JPS61112907A - 微細形状測定器 - Google Patents
微細形状測定器Info
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- JPS61112907A JPS61112907A JP23322584A JP23322584A JPS61112907A JP S61112907 A JPS61112907 A JP S61112907A JP 23322584 A JP23322584 A JP 23322584A JP 23322584 A JP23322584 A JP 23322584A JP S61112907 A JPS61112907 A JP S61112907A
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- Japan
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- measured
- photodiode
- signal
- measurement
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ａ０発明の目的
（産業上の利用分野）
本発明に係る微細形状測定器は、鏡面仕」二を施した金
属表面の表面粗さ測定等、各種高精度の測定に使用され
る。
属表面の表面粗さ測定等、各種高精度の測定に使用され
る。
（従来の技術）
金属表面の表面粗さ等、各種精密形状測定を行なうため
に、光挺子式、電気式の微細形状測定器、或は比較的精
度の粗いものとしてはミクロケータ、ダイヤルゲージ等
が使用されている。
に、光挺子式、電気式の微細形状測定器、或は比較的精
度の粗いものとしてはミクロケータ、ダイヤルゲージ等
が使用されている。
このうち、電気式の精密形状測定器について説明する。
電気式の精密形状測定器は、第１図に示すように、被測
定面１の凹凸に追従して昇降する触［有］１２の途中に
固定した鉄芯３と、この鉄芯３を囲んで設けたコイル４
とにより差動トランスを構成したもので、上下対となっ
た互いに平行なばね５．５により支承された触針２が被
測定面ｌの凹凸に従って昇降すると、コイル４の出力電
圧が触針２の変位量に比例して変化する。このため、こ
の電圧変化分から被測定面１の凹凸形状を知ることがで
きる。６は測定圧調整用のばねである。
定面１の凹凸に追従して昇降する触［有］１２の途中に
固定した鉄芯３と、この鉄芯３を囲んで設けたコイル４
とにより差動トランスを構成したもので、上下対となっ
た互いに平行なばね５．５により支承された触針２が被
測定面ｌの凹凸に従って昇降すると、コイル４の出力電
圧が触針２の変位量に比例して変化する。このため、こ
の電圧変化分から被測定面１の凹凸形状を知ることがで
きる。６は測定圧調整用のばねである。
このような従来の微細形状測定器は測定時に触針を被測
定物表面に接触させたまま移動させるため、被測定物の
表面を傷付けてしまう。このため、触針等の測定子を被
測定面に接触させることなく被測定面の形状を測定する
ことができる、レーザ光を用いた光学式の微細形状測定
器が各種提案されている。次に、この光学式の微細形状
測定器の原理について簡単に説明する。
定物表面に接触させたまま移動させるため、被測定物の
表面を傷付けてしまう。このため、触針等の測定子を被
測定面に接触させることなく被測定面の形状を測定する
ことができる、レーザ光を用いた光学式の微細形状測定
器が各種提案されている。次に、この光学式の微細形状
測定器の原理について簡単に説明する。
第２〜４図は、光学式の微細形状測定器の原理の第１例
を示している。この原理は、昭和５８年度精機学会秋季
大会学術講演会論文集の第３９１〜３９２頁及び工業技
術院機械技術研究所発行の機械価ニュース１９８３年陥
、９の第１〜２頁に記載されたものである。レーザダイ
オード７がら送り出されたレーザ光は、第２図に示した
コリメータレンズ８、偏光ビームスプリッタ９．４分の
１波長板１０、対物レンズ１１を通って被測定面１に投
射され、更にこのレーザ光はこの被測定面１で反射して
再び対物レンズ１１．４分の１波長板１０を通り、偏光
ビームスプリッタ９で反射してハーフミラ−１２に送ら
れる。このハーフミラ−１２で反射したレーザ光は第一
