像信号を
長さ方向に複数のビットに分割し、明るさ方向に濃淡像
としてビット分割して記憶するフレームメモリーと、前
記顕微鏡の光学系位置を焦点方向に制御駆動する端面カ
ムとパルスモータ−からなる駆動機構と、前記フレーム
メモリーの明るさ方向の上部で合焦時の映像信号ピーク
値が10%以上、上になる位置に上スライスレベルを設
定し、上スライスレベルより下方に、下スライスレベル
を設定し、前記下スライスレベルにおける映像信号の長
さ方向のビット数が0より多くなる第1の区間まで光学
系を合焦位置方向に後述する第2の区間より短いピッチ
で動作させ、前記上スライスレベルにおける映像信号の
ビット数が0より多く、前記上スライスレベルにおける
映像信号のビット数と、前記下スライスレベルにおける
映像信号のビット数の差が、あらかじめ光学系位置が合
焦位置より数μm手前になるよう設定された値になる第
2の区間まで、前記駆動機構を光学系位置が第2区間終
了位置と合焦位置までの距離より短いピッチで駆動させ
、その位置より合焦位置を通り過ぎるようあらかじめ設
定された第3の区間をレンズ系焦点深度以下の微小ピッ
チで前記駆動機構を駆動させ、前記区間をアドレス記憶
と、そのアドレスに対応する、前記上、下スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数の差とを記憶し、前記区
間の駆動終了後、前記ビット数の差が一番小さいアドレ
スに駆動機構を制御駆動させる、マイクロプロセッサ−
等で構成される制御部とからなり、上下のスライスレベ
ルにより有効に映像信号の状態を判断していることから
、広範囲の自動焦点調整が行なえる。また、焦点情報は
合焦付近の少しのデータのみ必要とし、微小法シも前記
合焦付近のみでよいことから、単時間で精度良く自動焦
点が行なえ、映像信号の簡単な処理と端面カムとパルス
モータ−からなる簡単な駆動機構で、自動焦点調整装置
が効果的に提供できるものである。
合、実像面に撮像装置を有する顕微鏡において、前記撮
像装置より得られる線幅の映像信号のエツジ信号が合焦
位置で傾斜が最大となる特性に基づき、前記映像信号を
長さ方向に複数のビットに分割し、明るさ方向に濃淡像
としてビット分割して記憶するフレームメモリーと、前
記顕微鏡の光学系位置を焦点方向に制御駆動する端面カ
ムとパルスモータ−からなる駆動機構と、前記フレーム
メモリーの明るさ方向の上部で合焦時の映像信号ピーク
値が10%以上、上になる位置に上スライスレベルを設
定し、上スライスレベルより下方に、下スライスレベル
を設定し、前記下スライスレベルにおける映像信号の長
さ方向のビット数が0より多くなる第1の区間まで光学
系を合焦位置方向に後述する第2の区間より短いピッチ
で動作させ、前記上スライスレベルにおける映像信号の
ビット数が0より多く、前記上スライスレベルにおける
映像信号のビット数と、前記下スライスレベルにおける
映像信号のビット数の差が、あらかじめ光学系位置が合
焦位置より数μm手前になるよう設定された値になる第
2の区間まで、前記駆動機構を光学系位置が第2区間終
了位置と合焦位置までの距離より短いピッチで駆動させ
、その位置より合焦位置を通り過ぎるようあらかじめ設
定された第3の区間をレンズ系焦点深度以下の微小ピッ
チで前記駆動機構を駆動させ、前記区間をアドレス記憶
と、そのアドレスに対応する、前記上、下スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数の差とを記憶し、前記区
間の駆動終了後、前記ビット数の差が一番小さいアドレ
スに駆動機構を制御駆動させる、マイクロプロセッサ−
等で構成される制御部とからなり、上下のスライスレベ
ルにより有効に映像信号の状態を判断していることから
、広範囲の自動焦点調整が行なえる。また、焦点情報は
合焦付近の少しのデータのみ必要とし、微小法シも前記
合焦付近のみでよいことから、単時間で精度良く自動焦
点が行なえ、映像信号の簡単な処理と端面カムとパルス
モータ−からなる簡単な駆動機構で、自動焦点調整装置
が効果的に提供できるものである。
実施例の説明
以下に、本発明の一実施例を第3図〜第6図にもとづい
て説明する。第3図は本発明の一実施例を示すブロック
構成図である。了は試料台、8は試料台7上に置かれた
線幅を有する被検体、9は被検体8を拡大する対物レン
ズ、10は対物レンズ9等を有する光学系の鏡筒、11
は対物レンズ9により拡大された被検体8の像を、拡大
する中間レンズ、12はリニヤ−イメージセンサ−11
3は被検体8の拡大された像を、映像信号として出力す
るリニヤ−イメージセンサ−12を有する撮像装置、1
4は鏡筒1oを支持し、上下(光学系の焦点方向)方向
に摺動可能なガイド部、15は端面カム、16は端面カ
ムを回転させるパルスモータ−116!Lはパルスモー
タ16の回転軸に取り付いた外周の一部にスリットの入
った原点板17は鏡筒1oを上下させる、端面カム15
