JPS61103694A - Machine tool having laser cutting machine - Google Patents
Machine tool having laser cutting machineInfo
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- JPS61103694A JPS61103694A JP59225330A JP22533084A JPS61103694A JP S61103694 A JPS61103694 A JP S61103694A JP 59225330 A JP59225330 A JP 59225330A JP 22533084 A JP22533084 A JP 22533084A JP S61103694 A JPS61103694 A JP S61103694A
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- cutting machine
- laser cutting
- machine
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は工作機械に関し、詳しくは、レーザー切断機
を有している工作機械に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention This invention relates to machine tools, and more particularly to machine tools having a laser cutting machine.
従来の技術
上記レーザー切断機では種々の形状及び大きさの切断片
を切り出すことができ、従来のパンチプレス機等の工作
機械に該レーザー切断機を付加することにより１例えば
所定の形状の加工は従来の工作機械で迅速に行ない、従
来の工作機械で行なうことのできない加工をレーザー切
断機で行なうようにすれば１種々の加工に迅速に対応で
きる。しかも、パンチプレス機等の工作機械とレーザー
切断機とを別々に設けたものでは、工作物を両者の間で
運ぶ必要があるけれども、レーザー切断機を上記工作機
械に設けることにより、該運搬手段も必要なくなる。BACKGROUND OF THE INVENTION The laser cutting machine described above can cut pieces of various shapes and sizes, and by adding the laser cutting machine to a conventional machine tool such as a punch press machine, it is possible to, for example, process a predetermined shape. By using a laser cutting machine to perform processing that cannot be performed with conventional machine tools, it is possible to quickly respond to various types of processing. Moreover, when a machine tool such as a punch press machine and a laser cutting machine are provided separately, it is necessary to transport the workpiece between the two, but by providing the laser cutting machine in the machine tool, the transportation means will no longer be necessary.
上記レーザー切断機は１通常レーザー発振機と、該発振
器より出たレーザー光を工作物に照射する加工ヘッドと
より成っている。上記レーザー発振器は構造上振動を嫌
っており、従来。The above laser cutting machine usually consists of a laser oscillator and a processing head that irradiates the workpiece with laser light emitted from the oscillator. The above laser oscillator is structurally averse to vibration, and conventionally.
該発振器は工作機械の加工時の振動を受けないようにす
る目的で工作機械とは別の箇所に設置されていた。The oscillator was installed at a location separate from the machine tool in order to avoid vibrations from the machine tool during machining.
発明が解決しようとする問題点
上記の従来のレーザー切断機を有する工作機械において
、上記発振器を別置するスペースが無駄であること、ま
た、該発振機と上記加工ヘッドとの接続が長くなり反射
鏡等の設置個数が多り、コスト高になると同時に該反射
鏡のめんどうな角度調整作業をしなければならなかった
。Problems to be Solved by the Invention In the machine tool having the conventional laser cutting machine described above, the space for separately installing the oscillator is wasted, and the connection between the oscillator and the processing head is long, causing reflections. A large number of mirrors and the like are required to be installed, which increases the cost and requires laborious adjustment of the angle of the reflecting mirrors.
問題点を解決するための手段
この発明は、パンチプレス機やシアリング機等の工作機
械のフレームに載置台を設け、該載着台にレーザー発振
器及び加工ヘッドとより成るレーザー切断機を設置した
ものである。Means for Solving the Problems This invention provides a mounting table on the frame of a machine tool such as a punch press or shearing machine, and a laser cutting machine comprising a laser oscillator and a processing head is installed on the mounting table. It is.
作用
工作機械上でレーザー光を発振させ、該発振したレーザ
ー光を加工ヘッドよりワークに照射して、該ワークにレ
ーザー加工を施す。A laser beam is oscillated on a working machine tool, and a workpiece is irradiated with the oscillated laser beam from a processing head to perform laser processing on the workpiece.