の臨界角プリズム１３を通って第一、第二のフォトダイ
オード１４．１６に送られ、ハーフミラ−１２を透過し
たレーザ光は第二の臨界角プリズム１５を通って同じく
第一、第二のフォトダイオード１４．１６に送られる。
を示している。この原理は、昭和５８年度精機学会秋季
大会学術講演会論文集の第３９１〜３９２頁及び工業技
術院機械技術研究所発行の機械価ニュース１９８３年陥
、９の第１〜２頁に記載されたものである。レーザダイ
オード７がら送り出されたレーザ光は、第２図に示した
コリメータレンズ８、偏光ビームスプリッタ９．４分の
１波長板１０、対物レンズ１１を通って被測定面１に投
射され、更にこのレーザ光はこの被測定面１で反射して
再び対物レンズ１１．４分の１波長板１０を通り、偏光
ビームスプリッタ９で反射してハーフミラ−１２に送ら
れる。このハーフミラ−１２で反射したレーザ光は第一
の臨界角プリズム１３を通って第一、第二のフォトダイ
オード１４．１６に送られ、ハーフミラ−１２を透過し
たレーザ光は第二の臨界角プリズム１５を通って同じく
第一、第二のフォトダイオード１４．１６に送られる。
測定ヘッドに固定の対物レンズ１１と被測定面ｌとの距
離が変化すると、この被測定面で反射してから第一、第
二の臨界角プリズム１３．１５内に進入するレーザ光の
入射角度が変化し、その結果第一、第二のフォトダイオ
ード１４．１６に達する光の強さが変化するため、第一
、第二のフォトダイオード１４．１６の出力差の変化を
検出すれば被測定面の凹凸を知ることができる。臨界角
プリズムの原理を示す第３図により更に説明すると、被
測定面がＢ位置にあった場合、被測定面で反射したレー
ザ光は同図に実線で示すような経路で第一、第二のフォ
トダイオード１４．１６に入り、両フォトダイオードか
ら同じ大きさの出力が出る（電位差０）。被測定面がＡ
位置にまで近付くと、反射レーザ光は同図に鎖線で示す
ような経路で臨界角プリズム１３．１５に入る。この状
態に於いてはレーザ光の一部がプリズム内で反射せずに
そのまま透過してしまうため、第一、第二のフォトダイ
オード１４．１６に入るレーザ光が弱くなるが、この弱
くなる度合は第二のフォトダイオード１６に比べて第一
のフォトダイオード１４の方が大きくなるため、両ダイ
オード１４．１６の出力に差が出る。反対に被測定面が
Ｃ位置にまで遠ざかると、反射レーザ光は同図に破線で
示すような経路で臨界角プリズム１３．１５に入り、上
述したＡ位置の場合と逆の電位差が第一、第二のフォト
ダイオード１４．１６の間に生じる。被測定面の変位量
と出力電位差Ｖとの間には第４図に示すような関係があ
るため、この電位差Ｖから被測定面の微細な形状を求め
ることができる。なお、第２図に於いて臨界角プリズム
を第一、第二の２個用意し、第一、第二のフォトダイオ
ード１４．１６を２組設けたのは、被測定面ｌの傾斜に
基く誤差をキャンセルするためである。
離が変化すると、この被測定面で反射してから第一、第
二の臨界角プリズム１３．１５内に進入するレーザ光の
入射角度が変化し、その結果第一、第二のフォトダイオ
ード１４．１６に達する光の強さが変化するため、第一
、第二のフォトダイオード１４．１６の出力差の変化を
検出すれば被測定面の凹凸を知ることができる。臨界角
プリズムの原理を示す第３図により更に説明すると、被
測定面がＢ位置にあった場合、被測定面で反射したレー
ザ光は同図に実線で示すような経路で第一、第二のフォ
トダイオード１４．１６に入り、両フォトダイオードか
ら同じ大きさの出力が出る（電位差０）。被測定面がＡ
位置にまで近付くと、反射レーザ光は同図に鎖線で示す
ような経路で臨界角プリズム１３．１５に入る。この状
態に於いてはレーザ光の一部がプリズム内で反射せずに
そのまま透過してしまうため、第一、第二のフォトダイ
オード１４．１６に入るレーザ光が弱くなるが、この弱
くなる度合は第二のフォトダイオード１６に比べて第一
のフォトダイオード１４の方が大きくなるため、両ダイ
オード１４．１６の出力に差が出る。反対に被測定面が
Ｃ位置にまで遠ざかると、反射レーザ光は同図に破線で
示すような経路で臨界角プリズム１３．１５に入り、上
述したＡ位置の場合と逆の電位差が第一、第二のフォト
ダイオード１４．１６の間に生じる。被測定面の変位量
と出力電位差Ｖとの間には第４図に示すような関係があ
るため、この電位差Ｖから被測定面の微細な形状を求め