ト、パルスモータ−16と、原点板161Lからなる駆
動部、18はパルスモータ−の原点を検出する、原点板
161Lのスリットを光ビームが通過するよう配置され
たホトセンサー、19は被検体8を置埴た試料台7と、
対物レンズ9.中間11等を有する鏡筒10と、鏡筒1
0に接続されたリニヤ−イメージセンサ−12を有する
撮像装置13とガイド部14と、端面カム15.原点板
16!Lの取シ付いたパルスモータ−16とからなる駆
動部17と、ホトセンサー18を配置する載物台、20
は撮像装置13より得られる映像信号を記憶するフレー
ムメモリー、21はパルスモータ−16の駆動回路、2
2は映像信号を処理し、光学系の焦点が被検体8との位
置関係において合焦位置となるようパルスモータ−16
を、駆動回路に指令を与えコントロールする制御部であ
る。第4図は被検体8と、対物レンズ9の自動焦点調整
スタート時における位置関係図で、23は光学系の焦点
位置、24はワークディスタンス、第4図では、被検体
8が焦点位置23の外に設定されるようになっているが
、ワークディスタンス24内に設定する場合は、光学系
の送シ方向を、第4図では上から下へ移動させるが、下
から上へ移動するよう、駆動部17の端面カムの原点を
、原点板16aをずらして設定する必要がある。第6図
は撮像装置13より得られる映像信号の図で、縦に明る
さ、横に線幅の長さを示す。26は合焦位置での映像信
号で、26はボケ映像信号C127はボケ映像信号D(
自動焦点調整方法説明にて後述)、この映像信号が明る
さ方向、長さ方向共デジタル的にビット分割されフレー
ムメモリー20に記憶される。28は下スライスレベル
、29は合焦時の映像信号が明るさ方向に10%以上は
上になるよう設定された上スライスレベル、Wlは下ス
ライスレベ1v28での線幅長さの量、Wlは上スライ
スレペ)V29での線幅長さの量である。第6図は、縦
にw、 −w2の量W3、横に光学系の移動Zを示した
。w、−w2の量WSの変化グラフであし、自動焦点調
整方法を説明できることから以下、第6図により自動焦
点調整方法を説明する。Zo は原点、zlは第1の判
断終了ポイント、z2は第2の判断終了ポイント、z3
は光学系行限、Z4は合焦位置、30は光学系移動の第
1の区間、31は光学系移動の第2の区間、32は光学
系移動の第3の区間であし、光学系移動の第1の区間は
、光学系移動の第2の区間より短いピッチで送り、第5
図で示す下スライスレベ)v28に映像信号が達したか
の第1の判断をする。第5図のボケ映像信号026の状
態は、第1の判断終了ポイントZ1の状態である。次に
光学系移動は第2の区間に入り、第6図で示す、上スラ
イスレベ1V29に映像信号が達し、Wl−w2が第6
図のW4の値になるまで、第2の判断終了ポイン) Z
2から合焦位置Za 1での長さ33より短いピッチで
移動する。
て説明する。第3図は本発明の一実施例を示すブロック
構成図である。了は試料台、8は試料台7上に置かれた
線幅を有する被検体、9は被検体8を拡大する対物レン
ズ、10は対物レンズ9等を有する光学系の鏡筒、11
は対物レンズ9により拡大された被検体8の像を、拡大
する中間レンズ、12はリニヤ−イメージセンサ−11
3は被検体8の拡大された像を、映像信号として出力す
るリニヤ−イメージセンサ−12を有する撮像装置、1
4は鏡筒1oを支持し、上下(光学系の焦点方向)方向
に摺動可能なガイド部、15は端面カム、16は端面カ
ムを回転させるパルスモータ−116!Lはパルスモー
タ16の回転軸に取り付いた外周の一部にスリットの入
った原点板17は鏡筒1oを上下させる、端面カム15
ト、パルスモータ−16と、原点板161Lからなる駆
動部、18はパルスモータ−の原点を検出する、原点板
161Lのスリットを光ビームが通過するよう配置され
たホトセンサー、19は被検体8を置埴た試料台7と、
対物レンズ9.中間11等を有する鏡筒10と、鏡筒1
0に接続されたリニヤ−イメージセンサ−12を有する
撮像装置13とガイド部14と、端面カム15.原点板
16!Lの取シ付いたパルスモータ−16とからなる駆
動部17と、ホトセンサー18を配置する載物台、20
は撮像装置13より得られる映像信号を記憶するフレー
ムメモリー、21はパルスモータ−16の駆動回路、2
2は映像信号を処理し、光学系の焦点が被検体8との位
置関係において合焦位置となるようパルスモータ−16
を、駆動回路に指令を与えコントロールする制御部であ
る。第4図は被検体8と、対物レンズ9の自動焦点調整
スタート時における位置関係図で、23は光学系の焦点
位置、24はワークディスタンス、第4図では、被検体
8が焦点位置23の外に設定されるようになっているが
、ワークディスタンス24内に設定する場合は、光学系
の送シ方向を、第4図では上から下へ移動させるが、下
から上へ移動するよう、駆動部17の端面カムの原点を
、原点板16aをずらして設定する必要がある。第6図
