JPS61103762A - Automatic measuring apparatus for workpiece - Google Patents

Automatic measuring apparatus for workpiece

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Publication number
JPS61103762A
JPS61103762A JP22719484A JP22719484A JPS61103762A JP S61103762 A JPS61103762 A JP S61103762A JP 22719484 A JP22719484 A JP 22719484A JP 22719484 A JP22719484 A JP 22719484A JP S61103762 A JPS61103762 A JP S61103762A
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JP
Japan
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measured
measured surface
measurement
workpiece
sensor
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Application number
JP22719484A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seido Koda
幸田 盛堂
Koji Ishibashi
幸治 石橋
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Osaka Kiko Co Ltd
Original Assignee
Osaka Kiko Co Ltd
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Publication date
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  • Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

PURPOSE:To permit the measurement with high precision without being influenced by the properties of a measured substance and the adhering dusts by installing two position detectors for transmitting deceleration instruction and for transmitting a trigger instruction for position detection onto the back-pressure detection part installed into the terminal part of an air flow passage. CONSTITUTION:When the sensor part 6 of a measuring bar approaches to a measured surface and the distance (x) from the measured surface becomes, for example, 0.4mm, a deceleration instruction is transmitted from the first position detectors 29 and 30, and the feed speed of the sensor part 6 is decelerated. Though the sensor part 6 further approaches to the measured surface in this state, the trigger instruction for the position detection is transmitted from the second position detectors 31 and 32, when the distance (x) from the measured surface becomes 50mum, and the position of the measured surface is measured. Since the diameter of a hole or the center position of the hole is measured, maintaining the noncontact state with a workpiece, the influence of the properties of the measured surface is avoided, and the error in measurement due to the dusts adhering onto the measured surface due to the fluid pressure of air stream can be eliminated, and the measurement precision can be exceedingly improved.

Description

【発明の詳細な説明】 主叉上皇且里分… 本発明は、ワーク自動計測装置に関するものであり、更
に詳しくは、自動工具交換機能を有する数値制御工作機
械、所謂、マシニングセンタに於いて、複数個の空気マ
イクロメータを組み込んだ自動交換可能な測定バーを用
いてワークの穴径ならびに位置を自動計測する装置に関
するものである。
[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to an automatic workpiece measuring device, and more specifically, to a numerically controlled machine tool having an automatic tool change function, a so-called machining center. This invention relates to a device that automatically measures the hole diameter and position of a workpiece using an automatically replaceable measuring bar incorporating several air micrometers.

従来曳伎■ 現在、タッチセンサとして周知の接触型検出器を用いて
、各種の自動計測が行われている。
Conventional Hikiki■ Currently, various automatic measurements are being performed using contact-type detectors known as touch sensors.

ここでは、ワークの穴中心位置の測定例について説明す
る。
Here, an example of measuring the hole center position of a workpiece will be explained.

在来の接触式検出器に於いては、第5図および第6図に
示すように、工作機械の送り軸を利用して、主軸に装着
されたタッチセンサ(S)を、X軸のプラス方向もしく
はマイナス方向に移動させ、該タッチセンサがワーク(
W)と接触した瞬間にタッチセンサ(S)からタッチト
リガー信号が発信されるように計測回路を形成している
。このときの工作機械の移動量からX軸方向に沿うワー
ク、即ち被測定物の長さ、もしくは幅中心が求められる
。この後Y軸方向に沿って同様の計測動作を行うことに
より、ワークの穴径もしくは穴中心位置の測定が可能と
なる。
In conventional contact type detectors, as shown in Figures 5 and 6, the feed axis of the machine tool is used to move the touch sensor (S) attached to the main spindle to the positive position of the X axis. direction or negative direction, and the touch sensor touches the workpiece (
The measurement circuit is formed so that a touch trigger signal is transmitted from the touch sensor (S) at the moment of contact with the touch sensor (S). From the amount of movement of the machine tool at this time, the length or width center of the workpiece, ie, the object to be measured, along the X-axis direction is determined. Thereafter, by performing a similar measurement operation along the Y-axis direction, it becomes possible to measure the hole diameter or hole center position of the workpiece.