ることができる。なお、第２図に於いて臨界角プリズム
を第一、第二の２個用意し、第一、第二のフォトダイオ
ード１４．１６を２組設けたのは、被測定面ｌの傾斜に
基く誤差をキャンセルするためである。
又、第５図は光学式の微細形状測定器の別の原理を示し
ている。この原理は非点収差法と呼ばれ昭和５９年年度
様学会春季大会学術講演会論文集第３９３〜３９４頁に
記載されたもので、光束を蒲鉾型のシリンドリカルレン
ズ１７により集束させると、このレンズからの距離に応
じて光束の断面が直線状、縦長の楕円形、円形、横長の
楕円形に連続的に変化するのを利用して４分割のフォト
ダイオード１８により光束の断面変化を求め、この断面
変化に基づいて被測定面の微細な形状を測定する。
ている。この原理は非点収差法と呼ばれ昭和５９年年度
様学会春季大会学術講演会論文集第３９３〜３９４頁に
記載されたもので、光束を蒲鉾型のシリンドリカルレン
ズ１７により集束させると、このレンズからの距離に応
じて光束の断面が直線状、縦長の楕円形、円形、横長の
楕円形に連続的に変化するのを利用して４分割のフォト
ダイオード１８により光束の断面変化を求め、この断面
変化に基づいて被測定面の微細な形状を測定する。
レーザ光利用の測定器の原理としてはこの他にも、昭和
５８年度精機学会春季大会学術講演会論文集第５２３〜
５２６頁に記載のもの、同年同学会秋季大会学術講演会
論文集第４１３〜４１４頁に記載のもの等がある。いず
れの原理に基づいて製作された微細形状測定器に於いて
も、接触子等を被測定面に接触させることなくこの被測
定面の微細な形状を測定することができる。
５８年度精機学会春季大会学術講演会論文集第５２３〜
５２６頁に記載のもの、同年同学会秋季大会学術講演会
論文集第４１３〜４１４頁に記載のもの等がある。いず
れの原理に基づいて製作された微細形状測定器に於いて
も、接触子等を被測定面に接触させることなくこの被測
定面の微細な形状を測定することができる。
（考案が解決しようとする問題点）
ところが、上述のような従来の光学式の微細形状測定器
に於いては、次に述べるような不都合を生じる。
に於いては、次に述べるような不都合を生じる。
即ち、いずれの測定原理を用いる場合でも被測定面を照
射するためレーザダイオード７から投射されるレーザ光
は被測定面１で反射してからフォトダイオード１４．１
６或は１８に入る。このように被測定面１で反射した後
フォトダイオード１４．１６或は１８に入るレーザ光の
強さは、被測定面１の反射率により大きく変化し、１回
の測定作業を行なう間にも逐次変化する。このため、レ
ーザ光の反射を利用する微細形状測定器には、上述のよ
うな反射率の差に基づくフォトダイオードへの入射光量
の変化が測定値に影響を及ぼさないようにする機構を設
けなければならない。このため、第２図に示した臨界角
プリズム式の微細形状測定器に於いては、４個のフォト
ダイオード１４．１６の総ての出力を加えることにより
得られるフォ］・ダイオードの総出力値により第一、第
二のフォトダイオード１４．１６の差を割ることで反射
率の差に基づく射光量の変化が測定値に与える影響を無
くすようにしている。即ち、第２図の右側のフォトダイ
オードのうち第一のフォトダイオード１４の出力をＡ、
第二のフォトダイオード１６の出力をＢ、左側のフォト
ダイオードのうち第一のフォトダイオード１４の出力を
Ｃ１第二のフォトダイオード１６の出力をＤとした場合
、対物レンズ１１と被測定面１との距離を示す信号Ｘを
、 として求める。第５図に示した非点収差法の原理を応用
した微細形状測定器の場合も、四分割されたフォトダイ
オード１８の総ての出力により各部分の出力の差を割る
ことで、被測定面の反射率変化が測定値に影響を与えな
いように考慮する。
射するためレーザダイオード７から投射されるレーザ光
は被測定面１で反射してからフォトダイオード１４．１
６或は１８に入る。このように被測定面１で反射した後
フォトダイオード１４．１６或は１８に入るレーザ光の
強さは、被測定面１の反射率により大きく変化し、１回
の測定作業を行なう間にも逐次変化する。このため、レ
ーザ光の反射を利用する微細形状測定器には、上述のよ
うな反射率の差に基づくフォトダイオードへの入射光量
の変化が測定値に影響を及ぼさないようにする機構を設
けなければならない。このため、第２図に示した臨界角