は撮像装置13より得られる映像信号の図で、縦に明る
さ、横に線幅の長さを示す。26は合焦位置での映像信
号で、26はボケ映像信号C127はボケ映像信号D(
自動焦点調整方法説明にて後述)、この映像信号が明る
さ方向、長さ方向共デジタル的にビット分割されフレー
ムメモリー20に記憶される。28は下スライスレベル
、29は合焦時の映像信号が明るさ方向に10%以上は
上になるよう設定された上スライスレベル、Wlは下ス
ライスレベ1v28での線幅長さの量、Wlは上スライ
スレペ)V29での線幅長さの量である。第6図は、縦
にw、 −w2の量W3、横に光学系の移動Zを示した
。w、−w2の量WSの変化グラフであし、自動焦点調
整方法を説明できることから以下、第6図により自動焦
点調整方法を説明する。Zo は原点、zlは第1の判
断終了ポイント、z2は第2の判断終了ポイント、z3
は光学系行限、Z4は合焦位置、30は光学系移動の第
1の区間、31は光学系移動の第2の区間、32は光学
系移動の第3の区間であし、光学系移動の第1の区間は
、光学系移動の第2の区間より短いピッチで送り、第5
図で示す下スライスレベ)v28に映像信号が達したか
の第1の判断をする。第5図のボケ映像信号026の状
態は、第1の判断終了ポイントZ1の状態である。次に
光学系移動は第2の区間に入り、第6図で示す、上スラ
イスレベ1V29に映像信号が達し、Wl−w2が第6
図のW4の値になるまで、第2の判断終了ポイン) Z
2から合焦位置Za 1での長さ33より短いピッチで
移動する。
次に、光学系移動の第3区間に入り、レンズ系焦点深度
以下でピッチ送シを、合焦位置Z4を通り過ぎるよう設
定された第3区間終了の光学系行限Z3マで行ない、そ
の間のアドレスとWl−Wlの量W3をアドレスと合わ
せ記憶し、光学系行限にて前記アドレスとwl−Wlの
量W3の中から、Wl−Wl の量の極小値、いわゆる
合焦位置Z4を選び光学系位置を合焦位置z4に位置決
めする。このように合焦位置付近の映像信号から合焦位
置を選び出しており、精度良く自動焦点調整ができる他
、光学系移動の第3区間、第3区間は定量的であるが、
第1区間は映像信号が下スライスレベルに達するまで動
作できることから広い範囲が取れおのずと自動焦点調整
全範囲は広範囲に取れ、光学系移動の第1区間、第2区
間は、比較的大きいピッチで送れることから高速の自動
焦点調整ができるのである。
以下でピッチ送シを、合焦位置Z4を通り過ぎるよう設
定された第3区間終了の光学系行限Z3マで行ない、そ
の間のアドレスとWl−Wlの量W3をアドレスと合わ
せ記憶し、光学系行限にて前記アドレスとwl−Wlの
量W3の中から、Wl−Wl の量の極小値、いわゆる
合焦位置Z4を選び光学系位置を合焦位置z4に位置決
めする。このように合焦位置付近の映像信号から合焦位
置を選び出しており、精度良く自動焦点調整ができる他
、光学系移動の第3区間、第3区間は定量的であるが、
第1区間は映像信号が下スライスレベルに達するまで動
作できることから広い範囲が取れおのずと自動焦点調整
全範囲は広範囲に取れ、光学系移動の第1区間、第2区
間は、比較的大きいピッチで送れることから高速の自動
焦点調整ができるのである。
発明の効果
以上、本発明では、微小線幅を有する被検体を測定する
場合、実像面に撮像装置を有する顕微鏡において、前記
撮像装置より得られる線幅の映像信号のエツジ信号が合
焦位置で傾斜が最大となる特性に基づき、前記映像信号
を長さ方向に複数のビットに分割し、明るさ方向に濃淡
像としてビット分割して、記憶するフレームメモリーと
、前記顕微鏡の光学系位置を焦点方向に制御駆動する端
面カムとパルスモータ−からなる駆動機構と、前記フレ
ームメモリーの明るさ方向の上部で合焦時の映像信号ピ
ーク値が10%以上、上になる位置に上スライスレベル
を設定し、上スライスレベルより下方に、下ズライ、ス
レベルを設定し、前記下スライスレベルにおける□映像
信号の長さ方向のビット数が0より多くなる第1の区間
まで光学系を合焦位置方向に後述する第2の区間より短
いピッチで動作させ、前記上スライスレベルにおける映
像、信号のビット数が0より多く、前記上スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数と、前記下スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数の差があらかじめ光学系
位置が合焦位置より数μm手前になるよう設定された値
になる第2の区間まで、前記駆動機構を光学系位置が第
2区間終了位置と合焦位置までの距離より短いピッチで
駆動させ、その位置より合焦位置を通り過ぎるようあら
かじめ設定された第3の区間をレンズ系焦点深度以下の
微小ピッチで前記駆動機構を駆動させ、前記区間をアド
レス記憶と、そのアドレスに対応する、前記上、下スラ
イスレベルにおける映像信号のビット数の差とを記憶し