実施例
第８図は本発明を適用した実施例の概賂を示す図で、こ
の実施例ではパンチプレス機（１）にレーザー切断機（
２）を搭載している。Embodiment FIG. 8 is a diagram showing an outline of an embodiment to which the present invention is applied. In this embodiment, a punch press machine (1) and a laser cutting machine (
2) is installed.
まず、上記パンチプレス機（１）を簡単に説明すると、
このパンチプレス機は、パンチヘッドおよび多数のパン
チを保持する上部タレブト（３）を搭載したと部フレー
ム（４）と、材料供給テーブル（５）および多数のダイ
を保持する図示しない下部タレブトを搭載した下部フレ
ーム（６）とがＣ字型に連結された一体構造とな勺てい
て、該下部フレーム（６）には正面視が逆台形状の力／
マー（力を取付けてあり、該カバー（７）上面に上記材
料供給テーブル（５）を設けている。該材料供給テーブ
ル（５）は、上記カバー（７）上に固定支持された中央
テーブル（５ａ）と、カバー（７）上の両側に敷設した
レール（８）に沿って前後移動する左右のテーブル（５
ｂ）（５Ｃ）とからなり、該左右のテーブル（５ｂ）（
５ｃ）前端にはキャリッジ（９）が固定され、該キャリ
ッジ（９）および左右のテーブル（５ｂＸ５ｃ）が一体
となって、矢印（１１）のＹ軸方向に前後動する。該キ
ャリッジ（９）内には該キャリッジの長手方向、矢印（
１０）で示すＸ軸方向に沿って平行移動する図示しない
クロススライドを支持してあり、該クロススライド前面
にはワークホルダ（１２）が固定されている。（１３）
は上記テーブル（５）上に喪、数設けたトランスフ１ボ
ールを示している。First, to briefly explain the punch press machine (1),
This punch press machine is equipped with a bottom frame (4) equipped with an upper talebutton (3) that holds a punch head and a large number of punches, and a lower talebutton (not shown) that holds a material supply table (5) and a large number of dies. The lower frame (6) has an integral structure connected in a C-shape, and the lower frame (6) has an inverted trapezoidal force when viewed from the front.
The material supply table (5) is provided on the upper surface of the cover (7). 5a) and the left and right tables (5) that move back and forth along the rails (8) laid on both sides of the cover (7).
b) (5C), and the left and right tables (5b) (
5c) A carriage (9) is fixed to the front end, and the carriage (9) and the left and right tables (5bX5c) move back and forth in the Y-axis direction indicated by the arrow (11) as a unit. Inside the carriage (9), in the longitudinal direction of the carriage, arrows (
A cross slide (not shown) that moves in parallel along the X-axis direction indicated by 10) is supported, and a work holder (12) is fixed to the front surface of the cross slide. (13)
indicates the number of transfer balls placed on the table (5) above.
このパンチプレス機（１）は以上のようになっているの
で、板材局を把持したワークホルダ（１２）は、クロス
スライドが左右移動することによりＸ軸方向（１０）に
移動し、キャリッジ（９）および左右のテーブル（５ｂ
）（５Ｃ）が一体となって前後移動することによフてＹ
軸方向（１１）に移動する。Since this punch press machine (1) is configured as described above, the work holder (12) holding the plate material station moves in the X-axis direction (10) by the cross slide moving left and right, and the carriage (9) moves in the X-axis direction (10). ) and left and right tables (5b
) (5C) moves back and forth as one, so that Y
Move in the axial direction (11).
上記パンチプレス機（１）の上部フレーム（４）に載置
台（２０）が固定され、該載に台（２０）にレーザー切
断機（２）が載置されている。第１図には、レーザー切
断機（２）および載置台（２０）の一部縦断側面図を示
し、第２図には平面図を示している。A mounting table (20) is fixed to the upper frame (4) of the punch press machine (1), and a laser cutting machine (2) is mounted on the table (20). FIG. 1 shows a partially longitudinal side view of the laser cutting machine (2) and the mounting table (20), and FIG. 2 shows a plan view.