プリズム式の微細形状測定器に於いては、４個のフォト
ダイオード１４．１６の総ての出力を加えることにより
得られるフォ］・ダイオードの総出力値により第一、第
二のフォトダイオード１４．１６の差を割ることで反射
率の差に基づく射光量の変化が測定値に与える影響を無
くすようにしている。即ち、第２図の右側のフォトダイ
オードのうち第一のフォトダイオード１４の出力をＡ、
第二のフォトダイオード１６の出力をＢ、左側のフォト
ダイオードのうち第一のフォトダイオード１４の出力を
Ｃ１第二のフォトダイオード１６の出力をＤとした場合
、対物レンズ１１と被測定面１との距離を示す信号Ｘを
、 として求める。第５図に示した非点収差法の原理を応用
した微細形状測定器の場合も、四分割されたフォトダイ
オード１８の総ての出力により各部分の出力の差を割る
ことで、被測定面の反射率変化が測定値に影響を与えな
いように考慮する。
上述のような対策を講じることにより、被測定面１の反
射率が変化しても測定値に影響を及ぼさないようにでき
るが、被測定面１の反射率が例えば１０％以下になるよ
うに極端に低下した場合は、信頼に足る測定値を得るこ
とはできない。しかしながら、被測定面の反射率が十分
に測定を行なえる程度あるか否かを肉眼で判定すること
は難しく、又測定の途中に反射率の小さな微小な塵等が
付着していた場合等、肉眼でこれを見つけることはでき
ない。このように正確な測定を行なえない状態のまま測
定作業を行ない、その測定結果を基にして次の工程に進
むと、各種製品に所望の性能を得られないことになるた
め好ましくない。
射率が変化しても測定値に影響を及ぼさないようにでき
るが、被測定面１の反射率が例えば１０％以下になるよ
うに極端に低下した場合は、信頼に足る測定値を得るこ
とはできない。しかしながら、被測定面の反射率が十分
に測定を行なえる程度あるか否かを肉眼で判定すること
は難しく、又測定の途中に反射率の小さな微小な塵等が
付着していた場合等、肉眼でこれを見つけることはでき
ない。このように正確な測定を行なえない状態のまま測
定作業を行ない、その測定結果を基にして次の工程に進
むと、各種製品に所望の性能を得られないことになるた
め好ましくない。
本発明の微細形状測定器は上述のような不都合を解消し
、信頼性の無い測定値を得ることのない微細形状測定器
を得ることを目的としている。
、信頼性の無い測定値を得ることのない微細形状測定器
を得ることを目的としている。
ｂ１発明の構成
本発明の微細形状測定器は、被測定面からの反射光の光
量を測定するフォトダイオードの出力を増幅器で増幅し
てメータで示すことにより、或いは上記出力と、反射率
限界設定値とを比較器で比較し、上記フォトダイオード
の出力が設定値よりも低い場合には、正確な測定が行な
えない旨の警告を発したり、更には測定作業を自動的に
中止すように構成している。
量を測定するフォトダイオードの出力を増幅器で増幅し
てメータで示すことにより、或いは上記出力と、反射率
限界設定値とを比較器で比較し、上記フォトダイオード
の出力が設定値よりも低い場合には、正確な測定が行な
えない旨の警告を発したり、更には測定作業を自動的に
中止すように構成している。
まず、基本的構成を示す第６図により説明すると、レー
ザダイオード７からコリメータレンズ８、偏光ビームス
プリッタ９、対物レンズ１１、を介して被測定面１に投
射されたレーザ光は、この被測定面１で反射してフォト
ダイオード１４．１６に入り、このフォトダイオード１
４．１６で電圧に変換され出力される。総てのフォトダ
イオード１４．１６の出力の和は増幅器１９によって増
幅されてから比較器２０に入力される。この比較器２０
では、上記増幅器１９からの信号と反射率限界設定器２
１からの設定信号とを比較し、増幅器１９を介して送ら
れるフォトダイオード１４．１６の出力信号が設定器２
１からの設定信号よりも小さくなった場合にのみ信号を
出して警告灯２２、ブザー２３等の警告手段を駆動し、
正確な測定が行なえない旨の警告を出す。第６図の例で
は、反射率限界設定器２１を設定値を変えられるように
示しているが、この設定器２１に設定する反射率は固定
でも良い。又、警告手段はブザー２３と警告灯２２との
一方を設けるだけでも良い。メータ３２は、増幅器１９
の出力を示すものでこの出力と被測定面１の反射率とは
比例するため、メータの指標には反射率を示す数値を記