タッチセンサ(S)の構造としては種々のものが考案さ
れているが、その基本的原理としては、測定球(B)が
被測定物に接触した際に生じる変位を利用して電気的導
通を0N−OFFするものが主流を占めている。このよ
うな構造を有するタッチセンサ(S)に於いては、検出
手段として接触瞬間に於けるセンサの微小な動きを利用
しているため不感帯が発生し易く、検出信号の繰り返し
精度を向上せしめる上に問題がある。また、被測定面に
付着したゴミ等も測定誤差発生の原因となり得る。また
、このようなタッチセンサは、電気的導通を利用してい
るため、タッチセンサ(S)から発信された出力信号を
工作機械の主軸頭に伝達するための電気信号授受装置が
必要になる。
Various structures have been devised for the touch sensor (S), but the basic principle is to create electrical continuity by utilizing the displacement that occurs when the measuring ball (B) comes into contact with the object to be measured. 0N-OFF types are the mainstream. In a touch sensor (S) having such a structure, since the minute movement of the sensor at the moment of contact is used as a detection means, a dead zone is likely to occur, and it is necessary to improve the repeatability of the detection signal. There is a problem. Furthermore, dust and the like attached to the surface to be measured can also cause measurement errors. Furthermore, since such a touch sensor utilizes electrical continuity, an electrical signal transfer device is required to transmit an output signal transmitted from the touch sensor (S) to the spindle head of the machine tool.

上記タッチセンサ(S)は、一般の工具と同一の形状な
らびに寸法を有するシャンク部に取り付けられており、
自動工具交換装置(ATC: Automatic T
ool Changer)により工作機械の主軸と工具
マガジンとの間を自動的に移動するため、非接触型の電
気信号授受装置を採用している。非接触型の電気信号授
受装置としては電磁誘導を用いたものあるはフォトダイ
オードを用いたもの等が使用されているが、工作機械の
稼働現場に於いては鋳物粉や切粉等の粉塵が付着し、こ
のためしばしば誤信号が発信される。
The touch sensor (S) is attached to a shank portion having the same shape and dimensions as a general tool,
Automatic tool changer (ATC: Automatic T
In order to automatically move between the main spindle of the machine tool and the tool magazine using the ool Changer, a non-contact electrical signal exchange device is used. Non-contact electrical signal exchange devices that use electromagnetic induction or photodiodes are used, but dust such as casting powder and cutting chips is generated at machine tool operation sites. This often results in false signals being emitted.

日が”° しよ゛とt立置区点 公知の接触型検出器に認められた上記の如き問題点を解
消するため、本発明者等は先に特願昭59−72514
号として非接触型検出器を用いたワーク自動計測装置を
提案している。この自動計測装置の採用により、粉塵の
多い計測環境に於いても計測精度を実用上満足し得る水
準に維持することが可能となった。然し表から1、この
方式の自動計測装置の実用性を更に向上させるためには
、センサが被測定面に接近した際のトリガー指令発信位
置のバラツキ、センサ     7の送り速度が増大し
たときの検出誤差の増大、あるいは検出誤差を減少させ
るためセンサの送り速度を落としたときの測定所要時間
の増大等の問題点を解決する必要がある。
In order to solve the above-mentioned problems found in the known contact type detector, the inventors first filed Japanese Patent Application No. 59-72514.
We have proposed an automatic workpiece measuring device using a non-contact detector. By adopting this automatic measuring device, it has become possible to maintain measurement accuracy at a practically satisfactory level even in a dusty measurement environment. However, as shown in Table 1, in order to further improve the practicality of this type of automatic measuring device, it is necessary to detect variations in the trigger command transmission position when the sensor approaches the surface to be measured, and to detect when the feed rate of sensor 7 increases. It is necessary to solve problems such as an increase in errors or an increase in the time required for measurement when the sensor feed speed is reduced in order to reduce detection errors.

本発明の主要な目的は、被接触型検出器の採用に付随す
る上記の如く問題点を解消せしめたワーク自動計測装置
を提供することにある。
A main object of the present invention is to provide an automatic workpiece measuring device that eliminates the above-mentioned problems associated with the employment of a contact type detector.