上記レーザー切断機（２）はレーザー発振器（２１）と
加工ヘッド（２２）とを連結したものであり、上記発振
器（２１）は炭酸ガスレーザー等を用いている。上記加
工ヘッド（２２）は、支持部（２３）に蛇腹状の連結部
（２４）を介して昇降部（２５）が取付けられていて、
該昇降部（２５）の先端（２５ａ ）より図示しないレ
ンズにより集光されたレーザー光が照射される。The laser cutting machine (2) is a combination of a laser oscillator (21) and a processing head (22), and the oscillator (21) uses a carbon dioxide laser or the like. The processing head (22) has an elevating part (25) attached to the support part (23) via a bellows-shaped connecting part (24),
A laser beam focused by a lens (not shown) is irradiated from the tip (25a) of the elevating part (25).
次に、第１図ないし第７図に基づいて上記載置台（２０
）を詳細に説明する。この載置台（２０）は上部枠体（
３０）と下部枠体（３１）とを上下方向に合わせ、該上
下の枠体（３０）（３１）間をエアスプリング（３２）
（３３）（３４）で連結したものである。Next, based on FIGS. 1 to 7, the above-mentioned mounting table (20
) will be explained in detail. This mounting table (20) has an upper frame (
30) and the lower frame body (31) in the vertical direction, and an air spring (32) is installed between the upper and lower frames (30) and (31).
They are connected by (33) and (34).
上記上部枠体（３０）は、断面がＬ字形の上部縁体（３
５）の長手方向両端に長方形プレート（３６）と変形プ
レート（３７）とをそれぞれ固定したものであり、該２
つのプレート（３６）、（３７）は前記レーザー発振器
（２１）の下直に固定されている。また。The upper frame body (30) includes an upper edge body (3) having an L-shaped cross section.
5) A rectangular plate (36) and a deformed plate (37) are respectively fixed to both ends in the longitudinal direction.
Two plates (36) and (37) are fixed directly below the laser oscillator (21). Also.
上記下部枠体（３１）は、断面がＬ字形で上記上部縁体
（３５）と匡比べ１周り小さな下部縁体（３８）の長手
方向両端に長方形プレート（３９）と変形プレー １−
（４０）とをそれぞれ固定したものであり、該２つのプ
レート（３９）（４０）は前記パンチプレス機の上部フ
レーム（４）にリブを有すブラケ・ｔ ）（４１）（４
２）を介して固定されている。上記２つの長方形プレー
ト（３６） （３９）及び変形プレート（３７）（４ｏ
）はそれぞれ同形である。The lower frame (31) has an L-shaped cross section and a lower edge (38) that is one circumference smaller than the upper edge (35), and has rectangular plates (39) and deformed plates at both ends in the longitudinal direction.1-
(40) are respectively fixed, and the two plates (39 and 40) are brackets having ribs on the upper frame (4) of the punch press machine.
2) is fixed via. The above two rectangular plates (36) (39) and the deformed plate (37) (4o
) are isomorphic.
上記２枚の変形プレート（３７）（４０）の凸部（３７
ａ）（４０ａ）間及び長方形プレート（３６）（３９）
間には上記エアスプリング（３２）（３３）（３４）の
上下端がそれぞれ固定され、該エアスプリングは管路（
５１）を介し図示しないエアー源より供給されるエアに
より矢印（４３）方向に伸縮自在になっている。The convex portions (37) of the two deformed plates (37) (40)
a) (40a) between and rectangular plates (36) (39)
The upper and lower ends of the air springs (32), (33), and (34) are respectively fixed between them, and the air springs are connected to the pipe line (
51) from an air source (not shown), it can be expanded and contracted in the direction of arrow (43).
（４４）（４５）は第６図で示すように、上記下部枠体
（３１）の変形プレート（４０）に螺着された略円錐形
の位置決めコーンを示し、 （４６）（４７）は上記上
部枠体（３０）の変形プレート（３７）に螺着された上
記コーン（４４）（４５）と嵌合するテーパ部（４６ａ
）（４７ａ）を有する凹状体を示している。また。(44) and (45), as shown in FIG. 6, indicate approximately conical positioning cones screwed onto the deformable plate (40) of the lower frame body (31), and (46) and (47) indicate the positioning cones described above. A tapered portion (46a) that fits into the cones (44) and (45) screwed onto the deformable plate (37) of the upper frame (30).