載しである。
ザダイオード７からコリメータレンズ８、偏光ビームス
プリッタ９、対物レンズ１１、を介して被測定面１に投
射されたレーザ光は、この被測定面１で反射してフォト
ダイオード１４．１６に入り、このフォトダイオード１
４．１６で電圧に変換され出力される。総てのフォトダ
イオード１４．１６の出力の和は増幅器１９によって増
幅されてから比較器２０に入力される。この比較器２０
では、上記増幅器１９からの信号と反射率限界設定器２
１からの設定信号とを比較し、増幅器１９を介して送ら
れるフォトダイオード１４．１６の出力信号が設定器２
１からの設定信号よりも小さくなった場合にのみ信号を
出して警告灯２２、ブザー２３等の警告手段を駆動し、
正確な測定が行なえない旨の警告を出す。第６図の例で
は、反射率限界設定器２１を設定値を変えられるように
示しているが、この設定器２１に設定する反射率は固定
でも良い。又、警告手段はブザー２３と警告灯２２との
一方を設けるだけでも良い。メータ３２は、増幅器１９
の出力を示すものでこの出力と被測定面１の反射率とは
比例するため、メータの指標には反射率を示す数値を記
載しである。
次に第７図は、比較器２０と警告灯２２、ブザー２３等
の警告手段との間に記憶器２４を設け、一連の測定作業
の終了詩に正確な測定作業を行なえたか否かを示すよう
に構成したものである。２５は比較器２０と記憶器２４
との間の接点２６の開閉を制御するための測定開始指令
回路、２７はリセット指令回路である。測定開始時に測
定開始指令回路２５からの信号に基づいて接点２６を閉
じ、測定作業を開始する。測定作業の途中で１度でも被
測定面の反射率が設定値よりも小さくなる場合があると
、比較器２０が信号を出し、この信号が記憶器２４に記
憶され、一連の測定作業が終了した段階で警告灯２２、
ブザー２３等の警告手段を駆動する。警告を確認したな
らば、リセット指令回路２７からの信号により記憶器２
４の記憶を消去するとともに測定開始指令回路２５を介
して接点２６を開く。
の警告手段との間に記憶器２４を設け、一連の測定作業
の終了詩に正確な測定作業を行なえたか否かを示すよう
に構成したものである。２５は比較器２０と記憶器２４
との間の接点２６の開閉を制御するための測定開始指令
回路、２７はリセット指令回路である。測定開始時に測
定開始指令回路２５からの信号に基づいて接点２６を閉
じ、測定作業を開始する。測定作業の途中で１度でも被
測定面の反射率が設定値よりも小さくなる場合があると
、比較器２０が信号を出し、この信号が記憶器２４に記
憶され、一連の測定作業が終了した段階で警告灯２２、
ブザー２３等の警告手段を駆動する。警告を確認したな
らば、リセット指令回路２７からの信号により記憶器２
４の記憶を消去するとともに測定開始指令回路２５を介
して接点２６を開く。
更に、１度でも被測定面の反射率が設定値以下になった
場合に測定作業を中止するためには、第８図に示すよう
に構成する。第８図に於いて２８は測定中止指令回路、
２９は測定作業時に試料台又はレーザヘッドを駆動して
被測定面１と対物レンズ１１とを相対的に平行移動させ
るためのモータ、３０はこのモータ２９に通電する導線
３１の途中に設けた接点である。被測定面ｌの形状を求
めるため接点３０を閉じ、モータ２９により試料台（又
はレーザヘッド）を水平移動させつつ測定作業を行なっ
た場合、被測定面ｌの反射率が１度でも設定値以下にな
ると比較器２０からの信号に基づき測定中止指令回路２
８が接点３０を開く。
場合に測定作業を中止するためには、第８図に示すよう
に構成する。第８図に於いて２８は測定中止指令回路、
２９は測定作業時に試料台又はレーザヘッドを駆動して
被測定面１と対物レンズ１１とを相対的に平行移動させ
るためのモータ、３０はこのモータ２９に通電する導線
３１の途中に設けた接点である。被測定面ｌの形状を求
めるため接点３０を閉じ、モータ２９により試料台（又
はレーザヘッド）を水平移動させつつ測定作業を行なっ
た場合、被測定面ｌの反射率が１度でも設定値以下にな
ると比較器２０からの信号に基づき測定中止指令回路２
８が接点３０を開く。
これによってモータ２９が停止し、試料台又はレーザヘ
ッドの水平移動が止って測定作業が中止される。第８図
に示したような測定作業を自動的に中止する回路に、第
６〜７図に示すような警告手段を駆動する回路を組合せ