、前記区間の駆動終了後、前記ビット数の差が一番小さ
いアドレスに駆動機構を制御部によ多制御駆動させるも
のである。
場合、実像面に撮像装置を有する顕微鏡において、前記
撮像装置より得られる線幅の映像信号のエツジ信号が合
焦位置で傾斜が最大となる特性に基づき、前記映像信号
を長さ方向に複数のビットに分割し、明るさ方向に濃淡
像としてビット分割して、記憶するフレームメモリーと
、前記顕微鏡の光学系位置を焦点方向に制御駆動する端
面カムとパルスモータ−からなる駆動機構と、前記フレ
ームメモリーの明るさ方向の上部で合焦時の映像信号ピ
ーク値が10%以上、上になる位置に上スライスレベル
を設定し、上スライスレベルより下方に、下ズライ、ス
レベルを設定し、前記下スライスレベルにおける□映像
信号の長さ方向のビット数が0より多くなる第1の区間
まで光学系を合焦位置方向に後述する第2の区間より短
いピッチで動作させ、前記上スライスレベルにおける映
像、信号のビット数が0より多く、前記上スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数と、前記下スライスレベ
ルにおける映像信号のビット数の差があらかじめ光学系
位置が合焦位置より数μm手前になるよう設定された値
になる第2の区間まで、前記駆動機構を光学系位置が第
2区間終了位置と合焦位置までの距離より短いピッチで
駆動させ、その位置より合焦位置を通り過ぎるようあら
かじめ設定された第3の区間をレンズ系焦点深度以下の
微小ピッチで前記駆動機構を駆動させ、前記区間をアド
レス記憶と、そのアドレスに対応する、前記上、下スラ
イスレベルにおける映像信号のビット数の差とを記憶し
、前記区間の駆動終了後、前記ビット数の差が一番小さ
いアドレスに駆動機構を制御部によ多制御駆動させるも
のである。
したがって、本発明によれば、簡単な構成でしかも短時
間に精度良く調整を行ない得る自動焦点調整装置を提供
することができる。
間に精度良く調整を行ない得る自動焦点調整装置を提供
することができる。
第1図は従来例の映像信号処理方法の概念図、第2図は
顕微鏡の焦点方向移動に供々う線幅映像信号の幅変化グ
ラフ、第3図は本発明による一実施例のブロック構成図
、第4図は同実施例による被検体と、対物レンズの自動
焦点調整スタート時における位置関係図、第5図は撮像
装置より得られる映像信号の説明図、第6図はWl−W
lの量W5 の変化のグラフである。 1.25・・・・・・合焦位置での映像信号、7・・・
・・・試料台、8・・・・・・被検体、9・・・・・・
対物レンズ、1o、・。 ・・・鏡筒、11・・・・・・中間レンズ、13・・・
・・・撮像装置、14・・・・・・ガイド部、17・・
・・・・駆動部、18・・川・ホ) セフ−IJ−−1
19・・4・・・・載物台、20−、、、フレームメモ
リー、22・・・・・・制御部、23・・・・・・光学
系の焦点位置、24・・・・・・ワークディスタンス、
26・川・・ボケ映像信号C127・・・・・・ボケ映
像信号D128・・・・・・下スライスレベル、29・
・川・上スライスレベル、30・・・・・・光学系移動
の第1区間、31・・・・・・光学系移動の第2区間、
32・・・・・・光学系移動の第3区間。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第3図
顕微鏡の焦点方向移動に供々う線幅映像信号の幅変化グ
ラフ、第3図は本発明による一実施例のブロック構成図
、第4図は同実施例による被検体と、対物レンズの自動
焦点調整スタート時における位置関係図、第5図は撮像
装置より得られる映像信号の説明図、第6図はWl−W
lの量W5 の変化のグラフである。 1.25・・・・・・合焦位置での映像信号、7・・・
・・・試料台、8・・・・・・被検体、9・・・・・・
対物レンズ、1o、・。 ・・・鏡筒、11・・・・・・中間レンズ、13・・・
・・・撮像装置、14・・・・・・ガイド部、17・・
・・・・駆動部、18・・川・ホ) セフ−IJ−−1
19・・4・・・・載物台、20−、、、フレームメモ
リー、22・・・・・・制御部、23・・・・・・光学
系の焦点位置、24・・・・・・ワークディスタンス、
26・川・・ボケ映像信号C127・・・・・・ボケ映
像信号D128・・・・・・下スライスレベル、29・
・川・上スライスレベル、30・・・・・・光学系移動
の第1区間、31・・・・・・光学系移動の第2区間、
32・・・・・・光学系移動の第3区間。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第3図
Claims (1)
- 微小線幅を有する被検体を測定する場合、実像面に撮像
装置を有する顕微鏡において、前記撮像装置より得られ
る線幅の映像信号のエッジ信号が合焦位置で傾斜が最大
となる特性に基づき、前記映像信号を長さ方向に複数の
ビットに分割し、明るさ方向に濃淡像としてビット分割