口 占f″° るための 斯かる目的に鑑みて本発明は、工作機械の主軸(1)に
装着される測定バー(A)の先端部に複数個の空気噴出
ノズル(7)、(8)を形成すると共に、前記主軸(1
)を回転自在に支承する主M頭(2)と測定バー(A)
の間に圧縮空気の流路(lla)、(11b )、(1
1C)を形成し、前記空気噴出ノズル(7)、(8)が
開口する前記圧縮空気の流路の末端部に背圧検出部(2
2)を設けたワーク自動計測装置に於いて、前記背圧検
出部(22)に、減速指令発信用の第1の位置検出器(
29)、(3o)と、位置検出のトリガー指令発信用の
第2の位置検出器(31)、(32)を設けたワーク自
動計測装置を要旨とするものである0、 スJ■が 第1図は本発明に係るワークの寸法ならびに位置の自動
針Jl+装置を例示する部分縦断面図である。
In view of this purpose, the present invention provides a plurality of air jet nozzles (7), (8) at the tip of a measuring bar (A) attached to the main shaft (1) of a machine tool. ), and the main axis (1
) and the main M head (2) that rotatably supports the measuring bar (A).
Between the compressed air flow paths (lla), (11b), (1
1C), and a back pressure detection part (2
2), the back pressure detection section (22) is equipped with a first position detector (2) for issuing a deceleration command.
29), (3o) and a workpiece automatic measuring device equipped with a second position detector (31), (32) for issuing a trigger command for position detection. FIG. 1 is a partial longitudinal cross-sectional view illustrating an automatic needle Jl+ device for measuring the dimensions and position of a workpiece according to the present invention.

測定バー(A)は通常の工具と略同−形状を有し、数値
制御プログラムにより工具マガジンから自動的に呼び出
され、マシニングセンタ(MC)の主軸(1)に装着し
得るように構成されている。
The measuring bar (A) has approximately the same shape as a normal tool, is automatically called out from a tool magazine by a numerical control program, and is configured so that it can be attached to the main shaft (1) of a machining center (MC). .

第1図に於いて参照番号(1)は主軸、参照番号(2)
は主軸頭を示し、測定バ一本体(3)が主軸テーバ部(
4)内に装着された状態を示す。測定バー(A)には常
法に従ってスプリング(5)によって軸線方向前方に押
圧されるセンサ部(6)が内蔵されている。センサ部(
6)の先端部にはその断面構造を示す第2図に見られる
ように、X7面内に4冊の空気噴出ノズル(7a)乃至
(7d)が互いに直交するように設けられている。また
、測定バー(A)の軸線方向(Z軸方向)には前記XY
方向と直交するように空気噴出ノズル(8)が設けられ
ている。
In Figure 1, reference number (1) is the main axis, reference number (2)
indicates the spindle head, and the measuring bar body (3) is the spindle taper part (
4) Shows the state in which it is installed inside. The measuring bar (A) has a built-in sensor section (6) that is pushed forward in the axial direction by a spring (5) in a conventional manner. Sensor part (
As seen in FIG. 2 showing its cross-sectional structure, four air jet nozzles (7a) to (7d) are provided in the X7 plane so as to be perpendicular to each other at the tip of the nozzle 6). In addition, in the axial direction (Z-axis direction) of the measurement bar (A), the
An air jet nozzle (8) is provided perpendicular to the direction.

一方、測定バー(A)には、圧縮空気を導通させるため
、アーム(9)が該測定バーの本体(3)から突出した
状態で取付けられ、更に該アーム(9)からZ軸方向に
沿ってロッド(10)が突出して取付けられており、こ
れらの部材の内部には圧縮空気の流路(11a )乃至
(11C)が貫通して設けられている。参照番号(12
)は圧縮空気中に含まれている微細な粉塵等を除去する
ため前記空気流路の途中に設けられたフィルタであり、
参照番号(13a)、(13b )は前記圧縮空気の流
路構成部材の接合面からの空気の漏れを防止するための
O・リングである。
On the other hand, an arm (9) is attached to the measurement bar (A) in a state that protrudes from the main body (3) of the measurement bar in order to conduct compressed air. A rod (10) is attached in a protruding manner, and compressed air passages (11a) to (11C) are provided penetrating inside these members. Reference number (12
) is a filter provided in the middle of the air flow path to remove fine dust etc. contained in the compressed air,
Reference numbers (13a) and (13b) are O-rings for preventing air leakage from the joint surfaces of the compressed air flow path forming members.

一方、マシニングセンタ(MC)の主軸頭(2)側には
、測定バー(A)を自動工具交換装置(ATC)により
主軸(1)に自動装着した際、系外に設けられた圧空源
から圧縮空気を測定バー(A)に供給するための圧縮空
気の供給装置が設けられている。参照番号(20)はベ
ースプレート、参照番号(21)はキャップで、これら
の構成部材にはXY面内に於いて僅かな空隙(14)を
維持して摺動するブツシュ(15)が嵌装されている。
On the other hand, when the measuring bar (A) is automatically attached to the spindle (1) by the automatic tool changer (ATC), the spindle head (2) side of the machining center (MC) is compressed by a compressed air source installed outside the system. A compressed air supply device is provided for supplying air to the measuring bar (A). Reference number (20) is a base plate, reference number (21) is a cap, and a bush (15) that slides while maintaining a small gap (14) in the XY plane is fitted into these components. ing.