ても良い。
ッドの水平移動が止って測定作業が中止される。第８図
に示したような測定作業を自動的に中止する回路に、第
６〜７図に示すような警告手段を駆動する回路を組合せ
ても良い。
Ｃ８発明の効果
本発明の微細形状測定器は以上に述べた通り構成され、
知らない間に不正確な測定を行なうことを防止できるた
め、不正確な測定に起因して不良な製品を造ることを防
止でき、各種製品の歩留りや信頼性の向上を図れる。
知らない間に不正確な測定を行なうことを防止できるた
め、不正確な測定に起因して不良な製品を造ることを防
止でき、各種製品の歩留りや信頼性の向上を図れる。
第１図は接触式の微細形状測定器の１例を示す略縦断側
面図、第２図は光学式の変位検出器の原理の第１例を示
す略側面図、第３図は臨界角プリズムの原理を示す略側
面図、第４図は臨界角プリズムにより生じる電位差と変
位量との関係を示す線図、第５図は光学式変位検出器の
原理の第２例を示す略側面図、第６図は第一の発明を示
す回路図、第７〜８図は第二、第三の発明をそれぞれ示
す第６図のＸ部に相当する回路図である。 １：被測定面、２：触針、３：鉄芯、４：コイル、５．
６：ばね、７：レーザダイオード、８：コリメータレン
ズ、９：偏光ビームスプリッタ、１０：４分の１波長板
、１１：対物レンズ、１２：ハーフミラ−，１３：第一
の臨界角プリズム、１４：第一のフォトダイオード、１
５：第二の臨界角プリズム、１６：第二のフォトダイオ
ード、１７：シリンドリカルレンズ、１８：フォトダイ
オード、１９：増幅器、２０：比較器、２１：反射率限
界設定器、２２：警告灯、２３：ブザー、２４：記憶器
、２５：測定開始指令回路、２６：接点、２７：リセッ
ト指令回路、２８：測定中止指令回路、２９：モータ、
３０：接点、３１：導線、３２：メータ。
面図、第２図は光学式の変位検出器の原理の第１例を示
す略側面図、第３図は臨界角プリズムの原理を示す略側
面図、第４図は臨界角プリズムにより生じる電位差と変
位量との関係を示す線図、第５図は光学式変位検出器の
原理の第２例を示す略側面図、第６図は第一の発明を示
す回路図、第７〜８図は第二、第三の発明をそれぞれ示
す第６図のＸ部に相当する回路図である。 １：被測定面、２：触針、３：鉄芯、４：コイル、５．
６：ばね、７：レーザダイオード、８：コリメータレン
ズ、９：偏光ビームスプリッタ、１０：４分の１波長板
、１１：対物レンズ、１２：ハーフミラ−，１３：第一
の臨界角プリズム、１４：第一のフォトダイオード、１
５：第二の臨界角プリズム、１６：第二のフォトダイオ
ード、１７：シリンドリカルレンズ、１８：フォトダイ
オード、１９：増幅器、２０：比較器、２１：反射率限
界設定器、２２：警告灯、２３：ブザー、２４：記憶器
、２５：測定開始指令回路、２６：接点、２７：リセッ
ト指令回路、２８：測定中止指令回路、２９：モータ、
３０：接点、３１：導線、３２：メータ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）被測定面に投射したレーザ光の反射光をフォトダイ
オードで測定し、このフォトダイオードの出力から上記
被測定面までの距離の変化を求める微細形状測定器に於
いて、上記フォトダイオードの出力により駆動され、被
測定面の反射率を表わすメータを設けたことを特徴とす
る微細形状測定器。 ２）被測定面に投射したレーザ光の反射光をフォトダイ
オードで測定し、このフォトダイオードの出力から上記
被測定面までの距離の変化を求める微細形状測定器に於
いて、上記フォトダイオードの出力と反射率限界設定器
の設定値とを比較して上記出力が設定値よりも低い場合
にのみ信号を出す比較器と、この比較器からの信号に基
づいて警告を出す警告手段とを設けたことを特徴とする
微細形状測定器。 ３）被測定面に投射したレーザ光の反射光をフォトダイ
オードで測定し、このフォトダイオードの出力から上記
被測定面までの距離の変化を求める微細形状測定器に於
いて、上記フォトダイオードの出力と反射率限界設定器
の設定値とを比較して上記出力が設定値よりも低い場合
にのみ第一の信号を出す比較器と、この比較器からの信
号を記憶して測定作業中に一度でも第一の信号を受けた
場合、測定作業終了後に第二の信号を出す記憶器と、こ
の第二の信号に基づいて警告を出す警告手段とを設けた