して記憶するフレームメモリーと、前記顕微鏡の光学系
位置を焦点方向に制御駆動する端面カムとパルスモータ
ーからなる駆動機構と、前記フレームメモリーの明るさ
方向の上部で合焦時の映像信号ピーク値が10%以上、
上になる位置に上スライスレベルを設定し、上スライス
レベルより下方に、下スライスレベルを設定し、前記下
スライスレベルにおける映像信号の長さ方向のビット数
が0より多くなる第1の区間まで光学系を合焦位置方向
に後述する第2の区間より短いピッチで動作させ、前記
上スライスレベルにおける映像信号のビット数が0より
多く、前記上スライスレベルにおける映像信号のビット
数と、前記下スライスレベルにおける映像信号のビット
数の差が、あらかじめ光学系位置が合焦位置より数μm
手前になるよう設定された値になる第2の区間まで、前
記駆動機構を光学系位置が第2区間終了位置と合焦位置
までの距離より短いピッチで駆動させ、その位置より合
焦位置を通り過ぎるようあらかじめ設定された第3の区
間をレンズ系焦点深度以下の微小ピッチで前記駆動機構
を駆動させ、前記区間をアドレス記憶と、そのアドレス
に対応する、前記上、下スライスレベルにおける映像信
号のビット数の差とを記憶し、前記区間の駆動終了後、
前記ビット数の差が一番小さいアドレスに駆動機構を制
御駆動させる、マイクロプロセッサー等で構成される制
御部とからなる顕微鏡の自動焦点調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13135984A JPS6111714A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 顕微鏡の自動焦点調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13135984A JPS6111714A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 顕微鏡の自動焦点調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6111714A true JPS6111714A (ja) | 1986-01-20 |
JPH0462046B2 JPH0462046B2 (ja) | 1992-10-05 |
Family
ID=15056079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13135984A Granted JPS6111714A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 顕微鏡の自動焦点調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6111714A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2003077008A3 (en) * | 2002-03-13 | 2003-12-18 | Yeda Res & Dev | Auto-focusing method and device |
JP2005202087A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Olympus Corp | 顕微鏡装置、顕微鏡装置の制御方法、及びプログラム |
JP2007140087A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 合焦点方法及び合焦点装置並びにそれを使った測定装置 |
Citations (2)
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JPS55137784A (en) * | 1979-04-16 | 1980-10-27 | Omron Tateisi Electronics Co | Focus adjustment system in image pickup device using image sensor |
JPS599613A (ja) * | 1982-07-08 | 1984-01-19 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 自動焦点調節方法 |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP13135984A patent/JPS6111714A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0462046B2 (ja) | 1992-10-05 |
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