) (47a). Also.
（４８）は上記下部枠体（３１）の長方形プレート（３
９）に螺着された位置決めくさびを示し、該くさび（４
８）は第７図で示すように断面略台形をしており、また
、該くさび（４８）と嵌合するテーパ一部（４９ａ）を
有した凹状体（４９）が上部枠体（３０）の長方形プレ
ート（３６）に螺着されている。上記位置決めコーン（
４４）と凹状体（４６）、位置決めコーン（４５）と凹
状体（４７）及び位置決めくさび（４８）と凹状体（４
９）はそれぞれが対応し嵌合する位置に取付けられてい
る。(48) is the rectangular plate (3) of the lower frame (31).
9), and shows the positioning wedge screwed onto the wedge (4).
8) has a substantially trapezoidal cross-section as shown in FIG. It is screwed onto the rectangular plate (36). Above positioning cone (
44) and the concave body (46), the positioning cone (45) and the concave body (47), and the positioning wedge (48) and the concave body (4
9) are attached at corresponding and fitting positions.
以上のような構成をした本実施例の動作を以下説明する
。パンチプレス機（１）によるパンチ時トレーザー切断
機（２）を使用している時とに分けて説明する。The operation of this embodiment configured as above will be described below. The punching process will be explained separately for punching with a punch press machine (1) and when using a tracer cutting machine (2).
まず、パンチ時には図示しないエアー源よりエアーをエ
アスプリング（３２）（３３）（３４）に均等長くする
。該スプリングを伸長させた際の上部枠体（３０）の長
方形プレート（３６）と変形プレート（３７）の移動位
置をそれぞれ第１図において２点鎖線セ示している。そ
の時１位置決めコーン（４４）（４５）と凹状体（４６
）（４７）及び位置決めくさび（４８）と凹状体（４９
）とは接触しない浮いた状態となり、下部枠体（３０）
と上部枠体（３１）を連結するのは３つのエアスプリン
グ（３２）（３３）（３４）のみとなる。上述の状態で
板材（イ）にパンチ加工を施すと、該パンチ加工による
振動は上部フレーム（４）及びブラケツト（４１）（４
２）を経て下部枠体（３１）にまでは達するけれども、
上記エアスプリング（３２）（３３）（３４）により該
振動は吸収され、上部枠体（３０）及びレーザー切断機
（２）には伝導しない。First, when punching, air is applied to the air springs (32), (33), and (34) equally long from an air source (not shown). The moving positions of the rectangular plate (36) and the deformable plate (37) of the upper frame (30) when the spring is expanded are respectively indicated by two-dot chain lines in FIG. At that time, 1 positioning cone (44) (45) and concave body (46
) (47), positioning wedge (48) and concave body (49)
) and is in a floating state without contacting the lower frame (30).
Only three air springs (32), (33), and (34) connect the upper frame (31) and the upper frame (31). When the plate material (A) is punched in the above condition, the vibrations caused by the punching will be transmitted to the upper frame (4) and brackets (41) (4).
Although it reaches the lower frame body (31) through 2),
The vibrations are absorbed by the air springs (32), (33), and (34) and are not transmitted to the upper frame (30) and the laser cutting machine (2).