ことを特徴とする微細形状測定器。 ４）被測定面に投射したレーザ光の反射光をフォトダイ
オードで測定し、このフォトダイオードの出力から上記
被測定面までの距離の変化を求める微細形状測定器に於
いて、上記フォトダイオードの出力と反射率限界設定器
の設定値とを比較して上記出力が設定値よりも低い場合
にのみ信号を出す比較器と、この比較器からの信号に基
づいて被測定面と測定ヘッドとを平行移動させるための
モータに通電する導線の途中に設けた接点を開く測定中
止指令回路とを設けたことを特徴とする微細形状測定器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23322584A JPS61112907A (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 | 微細形状測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23322584A JPS61112907A (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 | 微細形状測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61112907A true JPS61112907A (ja) | 1986-05-30 |
| JPH0513241B2 JPH0513241B2 (ja) | 1993-02-22 |
Family
ID=16951711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23322584A Granted JPS61112907A (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 | 微細形状測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61112907A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0743853U (ja) * | 1992-08-04 | 1995-09-26 | オカモト株式会社 | ゴムボート |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5716806U (ja) * | 1980-06-21 | 1982-01-28 | ||
| JPS57139607A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-28 | Hitachi Ltd | Position measuring equipment |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5620410A (en) * | 1979-07-30 | 1981-02-26 | Tada Motsukou Seisakusho Kk | Constitutional material for furniture |
-
1984
- 1984-11-07 JP JP23322584A patent/JPS61112907A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5716806U (ja) * | 1980-06-21 | 1982-01-28 | ||
| JPS57139607A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-28 | Hitachi Ltd | Position measuring equipment |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0743853U (ja) * | 1992-08-04 | 1995-09-26 | オカモト株式会社 | ゴムボート |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0513241B2 (ja) | 1993-02-22 |
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