一方、該ブツシュ(15)の内部には、スプリング(1
6)によって押圧され、X軸方向に摺動するスライダー
(17)が嵌装されている。
On the other hand, inside the bush (15) is a spring (1
A slider (17) that is pressed by the slider (6) and slides in the X-axis direction is fitted.

測定バー(A)が主軸(1)に装着されていない場合に
は、スライダ(17)はスプリング(16)によって前
方へ押圧され、スライダ(17)に設けられた空気導通
孔(18)をプツシ、、z (15)によって閉止して
いる。
When the measuring bar (A) is not attached to the main shaft (1), the slider (17) is pushed forward by the spring (16) and the air passage hole (18) provided in the slider (17) is pushed. ,,z (15).

斯くして、接続口(19)から流路内に供給されている
圧縮空気は外部に漏れることなく閉止されている。
In this way, the compressed air supplied into the flow path from the connection port (19) is closed without leaking to the outside.

第1図は測定バー(A)を主軸(1)に装着した状態を
図示するものであるが、測定バ一本体(3)を主軸(1
)に装着する際、ロッド(10)の後端部はスライダ(
17)の先端部と接       1触し、この接触状
態を維持したままスライダ(17)を2軸方向に後退さ
せる。スライダ(17)の後退動作が進行するにつれて
、空気導通孔G18)は閉止状態から導通状態に移行し
、測定バー(A)の装着が完了した時点で、接続口(1
9)から供給された圧縮空気は、測定バー(A)内の流
路(11C)、(11b’)、(lla)を経て先端に
空気噴出ノズル(7)、(8)を有するセンサ部(6)
に導かれ、5個の空気噴出ノズル(7a)乃至(7d)
および(8)により絞られた噴流としてワークの被測定
部位に放出される。
Figure 1 shows the measuring bar (A) attached to the main shaft (1).
), the rear end of the rod (10) is attached to the slider (
The slider (17) is brought into contact with the tip of the slider (17), and the slider (17) is moved back in two axial directions while maintaining this contact state. As the slider (17) moves backward, the air passage hole G18) transitions from a closed state to a conductive state, and when the measurement bar (A) is completely attached, the connection port (G18) changes from a closed state to a conductive state.
The compressed air supplied from 9) passes through channels (11C), (11b'), and (lla) in the measurement bar (A), and then passes through the sensor section (7), which has air jet nozzles (7) and (8) at the tip. 6)
guided by five air jet nozzles (7a) to (7d)
and (8), the jet stream is emitted to the part to be measured of the workpiece as a narrowed jet stream.

尚、ブツシュ(15)をXY面内で摺動可能な形状にし
たのは、測定バー(A>を主軸(1)に装着する際のロ
ッド(10)の位置決め誤差の影響を取り除くためで、
ロッド(10)をブツシュ(15)内に円滑に挿入し得
るように、それぞれの先端部にテーパ部を設けている。
The reason why the bushing (15) is shaped so that it can slide in the XY plane is to eliminate the influence of positioning errors of the rod (10) when attaching the measuring bar (A> to the main shaft (1)).
A tapered portion is provided at each tip so that the rod (10) can be smoothly inserted into the bush (15).

第1図に示す測定バー(A)の空圧系をモデル化して示
したのが第3図である。圧縮空気源からの空気は、図示
しない圧力調整弁により一定供給圧(Ps)に調整され
た後、内径(dl)を有するオリフィスを経由して測定
バー(A)内に導入される。測定バー(A)のセンサ部
(6)には、前記の如く、内径(d2)を有する5個の
空気噴出ノズル(7a)乃至(7d)および(8)が設
けられており、この内の1個が空気マイクロメータとし
て作動し、被測定面との距U(x)を検出する。距離(
X)の大小に応じて背圧(P)が変化し、該背圧の変化
を差圧検出部にて、内i¥(d4>、を有するカウンタ
バランス用ノズルの−・定背圧(PO)との差ΔP=P
−P oとして検出し、これにより被測定物の位置検出
を可能としている。
FIG. 3 shows a model of the pneumatic system of the measurement bar (A) shown in FIG. 1. Air from a compressed air source is regulated to a constant supply pressure (Ps) by a pressure regulating valve (not shown) and then introduced into the measurement bar (A) via an orifice having an inner diameter (dl). As mentioned above, the sensor part (6) of the measurement bar (A) is provided with five air jet nozzles (7a) to (7d) and (8) each having an inner diameter (d2). One operates as an air micrometer and detects the distance U(x) to the surface to be measured. distance(
The back pressure (P) changes depending on the magnitude of ) difference ΔP=P
-P o, thereby making it possible to detect the position of the object to be measured.