次に、上記レーザー切断機（２）によるレーザー加工時
には、上記エアスプリング（３２）（３３Ｘ３４）に供
給されるエアー圧を下げ、上部枠体（３０）を下部枠体
（３１）に対して接近させる。その際、位置決めコーン
（４４）（４５）が凹状体（４６）（３７）と、及び位
置決めくさび（４８）が凹状体（４９）とそれぞれ嵌合
することにより、下部枠体（３１）に対する上部枠Ｋ（
３０）の停止位置決めがなされる。上記コーンと凹状体
及び上記くさびと凹状体の接触面をそれぞれテーパー状
としているので、多少の位置ずれが生じていても、該テ
ーパーに沿ってそれぞれの凹状体が移動しコーン及びく
さびと密接に嵌合し１位置決めできる。さらに、一端の
位置決め部材をくさび（４８）とし、該くさび（４８）
に対応した凹状体（４９）も該くさび（４８）に嵌合す
る形状としているので、第７図における矢印（５０）方
向の位置は該くさび（４８）に何ら規制されることはな
く、載置台（２０）の熱膨張による影響をのがれている
。一方、上記コーン（４４）（４５）による位置決めは
すべての方向に正確になされ。Next, during laser processing by the laser cutting machine (2), the air pressure supplied to the air spring (32) (33X34) is lowered to bring the upper frame (30) closer to the lower frame (31). let At this time, the positioning cones (44) and (45) are fitted into the concave bodies (46 and 37), and the positioning wedge (48) is fitted into the concave body (49), so that the upper part of the lower frame body (31) Frame K (
30) stop positioning is performed. Since the contact surfaces between the cone and the concave body and between the wedge and the concave body are each tapered, even if some positional deviation occurs, each concave body moves along the taper and is closely connected to the cone and wedge. Can be fitted and positioned in one position. Further, the positioning member at one end is a wedge (48), and the wedge (48)
Since the concave body (49) corresponding to the wedge (48) is also shaped to fit into the wedge (48), the position in the direction of the arrow (50) in FIG. The effect of thermal expansion of the mounting base (20) is avoided. On the other hand, positioning by the cones (44) and (45) is performed accurately in all directions.
該コーンを２つ加工ヘッド（２２）側に設けているので
、上記加工へノド（２２）はパンチプレス機（１）の上
部フレーム（４）に対して、ひいては板材Ｗに対して、
正確な位置に位置決めされる。Since the two cones are provided on the processing head (22) side, the processing throat (22) is directed against the upper frame (4) of the punch press machine (1), and by extension against the plate material W.
Positioned at the correct location.
上述のように、加工ヘッド（２２）が正確に位置決めさ
れた状態で、蛇腹状の連結部（２４）が伸長することに
より、昇降部（２５）を板材（イ）に対して一定の距離
に接近させ、該昇降部（２５）の先端（２５ａ）よりレ
ーザー発振器（２１）からのレーザー光を板金異に照射
しレーザー加工を施す。As described above, when the processing head (22) is accurately positioned, the bellows-shaped connecting portion (24) extends, thereby keeping the lifting portion (25) at a constant distance from the plate material (A). The sheet metal is brought close to each other, and the laser beam from the laser oscillator (21) is irradiated onto the sheet metal from the tip (25a) of the lifting section (25) to perform laser processing.
以上、説明したように、本実施例によれば。As described above, according to this embodiment.
パンチ加工時に生じる振動が載置台で吸収され。The vibrations generated during punching are absorbed by the mounting table.
レーザー発振器に何ら上記振動が伝わらない構造にして
いるので、該発振器において振動が原因となる故障が皆
無となり、常に安定したレーザー光を発振することが可
能となる。さらに。Since the laser oscillator is structured so that no vibration is transmitted to the laser oscillator, there is no failure caused by vibration in the oscillator, and it is possible to always oscillate stable laser light. moreover.
レーザー切断機を使用する時には、該切断機がパンチプ
レス機に対して正確に位置決めされ。When using a laser cutting machine, the cutting machine is precisely positioned relative to the punch press machine.
板金（イ）上の正確な位置でのレーザー加工を施こすこ
とができる。Laser processing can be performed at precise locations on sheet metal (A).
なお、本実施例ではパンチプレス機にレーザー切断機を
搭載した例を示したが、他の工作機械にレーザー切断機
あるいはレーザー加工機を搭載することも可能である。Although this embodiment shows an example in which a laser cutting machine is mounted on a punch press machine, it is also possible to equip another machine tool with a laser cutting machine or a laser processing machine.
また、レーザー切断機の取付は位置は、工作機ｗｔｆ：
の種々の場所が可能Ｃある。In addition, the installation position of the laser cutting machine is machine tool wtf:
There are various locations possible.