第4図(A)は本発明装置の要部構造を例示する模式図
であり、第4図(B)はその計測動作の説明図である。
FIG. 4(A) is a schematic diagram illustrating the main structure of the apparatus of the present invention, and FIG. 4(B) is an explanatory diagram of its measurement operation.

第4図(A)に見られるように測定室(27)の圧力は
背圧検出部(22)に導かれ、圧力の変動をダイヤフラ
ム(28)の変位に変換される。ダイヤフラム(28)
には減速指令発信用の第1の位F、検出器としてコア(
29)が連結されており、該コアの変位は差動トランス
(30)により減速指令としての電気信号に変換される
。前記ダイヤフラムには更に位置検出のトリガー指令発
信用の第2の位置検出器としてコア(31)が連結され
ており、該コアの変位は差動トランス(32)により位
置検出のトリガー指令としての電気信号に変換される。
As seen in FIG. 4(A), the pressure in the measurement chamber (27) is guided to the back pressure detection section (22), and pressure fluctuations are converted into displacement of the diaphragm (28). Diaphragm (28)
The first position F is used to issue a deceleration command, and the core (
29) are connected, and the displacement of the core is converted into an electrical signal as a deceleration command by a differential transformer (30). A core (31) is further connected to the diaphragm as a second position detector for issuing a trigger command for position detection, and the displacement of the core is detected by a differential transformer (32) as an electric current as a trigger command for position detection. converted into a signal.

本発明の異なれる実施態様として上記差動トランス(2
9)、(30)および(31)、(32)の代わりに2
個のリミットスイッチもしくは非接触近接スイッチ(何
れも図示省略)を使用することも可能である。差動トラ
ンスを使用した場合には、圧力に応じたアナログ電圧出
力が得られるのに対し、リミットスイッチを使用した場
合には、ダイヤフラム(28)の変位量がある一定値に
達したときに検出信号としてディジタル信号が発信され
る。以下、第4図(B)の例示に基づいて本発明装置の
作動要領を説明する。測定バー (A)のセンサ部(6
)が被測定面に接近し、該被測定面との距離(X)が0
.4mmになったとき、第1の位置検出器(29)、(
30)から減速指令が発信され、センサ部(6)の送り
速度が減速される。この状態でセンサ部(6)は被測定
面に向かって更に接近するが、該被測定面との距離(x
)が50μmになったとき、第2の位置検出器(31)
、(32)から位置検出のトリガー指令が発信され被測
定面の位置が測定される。
As a different embodiment of the present invention, the above differential transformer (2
9), (30) and (31), 2 instead of (32)
It is also possible to use limit switches or non-contact proximity switches (both not shown). When using a differential transformer, analog voltage output is obtained according to the pressure, whereas when using a limit switch, it is detected when the displacement of the diaphragm (28) reaches a certain value. A digital signal is transmitted as the signal. Hereinafter, the operating procedure of the apparatus of the present invention will be explained based on the example shown in FIG. 4(B). Sensor section (6) of measurement bar (A)
) approaches the surface to be measured, and the distance (X) from the surface to be measured is 0.
.. When the distance reaches 4 mm, the first position detector (29), (
A deceleration command is sent from 30), and the feed speed of the sensor section (6) is decelerated. In this state, the sensor unit (6) approaches the surface to be measured, but the distance (x) from the surface to be measured is
) becomes 50 μm, the second position detector (31)
, (32), a trigger command for position detection is transmitted, and the position of the surface to be measured is measured.