発明の効果
以上、説明したように本発明においては、レーザー発振
器及び加工ヘッドとより成るレーザー切断機を工作機械
のフレームに設けた載置台に設置することにより、設置
場所の省スペース１ヒとなり、かつ、該レーザー切断機
におけるレーザー発振器と加工ヘッドとを接続する部材
が少なくなり、コストを低減することができ、また、上
記接続のための種々の手続き１反射鏡の角度調節作業を
省くことができた・Effects of the Invention As explained above, in the present invention, by installing a laser cutting machine consisting of a laser oscillator and a processing head on a mounting table provided in the frame of a machine tool, the installation space can be saved. In addition, the number of members for connecting the laser oscillator and the processing head in the laser cutting machine is reduced, reducing costs, and the various procedures for the connection described above, including adjusting the angle of the reflecting mirror, can be omitted. did it·
【図面の簡単な説明】
第１図ないし第８図は本発明の一実施例を示す図で、第
１図はレーザー切断機および該切断機を載置する載置台
を示す一部縦断側面図、第２図は同じく平面図、第３図
ないし第７図は上記載置台を示す図で、第３図は平面図
１．第４図は＠３図におけるＡ−Ａ線（断面図、第５図
は第３図におけるＢ−Ｂ線断面図、第６図は上記職［台
に設けたコーン及び該コーンと嵌合する凹状体を示す断
面図、箇７図は同じく上記載置台に設けられたくさび及
び該くさびと嵌合する凹状体を示す斜視図、第８図はレ
ーザー切断ｎを搭載したパンチプレス機の概略を示す斜
視図である。
（１）・・・・パンチブレスｉ ｒ２１・・・・レ
ーザー切概略（４）・・・・上部フレーム （２０
）・・・・載に台（２１）・・・・レーザー発振器 （
２２）・・・・加工ヘッド。[Brief Description of the Drawings] Figures 1 to 8 are views showing one embodiment of the present invention, and Figure 1 is a partially vertical side view showing a laser cutting machine and a mounting table on which the cutting machine is placed. , FIG. 2 is a plan view, FIGS. 3 to 7 are views showing the above-mentioned mounting base, and FIG. 3 is a plan view. Figure 4 is a cross-sectional view taken along line A-A in Figure 3, Figure 5 is a cross-sectional view taken along line B-B in Figure 3, and Figure 6 is a cross-sectional view taken along line B-B in Figure 3. FIG. 7 is a cross-sectional view showing a concave body, FIG. It is a perspective view showing. (1)... Punch brace ir21... Laser cutting outline (4)... Upper frame (20
)... Mounting stand (21)... Laser oscillator (
22)...Processing head.
Claims (1)
ー発振器及び加工ヘッドとより成るレーザー切断機を設
置したことを特徴とするレーザー切断機を有する工作機
械。A machine tool having a laser cutting machine, characterized in that a mounting table is provided on the frame of the machine tool, and a laser cutting machine comprising a laser oscillator and a processing head is installed on the mounting table.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59225330A JPS61103694A (en) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | Machine tool having laser cutting machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59225330A JPS61103694A (en) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | Machine tool having laser cutting machine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61103694A true JPS61103694A (en) | 1986-05-22 |
| JPH0318995B2 JPH0318995B2 (en) | 1991-03-13 |
Family
ID=16827657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59225330A Granted JPS61103694A (en) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | Machine tool having laser cutting machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61103694A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63273599A (en) * | 1987-05-06 | 1988-11-10 | Amada Co Ltd | Laser punching complex processing machine |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS57206590A (en) * | 1981-03-17 | 1982-12-17 | Trumpf Gmbh & Co | Blowout method and blowout device using laser beam |
| JPS58167091A (en) * | 1982-03-26 | 1983-10-03 | Hitachi Ltd | Gas laser device |
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- 1984-10-26 JP JP59225330A patent/JPS61103694A/en active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0318995B2 (en) | 1991-03-13 |
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