発」FB九果 本発明装置は、在来のクッチセンサと比較した場合、ワ
ークと非接触状態を維持したまま穴径や穴中心位置の測
定が行われるため、被測定面の性状(例えば表面あらさ
や被測定物の材質等)の影響を受けず、また空気流の流
体圧により、被測定面に付着したゴミによる測定誤差を
排除することができるので、測定精度が極めて高い。更
に本発明装置はその構造が極めて簡易であるため故障が
少なく、且つ不感帯も少なく、測定装置としての信頼性
が高い、          j本発明装置は、また、
センサが被測定面に接近する際のトリガーttr令発信
位置のバラツキ、センサの送り速度が増大したときの検
出誤差の増大、あるいはセンサの送り速度を落としたと
きの測定所要時間の増大等の問題点を背圧検出部に2個
の位置検出器を設けることによって解決したものであっ
て、センサの送り速度の如何に拘わず安定した測定条件
を確保することができる。
Compared to the conventional Cutch sensor, the device of the present invention measures the hole diameter and hole center position while maintaining a non-contact state with the workpiece. The measurement accuracy is extremely high because it is not affected by the material (such as the material of the object to be measured), and measurement errors due to dust attached to the surface to be measured can be eliminated by the fluid pressure of the air flow. Furthermore, since the device of the present invention has an extremely simple structure, it has few failures and has a small dead zone, and is highly reliable as a measuring device.
Problems include variations in the trigger TTR command transmission position when the sensor approaches the surface to be measured, an increase in detection error when the sensor feed speed increases, or an increase in the time required for measurement when the sensor feed speed is decreased. This problem is solved by providing two position detectors in the back pressure detection section, and stable measurement conditions can be ensured regardless of the sensor feed speed.

更に本発明装置は電気信号を一切使用せず、空気圧信3
−のみを使用する簡単な構造に形成されているから、塵
埃や粉塵のの多い劣悪な測定環境下に於いても誤動作す
るおそれがない。
Furthermore, the device of the present invention does not use any electrical signals, but instead uses pneumatic signals.
Since it has a simple structure that uses only -, there is no risk of malfunction even in a poor measurement environment with a lot of dust and dirt.

またセンサ部の寸法や形状あるいは空気噴出ノズルの配
設個数等についても任意に選択することができるから、
多種多様な測定対象に対しても容易に対応することがで
きる。
In addition, the size and shape of the sensor part, the number of air jet nozzles, etc. can be arbitrarily selected.
It can be easily applied to a wide variety of measurement targets.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係るワークの寸法ならびに位置の自動
計測装置の部分i!断面図であり第2図は空気噴出ノズ
ルの配設状態を説明するセンサ部の横断面図である。第
3図は第1図に示す測定バーの空圧系をモデル化して示
す模式図であり、第4図(A)は本発明装置要部の構造
を例示する模式図、第4図(B)はその計測動作の説明
図である。尚第5図および第6図は、公知の接触型検出
器によるワークの穴径もしくは穴中心位置の測定要領の
説明図である。 (1) −・主軸、(A)−測定バー、(7)、(8)
・−空気噴出ノズル、(2)−・−主軸頭、(11)−
圧縮空気の流路、(22)・・・背圧検出部、(29)
、(30)−第1の位置検出器、(31)、(32)−
第2の位置検出器。 「、−
FIG. 1 shows part i! of an automatic measuring device for measuring the dimensions and position of a workpiece according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the sensor section, illustrating the arrangement of air jet nozzles. FIG. 3 is a schematic diagram showing a modeled pneumatic system of the measurement bar shown in FIG. 1, FIG. ) is an explanatory diagram of the measurement operation. 5 and 6 are explanatory diagrams of the procedure for measuring the hole diameter or hole center position of a workpiece using a known contact type detector. (1) - Main shaft, (A) - Measuring bar, (7), (8)
・-Air jet nozzle, (2)--Spindle head, (11)-
Compressed air flow path, (22)...back pressure detection section, (29)
, (30)-first position detector, (31), (32)-
Second position detector. ",-

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)工作機械の主軸に装着される測定バーの先端部に
複数個の空気噴出ノズルを形成すると共に、前記主軸を
回転自在に支承する主軸頭と測定バーの間に圧縮空気の
流路を形成し、空気噴出ノズルが開口する前記圧縮空気
の流路の末端部に背圧検出部を設けたワーク自動計測装
置に於いて、前記背圧検出部に減速指令発信用の第1の
位置検出器と、位置検出のトリガー指令発信用の第2の
位置検出器を設けたことを特徴とするワーク自動計測装
置。
(1) A plurality of air jet nozzles are formed at the tip of a measuring bar attached to the main spindle of a machine tool, and a compressed air flow path is formed between the measuring bar and the spindle head that rotatably supports the main spindle. In an automatic workpiece measuring device that includes a back pressure detection section at the end of the compressed air flow path where the air jet nozzle opens, the back pressure detection section is configured to detect a first position for issuing a deceleration command. 1. An automatic workpiece measuring device, comprising a second position detector for issuing a trigger command for position detection.
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